JPH0582067A - 対物レンズの励磁電流発生方式 - Google Patents
対物レンズの励磁電流発生方式Info
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- JPH0582067A JPH0582067A JP3240980A JP24098091A JPH0582067A JP H0582067 A JPH0582067 A JP H0582067A JP 3240980 A JP3240980 A JP 3240980A JP 24098091 A JP24098091 A JP 24098091A JP H0582067 A JPH0582067 A JP H0582067A
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 35
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
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- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＥＭにおいて、全ての対物レンズ作動距離
において加速電圧を変化させてもフォーカスずれを極小
にする。 【構成】 ＲＯＭ１９には、第１のＷＤにおける加速電
圧に対する最適励磁電流に対応する第１の基準電圧が書
き込まれている。ＲＯＭ２１には、第１のＷＤより短い
第２のＷＤにおける加速電圧に対する最適励磁電流に対
応する第２の基準電圧と、第１の基準電圧の差の電圧が
書き込まれている。第２基準電圧源１４の出力電圧はフ
ォーカス調整手段としての可変抵抗１５を介して加算回
路１６で第１の基準電圧と加算される。加算回路１６の
出力電圧は励磁電流源１７に入力され、加算回路１６の
出力電圧に対応する励磁電流が発生され、対物レンズコ
イル１８に供給される。
において加速電圧を変化させてもフォーカスずれを極小
にする。 【構成】 ＲＯＭ１９には、第１のＷＤにおける加速電
圧に対する最適励磁電流に対応する第１の基準電圧が書
き込まれている。ＲＯＭ２１には、第１のＷＤより短い
第２のＷＤにおける加速電圧に対する最適励磁電流に対
応する第２の基準電圧と、第１の基準電圧の差の電圧が
書き込まれている。第２基準電圧源１４の出力電圧はフ
ォーカス調整手段としての可変抵抗１５を介して加算回
路１６で第１の基準電圧と加算される。加算回路１６の
出力電圧は励磁電流源１７に入力され、加算回路１６の
出力電圧に対応する励磁電流が発生され、対物レンズコ
イル１８に供給される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）、Ｘ線マイクロアナライザ、電子線測長装置等
（以下、ＳＥＭ等と称す）における対物レンズの励磁電
流発生方式に関する。
ＥＭ）、Ｘ線マイクロアナライザ、電子線測長装置等
（以下、ＳＥＭ等と称す）における対物レンズの励磁電
流発生方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＥＭ等においては、対物レンズ作動距
離（ワーキングディスタンス：ＷＤ）及び電子線の加速
電圧が可変になされるのが一般的である。そして、ＷＤ
を固定した状態で加速電圧を変化させた場合には、フォ
ーカスがずれるのを防止するために、加速電圧の変化に
応じて対物レンズの励磁電流も変化させるようになされ
ている。そのための構成の概略を図３に示す。
離（ワーキングディスタンス：ＷＤ）及び電子線の加速
電圧が可変になされるのが一般的である。そして、ＷＤ
を固定した状態で加速電圧を変化させた場合には、フォ
ーカスがずれるのを防止するために、加速電圧の変化に
応じて対物レンズの励磁電流も変化させるようになされ
ている。そのための構成の概略を図３に示す。
【０００３】図３において、マイクロプロセッサからな
る制御装置１は、ＷＤが定められた状態においてテンキ
ーあるいは摘み等からなる加速電圧設定部２が操作さ
れ、新たな加速電圧ＶH が指示されたことを検知する
と、当該加速電圧ＶH の平方根であるＶH 1/2のデジタル
値を出力する。このデジタル値はＤ／Ａ変換器３でアナ
