JP3289290B2 - 自動ｐＨコントロール装置 - Google Patents
自動ｐＨコントロール装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は染色装置やエッチング装
置の薬液槽のｐＨコントロール装置に関するものであ
る。薬液のｐＨはデバイスの特性に大きな影響をおよぼ
すため、その高精度なコントロールが求められることが
多い。
置の薬液槽のｐＨコントロール装置に関するものであ
る。薬液のｐＨはデバイスの特性に大きな影響をおよぼ
すため、その高精度なコントロールが求められることが
多い。
【０００２】
【従来の技術】従来のｐＨコントローラはｐＨセンサを
薬液に長時間浸漬して自動運転を行うとｐＨセンサの特
性値が変化し正確なｐＨ測定ができないため、精度の低
いｐＨコントロールしかできていなかった。また、高精
度なコントロールを長時間行うためにはｐＨセンサの校
正を頻繁に行う必要があり自動化が困難であるのが現状
である。
薬液に長時間浸漬して自動運転を行うとｐＨセンサの特
性値が変化し正確なｐＨ測定ができないため、精度の低
いｐＨコントロールしかできていなかった。また、高精
度なコントロールを長時間行うためにはｐＨセンサの校
正を頻繁に行う必要があり自動化が困難であるのが現状
である。
【０００３】以下図面を参照しながら、上述した従来の
ｐＨコントロール装置の１例について説明する。
ｐＨコントロール装置の１例について説明する。
【０００４】図３は従来のｐＨコントロール装置の正面
図を示すものである。図３において、１は染色装置、２
は染色槽、３は染色液、４は循環用配管、５は循環ポン
プ、６は装置開口部、７はｐＨセンサ、８はｐＨ調整液
用ノズル、９はガラス電極用端子、１０は比較電極用端
子、１１は温度センサ用端子、１２はｐＨ調整液用配
管、１３はｐＨ調整液タンク、１４はｐＨ調整液、１５
は表示パネル、１６はｐＨ検出およびコントローラ本
体、１７はディスペンサである。
図を示すものである。図３において、１は染色装置、２
は染色槽、３は染色液、４は循環用配管、５は循環ポン
プ、６は装置開口部、７はｐＨセンサ、８はｐＨ調整液
用ノズル、９はガラス電極用端子、１０は比較電極用端
子、１１は温度センサ用端子、１２はｐＨ調整液用配
管、１３はｐＨ調整液タンク、１４はｐＨ調整液、１５
は表示パネル、１６はｐＨ検出およびコントローラ本
体、１７はディスペンサである。
【０００５】染色液のｐＨコントロールを行なう場合、
染色槽２内の染色液３を循環ポンプ５による循環を常時
行い、ガラス電極，比較電極，温度センサを内蔵したｐ
Ｈセンサを液中に浸漬し染色液のｐＨを測定する。その
測定値に対応してディスペンサ１７により所定量のｐＨ
調整液１４が染色槽内にノズル８を通じて吐出される。
このとき染色槽内の染色液は所定温度に調整されてい
る。
染色槽２内の染色液３を循環ポンプ５による循環を常時
行い、ガラス電極，比較電極，温度センサを内蔵したｐ
Ｈセンサを液中に浸漬し染色液のｐＨを測定する。その
測定値に対応してディスペンサ１７により所定量のｐＨ
調整液１４が染色槽内にノズル８を通じて吐出される。
このとき染色槽内の染色液は所定温度に調整されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成のｐＨコントローラにより長時間にわたって高
精度（±０．０１ｐＨ）で染色液のコントロールを行う
場合、１日数回のｐＨ標準液による校正が必要となる。
この校正を含めた自動化を行う際には、ｐＨセンサの水
洗，乾燥を低コストで的確に行う必要がある。
うな構成のｐＨコントローラにより長時間にわたって高
精度（±０．０１ｐＨ）で染色液のコントロールを行う
場合、１日数回のｐＨ標準液による校正が必要となる。
この校正を含めた自動化を行う際には、ｐＨセンサの水
洗，乾燥を低コストで的確に行う必要がある。
【０００７】本発明は上記課題に鑑み、低コストで的確
にｐＨセンサの水洗，乾燥（水切り）が可能となり、低
ランニングコストで高精度の染色液ｐＨコントロールが
可能な自動ｐＨコントロール装置を提供するものであ
る。
にｐＨセンサの水洗，乾燥（水切り）が可能となり、低
ランニングコストで高精度の染色液ｐＨコントロールが
可能な自動ｐＨコントロール装置を提供するものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、ｐＨセンサと測定したｐＨ値を基にｐＨ調
整液を適下して所定のｐＨ値に調整するコントローラと
ｐＨセンサの移動を行うロボットハンドとｐＨ校正液タ
ンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための多
孔質ウレタンにより、ｐＨコントロール装置を構成する
ものである。
決するため、ｐＨセンサと測定したｐＨ値を基にｐＨ調
整液を適下して所定のｐＨ値に調整するコントローラと
ｐＨセンサの移動を行うロボットハンドとｐＨ校正液タ
ンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための多
孔質ウレタンにより、ｐＨコントロール装置を構成する
ものである。
【０００９】
【作用】本発明は上記した構成によって、ｐＨセンサの
特性値が所定の管理範囲外にシフトする前にｐＨセンサ
をロポットハンドにより染色液から取り出し、ｐＨ６．
８６の標準液およびｐＨ４．０１の標準液による校正を
行なう。その際に各種の液からセンサを取り出した直後
に、各液間相互の汚染が無いようにする必要があるが、
その洗浄および乾燥の手段として、洗浄槽への浸漬、揺
動による洗浄と多孔質ウレタンとの接触によるｐＨセン
サのガラス電極（半球状）下端に形成される水滴の水切
り乾燥を行うことにより、プロセスの自動化，低コスト
化，タクトアップを図ることができる。
特性値が所定の管理範囲外にシフトする前にｐＨセンサ
をロポットハンドにより染色液から取り出し、ｐＨ６．
８６の標準液およびｐＨ４．０１の標準液による校正を
行なう。その際に各種の液からセンサを取り出した直後
に、各液間相互の汚染が無いようにする必要があるが、
その洗浄および乾燥の手段として、洗浄槽への浸漬、揺
動による洗浄と多孔質ウレタンとの接触によるｐＨセン
サのガラス電極（半球状）下端に形成される水滴の水切
り乾燥を行うことにより、プロセスの自動化，低コスト
化，タクトアップを図ることができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の第１の実施例の自動ｐＨコント
ロール装置について、図面を参照しながら説明する。第
１図は本発明の第１の実施例における、ｐＨコントロー
ラの自動校正部の斜視図、第２図は洗浄後に静置した状
態のｐＨセンサ、第４図はｐＨコントローラ（センサ）
の校正時のフローチャート、第５図は本発明の第１の実
施例による自動ｐＨコントロール装置の正面図である。
ロール装置について、図面を参照しながら説明する。第
１図は本発明の第１の実施例における、ｐＨコントロー
ラの自動校正部の斜視図、第２図は洗浄後に静置した状
態のｐＨセンサ、第４図はｐＨコントローラ（センサ）
の校正時のフローチャート、第５図は本発明の第１の実
施例による自動ｐＨコントロール装置の正面図である。
【００１１】第１図において、２０は染色槽、２１は染
色液、２３はオーバーフロー槽、２４はｐＨセンサ移動
用ロボット、２５はｐＨセンサ、２６はｐＨ調整液注入
用ノズル、２７，２８は染色液循環用配管、２９はｐＨ
センサ用洗浄槽、２９ａは純水、３１は純水供給用配
管、３２は洗浄に使用した純水のドレイン、３２はｐＨ
標準液タンクＡ（ｐＨ６．８６用）、３３はタンクＡ用
開閉蓋、３４はｐＨ標準液タンクＢ（ｐＨ４．０１
用）、３５はタンクＢ用開閉蓋、３６は洗浄後のｐＨセ
ンサの水切り用ウレタン、３７は受け皿、３８はドレイ
ンである。第５図において、２０から３８は第１図と同
様であり、４０は測定したｐＨ値に基づき制御信号を発
生させるｐＨコントローラ、４１は制御信号に基づきｐ
Ｈ調整液を注入するディスペンサ、４２はｐＨ調整液タ
ンク、４３はｐＨ調整液、４４はロボット用コントロー
ラである。
色液、２３はオーバーフロー槽、２４はｐＨセンサ移動
用ロボット、２５はｐＨセンサ、２６はｐＨ調整液注入
用ノズル、２７，２８は染色液循環用配管、２９はｐＨ
センサ用洗浄槽、２９ａは純水、３１は純水供給用配
管、３２は洗浄に使用した純水のドレイン、３２はｐＨ
標準液タンクＡ（ｐＨ６．８６用）、３３はタンクＡ用
開閉蓋、３４はｐＨ標準液タンクＢ（ｐＨ４．０１
用）、３５はタンクＢ用開閉蓋、３６は洗浄後のｐＨセ
ンサの水切り用ウレタン、３７は受け皿、３８はドレイ
ンである。第５図において、２０から３８は第１図と同
様であり、４０は測定したｐＨ値に基づき制御信号を発
生させるｐＨコントローラ、４１は制御信号に基づきｐ
Ｈ調整液を注入するディスペンサ、４２はｐＨ調整液タ
ンク、４３はｐＨ調整液、４４はロボット用コントロー
ラである。
【００１２】次に自動ｐＨコントロール装置の動作につ
いて、第１図，第２図および第５図を用いて説明する。
いて、第１図，第２図および第５図を用いて説明する。
【００１３】被染色物（例えば、天然高分子など）は染
色液２１が満たされた染色槽２０に投入され、所定時間
