JPH0587517A - ボイスコイル型ピツクアツプ - Google Patents

ボイスコイル型ピツクアツプ

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JPH0587517A
JPH0587517A JP7636492A JP7636492A JPH0587517A JP H0587517 A JPH0587517 A JP H0587517A JP 7636492 A JP7636492 A JP 7636492A JP 7636492 A JP7636492 A JP 7636492A JP H0587517 A JPH0587517 A JP H0587517A
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JP
Japan
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magnetic
pole
stylus
cup
magnetic body
Prior art date
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Pending
Application number
JP7636492A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Kawakami
耕一 川上
Yukiyoshi Okazaki
幸由 岡崎
Yuichi Sumida
雄一 隅田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 形状を大形化することなく磁気回路の磁束を
大きくでき、外部磁界の影響を受けず、かつ触針に横方
向の外力が加わっても速度振幅の検出特性が悪化するこ
とのないボイスコイル型ピックアップを提供することを
目的とする。 【構成】 内ポール22,永久磁石25,外ポール23
で磁気回路が構成され、該磁気回路をカップ状非磁性体
21及び磁気シールキャップ31で被覆して、外部磁界
の影響を遮断し、2枚の板バネ28,29でボビン26
を支持し、触針36の保持を安定にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は軸受軌道輪等の表面粗さ
や表面うねり(ウェービネス)の振動測定に用いるピッ
クアップに関する。
【0002】
【従来の技術】被測定物を一定回転数で回転させるとと
もに、被測定物に触針を接触させ、被測定物表面の凹凸
による触針の振動に基づいて被測定物の凹凸やうねりを
測定する装置は従来より知られている。このような測定
装置の一つとして、触針の振動を磁気回路中のコイルの
振動として電気信号に変換して検出するボイスコイル型
ピックアップが本出願人自身により提案されている(特
開平3−25302号公報)。
【0003】このボイスコイル型ピックアップにおいて
は、図4にその断面図を示すように、ヨーク3,永久磁
石5,内ポール6及び外ポール7により、図の矢印を付
した閉曲線の如く、磁気回路が形成され、一端に触針1
5が装着されたボビン8の上部に巻装されたコイル9が
該磁気回路中を振動することにより触針15の振動を検
出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この提案装置は、触針
15の変位速度振幅に比例した電気信号を取り出し、広
い周波数帯域に渡って平坦な特性を得ることのできる優
れた性能のピックアップであるが、より大きな出力信号
を得るために磁気回路の磁束を強めようとすると磁石5
を中心軸I,I方向(触針15の振動方向)に長くしな
ければならず、形状が大形化してしまい、また、ヨーク
3は透磁率が大きいため、外部磁界が変化すると磁気回
路がこの外部磁界により擾乱され、正確な速度振幅の検
出が困難になってしまい、さらに、弾性支持体12を図
4に示した実施例の如く1枚の板バネで構成した場合に
は、触針15に横方向(中心軸方向に対する垂直方向)
の外力が負荷されると、ボビン8の支持が不安定になっ
てしまい、速度振幅の検出特性が悪化してしまうという
欠点があった。
【0005】本発明は、従来のボイスコイル型ピックア
ップのこのような欠点を解消するためになされたもので
あり、形状を大形化することなく磁気回路の磁束を大き
くでき、外部磁界の影響を受けず、かつ触針に横方向の
外力が加わっても速度振幅の検出特性が悪化することの
ないボイスコイル型ピックアップを提供することを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のボイスコイル型
ピックアップは、被測定物の凹凸によって可動する触針
の速度振幅に応じた電気信号を取り出すボイスコイル型
ピックアップにおいて、閉塞端と開口部とを有するカッ
プ状非磁性体と、板状底部と突出部からなる断面T字状
であって該突出部が前記カップ状非磁性体の閉塞端の中
心位置にほぼ同芯となる様該カップ状非磁性体の前記閉
