JPH0588757A - Automatic ph controller - Google Patents

Automatic ph controller

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JPH0588757A
JPH0588757A JP3248839A JP24883991A JPH0588757A JP H0588757 A JPH0588757 A JP H0588757A JP 3248839 A JP3248839 A JP 3248839A JP 24883991 A JP24883991 A JP 24883991A JP H0588757 A JPH0588757 A JP H0588757A
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tank
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automatic
dyeing
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哲夫 福島
Kazuhisa Ogasawara
和久 小笠原
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To automatically measure and control the pH for a long period of time with high accuracy by means of a pH sensor. CONSTITUTION:An automatic pH controller is provided with a pH sensor 25 together with a controller which controls the pH value at a prescribed level based on the pH value measured by the sensor 25 and with dropping of a pH control solution, a robot hand which moves the sensor 25, a pH correction liquid tank, a sensor washing tank, and the porous urethane 26 which drains the tip of the sensor 25.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は染色装置やエッチング装
置の薬液槽のpHコントロール装置に関するものであ
る。薬液のpHはデバイスの特性に大きな影響をおよぼ
すため、その高精度なコントロールが求められることが
多い。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pH control device for a chemical tank of a dyeing device or an etching device. Since the pH of the chemical solution has a great influence on the characteristics of the device, highly accurate control of the pH is often required.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のpHコントローラはpHセンサを
薬液に長時間浸漬して自動運転を行うとpHセンサの特
性値が変化し正確なpH測定ができないため、精度の低
いpHコントロールしかできていなかった。また、高精
度なコントロールを長時間行うためにはpHセンサの校
正を頻繁に行う必要があり自動化が困難であるのが現状
である。
2. Description of the Related Art In a conventional pH controller, when a pH sensor is immersed in a chemical solution for a long time and automatically operated, the characteristic value of the pH sensor changes and accurate pH measurement cannot be performed. It was In addition, in order to perform highly accurate control for a long time, it is necessary to calibrate the pH sensor frequently, which makes automation difficult.

【0003】以下図面を参照しながら、上述した従来の
pHコントロール装置の1例について説明する。
An example of the above-mentioned conventional pH control device will be described below with reference to the drawings.

【0004】図3は従来のpHコントロール装置の正面
図を示すものである。図3において、1は染色装置、2
は染色槽、3は染色液、4は循環用配管、5は循環ポン
プ、6は装置開口部、7はpHセンサ、8はpH調整液
用ノズル、9はガラス電極用端子、10は比較電極用端
子、11は温度センサ用端子、12はpH調整液用配
管、13はpH調整液タンク、14はpH調整液、15
は表示パネル、16はpH検出およびコントローラ本
体、17はディスペンサである。
FIG. 3 is a front view of a conventional pH control device. In FIG. 3, 1 is a dyeing device, 2
Is a dyeing tank, 3 is a dyeing solution, 4 is a circulation pipe, 5 is a circulation pump, 6 is an apparatus opening, 7 is a pH sensor, 8 is a pH adjusting liquid nozzle, 9 is a glass electrode terminal, and 10 is a reference electrode. Terminal, 11 is a temperature sensor terminal, 12 is a pH adjusting liquid pipe, 13 is a pH adjusting liquid tank, 14 is a pH adjusting liquid, 15
Is a display panel, 16 is a pH detection and controller body, and 17 is a dispenser.

