JPH058263Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH058263Y2 JPH058263Y2 JP1985132614U JP13261485U JPH058263Y2 JP H058263 Y2 JPH058263 Y2 JP H058263Y2 JP 1985132614 U JP1985132614 U JP 1985132614U JP 13261485 U JP13261485 U JP 13261485U JP H058263 Y2 JPH058263 Y2 JP H058263Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leaf spring
- rod
- contact
- feed rod
- mounting portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の目的〕
「産業上の利用分野」
この考案は、例えば半導体製造装置等に使用さ
れる平板状のワークの送り装置に関する。
れる平板状のワークの送り装置に関する。
「従来の技術」
例えば半導体製造装置において、マガジン内に
収納されているリードフレームや半導体基板のよ
うな平板状のワークを1枚づつ押してこれを加工
ステージ上に移送する装置として、第4図に示す
ようなものがある。
収納されているリードフレームや半導体基板のよ
うな平板状のワークを1枚づつ押してこれを加工
ステージ上に移送する装置として、第4図に示す
ようなものがある。
図で1は半導体基板等の平板状の多数のワーク
W1,W2…を収納したマガジン、2は図示省略し
た駆動装置によつて前進、後退する送り棒であ
る。
W1,W2…を収納したマガジン、2は図示省略し
た駆動装置によつて前進、後退する送り棒であ
る。
作用を説明すると、図示省略した駆動装置によ
つて送り棒2が前進すると、送り棒2の先端部が
最上段のワークW1の端面に当接し、ワークW1を
マガジン1の向側(図の右上)へ押し出して行
く。
つて送り棒2が前進すると、送り棒2の先端部が
最上段のワークW1の端面に当接し、ワークW1を
マガジン1の向側(図の右上)へ押し出して行
く。
そして送り棒2が所定のストロークだけ前進し
て停止すると、ワークW1も停止して図示省略し
たマガジン1の向側の加工ステージ上の定位置に
載置される。
て停止すると、ワークW1も停止して図示省略し
たマガジン1の向側の加工ステージ上の定位置に
載置される。
次いで、送り棒2は図示省略した駆動装置によ
り元の位置に後退するとともに、マガジン1は図
示省略したマガジン載置台の上昇により図のhだ
け上昇し、次のワークW2の押し出しに備える。
り元の位置に後退するとともに、マガジン1は図
示省略したマガジン載置台の上昇により図のhだ
け上昇し、次のワークW2の押し出しに備える。
「考案が解決しようとする問題点」
しかしながら、上記の装置においてワークW1
が送り棒2に押されて前進している間、ワーク
W1がなんら外力を受けることなくなめらかに滑
つて行く場合には問題はないが、例えばワーク
W1が例えばマガジン1の溝1aの側壁とか、他
の障害物にぶつかる等、予期しない事態によりそ
の動きが妨げられた場合には、無理な力が駆動機
構やワークW1に加わつて機構の破損やモータの
焼付きあるいはワークW1の破損等をひき起すお
それがある。
が送り棒2に押されて前進している間、ワーク
W1がなんら外力を受けることなくなめらかに滑
つて行く場合には問題はないが、例えばワーク
W1が例えばマガジン1の溝1aの側壁とか、他
の障害物にぶつかる等、予期しない事態によりそ
の動きが妨げられた場合には、無理な力が駆動機
構やワークW1に加わつて機構の破損やモータの
焼付きあるいはワークW1の破損等をひき起すお
それがある。
「問題点を解決するための手段」
この考案は上記した問題点を解決するためにな
されたもので、そのための手段は、送り棒への取
付部と、それに続く彎曲部と、それに続くスライ
ド部とを有する導電体の板ばねの前記取付部を送
り棒に固定し、板ばねの前記彎曲部の内側に、前
記板ばねと所定間隔を隔てて送り棒に対して電気
絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該接点棒を
一方の電極に接続し、前記板ばねを他方の電極に
接続したことを特徴とするものである。
されたもので、そのための手段は、送り棒への取
付部と、それに続く彎曲部と、それに続くスライ
ド部とを有する導電体の板ばねの前記取付部を送
り棒に固定し、板ばねの前記彎曲部の内側に、前
記板ばねと所定間隔を隔てて送り棒に対して電気
絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該接点棒を
一方の電極に接続し、前記板ばねを他方の電極に
接続したことを特徴とするものである。
「作用」
ワークが板ばねに押されて前進しているとき、
ワーク側から多少の反力が彎曲部に作用しても、
彎曲部は僅かに撓みはするがなおワークを押し続
ける。一方、ワーク側からの反力が所定値を超え
た場合には、彎曲部はかなり撓んで彎曲部の頂点
部付近が接点棒の先端に接触する。すると、一方