塞端内面に固着された内ポールと、前記カップ状非磁性
体の内周面に間挿され前記内ポールの突出部の外周面と
の間に間隙を形成する外ポールと、前記内ポールの板状
底部と前記外ポールとの間に挟持された永久磁石と、前
記外ポールと前記内ポールの突出部との間に形成された
間隙に挿入される部分にコイルが巻装されかつ先端に触
針を装着した可動検知手段と、前記可動検知手段を触針
の可動方向に弾性的に支持する弾性支持手段と、前記カ
ップ状非磁性体の少なくとも前記触針を除く開口部を覆
う磁気シールキャップとを設けたことを特徴とするもの
である。
【0007】また、本発明のボイスコイル型ピックアッ
プの前記弾性支持手段は、前記触針の可動方向に垂直な
平面を有し、該平面が互いに平行となるように設けられ
た複数の板バネであることを特徴とするものである。
【0008】さらに、本発明のボイスコイル型ピックア
ップは、少なくとも前記外ポールと前記内ポールの突出
部との間に形成された間隙の一部に磁性体を充填したこ
とを特徴とするものである。
【0009】
【作用】本発明のボイスコイル型ピックアップは、内ポ
ールの板状底部と外ポールとの間に永久磁石を挟持して
いるので、ピックアップの外部形状を大きくすることな
く形状の大きな(N極とS極の面積が大きい)永久磁石
を用いることができ、カップ状非磁性体の内部に磁気回
路を収納した上に、該カップ状非磁性体の少なくとも触
針を除く開口部を磁気シールキャップで覆っているの
で、磁気回路が外部磁界の影響を受けることがない。
【0010】また、弾性支持手段として複数の板バネを
触針の可動方向(中心軸方向)に対する垂直方向に平行
に設けているので、横方向の触針への外力の負荷に対し
て可動検知手段が安定に支持され、触針の速度振幅の検
出特性に悪影響を及ぼすことがない。
【0011】さらに、外ポールと内ポールの突出部との
間に形成された間隙の一部に磁性流体を充填しているの
で、可動検知手段のダンピング効果が得られ、速度振幅
の検出特性がより改善される。
【0012】
【実施例】以下本発明の実施例を添付図面に基づいて詳
述する。
【0013】図1は本発明に係る第1実施例のボイスコ
イル型振動ピックアップの断面図である。
【0014】同図において、閉塞端21aと開口部21
bとを有するカップ状非磁性体21の閉塞端21aの内
面に内ポール22の板状底部22aが固着され、該内ポ
ール22の板状底部22aの中心部に設けられた円筒形
の突出部22bがカップ状非磁性体21の閉塞端21a
の中心位置に同芯となるよう配設されている。カップ状
非磁性体21は銅製であるがアルミ材や300系列ステ
ンレス材,銀材等の透磁率の小さいものを用いてもよ
い。内ポール22はフェライトを用いているが、透磁率
の大きい素材であれば何を用いてもよい。
【0015】カップ状非磁性体21の開口部21bに近
接した内周面にはリング状の外ポール23が固着され、
該外ポール23のリング状内周面と内ポール22の円筒
状突出部22bの外周面との間に間隙24が形成され
る。また、内ポール22の板状底部22aと外ポール2
3との間にはリング状永久磁石25が挟持され、内ポー
ル22,永久磁石25,外ポール23により、図の矢印
を付けた閉曲線状に磁気回路が形成され、該磁気回路は
カップ状非磁性体21により磁気的に絶縁される。
【0016】内ポール22の突出部22bと外ポール2
3とで形成される間隙24に挿入される部分26aにコ
イル27が巻装され、かつ該コイル巻装部26aと反対
側の先端部26bにダイヤモンド製触針36がろう付け
された可動検知手段としてのボビン26が、触針36の
可動方向(中心軸I,I方向)に垂直な平面を有し該平
面が互いに平行となるように設けられた弾性支持手段と
しての2枚の板バネ28,29により、触針36の可動
方向に弾性的に支持されている。板バネ28,29の材
質としては、例えば燐青銅,ステンレス等が挙げられ、
板厚は20〜80μm程度である。
【0017】また、コイル27と外ポール23との間に
は、磁性流体30が充填され、ボビン26にダンピング
作用を与えている。
【0018】触針36をろう付けしたボビン26の先端
部26bを除き、該ボビン26を含め、カップ状非磁性
体21の外面及び開口部21bが、電磁軟鉄(JIS:
SUYB−0)から成る磁気シールキャップ31により
被覆されている。この磁気シールキャップ31は、フェ
ライト,軟鋼,マルテンサイト系ステンレス(400,
600系列)等の磁性体であれば何を用いて形成しても
よい。
【0019】板バネ28,29は、この磁気シールキャ
ップ31の内壁面に加締リング32で一端を緊定され、
他端はボビン26の側面に設けられた加締リング33,
34で緊定される。また、板バネ28の裏面には、間隙
24方向へのゴミの流入を防ぐシール材35が設けられ
ている。シール材35は、弾性ゴムにより形成される。
【0020】本第1実施例においては、触針36が被測
定物表面の凹凸に応じて振動すると、ボビン26のコイ
ル巻装部26aに巻装されたコイル27が、内ポール2
