JPH0582584A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH0582584A JPH0582584A JP3239098A JP23909891A JPH0582584A JP H0582584 A JPH0582584 A JP H0582584A JP 3239098 A JP3239098 A JP 3239098A JP 23909891 A JP23909891 A JP 23909891A JP H0582584 A JPH0582584 A JP H0582584A
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- JP
- Japan
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- semiconductor chip
- protective component
- cap
- semiconductor device
- tab
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
ド5を有する半導体チップ1を良熱伝導性の保護部品6
の凹部に収容して固定し、この半導体チップ1を多層基
板2に搭載して半導体チップのTABリード5と多層基
板2のパッドを接続した後、キャップ7または封止樹脂
によって半導体チップ1を密封する。 【効果】 TABリードの成形を行う必要がなく、また
半導体チップと多層基板との間に弾性部品を介在させる
必要がないため、信頼性を向上させ、しかも製造と管理
の工数を節減することができる。
Description
半導体チップを多層基板上に搭載して接続した半導体装
置に関し、特に、半導体チップの発熱量が大きい半導体
装置に関する。
面図である。
基板上に搭載して接続した従来の半導体装置は、図4に
示すように、テープオートメイテッドボンディング(T
AB)方式で接続するためのリード(TABリード)4
5を有する半導体チップ41と、内面に半導体チップ4
1を固着して保護するキャップ43と、半導体チップ4
1を搭載し上面にTABリード45を接続するための接
続パッド42aを有し、下面にマザーボード(図示省
略)とはんだ接続するためのバンプ42bを有する多層
基板42とを備えており、半導体チップ41と多層基板
42との間に弾性部品44を配設してキャップ43の周
辺部を多層基板42に固着して半導体チップ41を密封
する構成となっている。
の半導体装置は、キャップの周辺部が多層基板に密着
し、かつTABリードが変形しないようにするため、半
導体チップと多層基板との間に弾性部品を配設している
が、この弾性部品によって半導体チップの回路面が押圧
されるため、電子回路の接続不良が発生することがあ
る。このため、従来の半導体装置は、半導体チップのT
ABリードの高さとキャップの周辺部の深さを一定の誤
差の範囲内で製作しなければならないという問題点を有
している。また、TABリードを成形するための成形型
の維持と管理に大きな工数を必要とすという問題点もあ
る。
成形せずに所定の長さに切断したTABリードを有する
半導体チップと、前記半導体チップを収容する凹部を有
する良熱伝導性の保護部品と、前記半導体チップを搭載
し上面に前記TABリードを接続するためのパッドを有
し下面にマザーボードとはんだ接続するためのバンプを
有する多層基板とを備えており、前記半導体チップを収
容した前記保護部品と前記多層基板とを結合した後前記
半導体チップを密封するためのキャップとを設けるか、
または、封止樹脂によって前記半導体チップを密封する
ようにしたものである。
て説明する。
(a)は平面図、(b)はA−A線断面図である。
断したTABリード5を有する半導体チップ1は、この
半導体チップ1を収容するための凹部を有する良熱伝導
性の保護部品6の凹部の中に収容されて、導電性エポキ
シ樹脂9によってダイボンディングされている。半導体
チップ1を収容した保護部品6は、半導体チップ1を下
側にして、TABリード5と多層基板2上に設けてある
接続パッド2aとの位置合わせを行なって多層基板2の
上に搭載され、エポキシ樹脂8によってその四隅を多層
基板2に固定されている。TABリード5と接続パッド
2aとは、熱圧着によって電気的に接続されている。キ
ャップ7は、シールリング6aおよびシールリング2c
を介してその上部の周辺部および下部の周辺部をそれぞ
れ保護部品6および多層基板2にシーム溶接によって接
続されており、これによって半導体チップ1の気密性を
保持してその信頼性を確保している。多層基板2は、下
面にマザーボード11とはんだ接続するためのバンプ2
bを有しており、このバンプ2bとマザーボード11の
配線パターン12とは、はんだ13によって接続されて
いる。
Bリード5の成形を行わず、また半導体チップ1と多層
基板2との間に弾性部品を介在させる必要がないため、
信頼性を向上させ、しかも製造と管理の工数を節減する
ことができる。
である。
部品26および多層基板22の構成およびそれらの結合
関係は図1の実施例と同じであるが、半導体チップ21
を密封するための手段として、キャップを使用せずに、
封止樹脂20を用いて封止を行っている。封止樹脂20
の材料は、封止後の信頼性を確保するため、半導体チッ
プ21および多層基板22の熱膨張係数に近い熱膨張係
数を有する材料を選定する。一般に半導体チップ21は
シリコンでできているため、多層基板22の材料として
はセラミックを使用する。従って、封止樹脂20の材料
は、低熱膨張フィラーを充填した低熱膨張係数(1×1
0-5程度)のエポキシ樹脂を使用する。本実施例の作用
および効果は、図1の実施例と同じである。
である。
上部に冷却用のフィン36aを設けた保護部品36に代
えたものである。このように構成することにより、半導
体チップ31を、空気や絶縁性流体等によって直接に冷
却することができるため、冷却能率を高めて信頼性を一
層向上させることができる。その他の構成および作用・