の電極→接点棒→板ばね→他方の電極へと電流が
流れる。この電流を信号として用いて、モータの
駆動を停止させたり、あるいはモータを逆転させ
て送り棒を後退させたりして事故を未然に防止す
る。
ワーク側から多少の反力が彎曲部に作用しても、
彎曲部は僅かに撓みはするがなおワークを押し続
ける。一方、ワーク側からの反力が所定値を超え
た場合には、彎曲部はかなり撓んで彎曲部の頂点
部付近が接点棒の先端に接触する。すると、一方
の電極→接点棒→板ばね→他方の電極へと電流が
流れる。この電流を信号として用いて、モータの
駆動を停止させたり、あるいはモータを逆転させ
て送り棒を後退させたりして事故を未然に防止す
る。
「実施例」
次に、本考案の一実施例を第1〜3図を参照し
て説明する。
て説明する。
図示省略した駆動装置の駆動により走行ビーム
10の両端部に設けられたスライド部12が案内
レール14に沿つて前進又は後退すると、走行ビ
ーム10に固定された2本の送り棒2もともに前
進又は後退するようになつている。送り棒2は導
電性材料で作られている。
10の両端部に設けられたスライド部12が案内
レール14に沿つて前進又は後退すると、走行ビ
ーム10に固定された2本の送り棒2もともに前
進又は後退するようになつている。送り棒2は導
電性材料で作られている。
導電力体からなる板ばね3は第2図に詳示する
ように、送り棒2への取付部4と、それに続く彎
曲部5とさらにそれに続くスライド部6とからな
つている。
ように、送り棒2への取付部4と、それに続く彎
曲部5とさらにそれに続くスライド部6とからな
つている。
送り棒2の先端部には座ぐり面16が設けてあ
り、その座ぐり面に当接するように絶縁ブロツク
18がボルト20及び22により送り棒2に固定
されている。
り、その座ぐり面に当接するように絶縁ブロツク
18がボルト20及び22により送り棒2に固定
されている。
板ばね3の取付部4はボルト24によつて直接
送り棒2に、またボルト22によつて前記ブロツ
ク18と共締め状態で送り棒2に取付けられてい
る。
送り棒2に、またボルト22によつて前記ブロツ
ク18と共締め状態で送り棒2に取付けられてい
る。
板ばね3のスライド部6は絶縁ブロツク18の
前端面18aに軽く接している。
前端面18aに軽く接している。
26は送り棒2に設けた空隙部、28は空隙部
26に続く長溝である。絶縁ブロツク18に設け
た孔19には導電体からなる接点棒30が挿入、
固定されており、該接点棒30の一端は板ばねの
彎曲部5の頂点部5a付近の内側に板ばね3と所
定の間隙を隔てて臨んでおり、他端は空隙部26
内にあつて、被覆電線32に接続している。被覆
電線32は溝28内を通つて、一方の電極に接続
している。
26に続く長溝である。絶縁ブロツク18に設け
た孔19には導電体からなる接点棒30が挿入、
固定されており、該接点棒30の一端は板ばねの
彎曲部5の頂点部5a付近の内側に板ばね3と所
定の間隙を隔てて臨んでおり、他端は空隙部26
内にあつて、被覆電線32に接続している。被覆
電線32は溝28内を通つて、一方の電極に接続
している。
他方の電極に接続する被覆電線34はボルト3
6により送り棒2に接続されている。
6により送り棒2に接続されている。
本実施例の場合、彎曲部5が撓んでその頂点部
5a付近の一点が接点棒30の先端に接触する
と、一方の電極→被覆電線32→接点棒30→板
ばね3→送り棒2→被覆電線34→他方の電極と
電流が流れる。
5a付近の一点が接点棒30の先端に接触する
と、一方の電極→被覆電線32→接点棒30→板
ばね3→送り棒2→被覆電線34→他方の電極と
電流が流れる。
なお、所望により接点棒30とを絶縁ブロツク
に対して前後に移動固定することにより板ばね3
と接点棒30の先端との間隙を適宜変えて、送り
不良信号を発生すべき荷重値を変えることもでき
る。
に対して前後に移動固定することにより板ばね3
と接点棒30の先端との間隙を適宜変えて、送り
不良信号を発生すべき荷重値を変えることもでき
る。
以上述べたように、この考案によれば、その構
成を、取付部と、それに続く彎曲部と、それに続
くスライド部とを有する導電体の板ばねの前記取
付部を送り棒に固定し、前記板ばねの彎曲部の内
側に前記板ばねと所定の間隔を隔てて送り棒に対
して電気絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該
接点棒を一方の電極に接続し、前記板ばねを他方
の電極に接続することとしたため、板ばねに押さ
れて前進しているワークに所定値以下の外力が加
わつたとしても、板ばねは僅かに撓むだけでなお
ワークを押し続け、他方、外力が所定値以上にな
つた時に始めて該板ばねの彎曲部が接点棒の先端
に接触するまで撓み、その接触により直ちに送り
不良を検出することができるという効果がある。
成を、取付部と、それに続く彎曲部と、それに続
くスライド部とを有する導電体の板ばねの前記取
付部を送り棒に固定し、前記板ばねの彎曲部の内
側に前記板ばねと所定の間隔を隔てて送り棒に対
して電気絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該
接点棒を一方の電極に接続し、前記板ばねを他方
の電極に接続することとしたため、板ばねに押さ