【0005】染色液のpHコントロールを行なう場合、
染色槽2内の染色液3を循環ポンプ5による循環を常時
行い、ガラス電極,比較電極,温度センサを内蔵したp
Hセンサを液中に浸漬し染色液のpHを測定する。その
測定値に対応してディスペンサ17により所定量のpH
調整液14が染色槽内にノズル8を通じて吐出される。
このとき染色槽内の染色液は所定温度に調整されてい
る。
When the pH of the dyeing solution is controlled,
The dyeing solution 3 in the dyeing tank 2 is constantly circulated by a circulation pump 5, and a glass electrode, a reference electrode, and a temperature sensor are built in.
The H sensor is immersed in the liquid and the pH of the dyeing liquid is measured. A predetermined amount of pH is measured by the dispenser 17 according to the measured value.
The adjustment liquid 14 is discharged into the dyeing tank through the nozzle 8.
At this time, the dyeing liquid in the dyeing tank is adjusted to a predetermined temperature.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成のpHコントローラにより長時間にわたって高
精度(±0.01pH)で染色液のコントロールを行う
場合、1日数回のpH標準液による校正が必要となる。
この校正を含めた自動化を行う際には、pHセンサの水
洗,乾燥を低コストで的確に行う必要がある。
However, when the staining solution is controlled with high accuracy (± 0.01 pH) for a long time by the pH controller having the above-mentioned configuration, it is necessary to calibrate the pH standard solution several times a day. Becomes
When carrying out automation including this calibration, it is necessary to wash the pH sensor with water and dry it accurately at low cost.

【0007】本発明は上記課題に鑑み、低コストで的確
にpHセンサの水洗,乾燥(水切り)が可能となり、低
ランニングコストで高精度の染色液pHコントロールが
可能な自動pHコントロール装置を提供するものであ
る。
In view of the above problems, the present invention provides an automatic pH control device capable of accurately washing and drying (draining) a pH sensor at low cost and capable of highly accurate pH control of a dyeing solution at low running cost. It is a thing.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、pHセンサと測定したpH値を基にpH調
整液を適下して所定のpH値に調整するコントローラと
pHセンサの移動を行うロボットハンドとpH校正液タ
ンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための多
孔質ウレタンにより、pHコントロール装置を構成する
ものである。
In order to solve the above problems, the present invention provides a pH sensor and a controller for appropriately adjusting a pH adjusting liquid to a predetermined pH value based on a measured pH value. A pH control device is constituted by a moving robot hand, a pH calibration liquid tank, a sensor cleaning tank, and porous urethane for draining water from the tip of the sensor.

【0009】[0009]

【作用】本発明は上記した構成によって、pHセンサの
特性値が所定の管理範囲外にシフトする前にpHセンサ
をロポットハンドにより染色液から取り出し、pH6.
86の標準液およびpH4.01の標準液による校正を
行なう。その際に各種の液からセンサを取り出した直後
に、各液間相互の汚染が無いようにする必要があるが、
その洗浄および乾燥の手段として、洗浄槽への浸漬、揺
動による洗浄と多孔質ウレタンとの接触によるpHセン
サのガラス電極(半球状)下端に形成される水滴の水切
り乾燥を行うことにより、プロセスの自動化,低コスト
化,タクトアップを図ることができる。
According to the present invention, with the above-described structure, the pH sensor is taken out of the dyeing solution by the Lopot hand before the characteristic value of the pH sensor shifts out of the predetermined control range, and the pH value of pH6.
Calibrate with 86 standards and pH 4.01 standards. Immediately after taking out the sensor from the various liquids, it is necessary to prevent mutual contamination between the liquids.
As the means for cleaning and drying, the process is performed by dipping in a cleaning tank, cleaning by rocking, and draining and drying the water droplets formed on the lower end of the glass electrode (hemispherical) of the pH sensor by contact with the porous urethane. Automation, cost reduction, and tact improvement.

【0010】[0010]

【実施例】以下本発明の第1の実施例の自動pHコント
ロール装置について、図面を参照しながら説明する。第
1図は本発明の第1の実施例における、pHコントロー
ラの自動校正部の斜視図、第2図は洗浄後に静置した状
態のpHセンサ、第4図はpHコントローラ(センサ)
の校正時のフローチャート、第5図は本発明の第1の実
施例による自動pHコントロール装置の正面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An automatic pH control device according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an automatic calibration unit of a pH controller in the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a pH sensor in a state where it is left standing after cleaning, and FIG. 4 is a pH controller (sensor).
FIG. 5 is a front view of the automatic pH control device according to the first embodiment of the present invention.

