JP3289290B2 - Automatic pH control device - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は染色装置やエッチング装
置の薬液槽のpHコントロール装置に関するものであ
る。薬液のpHはデバイスの特性に大きな影響をおよぼ
すため、その高精度なコントロールが求められることが
多い。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pH control device for a chemical tank of a dyeing apparatus or an etching apparatus. Since the pH of the chemical has a significant effect on the characteristics of the device, a highly precise control thereof is often required.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のpHコントローラはpHセンサを
薬液に長時間浸漬して自動運転を行うとpHセンサの特
性値が変化し正確なpH測定ができないため、精度の低
いpHコントロールしかできていなかった。また、高精
度なコントロールを長時間行うためにはpHセンサの校
正を頻繁に行う必要があり自動化が困難であるのが現状
である。2. Description of the Related Art In a conventional pH controller, when a pH sensor is immersed in a chemical solution for a long period of time and automatic operation is performed, the characteristic value of the pH sensor changes and accurate pH measurement cannot be performed. Was. Further, in order to perform high-precision control for a long time, it is necessary to frequently calibrate the pH sensor, and it is difficult to automate the pH sensor at present.
【0003】以下図面を参照しながら、上述した従来の
pHコントロール装置の1例について説明する。An example of the above-mentioned conventional pH control device will be described below with reference to the drawings.
【0004】図3は従来のpHコントロール装置の正面
図を示すものである。図3において、1は染色装置、2
は染色槽、3は染色液、4は循環用配管、5は循環ポン
プ、6は装置開口部、7はpHセンサ、8はpH調整液
用ノズル、9はガラス電極用端子、10は比較電極用端
子、11は温度センサ用端子、12はpH調整液用配
管、13はpH調整液タンク、14はpH調整液、15
は表示パネル、16はpH検出およびコントローラ本
体、17はディスペンサである。FIG. 3 is a front view of a conventional pH control device. In FIG. 3, 1 is a staining device, 2
Is a dyeing tank, 3 is a dyeing liquid, 4 is a circulation pipe, 5 is a circulation pump, 6 is a device opening, 7 is a pH sensor, 8 is a pH adjusting nozzle, 9 is a glass electrode terminal, and 10 is a reference electrode. Terminal, 11 is a temperature sensor terminal, 12 is a pH adjustment liquid pipe, 13 is a pH adjustment liquid tank, 14 is a pH adjustment liquid, 15
Is a display panel, 16 is a pH detection and controller main body, and 17 is a dispenser.
【0005】染色液のpHコントロールを行なう場合、
染色槽2内の染色液3を循環ポンプ5による循環を常時
行い、ガラス電極,比較電極,温度センサを内蔵したp
Hセンサを液中に浸漬し染色液のpHを測定する。その
測定値に対応してディスペンサ17により所定量のpH
調整液14が染色槽内にノズル8を通じて吐出される。
このとき染色槽内の染色液は所定温度に調整されてい
る。When controlling the pH of the staining solution,
The dyeing solution 3 in the dyeing tank 2 is constantly circulated by the circulation pump 5 and has a built-in glass electrode, a reference electrode, and a temperature sensor.
The H sensor is immersed in the solution and the pH of the staining solution is measured. A predetermined amount of pH is adjusted by the dispenser 17 in accordance with the measured value.
The adjustment liquid 14 is discharged through the nozzle 8 into the dyeing tank.
At this time, the dyeing solution in the dyeing tank is adjusted to a predetermined temperature.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成のpHコントローラにより長時間にわたって高
精度(±0.01pH)で染色液のコントロールを行う
場合、1日数回のpH標準液による校正が必要となる。
この校正を含めた自動化を行う際には、pHセンサの水
洗,乾燥を低コストで的確に行う必要がある。However, in the case of controlling the staining solution with high accuracy (± 0.01 pH) over a long period of time by using the pH controller having the above configuration, it is necessary to calibrate with a pH standard solution several times a day. Becomes
When performing automation including this calibration, it is necessary to accurately and accurately wash and dry the pH sensor at low cost.
