JPH0588119A - 紫外線照射装置 - Google Patents

紫外線照射装置

Info

Publication number
JPH0588119A
JPH0588119A JP27824391A JP27824391A JPH0588119A JP H0588119 A JPH0588119 A JP H0588119A JP 27824391 A JP27824391 A JP 27824391A JP 27824391 A JP27824391 A JP 27824391A JP H0588119 A JPH0588119 A JP H0588119A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical axis
ultraviolet
ultraviolet rays
ultraviolet ray
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27824391A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Kousaka
宇生 幸坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Lighting and Technology Corp filed Critical Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority to JP27824391A priority Critical patent/JPH0588119A/ja
Publication of JPH0588119A publication Critical patent/JPH0588119A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、光ファイバの受光端面で完全な光
軸調整が出来る紫外線照射装置を提供する。 【構成】 本発明の紫外線照射装置1は、反射板9で反
射された光から所定の光線を取り出す滅光フィルター4
7と、この滅光フィルター47によって少なくとも2本
以上取り出された光線の軌道が写し出される光軸確認板
49とからなる光軸調整装置51を具備したことを特徴
としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線を被照射体に照
射するための紫外線照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ショートアークランプなどの紫外線発生
光源から照射された紫外線を集光して被照射体に照射す
る紫外線照射装置が提案されている。この紫外線照射装
置は、紫外線発生光源と、この紫外線発生光源の周囲に
配置されて紫外線発生光源から発生した紫外線を集光す
る楕円反射板と、楕円反射板から反射された光が入射さ
れると共に光ファイバの受光端面に向けて反射する45
度に傾斜した反射板とで構成されている。光ファイバに
入射された紫外線は、光ファイバの照射端面から被照射
体に照射される。
【0003】また、紫外線照射装置は、紫外線発生光源
の位置を調整する位置調整装置が設けられており、反射
板によって反射された紫外線の焦点が光ファイバの受光
端面に位置するように調整できるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記渋滞の
紫外線照射装置によると、反射板毎に紫外線の光軸の誤
差が大きくなり、光ファイバの受光端面で完全な光軸調
整が出来ないという問題がある。
【0005】そこで本発明は、上記課題を除去し、光フ
ァイバの受光端面で完全な光軸調整が出来る紫外線照射
装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項1に記載の発明は、反射板で反射された光から所
定の光線を取り出す滅光フィルターと、この滅光フィル
ターによって少なくとも2本以上取り出された光線の軌
道が写し出される光軸確認板とからなる光軸調整装置を
具備したことを特徴としている。
【0007】請求項2に記載の発明は、請求項1の紫外
線照射装置において、光軸確認板に写し出された2本以
上の光軸が交わる焦点が、前記光ファイバの受光端面に
位置するように前記紫外線発生光源を移動させて、光軸
を調整する光軸位置調整装置を具備したことを特徴とし
ている。
【0008】
【作用】請求項1に記載の発明によれば、滅光フィルタ
ーによって取り出された2本の光線の交わる焦点が、光
ファイバの受光端面位置に位置しているか否かを光軸確
認板によって確認する。これにより、光ファイバの受光
端面に紫外線の焦点が位置するので、光軸がずれること
がない。
【0009】請求項2に記載の発明によれば、光ファイ
バの受光端面に紫外線の焦点が位置するように、光軸確
認板によって確認しながら、光軸位置調整装置によって
紫外線発生光源を移動させる。これにより、光ファイバ
の受光端面で完全な光軸調整が出来る。
【0010】
【実施例】次に本発明に係る紫外線照射装置の実施例に
ついて説明する。
【0011】図1には紫外線照射装置1が示されてい
る。同図において紫外線照射装置1は、筐体3内に配置
されて紫外線を発生する紫外線発生ランプ5と、この紫
外線発生ランプ5の周囲に配置された紫外線発生ランプ
5が発生した紫外線を集光する楕円反射板7と、楕円反
射板7によって集光された紫外線を光導入部に向けて反
射する反射板9と、筐体3の外部に設けられた光ファイ
バ11の導入部13と、反射板9によって反射された紫
外線の光軸を確認する光軸確認装置51と、紫外線ラン
プ5の位置を調整して光軸を調整する位置調整手段15
とで構成されている。
【0012】上記光軸確認装置51は、反射板9から反
射された光から所定の光線を取り出す滅光フィルター4
7及びこの滅光フィルター47によって少なくとも2本
以上取り出された光線の軌道が写し出される光軸確認板
49と、筐体3の外周の上面43、側面45に形成され
た確認窓53、55とで構成されている。
【0013】滅光フィルター47は、円板状で対向する
外周縁に矩形の切欠57、59が形成されている。これ
らの切欠57、59からのみ反射板9で反射した光が通
過し、図4に示すような2本の光軸が取り出され、光軸
確認板51にその軌道が写し出される。この光軸確認板
51は、上記確認窓53、55から確認することが出来
る。
【0014】上記位置調整手段15は、互いに直交する
3軸方向(X方向、Y方向、Z方向)に紫外線ランプ5
をそれぞれ移動させるX方向調整機構17と、Y方向調
整機構19と、Z方向調整機構21とからなっている。
【0015】上記X方向調整手段17は、紫外線発生ラ
ンプ5の上端部を支持するスライドテーブル23と、こ