【0011】第1図において、20は染色槽、21は染
色液、23はオーバーフロー槽、24はpHセンサ移動
用ロボット、25はpHセンサ、26はpH調整液注入
用ノズル、27,28は染色液循環用配管、29はpH
センサ用洗浄槽、29aは純水、31は純水供給用配
管、32は洗浄に使用した純水のドレイン、32はpH
標準液タンクA(pH6.86用)、33はタンクA用
開閉蓋、34はpH標準液タンクB(pH4.01
用)、35はタンクB用開閉蓋、36は洗浄後のpHセ
ンサの水切り用ウレタン、37は受け皿、38はドレイ
ンである。第5図において、20から38は第1図と同
様であり、40は測定したpH値に基づき制御信号を発
生させるpHコントローラ、41は制御信号に基づきp
H調整液を注入するディスペンサ、42はpH調整液タ
ンク、43はpH調整液、44はロボット用コントロー
ラである。
In FIG. 1, 20 is a dyeing tank, 21 is a dyeing solution, 23 is an overflow tank, 24 is a pH sensor moving robot, 25 is a pH sensor, 26 is a pH adjusting solution injection nozzle, and 27 and 28 are dyeing. Liquid circulation pipe, 29 is pH
Sensor cleaning tank, 29a is pure water, 31 is pure water supply pipe, 32 is pure water drain used for cleaning, 32 is pH
Standard solution tank A (for pH 6.86), 33 is an opening / closing lid for tank A, 34 is pH standard solution tank B (pH 4.01)
), 35 is an opening / closing lid for the tank B, 36 is urethane for draining the pH sensor after cleaning, 37 is a pan, and 38 is a drain. In FIG. 5, 20 to 38 are the same as those in FIG. 1, 40 is a pH controller that generates a control signal based on the measured pH value, and 41 is p based on the control signal.
A dispenser for injecting the H adjusting liquid, 42 a pH adjusting liquid tank, 43 a pH adjusting liquid, and 44 a robot controller.

【0012】次に自動pHコントロール装置の動作につ
いて、第1図,第2図および第5図を用いて説明する。
Next, the operation of the automatic pH controller will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 5.

【0013】被染色物(例えば、天然高分子など)は染
色液21が満たされた染色槽20に投入され、所定時間
浸漬の後、取り出されて次工程へ送られる。この染色工
程においては染色液のpHは被染色物の色特性に大きな
影響を及ぼすファクタとなっているため、pH管理を高
精度に、かつリアルタイムで行う必要がある。
An article to be dyed (for example, a natural polymer) is put into a dyeing tank 20 filled with a dyeing solution 21, dipped for a predetermined time, taken out, and sent to the next step. In this dyeing step, the pH of the dyeing solution is a factor that greatly affects the color characteristics of the dyed object, and therefore it is necessary to perform pH control with high accuracy and in real time.

【0014】通常はpHセンサ25により測定したpH
値が所定の管理範囲外である場合、pHコントローラ4
0により制御信号を発生させ、その信号に基づきディス
ペンサー41を駆動し、ノズル21からpH調整液43
が注入されて、pHの調整が行われる。
Usually, the pH measured by the pH sensor 25
If the value is outside the specified control range, pH controller 4
A control signal is generated by 0, the dispenser 41 is driven based on the signal, and the pH adjusting liquid 43 is discharged from the nozzle 21.
Is injected to adjust the pH.