ログ信号に変換され、フォーカス調整手段として機能す
る可変抵抗４により分圧されて励磁電流電源５に供給さ
れる。これによって励磁電流電源５からはＶH 1/2に比例
する励磁電流が発生され、対物レンズコイル６に供給さ
れる。なお、図３において７は摘みからなるフォーカス
調整機構であり、摘みを回して可変抵抗４を制御する。
る制御装置１は、ＷＤが定められた状態においてテンキ
ーあるいは摘み等からなる加速電圧設定部２が操作さ
れ、新たな加速電圧ＶH が指示されたことを検知する
と、当該加速電圧ＶH の平方根であるＶH 1/2のデジタル
値を出力する。このデジタル値はＤ／Ａ変換器３でアナ
ログ信号に変換され、フォーカス調整手段として機能す
る可変抵抗４により分圧されて励磁電流電源５に供給さ
れる。これによって励磁電流電源５からはＶH 1/2に比例
する励磁電流が発生され、対物レンズコイル６に供給さ
れる。なお、図３において７は摘みからなるフォーカス
調整機構であり、摘みを回して可変抵抗４を制御する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示す従来の構成においては、対物レンズを構成する磁極
が飽和した場合、または完全に飽和していなくても当該
磁極片のＢ−Ｈ曲線の非線形性が影響する場合、あるい
はヒステリシス等に起因する残留磁化が影響する場合に
は対応することができず、加速電圧を変化させた場合に
フォーカスずれが発生するという問題があった。
示す従来の構成においては、対物レンズを構成する磁極
が飽和した場合、または完全に飽和していなくても当該
磁極片のＢ−Ｈ曲線の非線形性が影響する場合、あるい
はヒステリシス等に起因する残留磁化が影響する場合に
は対応することができず、加速電圧を変化させた場合に
フォーカスずれが発生するという問題があった。
【０００５】即ち、図３に示す構成は、電位勾配がない
ときの近軸軌道方程式が、回転座標系での電子の軌道を
Ｘ、ｅ／ｍを電子の比電荷、φを加速電圧、Ｂを軸上磁
場としたとき、 Ｘ″＋（ｅＢ2／８ｍφ）Ｘ＝０ で表され、Ｂ2／φ がパラメータになっていること、及
び、磁極の飽和がなく、且つ対物レンズに永久磁石が全
く使用されていないという条件においては軸上の磁界は
対物レンズに供給される励磁電流に比例するという事項
に基づいて構成されているものであり、従って上記の二
つの条件が満足される場合には極めて有効な構成である
が、磁極が飽和した場合、または完全に飽和していなく
ても当該磁極のＢ−Ｈ曲線の非線形性が影響する場合、
あるいはヒステリシス等に起因する残留磁化が影響する
場合には、上記の条件が満足されないので加速電圧を変
えたときにはフォーカスずれが生じることになるのであ
る。そして、磁極片を有するレンズが飽和した場合には
一般にピーク磁場が弱くなるために、フォーカス点を一
定に保つためにはそのときの加速電圧ＶH の平方根ＶH
1/2に比例した電流よりも大きな励磁電流を必要とし、
また、対物レンズの磁場強度は励磁電流の増加と共に増
加するから、加速電圧を一定にした状態でＷＤを変化さ
せたときにはＷＤを短い方に変化させたときが磁極片の
飽和の影響が大きく、またＷＤを一定に保った状態で加
速電圧を変化させたときには加速電圧を大きい方に変化
させたときが影響が大きい。即ち、フォーカス点を一定
に保つための励磁電流は図２の３０、３１、３３のよう
になる。
ときの近軸軌道方程式が、回転座標系での電子の軌道を
Ｘ、ｅ／ｍを電子の比電荷、φを加速電圧、Ｂを軸上磁
場としたとき、 Ｘ″＋（ｅＢ2／８ｍφ）Ｘ＝０ で表され、Ｂ2／φ がパラメータになっていること、及
び、磁極の飽和がなく、且つ対物レンズに永久磁石が全
く使用されていないという条件においては軸上の磁界は
対物レンズに供給される励磁電流に比例するという事項
に基づいて構成されているものであり、従って上記の二
つの条件が満足される場合には極めて有効な構成である
が、磁極が飽和した場合、または完全に飽和していなく
ても当該磁極のＢ−Ｈ曲線の非線形性が影響する場合、
あるいはヒステリシス等に起因する残留磁化が影響する
場合には、上記の条件が満足されないので加速電圧を変
えたときにはフォーカスずれが生じることになるのであ