のスライドテーブル23をX方向へ移動させるスライド
機構25とで構成され、スライド機構25は、ベース2
7の側部に固定されたL字状の支持板29と、この支持
板29にY方向に沿って形成された長孔29a内に移動
可能に支持されると共にスライドテーブルの側部に螺合
するねじ31とで構成されている。
【0016】ねじ31を回転させることにより、スライ
ドテーブル23との螺合量が変化してスライドテーブル
23がY方向調整機構、Z方向調整機構と共にX方向へ
移動する。
【0017】Y方向調整機構19は、スライドテーブル
23上に取り付けられた支持ブラケット33と、この支
持ブラケット33の側部(支持板29と略90度ずれた
位置)に支持された支持板35と、この支持板35に形
成された長孔35a内に移動可能に支持されると共にス
ライドテーブル23に側部に螺合するねじ37とで構成
されている。
【0018】ねじ37を回転させることにより、スライ
ドテーブル23との螺合寮が変化してスライドテーブル
23がX方向調整機構17、Z方向調整機構21と共に
Y方向へ移動する。
【0019】Z方向調整機構21は、紫外線発生ランプ
5の上端部を支持すると共に支持ブラケット33に螺合
する支持筒39と、この支持筒39の上端部に取り付け
られた支持筒より大径の調整つまみ41とで構成されて
いる。
【0020】調整つまみ41を回転させることにより支
持筒39が支持ブラケット33に対して上下動して紫外
線発生ランプ5をZ方向へ移動させる。
【0021】従って本実施例の位置調整手段15によれ
ば、X方向、Y方向、Z方向を一つ一つ調整することが
出来、確実に光軸を調整することが出来る。
【0022】紫外線発生ランプ55の光軸位置を確認す
るには、光軸確認装置51を反射板9の後方すなわち、
光ファイバ11の入射端位置に配置する。そして、滅光
フィルター47によって取り出された光線の軌道が写し
出された光軸確認板49を確認窓53、55から確認す
る。そして、例えば図4(a)に示すように確認ポイン
トPより後方に焦点が位置している場合には、図4
(b)に示すように、確認ポイントPに焦点が位置する
ように位置調整手段15を調整する。また、図4(c)
に示すように、焦点が確認ポイントPより前方に位置し
ている場合にも同様に確認ポイントPに焦点が位置する
ように位置調整手段15を調整する。
【0023】本実施例によれば、光ファイバの受光端面
で完全な光軸調整が出来る。
【0024】次に他の実施例について図5を用いて説明
する。図5に示すように、光ファイバの受光端面には光
軸確認装置57が配置されている。この光軸確認装置5
7は、滅光フィルター47と、スクリーン59とで構成
されている。
【0025】紫外線発生ランプ5の発生する紫外線の光
軸を調整するには、紫外線発生ランプ5が発生する紫外
線を反射した楕円反射板7の二次焦点部にスクリーン5
9が位置するように光軸確認装置57を配置し、スクリ
ーン59に写る像を確認する。この場合、紫外線発生ラ
ンプ5は、アークギャップがいっての幅と長さを持って
いるため、二次焦点部の像は点にならないが、本実施例
では滅光フィルター47を配置しているので、位置調整
手段15を調整して紫外線発生ランプ5を移動させるこ
とにより、二次焦点部のスクリーン59写る像を点にす
ることが出来る。
【0026】すなわち、図7に示す如く、滅光フィルタ
ー47によって取り出された光線が交わった焦点がスク
リーン上にある場合には、図7(b)に示す如く点にな
るが、図7(a)、図7(c)に示す如く、焦点がスク
リーンより前にある場合や、後にある場合は、点になら
ず広がりを持つ。
【0027】従って、二次焦点部のスクリーン59に写
る像が点になる位置に位置調整手段により調整すること
により、光軸を確認を容易に行うことが出来、光ファイ
バの受光端面で完全な光軸調整を行うことが出来る。
【0028】なお、スクリーン59に代えて紫外線遮断
ガラスを用いても同様の効果を得ることが出来る。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る紫外線
照射装置によれば、光ファイバの受光端面で完全な光軸
調整が容易に出来るという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る紫外線照射装置の実施例を示す一
部を破断した側面図である。
【図2】滅光フィルターを示す斜視図である。
【図3】焦点位置と確認ポイントを示す側面図である。
【図4】紫外線照射装置を示す斜視図である。
【図5】他の実施例の紫外線照射装置を示す側面図であ
る。
【符号の説明】
1 紫外線照射装置 5 紫外線発生ランプ 7 楕円反射板 9 反射板 15 位置調整手段 47 滅光フィルター 49 光軸確認板 51、57 光軸確認装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 紫外線を発生する紫外線発生光源と、こ
    の紫外線発生光源の周囲に配置されて紫外線発生光源が
    発生した紫外線を集光する楕円反射板と、該楕円反射板
    で反射した紫外線が入射されると共に筐体の外部の光フ
    ァイバの受光面に向けて反射する反射板とからなる紫外
    線照射装置において、前記反射板で反射された光から所
    定の光線を取り出す滅光フィルターと、この滅光フィル
    ターによって少なくとも2本以上取り出された光線の軌
    道が写し出される光軸確認板とからなる光軸調整装置を
    具備したことを特徴とする紫外線照射装置。
  2. 【請求項2】 前記光軸確認板に写し出された2本以上
    の光軸が交わる焦点が、前記光ファイバの受光端面に位
    置するように前記紫外線発生光源を移動させて、光軸を
    調整する光軸位置調整装置を具備したことを特徴とする
    請求項1記載の紫外線照射装置。
JP27824391A 1991-09-30 1991-09-30 紫外線照射装置 Pending JPH0588119A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27824391A JPH0588119A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 紫外線照射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27824391A JPH0588119A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 紫外線照射装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0588119A true JPH0588119A (ja) 1993-04-09