【0007】本発明は上記課題に鑑み、低コストで的確
にpHセンサの水洗,乾燥(水切り)が可能となり、低
ランニングコストで高精度の染色液pHコントロールが
可能な自動pHコントロール装置を提供するものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides an automatic pH control device that enables accurate and low-cost washing and drying (draining) of a pH sensor and enables high-precision pH control of a staining solution at a low running cost. Things.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、pHセンサと測定したpH値を基にpH調
整液を適下して所定のpH値に調整するコントローラと
pHセンサの移動を行うロボットハンドとpH校正液タ
ンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための多
孔質ウレタンにより、pHコントロール装置を構成する
ものである。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a pH sensor and a controller which adjusts a pH adjusting solution to a predetermined pH value based on a measured pH value and a pH sensor. The pH control device is constituted by a robot hand that moves, a pH calibration liquid tank, a washing tank for the sensor, and porous urethane for draining the tip of the sensor.
【0009】[0009]
【作用】本発明は上記した構成によって、pHセンサの
特性値が所定の管理範囲外にシフトする前にpHセンサ
をロポットハンドにより染色液から取り出し、pH6.
86の標準液およびpH4.01の標準液による校正を
行なう。その際に各種の液からセンサを取り出した直後
に、各液間相互の汚染が無いようにする必要があるが、
その洗浄および乾燥の手段として、洗浄槽への浸漬、揺
動による洗浄と多孔質ウレタンとの接触によるpHセン
サのガラス電極(半球状)下端に形成される水滴の水切
り乾燥を行うことにより、プロセスの自動化,低コスト
化,タクトアップを図ることができる。According to the present invention, before the characteristic value of the pH sensor shifts out of the predetermined control range, the pH sensor is taken out of the staining solution by the robot hand before the pH value of pH 6.
Calibration is performed using the 86 standard solution and the pH 4.01 standard solution. At that time, immediately after taking out the sensor from various liquids, it is necessary to prevent mutual contamination between the liquids.
As a means of washing and drying, the process is carried out by immersing in a washing tank, washing by shaking, and draining and drying water droplets formed at the lower end of the glass electrode (hemisphere) of the pH sensor by contact with porous urethane. Automation, cost reduction, and tact-up.
【0010】[0010]
【実施例】以下本発明の第1の実施例の自動pHコント
ロール装置について、図面を参照しながら説明する。第
1図は本発明の第1の実施例における、pHコントロー
ラの自動校正部の斜視図、第2図は洗浄後に静置した状
態のpHセンサ、第4図はpHコントローラ(センサ)
の校正時のフローチャート、第5図は本発明の第1の実
施例による自動pHコントロール装置の正面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an automatic pH control device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an automatic calibration unit of a pH controller according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a pH sensor in a state where it is left standing after cleaning, and FIG. 4 is a pH controller (sensor).
FIG. 5 is a front view of the automatic pH control device according to the first embodiment of the present invention.
【0011】第1図において、20は染色槽、21は染
色液、23はオーバーフロー槽、24はpHセンサ移動
用ロボット、25はpHセンサ、26はpH調整液注入
用ノズル、27,28は染色液循環用配管、29はpH
センサ用洗浄槽、29aは純水、31は純水供給用配
管、32は洗浄に使用した純水のドレイン、32はpH
標準液タンクA(pH6.86用)、33はタンクA用
開閉蓋、34はpH標準液タンクB(pH4.01
用)、35はタンクB用開閉蓋、36は洗浄後のpHセ
ンサの水切り用ウレタン、37は受け皿、38はドレイ
ンである。第5図において、20から38は第1図と同
様であり、40は測定したpH値に基づき制御信号を発
生させるpHコントローラ、41は制御信号に基づきp
H調整液を注入するディスペンサ、42はpH調整液タ
ンク、43はpH調整液、44はロボット用コントロー
ラである。In FIG. 1, 20 is a dyeing tank, 21 is a dyeing solution, 23 is an overflow tank, 24 is a robot for moving a pH sensor, 25 is a pH sensor, 26 is a nozzle for injecting a pH adjusting solution, and 27 and 28 are dyeing. Piping for liquid circulation, 29 is pH
Sensor cleaning tank, 29a is pure water, 31 is pure water supply pipe, 32 is pure water drain used for cleaning, 32 is pH
Standard solution tank A (for pH 6.86), 33 is an opening / closing lid for tank A, 34 is a pH standard solution tank B (pH 4.01
, 35 is an opening / closing lid for tank B, 36 is urethane for draining the pH sensor after washing, 37 is a tray, and 38 is a drain. In FIG. 5, 20 to 38 are the same as in FIG. 1, 40 is a pH controller that generates a control signal based on the measured pH value, and 41 is a p-value based on the control signal.