浸漬の後、取り出されて次工程へ送られる。この染色工
程においては染色液のｐＨは被染色物の色特性に大きな
影響を及ぼすファクタとなっているため、ｐＨ管理を高
精度に、かつリアルタイムで行う必要がある。
色液２１が満たされた染色槽２０に投入され、所定時間
浸漬の後、取り出されて次工程へ送られる。この染色工
程においては染色液のｐＨは被染色物の色特性に大きな
影響を及ぼすファクタとなっているため、ｐＨ管理を高
精度に、かつリアルタイムで行う必要がある。
【００１４】通常はｐＨセンサ２５により測定したｐＨ
値が所定の管理範囲外である場合、ｐＨコントローラ４
０により制御信号を発生させ、その信号に基づきディス
ペンサー４１を駆動し、ノズル２１からｐＨ調整液４３
が注入されて、ｐＨの調整が行われる。
値が所定の管理範囲外である場合、ｐＨコントローラ４
０により制御信号を発生させ、その信号に基づきディス
ペンサー４１を駆動し、ノズル２１からｐＨ調整液４３
が注入されて、ｐＨの調整が行われる。
【００１５】このとき、ｐＨセンサ２５を染色液２１に
常時浸漬を行うが、長期間の浸漬を行うと溶液によって
はその特性値が変動するため、定期的にｐＨ標準液によ
って校正を行う。その手順は、ｐＨセンサ２５の浸漬開
始から所定時間経過後に移動用ロボット２４によりｐＨ
センサ２５を染色槽２０から引き上げ、洗浄槽２９に浸
漬し付着した染色液２１を洗浄する。その後、ｐＨセン
サを引き上げて静置すると第２図に示すようにｐＨセン
サ２５下端に水滴が形成される。その水滴を除去するた
めにｐＨセンサ２５を移動させてその下端を多孔質ウレ
タン３６に接触させる。次にｐＨ標準液タンクＡ３２の
蓋３３を開きロボット２５によりｐＨセンサ２５をタン
ク内に保持されているｐＨ標準液（ｐＨ６．８６）に浸
漬し校正を行う。校正終了後はロボット２４によりｐＨ
標準液タンクＡ３２からｐＨセンサ２５を引き上げ、洗
浄槽２９に浸漬し付着したｐＨ標準液（ｐＨ６．８６）
を洗浄し、多孔質ウレタン３６に接触させて水滴を除去
する。
常時浸漬を行うが、長期間の浸漬を行うと溶液によって
はその特性値が変動するため、定期的にｐＨ標準液によ
って校正を行う。その手順は、ｐＨセンサ２５の浸漬開
始から所定時間経過後に移動用ロボット２４によりｐＨ
センサ２５を染色槽２０から引き上げ、洗浄槽２９に浸
漬し付着した染色液２１を洗浄する。その後、ｐＨセン
サを引き上げて静置すると第２図に示すようにｐＨセン
サ２５下端に水滴が形成される。その水滴を除去するた
めにｐＨセンサ２５を移動させてその下端を多孔質ウレ
タン３６に接触させる。次にｐＨ標準液タンクＡ３２の
蓋３３を開きロボット２５によりｐＨセンサ２５をタン
ク内に保持されているｐＨ標準液（ｐＨ６．８６）に浸
漬し校正を行う。校正終了後はロボット２４によりｐＨ
標準液タンクＡ３２からｐＨセンサ２５を引き上げ、洗
浄槽２９に浸漬し付着したｐＨ標準液（ｐＨ６．８６）
を洗浄し、多孔質ウレタン３６に接触させて水滴を除去
する。
【００１６】次に同様にｐＨ標準液タンクＢ３４の蓋３
５を開きロボット２５によりｐＨセンサ２５をタンク内
に保持されているｐＨ標準液（ｐＨ４．０１）に浸漬し
校正を行う。
５を開きロボット２５によりｐＨセンサ２５をタンク内
に保持されているｐＨ標準液（ｐＨ４．０１）に浸漬し
校正を行う。
【００１７】校正終了後はロボット２４（ａ，ｂ，ｃの
各方向に可動）によりｐＨ標準液タンクＢ３２からｐＨ
センサ２５を引き上げ、洗浄槽２９に浸漬し付着したｐ
Ｈ標準液（ｐＨ４．０１）を洗浄し、多孔質ウレタン３
６に接触させて水滴を除去する。
各方向に可動）によりｐＨ標準液タンクＢ３２からｐＨ
センサ２５を引き上げ、洗浄槽２９に浸漬し付着したｐ
Ｈ標準液（ｐＨ４．０１）を洗浄し、多孔質ウレタン３
６に接触させて水滴を除去する。
【００１８】最後にロボット２４によりｐＨセンサ２５
を染色液２１に浸漬しｐＨ測定を開始する。ｐＨ測定値
が管理範囲を越えるとコントローラ４０より指令を出
し、ビューレット４１を運転させ、ノズル２６よりｐＨ
調整液が吐出され一定のｐＨ値を維持することができ
る。以上の工程は第４図のフローチャートにも示してい
る。
を染色液２１に浸漬しｐＨ測定を開始する。ｐＨ測定値
が管理範囲を越えるとコントローラ４０より指令を出
し、ビューレット４１を運転させ、ノズル２６よりｐＨ
調整液が吐出され一定のｐＨ値を維持することができ
る。以上の工程は第４図のフローチャートにも示してい
る。
【００１９】多孔質ウレタンの形状は直方体かあるいは
円柱とし、底面積に対して高さを十分に高くすることに
よりｐＨセンサに接触する上部の乾燥状態を良好にする
ことができる。また多孔質ウレタンは純水のみを除去す