効果は、図2の実施例と同じである。なお、図1の実施
例の場合も同様に、冷却用のフィンを設けた保護部品に
代えることができる。
置は、成形せずに所定の長さに切断したTABリードを
有する半導体チップを良熱伝導性の保護部品の凹部に収
容して固定し、この半導体チップを多層基板に搭載して
半導体チップのTABリードと多層基板のパッドを接続
した後、キャップまたは封止樹脂によって半導体チップ
を密封するように構成することにより、TABリードの
成形を行う必要がなく、また半導体チップと多層基板と
の間に弾性部品を介在させる必要がないため、信頼性を
向上させ、しかも製造と管理の工数を節減することがで
きるという効果がある。
面図、(b)はA−A線断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 成形せずに所定の長さに切断したTAB
リードを有する半導体チップと、前記半導体チップを収
容する凹部を有する良熱伝導性の保護部品と、前記半導
体チップを搭載し上面に前記TABリードを接続するた
めのパッドを有し下面にマザーボードとはんだ接続する
ためのバンプを有する多層基板と、前記半導体チップを
収容した前記保護部品と前記多層基板とを結合した後前
記半導体チップを密封するキャップとを備えることを特
徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 成形せずに所定の長さに切断したTAB
リードを有する半導体チップと、前記半導体チップを収
容する凹部を有する良熱伝導性の保護部品と、前記半導
体チップを搭載し上面に前記TABリードを接続するた
めのパッドを有し下面にマザーボードとはんだ接続する
ためのバンプを有する多層基板とを備え、前記半導体チ
ップを収容した前記保護部品と前記多層基板とを結合し
た後封止樹脂によって前記半導体チップを密封したこと
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項3】 保護部品に冷却用のフィンを設けたこと
を特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3239098A JPH0582584A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3239098A JPH0582584A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0582584A true JPH0582584A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17039783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3239098A Pending JPH0582584A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0582584A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08107164A (ja) * | 1994-10-06 | 1996-04-23 | Nec Corp | 半導体装置 |
EP0740340A2 (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-30 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Structure and process for mounting semiconductor chip |
KR100235091B1 (ko) * | 1995-04-10 | 1999-12-15 | 모기 쥰이찌 | 반도체장치 및 반도체소자탑재용 필름 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3239098A patent/JPH0582584A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08107164A (ja) * | 1994-10-06 | 1996-04-23 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2734381B2 (ja) * | 1994-10-06 | 1998-03-30 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の実装構造およびその製造方法 |
EP0740340A2 (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-30 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Structure and process for mounting semiconductor chip |
EP0740340A3 (en) * | 1995-04-07 | 1997-10-29 | Shinko Electric Ind Co | Structure and method of mounting a semiconductor device |
US5737191A (en) * | 1995-04-07 | 1998-04-07 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Structure and process for mounting semiconductor chip |
KR100235091B1 (ko) * | 1995-04-10 | 1999-12-15 | 모기 쥰이찌 | 반도체장치 및 반도체소자탑재용 필름 |
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