A dispenser for injecting the H adjustment liquid, 42 is a pH adjustment liquid tank, 43 is a pH adjustment liquid, and 44 is a robot controller.
【0012】次に自動pHコントロール装置の動作につ
いて、第1図,第2図および第5図を用いて説明する。Next, the operation of the automatic pH control device will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 5.
【0013】被染色物(例えば、天然高分子など)は染
色液21が満たされた染色槽20に投入され、所定時間
浸漬の後、取り出されて次工程へ送られる。この染色工
程においては染色液のpHは被染色物の色特性に大きな
影響を及ぼすファクタとなっているため、pH管理を高
精度に、かつリアルタイムで行う必要がある。An object to be dyed (for example, a natural polymer) is put into a dyeing tank 20 filled with a dyeing solution 21, immersed for a predetermined time, taken out, and sent to the next step. In this dyeing process, the pH of the dyeing solution is a factor that greatly affects the color characteristics of the material to be dyed, so it is necessary to control the pH with high accuracy and in real time.
【0014】通常はpHセンサ25により測定したpH
値が所定の管理範囲外である場合、pHコントローラ4
0により制御信号を発生させ、その信号に基づきディス
ペンサー41を駆動し、ノズル21からpH調整液43
が注入されて、pHの調整が行われる。Normally, the pH measured by the pH sensor 25
If the value is out of the predetermined control range, the pH controller 4
0, the control signal is generated, and the dispenser 41 is driven based on the control signal.
Is injected to adjust the pH.
【0015】このとき、pHセンサ25を染色液21に
常時浸漬を行うが、長期間の浸漬を行うと溶液によって
はその特性値が変動するため、定期的にpH標準液によ
って校正を行う。その手順は、pHセンサ25の浸漬開
始から所定時間経過後に移動用ロボット24によりpH
センサ25を染色槽20から引き上げ、洗浄槽29に浸
漬し付着した染色液21を洗浄する。その後、pHセン
サを引き上げて静置すると第2図に示すようにpHセン
サ25下端に水滴が形成される。その水滴を除去するた
めにpHセンサ25を移動させてその下端を多孔質ウレ
タン36に接触させる。次にpH標準液タンクA32の
蓋33を開きロボット25によりpHセンサ25をタン
ク内に保持されているpH標準液(pH6.86)に浸
漬し校正を行う。校正終了後はロボット24によりpH
標準液タンクA32からpHセンサ25を引き上げ、洗
浄槽29に浸漬し付着したpH標準液(pH6.86)
を洗浄し、多孔質ウレタン36に接触させて水滴を除去
する。At this time, the pH sensor 25 is constantly immersed in the staining solution 21. However, if the immersion is performed for a long time, the characteristic value varies depending on the solution. Therefore, the pH sensor 25 is periodically calibrated with the pH standard solution. The procedure is as follows: after a predetermined time has elapsed from the start of immersion of the pH sensor 25,
The sensor 25 is lifted up from the dyeing tank 20 and the dyeing liquid 21 immersed in the washing tank 29 and washed. Thereafter, when the pH sensor is pulled up and allowed to stand, water droplets are formed at the lower end of the pH sensor 25 as shown in FIG. The pH sensor 25 is moved to remove the water droplet, and the lower end thereof is brought into contact with the porous urethane 36. Next, the lid 33 of the pH standard solution tank A32 is opened, and the robot 25 immerses the pH sensor 25 in the pH standard solution (pH 6.86) held in the tank to perform calibration. After the calibration is completed, the pH is
The pH sensor 25 is pulled up from the standard solution tank A32, immersed in the washing tank 29 and adhered thereto (pH 6.86).
Is washed and brought into contact with the porous urethane 36 to remove water droplets.