2,永久磁石25,外ポール23で形成される磁気回路
中で振動し、触針36の振動の速度振幅に応じた起電力
が該コイル27中に発生することにより触針36の振動
が検出される。この際前記磁気回路の磁束が大きければ
コイル27の振動に応じた起電力として大きな起電力が
得られ、それだけS/N比の良い測定が可能となる。本
第1実施例においては、リング状永久磁石25を内ポー
ル22の板状底部22aと外ポール23との間に挟持し
たので、ピックアップ全体の形状を大きくすることな
く、N極とS極の面積の大きな永久磁石25を用いて、
大きな磁束が得られる。また、カップ状非磁性体21に
電気伝導性の良い銅材を用いているので、外部からピッ
クアップに印加される磁界は、カップ状非磁性体21内
でうず電流として消費され、特に高周波磁界の影響から
ピックアップ内部の磁気回路を守ることができる。さら
に、磁性体の磁気シールキャップ31が、あらゆる周波
数の外部磁界の影響を阻止するとともに、ピックアップ
内部の磁気の外部への磁束漏れも防止できる。
【0021】本第1実施例では、平行に配設した2枚の
板バネ28,29によりボビン26を支持しているの
で、触針36の移動方向(中心軸I,I方向)への移動
が確実で、触針36の移動方向及び横方向の固有振動数
を10KHz以上の高い周波数帯域へ設定でき、磁性流体3
0のダンピング作用と相俟って、本実施例では上記固有
振動数を32KHzに設定できた。
【0022】図2は本発明に係る第2実施例のボイスコ
イル型ピックアップの断面図である。同図において図1
と同様な部分には同一符号を付し説明を省略する。
【0023】図2において、内ポール22、永久磁石2
5及び外ポール23の間に形成される空間41には、非
磁性充填剤42が充填されている。この非磁性充填剤4
2は、空間41内でボビン26のコイル巻装部26a及
びコイル27が支障なく可動方向に動作するために必要
な空間部分41aを除いた空間部分全てに隙間なく充填
されている。非磁性充填剤42の材料としては、例えば
プラスチック、セラミック、アルミニウム、シリコン等
が挙げられる。この非磁性充填剤42を空間41内に充
填する方法としては、例えば、予め空間41及び空間部
分41aの大きさに応じた形状に形成した充填剤を空間
41内に挿入し、内ポール22と永久磁石25と外ポー
ル23とに囲まれた部分のいずれかに固着する方法や、
シリコン等の充填剤を注射器等により空間41に注入す
る方法等が挙げられる。前記磁性流体30は、上記非磁
性充填剤42が空間41内に充填された後に、間隙24
に充填される。それにより、磁性流体30が充填時に空
間41内に流れ込むことが防止される。
【0024】本第2実施例では、上記第1実施例と同様
な効果が得られるが、更に、以下の効果が得られる。
【0025】本第2実施例では、上述したように、内ポ
ール、永久磁石25及び外ポール23の間の空間41に
非磁性充填剤42が充填された後に、磁性流体30が間
隙24に充填されるので、磁性流体30が空間41内に
流れ込み磁気回路が短絡することが防止される。
【0026】すなわち、空間41内に非磁性充填剤42
を充填せずに磁性流体30を間隙24に充填する場合に
は、磁性流体30が充填時に空間41内に流れ込み、そ
れにより磁気回路内で短絡が生じる可能性がある。ある
いは、ピックアップ使用時に、ボビン26の巻装部26
a及びコイル27の移動により、間隙24内の磁性流体
30が空間41内に流れ込み、磁気回路が短絡する可能
性もある。特に、近年は被測定物の小型化に伴いピック
アップの小型化が強く要請されているが、このような小
型化されたピックアップの場合には、磁性流体を必要な
間隙部分だけに充填することは困難であり、磁性流体が
充填時に上記空間内に流れ込み磁気回路の短絡を生じる
可能性が大きい。また、小型ピックアップの場合には上
記空間も小さいので、ピックアップ使用時に磁性流体が
この空間内に流れ込むと、磁気回路内で短絡を生じる可
能性が大きい。このような磁気回路の短絡が生じると、
ピックアップの出力感度特性が低下し、ピックアップの
出力感度にばらつきが生じることになる。しかし、本第
2実施例のように、磁性流体30の充填に先だって、非
磁性充填剤42を空間41内に充填することにより、磁
性流体30を間隙24に充填する際に磁性流体30が空
間41内に流れ込むことが防止され、磁気回路の短絡が
回避される。また、ピックアップ使用時に間隙24の磁
性流体30が空間41に流れ込むことがあっても、空間
41は上記空間部分41aを除いたほとんどの部分に非
磁性充填剤42が充填されているので、磁気回路内の短
絡の発生が防止される。その結果、小型でかつ出力感度
に優れたピックアップを得ることができる。
【0027】さらに、上記非磁性充填剤42は、ボビン
26のコイル巻装部26a及びコイル27が支障なく可
動方向に動作するために必要な空間部分41aを除いて
空間41内に充填されているので、ボビン26が動作を
妨げられることなく、ボビン26及び触針36が中心軸
I,I方向に支障なく移動することができる。
【0028】図3は、本発明の他の実施例のボイスコイ
ル型ピックアップの断面図である。同図において、図4
と同様な部分には同一符号を付し説明を省略する。
【0029】この実施例においては、内ポール6、永久
磁石5、ヨーク3及び外ポール7の間に形成される空間
51内に非磁性充填剤52が充填された後に、内ポール
6と外ポール7との間に形成された間隙44におけるコ
イル9と外ポール7との間に、磁性流体50が充填され
る。他の構成要素については図4に示した場合と同様な
ので、説明を省略する。
【0030】非磁性充填剤52は、空間51内でボビン
8のコイル巻装部8a及びコイル9が支障なく可動方向
に動作するために必要な空間部分51aを除いた空間部
分全てに隙間なく充填されている。非磁性充填剤52の
材料や充填方法については、図2に示した上記第2実施
例における非磁性充填剤42の場合と同様である。
【0031】測定時には、触針15が被測定物表面の凹
凸に応じて振動すると、ボビン8のコイル巻装部8aに
巻装されたコイル9が、内ポール6、外ポール7、ヨー
ク3、永久磁石5により形成される磁気回路中で振動
し、触針15の振動の速度振幅に応じた起電力がコイル
9中に発生することにより触針15の振動が検出され
る。
【0032】本第3実施例においても、上記第2実施例
と同様に、空間51に非磁性充填剤52が充填された後
に、磁性流体50が間隙44に充填されるので、磁性流
体50が充填時に空間51内に流れ込むことが防止さ
れ、磁気回路に短絡が生じることが回避される。さら
に、空間51のほとんどの部分に非磁性充填剤52が充
填されているので、ピックアップ使用時の磁性流体50
の空間51への流入による磁気回路の短絡も防止され
る。その結果、小型で、かつ出力感度に優れたピックア
ップを得ることができる。また、非磁性充填剤52は、
ボビン8のコイル巻装部8a及びコイル9が支障なく可
動方向に動作するために必要な空間部分51aを除いて
空間51内に充填されているので、ボビン8が動作を妨
げられることなく、ボビン8及び触針15が中心軸I,
I方向に支障なく移動することができる。
【0033】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、種々変形実施
が可能である。
【0034】
【発明の効果】本発明のボイスコイル型ピックアップは
以上の如く構成したので、小形で磁束が大きな磁気回路
を構成でき、外部磁界の磁気回路への影響及び内部の磁
束の外部への漏洩を防止でき、また、触針の安定した保
持により、広帯域で平坦な出力特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例のボイスコイル型ピックア
ップの断面図である。
【図2】本発明の第2実施例のボイスコイル型ピックア
ップの断面図である。
【図3】本発明の第3実施例のボイスコイル型ピックア
ップの断面図である。
【図4】従来例のボイスコイル型ピックアップの断面図
である。
【符号の説明】
21 カップ状非磁性体 22 内ポール 23 外ポール 25 永久磁石 26 ボビン(可動検知手段) 27 コイル 28,29 板バネ(弾性支持手段) 30 磁性流体 31 磁気シールキャップ 36 触針 42 非磁性充填剤

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物の凹凸によって可動する触針の
    速度振幅に応じた電気信号を取り出すボイスコイル型ピ
    ックアップにおいて、閉塞端と開口部とを有するカップ
    状非磁性体と、板状底部と突出部からなる断面T字状で
    あって該突出部が前記カップ状非磁性体の閉塞端の中心
    位置にほぼ同芯となる様該カップ状非磁性体の前記閉塞
    端内面に固着された内ポールと、前記カップ状非磁性体
    の内周面に間挿され前記内ポールの突出部の外周面との
    間に間隙を形成する外ポールと、前記内ポールの板状底
    部と前記外ポールとの間に挟持された永久磁石と、前記
    外ポールと前記内ポールの突出部との間に形成された間
    隙に挿入される部分にコイルが巻装されかつ先端に触針
    を装着した可動検知手段と、前記可動検知手段を触針の
    可動方向に弾性的に支持する弾性支持手段と、前記カッ
    プ状非磁性体の少なくとも前記触針を除く開口部を覆う
    磁気シールキャップとを設けたことを特徴とするボイス
    コイル型ピックアップ。
  2. 【請求項2】 前記弾性支持手段は、前記触針の可動方
    向に垂直な平面を有し、該平面が互いに平行となるよう
    に設けられた複数の板バネである請求項1記載のボイス
    コイル型ピックアップ。
  3. 【請求項3】 少なくとも前記外ポールと前記内ポール
    の突出部との間に形成された間隙の一部に磁性体を充填
    した請求項1記載のボイスコイル型ピックアップ。
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