【0015】このとき、pHセンサ25を染色液21に
常時浸漬を行うが、長期間の浸漬を行うと溶液によって
はその特性値が変動するため、定期的にpH標準液によ
って校正を行う。その手順は、pHセンサ25の浸漬開
始から所定時間経過後に移動用ロボット24によりpH
センサ25を染色槽20から引き上げ、洗浄槽29に浸
漬し付着した染色液21を洗浄する。その後、pHセン
サを引き上げて静置すると第2図に示すようにpHセン
サ25下端に水滴が形成される。その水滴を除去するた
めにpHセンサ25を移動させてその下端を多孔質ウレ
タン36に接触させる。次にpH標準液タンクA32の
蓋33を開きロボット25によりpHセンサ25をタン
ク内に保持されているpH標準液(pH6.86)に浸
漬し校正を行う。校正終了後はロボット24によりpH
標準液タンクA32からpHセンサ25を引き上げ、洗
浄槽29に浸漬し付着したpH標準液(pH6.86)
を洗浄し、多孔質ウレタン36に接触させて水滴を除去
する。
At this time, the pH sensor 25 is constantly dipped in the dyeing solution 21, but if it is dipped for a long period of time, its characteristic value changes depending on the solution, and therefore the pH standard solution is calibrated periodically. The procedure is such that the pH is set by the mobile robot 24 after a predetermined time has elapsed from the start of immersion of the pH sensor 25.
The sensor 25 is pulled up from the dyeing tank 20 and immersed in the washing tank 29 to wash the attached dyeing solution 21. After that, when the pH sensor is pulled up and left to stand, water droplets are formed at the lower end of the pH sensor 25 as shown in FIG. In order to remove the water droplets, the pH sensor 25 is moved so that its lower end is brought into contact with the porous urethane 36. Next, the lid 33 of the pH standard solution tank A32 is opened, and the robot 25 immerses the pH sensor 25 in the pH standard solution (pH 6.86) held in the tank for calibration. After the calibration is completed, pH is adjusted by the robot 24.
The pH standard solution (pH 6.86) attached to the cleaning tank 29 by pulling up the pH sensor 25 from the standard solution tank A 32
Is washed and brought into contact with the porous urethane 36 to remove water droplets.

【0016】次に同様にpH標準液タンクB34の蓋3
5を開きロボット25によりpHセンサ25をタンク内
に保持されているpH標準液(pH4.01)に浸漬し
校正を行う。
Next, similarly, the lid 3 of the pH standard solution tank B34 is used.
5 is opened, and the robot 25 immerses the pH sensor 25 in the pH standard solution (pH 4.01) held in the tank for calibration.

【0017】校正終了後はロボット24(a,b,cの
各方向に可動)によりpH標準液タンクB32からpH
センサ25を引き上げ、洗浄槽29に浸漬し付着したp
H標準液(pH4.01)を洗浄し、多孔質ウレタン3
6に接触させて水滴を除去する。
After the calibration, the robot 24 (movable in the directions a, b, and c) moves the pH from the pH standard solution tank B32.
The sensor 25 is pulled up, dipped in the cleaning tank 29 and adhered
H standard solution (pH 4.01) was washed and porous urethane 3
Contact 6 to remove water droplets.

【0018】最後にロボット24によりpHセンサ25
を染色液21に浸漬しpH測定を開始する。pH測定値
が管理範囲を越えるとコントローラ40より指令を出
し、ビューレット41を運転させ、ノズル26よりpH
調整液が吐出され一定のpH値を維持することができ
る。以上の工程は第4図のフローチャートにも示してい
る。
Finally, the pH sensor 25 by the robot 24
Is immersed in the dyeing solution 21 to start pH measurement. When the measured pH value exceeds the control range, a command is issued from the controller 40, the buret 41 is operated, and the pH is set from the nozzle 26.
The adjustment liquid is discharged and a constant pH value can be maintained. The above steps are also shown in the flowchart of FIG.

【0019】多孔質ウレタンの形状は直方体かあるいは
円柱とし、底面積に対して高さを十分に高くすることに
よりpHセンサに接触する上部の乾燥状態を良好にする
ことができる。また多孔質ウレタンは純水のみを除去す
ることになるため汚染の程度は低く長期間の使用に耐え
られるが洗浄の程度によっては汚染が進むことも考えら
れるため、確認が必要である。材料としては多孔質ウレ
タンの他にも、適当な多孔質材料を選定することができ
る。
The shape of the porous urethane is a rectangular parallelepiped or a cylinder, and the height of the porous urethane is made sufficiently high with respect to the area of the bottom, so that the dry state of the upper portion in contact with the pH sensor can be improved. In addition, since the porous urethane removes only pure water, the degree of contamination is low and it can withstand long-term use, but depending on the degree of cleaning, contamination may progress, so confirmation is necessary. As a material, besides porous urethane, an appropriate porous material can be selected.