【0016】次に同様にpH標準液タンクB34の蓋3
5を開きロボット25によりpHセンサ25をタンク内
に保持されているpH標準液(pH4.01)に浸漬し
校正を行う。Next, the lid 3 of the pH standard solution tank B34
5 is opened, and the robot 25 immerses the pH sensor 25 in a pH standard solution (pH 4.01) held in the tank to perform calibration.
【0017】校正終了後はロボット24(a,b,cの
各方向に可動)によりpH標準液タンクB32からpH
センサ25を引き上げ、洗浄槽29に浸漬し付着したp
H標準液(pH4.01)を洗浄し、多孔質ウレタン3
6に接触させて水滴を除去する。After the calibration is completed, the robot 24 (movable in each direction of a, b, c) moves the pH standard solution tank B32
The sensor 25 is lifted up, and the p
H standard solution (pH 4.01) is washed, and the porous urethane 3
6 to remove water droplets.
【0018】最後にロボット24によりpHセンサ25
を染色液21に浸漬しpH測定を開始する。pH測定値
が管理範囲を越えるとコントローラ40より指令を出
し、ビューレット41を運転させ、ノズル26よりpH
調整液が吐出され一定のpH値を維持することができ
る。以上の工程は第4図のフローチャートにも示してい
る。Finally, the robot 24 controls the pH sensor 25.
Is immersed in the staining solution 21 to start pH measurement. When the measured pH value exceeds the control range, a command is issued from the controller 40, the burette 41 is operated, and the pH is
The adjustment liquid is discharged and a constant pH value can be maintained. The above steps are also shown in the flowchart of FIG.
【0019】多孔質ウレタンの形状は直方体かあるいは
円柱とし、底面積に対して高さを十分に高くすることに
よりpHセンサに接触する上部の乾燥状態を良好にする
ことができる。また多孔質ウレタンは純水のみを除去す
ることになるため汚染の程度は低く長期間の使用に耐え
られるが洗浄の程度によっては汚染が進むことも考えら
れるため、確認が必要である。材料としては多孔質ウレ
タンの他にも、適当な多孔質材料を選定することができ
る。The shape of the porous urethane is a rectangular parallelepiped or a column, and by making the height sufficiently high with respect to the bottom area, the dry state of the upper part in contact with the pH sensor can be improved. Porous urethane removes only pure water, so the degree of contamination is low and can be used for a long period of time. However, it is conceivable that the degree of contamination may increase depending on the degree of cleaning. As the material, an appropriate porous material can be selected in addition to the porous urethane.
【0020】本発明の自動pHコントロール装置は、上
記のような構成により、大がかりな乾燥用設備等が不要
であり、低コストで的確にpHセンサの水洗,乾燥(水
切り)が可能となり、低ランニングコストで高精度の染
色液pHコントロールを行うことができる。The automatic pH control device of the present invention does not require a large-scale drying equipment or the like due to the above-described configuration, and enables the pH sensor to be accurately washed with water and dried (drained) at low cost, and low running. Highly accurate pH control of the staining solution can be performed at low cost.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上のように本実施例によれば、pHセ
ンサと測定したpH値を基にpH調整液を適下して所定
のpH値に調整するコントローラとpHセンサの移動を
行うロボットハンドとpH校正液タンクとセンサの洗浄
槽とセンサ先端の水切りのための多孔質ウレタンにより
自動pHコントロール装置を構成することにより、低コ
ストで的確にpHセンサの水洗,乾燥(水切り)が可能
となり、低ランニングコストで高精度の染色液pHコン
トロールが可能となり、自動化も容易になる。また、p
Hセンサを定期的にクリーニングするため寿命も長くす
ることができ、ランニングコストを更に低減することが
できる。As described above, according to the present embodiment, a controller for adjusting a pH adjusting solution to a predetermined pH value based on a pH sensor and a measured pH value and a robot for moving the pH sensor. By constructing an automatic pH controller with a hand, a pH calibration liquid tank, a washing tank for the sensor, and porous urethane for draining the tip of the sensor, low-cost and accurate washing and drying (draining) of the pH sensor become possible. In addition, the pH of the staining solution can be controlled with high accuracy at low running cost, and automation can be facilitated. Also, p
Since the H sensor is periodically cleaned, the service life can be extended, and the running cost can be further reduced.
【0022】なお、本自動pHコントロール装置は染色
液のみでなく、pHの管理が必要とされる種々の溶液
(例えばエッチング液等)への適用が可能である。It should be noted that the present automatic pH control apparatus can be applied not only to a staining solution but also to various solutions (for example, an etching solution, etc.) requiring pH control.
【図1】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of an automatic pH control device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置用pHセンサの正面図FIG. 2 is a front view of a pH sensor for an automatic pH control device according to a first embodiment of the present invention.
【図3】従来のpHコントローラの正面図FIG. 3 is a front view of a conventional pH controller.
【図4】本発明の第1の実施例による自動pH校正のフ
ローチャートFIG. 4 is a flowchart of an automatic pH calibration according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第1の実施例による自動pHコントロ
ール装置の正面図FIG. 5 is a front view of the automatic pH control device according to the first embodiment of the present invention.
20 染色槽 21 染色液 24 pHセンサ移動用ロボット 25 pHセンサ 26 pH調整液用ノズル 29 洗浄槽 32 pH標準液用タンク(pH6.86) 34 pH標準液用タンク(pH4.01) 36 多孔質ウレタン 37 受け皿 40 pHコントローラ 41 ビューレット 42 pH調整液用タンク 43 pH調整液 44 ロボット用コントローラ Reference Signs List 20 dyeing tank 21 dyeing solution 24 robot for moving pH sensor 25 pH sensor 26 nozzle for pH adjusting solution 29 washing tank 32 tank for pH standard solution (pH 6.86) 34 tank for pH standard solution (pH 4.01) 36 porous urethane 37 Receiving pan 40 pH controller 41 Buret 42 Tank for pH adjusting liquid 43 pH adjusting liquid 44 Robot controller
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−119787(JP,A) 特開 昭61−31959(JP,A) 特開 昭54−103093(JP,A) 実開 平4−99064(JP,U) 実開 昭59−41756(JP,U) 実開 昭59−168155(JP,U) 実開 昭53−32794(JP,U) 実開 昭52−116985(JP,U) 実開 昭51−3393(JP,U) 実開 昭50−991(JP,U) 実開 昭48−7093(JP,U) 特公 昭35−16835(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/26 361 G01N 27/38 301 G01N 27/416 G05D 21/00 Continuation of the front page (56) References JP-A-64-119787 (JP, A) JP-A-61-31959 (JP, A) JP-A-54-103093 (JP, A) JP-A-4-99064 (JP) , U) Fully open sho 59-41756 (JP, U) Really open sho 59-168155 (JP, U) Really open sho 53-32794 (JP, U) Really open sho 52-116985 (JP, U) Real open sho 51-3393 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 50-991 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 48-7903 (JP, U) Japanese Patent Publication No. 35-16835 (JP, B1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7, DB name) G01N 27/26 361 G01N 27/38 301 G01N 27/416 G05D 21/00
Claims (3)
調整液を適下して所定のpH値に調整するコントローラ
とpHセンサの移動を行うロボットハンドとpH校正液
タンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための
多孔質ウレタンを有する自動pHコントロール装置。1. A pH sensor based on a pH sensor and a measured pH value.
Automatic pH control with a controller that adjusts the adjustment liquid to a predetermined pH value, a robot hand that moves the pH sensor, a pH calibration liquid tank, a washing tank for the sensor, and porous urethane for draining the sensor tip apparatus.
置を有する染色装置。2. A staining device having the automatic pH control device according to claim 1.
置を有するウエットエッチング装置。3. A wet etching apparatus having the automatic pH control device according to claim 1.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP24883991A JP3289290B2 (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Automatic pH control device |
Applications Claiming Priority (1)
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JP24883991A JP3289290B2 (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Automatic pH control device |
Publications (2)
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JPH0588757A JPH0588757A (en) | 1993-04-09 |
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KR101897036B1 (en) * | 2017-08-07 | 2018-09-13 | 한국생산기술연구원 | DYEING APPARATUS FOR CONTROLLING Ph AUTOMATICALLY FOR SMART DYEING AND DYEING METHOD FOR CONTROLLING Ph AUTOMATICALLY USING THE SAME |
KR101995297B1 (en) * | 2018-05-04 | 2019-07-03 | 한국생산기술연구원 | Smart dyeing apparatus using material information and method for smart dyeing |
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