れて前進しているワークに所定値以下の外力が加
わつたとしても、板ばねは僅かに撓むだけでなお
ワークを押し続け、他方、外力が所定値以上にな
つた時に始めて該板ばねの彎曲部が接点棒の先端
に接触するまで撓み、その接触により直ちに送り
不良を検出することができるという効果がある。
第1図はこの考案の一実施例であるワーク送り
装置の平面図、第2図は第1図のA部の拡大平面
図、第3図は第2図の側断面図、第4図は従来の
ワーク送り装置の斜視図である。 1……マガジン、1a……溝、2……送り棒、
3……板ばね、4……取付部、5……彎曲部、5
a……頂点部、6……スライド部、10……走行
ビーム、12……スライド部、14……案内レー
ル、16……座ぐり面、18……絶縁ブロツク、
18a……前端面、19……孔、20,22,2
4……ボルト、26……空隙部、28……長溝、
30……接点棒、32,34……被覆電線、36
……ボルト、W1,W2……ワーク。
装置の平面図、第2図は第1図のA部の拡大平面
図、第3図は第2図の側断面図、第4図は従来の
ワーク送り装置の斜視図である。 1……マガジン、1a……溝、2……送り棒、
3……板ばね、4……取付部、5……彎曲部、5
a……頂点部、6……スライド部、10……走行
ビーム、12……スライド部、14……案内レー
ル、16……座ぐり面、18……絶縁ブロツク、
18a……前端面、19……孔、20,22,2
4……ボルト、26……空隙部、28……長溝、
30……接点棒、32,34……被覆電線、36
……ボルト、W1,W2……ワーク。
Claims (1)
- 取付部と、それに続く彎曲部と、それに続くス
ライド部とを有する導電体の板ばねの前記取付部
を送り棒に固定し、前記板ばねの彎曲部の内側に
前記板ばねと所定間隔を隔てて送り棒に対して電
気絶縁され固定された接点棒を臨ませ、該接点棒
を一方の電極に接続し、前記板ばねを他方の電極
に接続したことを特徴とするワークの送り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985132614U JPH058263Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985132614U JPH058263Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6241734U JPS6241734U (ja) | 1987-03-12 |
JPH058263Y2 true JPH058263Y2 (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=31032165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985132614U Expired - Lifetime JPH058263Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH058263Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0335271Y2 (ja) * | 1987-10-31 | 1991-07-25 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51111077A (en) * | 1975-03-26 | 1976-10-01 | Hitachi Ltd | Material transport equipment |
JPS606525A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-14 | Toshiba Corp | リ−ドフレ−ム搬送装置 |
JPS60167335A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-30 | Toshiba Corp | 基板供給装置 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985132614U patent/JPH058263Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51111077A (en) * | 1975-03-26 | 1976-10-01 | Hitachi Ltd | Material transport equipment |
JPS606525A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-14 | Toshiba Corp | リ−ドフレ−ム搬送装置 |
JPS60167335A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-30 | Toshiba Corp | 基板供給装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6241734U (ja) | 1987-03-12 |
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