る。そして、磁極片を有するレンズが飽和した場合には
一般にピーク磁場が弱くなるために、フォーカス点を一
定に保つためにはそのときの加速電圧ＶH の平方根ＶH
1/2に比例した電流よりも大きな励磁電流を必要とし、
また、対物レンズの磁場強度は励磁電流の増加と共に増
加するから、加速電圧を一定にした状態でＷＤを変化さ
せたときにはＷＤを短い方に変化させたときが磁極片の
飽和の影響が大きく、またＷＤを一定に保った状態で加
速電圧を変化させたときには加速電圧を大きい方に変化
させたときが影響が大きい。即ち、フォーカス点を一定
に保つための励磁電流は図２の３０、３１、３３のよう
になる。
【０００６】これに対して、ＷＤを一定にした状態で加
速電圧を変化させた場合、Ｄ／Ａ変換器３に対してＶH
1/2を入力するのではなく、図４に示すように、フォー
カス調整機構７からＷＤを読み出し、そのＷＤに対応す
る磁極片の飽和等を考慮したＶH 1/2を変形させた値（図
中ＶH 1/2の上に波線を付して示す）を入力するようにす
れば加速電圧を変化させたときのフォーカスずれを防止
することはできるが、その場合には制御装置１に全ての
ＷＤに対して加速電圧毎の出力電圧を書き込んだテーブ
ルを備えなければならず、メモリ容量が膨大になるもの
である。
速電圧を変化させた場合、Ｄ／Ａ変換器３に対してＶH
1/2を入力するのではなく、図４に示すように、フォー
カス調整機構７からＷＤを読み出し、そのＷＤに対応す
る磁極片の飽和等を考慮したＶH 1/2を変形させた値（図
中ＶH 1/2の上に波線を付して示す）を入力するようにす
れば加速電圧を変化させたときのフォーカスずれを防止
することはできるが、その場合には制御装置１に全ての
ＷＤに対して加速電圧毎の出力電圧を書き込んだテーブ
ルを備えなければならず、メモリ容量が膨大になるもの
である。
【０００７】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、簡単な構成で、対物レンズの磁極片のＢ−Ｈ曲線
の非線形性が影響する場合、あるいはヒステリシス等に
起因する残留磁化が影響する場合においても全てのＷＤ
において加速電圧を変化させたときにフォーカスずれが
生じない対物レンズの励磁電流発生方式を提供すること
を目的とするものである。
って、簡単な構成で、対物レンズの磁極片のＢ−Ｈ曲線
の非線形性が影響する場合、あるいはヒステリシス等に
起因する残留磁化が影響する場合においても全てのＷＤ
において加速電圧を変化させたときにフォーカスずれが
生じない対物レンズの励磁電流発生方式を提供すること
を目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の対物レンズの励磁電流発生方式は、第１
の対物レンズ作動距離における設定された加速電圧に対
する最適励磁電流に対応する第１の基準電圧を発生する
第１基準電圧源と、前記第１の対物レンズ作動距離より
短い第２の対物レンズ作動距離における設定された加速
電圧に対する最適励磁電流に対応する第２の基準電圧と
前記第１の基準電圧との差の電圧を発生する第２基準電
圧源と、前記第２基準電圧源の出力電圧を可変する電圧
可変手段と、前記第１の基準電圧と前記電圧可変手段の
出力電圧を加算する加算手段と、前記加算手段の出力電
圧に基づいて対物レンズに供給する励磁電流を発生する
励磁電流源とを備えることを特徴とする。
めに、本発明の対物レンズの励磁電流発生方式は、第１
の対物レンズ作動距離における設定された加速電圧に対
する最適励磁電流に対応する第１の基準電圧を発生する
第１基準電圧源と、前記第１の対物レンズ作動距離より
短い第２の対物レンズ作動距離における設定された加速
電圧に対する最適励磁電流に対応する第２の基準電圧と
前記第１の基準電圧との差の電圧を発生する第２基準電
圧源と、前記第２基準電圧源の出力電圧を可変する電圧
可変手段と、前記第１の基準電圧と前記電圧可変手段の
出力電圧を加算する加算手段と、前記加算手段の出力電
圧に基づいて対物レンズに供給する励磁電流を発生する
励磁電流源とを備えることを特徴とする。
【０００９】
【作用】第１基準電圧源は、第１の対物レンズ作動距離
における設定された加速電圧に対する最適励磁電流に対
応する第１の基準電圧を発生する。第２基準電圧源は、
第１の対物レンズ作動距離より短い第２の対物レンズ作
動距離における設定された加速電圧に対する最適励磁電
流に対応する第２の基準電圧と第１の基準電圧との差の
電圧を発生する。第２基準電圧源の出力電圧はフォーカ
ス調整手段としての電圧可変手段により適宜調整可能と
なされている。当該電圧可変手段の出力電圧は加算手段
により第１基準電圧源の出力電圧と加算され、この加算
手段の出力電圧に対応した励磁電流が励磁電流源で発生
され、この励磁電流が対物レンズのコイルに供給され
る。
における設定された加速電圧に対する最適励磁電流に対
応する第１の基準電圧を発生する。第２基準電圧源は、
第１の対物レンズ作動距離より短い第２の対物レンズ作
動距離における設定された加速電圧に対する最適励磁電
流に対応する第２の基準電圧と第１の基準電圧との差の
電圧を発生する。第２基準電圧源の出力電圧はフォーカ
ス調整手段としての電圧可変手段により適宜調整可能と
なされている。当該電圧可変手段の出力電圧は加算手段
により第１基準電圧源の出力電圧と加算され、この加算
手段の出力電圧に対応した励磁電流が励磁電流源で発生
され、この励磁電流が対物レンズのコイルに供給され
る。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る対物レンズの励磁電流発生方式の一
実施例の構成を示す図であり、図中、１０は制御装置、
１１はフォーカス調整機構、１２は加速電圧設定部、１
３は第１基準電圧源、１４は第２基準電圧源、１５は可
変抵抗、１６は加算回路、１７は励磁電流源、１８は対
物レンズコイル、１９はＲＯＭ、２０はＤ／Ａ変換器、
２１はＲＯＭ、２２はＤ／Ａ変換器を示す。
図１は本発明に係る対物レンズの励磁電流発生方式の一
実施例の構成を示す図であり、図中、１０は制御装置、
１１はフォーカス調整機構、１２は加速電圧設定部、１
３は第１基準電圧源、１４は第２基準電圧源、１５は可
変抵抗、１６は加算回路、１７は励磁電流源、１８は対
物レンズコイル、１９はＲＯＭ、２０はＤ／Ａ変換器、
２１はＲＯＭ、２２はＤ／Ａ変換器を示す。
【００１１】図１の構成の動作は次のようである。制御
装置１０はマイクロコンピュータで構成され、テンキー
や摘み等からなる加速電圧設定部１２により加速電圧が
設定されると、設定された加速電圧のデジタル値を第１
基準電圧源１３及び第２基準電圧源１４に出力する。
装置１０はマイクロコンピュータで構成され、テンキー
や摘み等からなる加速電圧設定部１２により加速電圧が
設定されると、設定された加速電圧のデジタル値を第１
基準電圧源１３及び第２基準電圧源１４に出力する。
【００１２】第１基準電圧源１３は、ＲＯＭ１９、Ｄ／
Ａ変換器２０で構成される。ＲＯＭ１９には図２の３０
で示す曲線のデータが書き込まれており、制御装置１０
から出力されるデジタル加速電圧をアドレスとして第１
の基準電圧を出力する。この第１の基準電圧はＤ／Ａ変
換器２０によりアナログ信号に変換されて加算回路１６
の一方の入力端子に入力される。この曲線３０は、所定
の第１のＷＤ、例えば当該ＳＥＭ等の最長のＷＤにおけ
る加速電圧に対するフォーカスずれが生じない最適対物
レンズ励磁電流に対応する第１の基準電圧を定めるもの
である。このような曲線３０は、予め当該ＳＥＭ等にお
いてＷＤを当該ＷＤに設定し、加速電圧を変化させたと
きのフォーカスずれが生じない励磁電流を求め、その励
磁電流に所望の電圧を対応させることで作成することが
できる。なお、図２の縦軸は基準電圧を加速電圧ＶH の
平方根で割った値であり、この値は励磁電流を加速電圧
ＶH の平方根で割った値に比例する値である。
Ａ変換器２０で構成される。ＲＯＭ１９には図２の３０
で示す曲線のデータが書き込まれており、制御装置１０
から出力されるデジタル加速電圧をアドレスとして第１
の基準電圧を出力する。この第１の基準電圧はＤ／Ａ変
換器２０によりアナログ信号に変換されて加算回路１６
の一方の入力端子に入力される。この曲線３０は、所定
の第１のＷＤ、例えば当該ＳＥＭ等の最長のＷＤにおけ
る加速電圧に対するフォーカスずれが生じない最適対物
レンズ励磁電流に対応する第１の基準電圧を定めるもの
である。このような曲線３０は、予め当該ＳＥＭ等にお
いてＷＤを当該ＷＤに設定し、加速電圧を変化させたと