ることになるため汚染の程度は低く長期間の使用に耐え
られるが洗浄の程度によっては汚染が進むことも考えら
れるため、確認が必要である。材料としては多孔質ウレ
タンの他にも、適当な多孔質材料を選定することができ
る。
円柱とし、底面積に対して高さを十分に高くすることに
よりｐＨセンサに接触する上部の乾燥状態を良好にする
ことができる。また多孔質ウレタンは純水のみを除去す
ることになるため汚染の程度は低く長期間の使用に耐え
られるが洗浄の程度によっては汚染が進むことも考えら
れるため、確認が必要である。材料としては多孔質ウレ
タンの他にも、適当な多孔質材料を選定することができ
る。
【００２０】本発明の自動ｐＨコントロール装置は、上
記のような構成により、大がかりな乾燥用設備等が不要
であり、低コストで的確にｐＨセンサの水洗，乾燥（水
切り）が可能となり、低ランニングコストで高精度の染
色液ｐＨコントロールを行うことができる。
記のような構成により、大がかりな乾燥用設備等が不要
であり、低コストで的確にｐＨセンサの水洗，乾燥（水
切り）が可能となり、低ランニングコストで高精度の染
色液ｐＨコントロールを行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本実施例によれば、ｐＨセ
ンサと測定したｐＨ値を基にｐＨ調整液を適下して所定
のｐＨ値に調整するコントローラとｐＨセンサの移動を
行うロボットハンドとｐＨ校正液タンクとセンサの洗浄
槽とセンサ先端の水切りのための多孔質ウレタンにより
自動ｐＨコントロール装置を構成することにより、低コ
ストで的確にｐＨセンサの水洗，乾燥（水切り）が可能
となり、低ランニングコストで高精度の染色液ｐＨコン
トロールが可能となり、自動化も容易になる。また、ｐ
Ｈセンサを定期的にクリーニングするため寿命も長くす
ることができ、ランニングコストを更に低減することが
できる。
ンサと測定したｐＨ値を基にｐＨ調整液を適下して所定
のｐＨ値に調整するコントローラとｐＨセンサの移動を
行うロボットハンドとｐＨ校正液タンクとセンサの洗浄
槽とセンサ先端の水切りのための多孔質ウレタンにより
自動ｐＨコントロール装置を構成することにより、低コ
ストで的確にｐＨセンサの水洗，乾燥（水切り）が可能
となり、低ランニングコストで高精度の染色液ｐＨコン
トロールが可能となり、自動化も容易になる。また、ｐ
Ｈセンサを定期的にクリーニングするため寿命も長くす
ることができ、ランニングコストを更に低減することが
できる。
【００２２】なお、本自動ｐＨコントロール装置は染色
液のみでなく、ｐＨの管理が必要とされる種々の溶液
（例えばエッチング液等）への適用が可能である。
液のみでなく、ｐＨの管理が必要とされる種々の溶液
（例えばエッチング液等）への適用が可能である。
【図１】本発明の第１の実施例による自動ｐＨコントロ
ール装置の斜視図
ール装置の斜視図
【図２】本発明の第１の実施例による自動ｐＨコントロ
ール装置用ｐＨセンサの正面図
ール装置用ｐＨセンサの正面図
【図３】従来のｐＨコントローラの正面図
【図４】本発明の第１の実施例による自動ｐＨ校正のフ
ローチャート
ローチャート
【図５】本発明の第１の実施例による自動ｐＨコントロ
ール装置の正面図
ール装置の正面図
２０ 染色槽 ２１ 染色液 ２４ ｐＨセンサ移動用ロボット ２５ ｐＨセンサ ２６ ｐＨ調整液用ノズル ２９ 洗浄槽 ３２ ｐＨ標準液用タンク（ｐＨ６．８６） ３４ ｐＨ標準液用タンク（ｐＨ４．０１） ３６ 多孔質ウレタン ３７ 受け皿 ４０ ｐＨコントローラ ４１ ビューレット ４２ ｐＨ調整液用タンク ４３ ｐＨ調整液 ４４ ロボット用コントローラ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−119787（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−31959（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−103093（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−99064（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−41756（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−168155（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−32794（