【0020】本発明の自動pHコントロール装置は、上
記のような構成により、大がかりな乾燥用設備等が不要
であり、低コストで的確にpHセンサの水洗,乾燥(水
切り)が可能となり、低ランニングコストで高精度の染
色液pHコントロールを行うことができる。
The automatic pH control device of the present invention, which has the above-mentioned structure, does not require a large-scale drying facility, etc., and enables the pH sensor to be washed and dried (drained) accurately and at low cost, resulting in low running. It is possible to perform highly accurate pH control of the dyeing solution at a cost.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上のように本実施例によれば、pHセ
ンサと測定したpH値を基にpH調整液を適下して所定
のpH値に調整するコントローラとpHセンサの移動を
行うロボットハンドとpH校正液タンクとセンサの洗浄
槽とセンサ先端の水切りのための多孔質ウレタンにより
自動pHコントロール装置を構成することにより、低コ
ストで的確にpHセンサの水洗,乾燥(水切り)が可能
となり、低ランニングコストで高精度の染色液pHコン
トロールが可能となり、自動化も容易になる。また、p
Hセンサを定期的にクリーニングするため寿命も長くす
ることができ、ランニングコストを更に低減することが
できる。
As described above, according to the present embodiment, the robot for moving the pH sensor and the controller for appropriately adjusting the pH adjusting liquid to a predetermined pH value based on the measured pH value and the pH sensor. By configuring an automatic pH control device with a hand, a pH calibration liquid tank, a sensor cleaning tank, and porous urethane for draining the sensor tip, it is possible to accurately wash and dry (drain) the pH sensor at low cost. In addition, it is possible to control the pH of the dyeing solution with high accuracy at low running cost and facilitate automation. Also, p
Since the H sensor is regularly cleaned, the life can be extended and the running cost can be further reduced.

【0022】なお、本自動pHコントロール装置は染色
液のみでなく、pHの管理が必要とされる種々の溶液
(例えばエッチング液等)への適用が可能である。
The automatic pH control device can be applied not only to the dyeing solution but also to various solutions requiring pH control (eg, etching solution).

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of an automatic pH control device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置用pHセンサの正面図
FIG. 2 is a front view of a pH sensor for an automatic pH control device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】従来のpHコントローラの正面図FIG. 3 is a front view of a conventional pH controller.

【図4】本発明の第1の実施例による自動pH校正のフ
ローチャート
FIG. 4 is a flowchart of automatic pH calibration according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置の正面図
FIG. 5 is a front view of the automatic pH control device according to the first embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 染色槽 21 染色液 24 pHセンサ移動用ロボット 25 pHセンサ 26 pH調整液用ノズル 29 洗浄槽 32 pH標準液用タンク(pH6.86) 34 pH標準液用タンク(pH4.01) 36 多孔質ウレタン 37 受け皿 40 pHコントローラ 41 ビューレット 42 pH調整液用タンク 43 pH調整液 44 ロボット用コントローラ 20 Staining Tank 21 Staining Liquid 24 Robot for Moving pH Sensor 25 pH Sensor 26 Nozzle for pH Adjusting Liquid 29 Cleaning Tank 32 Tank for pH Standard Liquid (pH 6.86) 34 Tank for pH Standard Liquid (pH 4.01) 36 Porous Urethane 37 pan 40 pH controller 41 buret 42 pH adjusting liquid tank 43 pH adjusting liquid 44 robot controller

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 pHセンサと測定したpH値を基にpH
調整液を適下して所定のpH値に調整するコントローラ
とpHセンサの移動を行うロボットハンドとpH校正液
タンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための
多孔質ウレタンを有する自動pHコントロール装置。
1. A pH based on a pH value measured by a pH sensor.
A controller that adjusts the adjusted solution to a predetermined pH value, a robot hand that moves the pH sensor, a pH calibration solution tank, a sensor cleaning tank, and an automatic pH control that has porous urethane for draining the sensor tip. apparatus.
【請求項2】 請求項1に示す自動pHコントロール装
置を有する染色装置。
2. A dyeing device having the automatic pH control device according to claim 1.
【請求項3】 請求項1に示す自動pHコントロール装
置を有するウエットエッチング装置。
3. A wet etching apparatus having the automatic pH control device according to claim 1.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7700490B2 (en) 2006-01-31 2010-04-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor manufacturing method for removing residue generated by dry etching
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