JPH0593641A

JPH0593641A - 流体計測計

Info

Publication number: JPH0593641A
Application number: JP25501691A
Authority: JP
Inventors: Masaru Shimizu; 勝清水
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1991-10-02
Filing date: 1991-10-02
Publication date: 1993-04-16

Abstract

(57)【要約】【目的】配管内を流れる流体の流量を知ると同時に外部
から目視で温度を知ることができればその温度変化によ
り生じる製品不良等を解消できる。【構成】流量計等の指針に液晶をコ−ティングするよう
にした。【効果】指針に液晶をコ−ティングしておくことによ
り、指針の指す目盛りを読めば配管内を流れる流体の流
量を知り得ると同時に、液晶は温度変化によりその色が
変わるので、液晶外部から目視で配管内部流体の温度変
化を知ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は計測計に関し、特に流体
の流量の検出と同時に流体の温度を検出できる計測計に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工場などにおいて、配
管内を流れる流体の流量を測定する為に、配管系統に流
量計を接続し、その流量を計測することが行われてい
る。しかし、この場合は、流量だけの確認が可能であ
り、配管内の流体の外部環境の変化などによる温度変化
を把握することができない。この事は、流体の流量の制
御や計測を必要とする流体の供給設備や装置において、
多大の影響を与え、その稼動状況にトラブルを生じた
り、設備装置の寿命を短命化したり、また、温度変化に
起因する製品不良の発生にまで至ることもある。尚、半
導体装置産業に使用される計測計（流量計、圧力計な
ど）について記載した文献の例として、昭和６２年１１
月２０日日刊工業新聞社発行日本半導体製造装置協会編
「半導体製造装置用語辞典」第２７２〜２７３頁が挙げ
られる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の如き計
測計において、配管内の流体の流量を検出できると同時
に、外部から目視により、温度検出も可能とする技術を
提供することを目的とする。本発明の前記ならびにその
ほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付
図面からあきらかになるであろう。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。すなわち、本発明では、計測計の流
動表示部における表示体例えばその指針に、温度検出用
液晶部材をコ−ティングしておく。あるいは、当該表示
体に当該温度検出用液晶部材を当接しておく。

【０００５】

【作用】このように、計測計の流動表示部における表示
体例えばその指針に、温度検出用液晶部材をコ−ティン
グしておくと、流体の流量変化による指針の位置を読取
りすればその流量を計測できると同時に、温度検出用液
晶部材は温度変化に応じてその色が変化するので、その
指針の当該液晶部材の色別変化を観察することにより、
温度を検出でき、従って、配管内の流体について、外部
から、流量を計測できると同時に温度の目視検出も可能
となる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ
説明する。図１に示すように、配管１に、流量計２を備
設させる。配管内１には、液体あるいは気体からなる流
体３が流れている。図１において、４はバルブ弁であ
る。流量計２の指示盤５には、流体３の流量をアナログ
表示する数値が刻設されている。その指針６が示す数値
を目視し、読取ることにより、流体３の流量を知ること
ができる。当該指針６の詳細は、図２に示すように、指
針本体７に、温度検出用液晶８がコ−ティングされてい
る。当該液晶８は、例えばコレステリック液晶により構
成される。コレステリック液晶は、１℃位の僅かな温度
変化に対して、赤色から緑色を経て、青色まであざやか
に変化させることができる。コレステリック液晶の具体
例としては、酢酸コレステロ−ルと安息香酸コレステロ
−ルとの混合物が挙げられる。本発明において、当該流
量の計測に際して、周囲温度に影響されずに、配管１内
の流体３の温度変化を正確に判定するために、当該液晶
８を、例えばガラス材などの被覆材により密封し、外部
との接触を避けるようにするとよい。

【０００７】図３は、図１に示すものと異なり、流量を
具体的数値で示すものではないが、流体３が流れている
場合は、流量計２の指針６が回転し、一方、流れていな
い場合にはその回転が停止する態様を示してある。指針
６は、図２に示すものと同様の構成よりなっている。指
針６の指針本体７には温度検出用液晶８がコ−ティング
されている。当該液晶８は、温度変化に対して、色があ
ざやかに変化する。

【０００８】図４は、流量表示部９内に流量表示球１０
が収納されているもので、流量指示球１０の表面には、
図２に示すものと同様に構成よりなり、前記液晶８がコ
−ティングされている。流量表示部９内部は、中空で、
エア−が充填されており、配管１内の流体３の流速など
に応じて、流量指示球１０は、上下動する。流量指示球
１０の停止位置の数値を読取ることにより、流量を知る
ことができる。同時に、コ−ティングされた液晶８が。
温度変化により色彩を変化させることにより、温度管理
を行なうことができる。当該液晶８の色別判定を、例え
ば、赤色は流体温度５０℃以上、緑色は４０℃以上５０
℃未満、青色は３０℃以上４０℃未満とする。

【０００９】図５は、風力計（風力指示計）で、指針１
１に、温度検出用液晶をコ−ティングしておき、当該指
針１１の停止位置の数値により、配管１内のエア−３の
流量を知ると共に、指針１１にコ−ティングされた温度
検出用液晶８の色彩変化により、温度変化を観測するこ
とができる。

【００１０】本発明は流体用の各種計測計に適用するこ
とができる。実施例に示した流量計や風力計のみにとど
まらず、圧力計、真空計、油圧計などにも適用すること
ができる。流量の計測のみならず、流量を知り、コント
ロ−ルする場合にも適用できる。また、本発明は、温度
検出用液晶に代えて、示温塗料や示温色素などの温度変
化が色彩変化として現われるような部材を使用する場合
にも応用することができる。以上本発明者によってなさ
れた発明を実施例にもとずき具体的に説明したが、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。

【００１１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。本発明によれば、配管内の流体の流
量を検出できると同時に、外部から目視により、温度検
出も可能とする技術を提供することができ、温度変化を
も把握することができるので、流体の流量の制御や計測
を必要とする流体の供給設備や装置において、温度変化
に起因する各種トラブルを排除し、設備装置の延命化を
なしとげ、また、温度変化に起因する製品不良の発生を
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す構成図である。

【図２】図１の詳細説明図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す構成図である。

【図４】本発明のさらに他の実施例を示す構成図であ
る。

【図５】本発明の更に又他の実施例を示す構成図であ
る。

【符号の説明】

１・・・配管２・・・流量計３・・・流体４・・・バルブ弁５・・・指示盤６・・・指針７・・・指示本体８・・・液晶９・・・流量表示部１０・・・流量指示球１１・・・指針

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】配管内に流れる流体の流量を制御し、計測
する計測計の流量表示部における表示体に、流体の温度
検出用液晶部材を塗布しあるいは当接して成ることを特
徴とする流体の流量と温度とを同時検出可能な計測計。
【請求項２】流量表示部を外部と遮断し、請求項１に記
載の流体の温度検出用液晶部材を塗布しあるいは当接し
て成る表示体を当該流量表示部内に密封して成る、請求
項１に記載の計測計。