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−116985（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−3393（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−991（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭48−7093（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭35−16835（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/26 361 G01N 27/38 301 G01N 27/416 G05D 21/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ｐＨセンサと測定したｐＨ値を基にｐＨ
調整液を適下して所定のｐＨ値に調整するコントローラ
とｐＨセンサの移動を行うロボットハンドとｐＨ校正液
タンクとセンサの洗浄槽とセンサ先端の水切りのための
多孔質ウレタンを有する自動ｐＨコントロール装置。 - 【請求項２】 請求項１に示す自動ｐＨコントロール装
置を有する染色装置。 - 【請求項３】 請求項１に示す自動ｐＨコントロール装
置を有するウエットエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24883991A JP3289290B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 自動ｐＨコントロール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24883991A JP3289290B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 自動ｐＨコントロール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588757A JPH0588757A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3289290B2 true JP3289290B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=17184187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24883991A Expired - Fee Related JP3289290B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 自動ｐＨコントロール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3289290B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207930A (ja) | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Toshiba Corp | 残渣処理システム、残渣処理方法及び半導体装置の製造方法 |
| JP5639959B2 (ja) * | 2011-06-06 | 2014-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 前処理装置及びそれを用いた自動分析装置 |
| KR101897036B1 (ko) * | 2017-08-07 | 2018-09-13 | 한국생산기술연구원 | 스마트 염색을 위한 pH 자동 조절 염색 장치와 이를 이용한 pH 자동 조절 염색 방법 |
| KR101995297B1 (ko) * | 2018-05-04 | 2019-07-03 | 한국생산기술연구원 | 염색정보를 이용한 스마트 염색장치 및 이를 이용한 스마트 염색방법 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24883991A patent/JP3289290B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH0588757A (ja) | 1993-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |