JPH058263Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 「産業上の利用分野」 この考案は、例えば半導体製造装置等に使用さ
れる平板状のワークの送り装置に関する。

「従来の技術」 例えば半導体製造装置において、マガジン内に
収納されているリードフレームや半導体基板のよ
うな平板状のワークを１枚づつ押してこれを加工
ステージ上に移送する装置として、第４図に示す
ようなものがある。

図で１は半導体基板等の平板状の多数のワーク
W₁，W₂…を収納したマガジン、２は図示省略し
た駆動装置によつて前進、後退する送り棒であ
る。

作用を説明すると、図示省略した駆動装置によ
つて送り棒２が前進すると、送り棒２の先端部が
最上段のワークW₁の端面に当接し、ワークW₁を
マガジン１の向側（図の右上）へ押し出して行
く。

そして送り棒２が所定のストロークだけ前進し
て停止すると、ワークW₁も停止して図示省略し
たマガジン１の向側の加工ステージ上の定位置に
載置される。

次いで、送り棒２は図示省略した駆動装置によ
り元の位置に後退するとともに、マガジン１は図
示省略したマガジン載置台の上昇により図のｈだ
け上昇し、次のワークW₂の押し出しに備える。

「考案が解決しようとする問題点」 しかしながら、上記の装置においてワークW₁
が送り棒２に押されて前進している間、ワーク
W₁がなんら外力を受けることなくなめらかに滑
つて行く場合には問題はないが、例えばワーク
W₁が例えばマガジン１の溝１ａの側壁とか、他
の障害物にぶつかる等、予期しない事態によりそ
の動きが妨げられた場合には、無理な力が駆動機
構やワークW₁に加わつて機構の破損やモータの
焼付きあるいはワークW₁の破損等をひき起すお
それがある。

〔考案の構成〕

「問題点を解決するための手段」 この考案は上記した問題点を解決するためにな
されたもので、そのための手段は、送り棒への取
付部と、それに続く彎曲部と、それに続くスライ
ド部とを有する導電体の板ばねの前記取付部を送
り棒に固定し、板ばねの前記彎曲部の内側に、前
記板ばねと所定間隔を隔てて送り棒に対して電気
絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該接点棒を
一方の電極に接続し、前記板ばねを他方の電極に
接続したことを特徴とするものである。

「作用」 ワークが板ばねに押されて前進しているとき、
ワーク側から多少の反力が彎曲部に作用しても、
彎曲部は僅かに撓みはするがなおワークを押し続
ける。一方、ワーク側からの反力が所定値を超え
た場合には、彎曲部はかなり撓んで彎曲部の頂点
部付近が接点棒の先端に接触する。すると、一方
の電極→接点棒→板ばね→他方の電極へと電流が
流れる。この電流を信号として用いて、モータの
駆動を停止させたり、あるいはモータを逆転させ
て送り棒を後退させたりして事故を未然に防止す
る。

「実施例」 次に、本考案の一実施例を第１〜３図を参照し
て説明する。

図示省略した駆動装置の駆動により走行ビーム
１０の両端部に設けられたスライド部１２が案内
レール１４に沿つて前進又は後退すると、走行ビ
ーム１０に固定された２本の送り棒２もともに前
進又は後退するようになつている。送り棒２は導
電性材料で作られている。

導電力体からなる板ばね３は第２図に詳示する
ように、送り棒２への取付部４と、それに続く彎
曲部５とさらにそれに続くスライド部６とからな
つている。

送り棒２の先端部には座ぐり面１６が設けてあ
り、その座ぐり面に当接するように絶縁ブロツク
１８がボルト２０及び２２により送り棒２に固定
されている。

板ばね３の取付部４はボルト２４によつて直接
送り棒２に、またボルト２２によつて前記ブロツ
ク１８と共締め状態で送り棒２に取付けられてい
る。

板ばね３のスライド部６は絶縁ブロツク１８の
前端面１８ａに軽く接している。

２６は送り棒２に設けた空隙部、２８は空隙部
２６に続く長溝である。絶縁ブロツク１８に設け
た孔１９には導電体からなる接点棒３０が挿入、
固定されており、該接点棒３０の一端は板ばねの
彎曲部５の頂点部５ａ付近の内側に板ばね３と所
定の間隙を隔てて臨んでおり、他端は空隙部２６
内にあつて、被覆電線３２に接続している。被覆
電線３２は溝２８内を通つて、一方の電極に接続
している。

他方の電極に接続する被覆電線３４はボルト３
６により送り棒２に接続されている。

本実施例の場合、彎曲部５が撓んでその頂点部
５ａ付近の一点が接点棒３０の先端に接触する
と、一方の電極→被覆電線３２→接点棒３０→板
ばね３→送り棒２→被覆電線３４→他方の電極と
電流が流れる。

なお、所望により接点棒３０とを絶縁ブロツク
に対して前後に移動固定することにより板ばね３
と接点棒３０の先端との間隙を適宜変えて、送り
不良信号を発生すべき荷重値を変えることもでき
る。

〔考案の効果〕

以上述べたように、この考案によれば、その構
成を、取付部と、それに続く彎曲部と、それに続
くスライド部とを有する導電体の板ばねの前記取
付部を送り棒に固定し、前記板ばねの彎曲部の内
側に前記板ばねと所定の間隔を隔てて送り棒に対
して電気絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該
接点棒を一方の電極に接続し、前記板ばねを他方
の電極に接続することとしたため、板ばねに押さ
れて前進しているワークに所定値以下の外力が加
わつたとしても、板ばねは僅かに撓むだけでなお
ワークを押し続け、他方、外力が所定値以上にな
つた時に始めて該板ばねの彎曲部が接点棒の先端
に接触するまで撓み、その接触により直ちに送り
不良を検出することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例であるワーク送り
装置の平面図、第２図は第１図のＡ部の拡大平面
図、第３図は第２図の側断面図、第４図は従来の
ワーク送り装置の斜視図である。 １……マガジン、１ａ……溝、２……送り棒、
３……板ばね、４……取付部、５……彎曲部、５
ａ……頂点部、６……スライド部、１０……走行
ビーム、１２……スライド部、１４……案内レー
ル、１６……座ぐり面、１８……絶縁ブロツク、
１８ａ……前端面、１９……孔、２０，２２，２
４……ボルト、２６……空隙部、２８……長溝、
３０……接点棒、３２，３４……被覆電線、３６
……ボルト、W₁，W₂……ワーク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 取付部と、それに続く彎曲部と、それに続くス
   ライド部とを有する導電体の板ばねの前記取付部
   を送り棒に固定し、前記板ばねの彎曲部の内側に
   前記板ばねと所定間隔を隔てて送り棒に対して電
   気絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該接点棒
   を一方の電極に接続し、前記板ばねを他方の電極
   に接続したことを特徴とするワークの送り装置。