Family

ID=17594621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27824391A Pending JPH0588119A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 紫外線照射装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0588119A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2830492B2 (ja) 投影露光装置及び投影露光方法
US5222112A (en) X-ray pattern masking by a reflective reduction projection optical system
US4497013A (en) Illuminating apparatus
JP3485660B2 (ja) マイクロリソグラフィ用投影露光装置の照明手段
JPS60232552A (ja) 照明光学系
JPH0132649B2 (ja)
JPH01286478A (ja) ビーム均一化光学系おゆび製造法
JP3363835B2 (ja) 戻り光除去方法と装置
JP2926325B2 (ja) 走査露光方法
KR20080059558A (ko) 노광 장치
JPH0588119A (ja) 紫外線照射装置
KR100333566B1 (ko) 프로젝션-마이크로리소그래피-노광설비용조명장치
US7237914B2 (en) Light condenser
JP2001332473A5 (ja)
JP6845562B2 (ja) 照明システム
JP2830868B2 (ja) 投影露光装置及び走査露光方法
JP7415545B2 (ja) 偏光光照射装置および偏光光照射方法
JPH04369208A (ja) 投影露光装置
JPH0915601A (ja) 紫外光照射により物質表面を改質する方法及び紫外光照射装置
JPH0445417A (ja) 光線反射鏡
JPH08213193A (ja) レーザープラズマx線源
JPH0349213A (ja) 露光装置
JPH0323617Y2 (ja)
RU2027207C1 (ru) Устройство для экспонирования линейных шкал
JP3522448B2 (ja) ピント確認治具