きのフォーカスずれが生じない励磁電流を求め、その励
磁電流に所望の電圧を対応させることで作成することが
できる。なお、図２の縦軸は基準電圧を加速電圧ＶH の
平方根で割った値であり、この値は励磁電流を加速電圧
ＶH の平方根で割った値に比例する値である。
【００１３】第２基準電圧源１４は、ＲＯＭ２１、Ｄ／
Ａ変換器２２で構成される。ＲＯＭ２１には図２の３０
で示す曲線のデータと、３１で示す曲線のデータの差が
書き込まれており、制御装置１０から出力されるデジタ
ル加速電圧をアドレスとして当該差の電圧を出力する。
ＲＯＭ２１の出力電圧はＤ／Ａ変換器２２によりアナロ
グ信号に変換されて可変抵抗１５の一端に印加される。
この曲線３１は、曲線３０のＷＤより短い所定の第２の
ＷＤ、例えば当該ＳＥＭ等の最短のＷＤにおける加速電
圧に対するフォーカスずれが生じない最適対物レンズ励
磁電流に対応する第２の基準電圧を定めるものである。
このような曲線３１は、曲線３０と同様に、予め当該Ｓ
ＥＭ等においてＷＤを当該ＷＤに設定し、加速電圧を変
化させたときのフォーカスずれが生じない励磁電流を求
め、その励磁電流に所望の電圧を対応させることで作成
することができ、更に同一加速電圧における第１の基準
電圧と第２の基準電圧との差からＲＯＭ２１に書き込む
データを得ることができる。
Ａ変換器２２で構成される。ＲＯＭ２１には図２の３０
で示す曲線のデータと、３１で示す曲線のデータの差が
書き込まれており、制御装置１０から出力されるデジタ
ル加速電圧をアドレスとして当該差の電圧を出力する。
ＲＯＭ２１の出力電圧はＤ／Ａ変換器２２によりアナロ
グ信号に変換されて可変抵抗１５の一端に印加される。
この曲線３１は、曲線３０のＷＤより短い所定の第２の
ＷＤ、例えば当該ＳＥＭ等の最短のＷＤにおける加速電
圧に対するフォーカスずれが生じない最適対物レンズ励
磁電流に対応する第２の基準電圧を定めるものである。
このような曲線３１は、曲線３０と同様に、予め当該Ｓ
ＥＭ等においてＷＤを当該ＷＤに設定し、加速電圧を変
化させたときのフォーカスずれが生じない励磁電流を求
め、その励磁電流に所望の電圧を対応させることで作成
することができ、更に同一加速電圧における第１の基準
電圧と第２の基準電圧との差からＲＯＭ２１に書き込む
データを得ることができる。
【００１４】従って、あるＷＤにおいて加速電圧設定部
１２により加速電圧が図２のＶH1に設定されたとする
と、制御装置１０からは当該加速電圧ＶH1のデジタル値
が第１基準電圧源１３及び第２基準電圧源１４に出力さ
れ、第１基準電圧源１３のＲＯＭ１９からは第１の基準
電圧としてＶref1が出力され、第２基準電圧源１４のＲ
ＯＭ２１からは△Ｖ1 が出力され、それぞれＤ／Ａ変換
器２０、２２でアナログ電圧に変換される。なお、図２
において破線３２は、対物レンズ磁極片の磁気飽和の影
響が無視できる範囲と無視できない範囲の境界を示すも
のであり、破線３２の右側では対物レンズ磁極片の磁気
飽和の影響が現れ、左側では対物レンズ磁極片の磁気飽
和の影響は無視できるものである。
１２により加速電圧が図２のＶH1に設定されたとする
と、制御装置１０からは当該加速電圧ＶH1のデジタル値
が第１基準電圧源１３及び第２基準電圧源１４に出力さ
れ、第１基準電圧源１３のＲＯＭ１９からは第１の基準
電圧としてＶref1が出力され、第２基準電圧源１４のＲ
ＯＭ２１からは△Ｖ1 が出力され、それぞれＤ／Ａ変換
器２０、２２でアナログ電圧に変換される。なお、図２
において破線３２は、対物レンズ磁極片の磁気飽和の影
響が無視できる範囲と無視できない範囲の境界を示すも
のであり、破線３２の右側では対物レンズ磁極片の磁気
飽和の影響が現れ、左側では対物レンズ磁極片の磁気飽
和の影響は無視できるものである。
【００１５】第２基準電圧源１４の出力電圧は、フォー
カス調整手段として機能する可変抵抗１５の一端に印加
される。可変抵抗１５の他端は接地されている。可変抵
抗１５からの出力電圧は加算回路１６の他方の入力端子
に入力され、第１の基準電圧と加算される。従って、い
ま加速電圧設定部１２により加速電圧がＶH1に設定され
たとすると、可変抵抗１５を調整することにより、加算
回路１６の出力電圧をＶH1〜（ＶH1＋△Ｖ1 ）の範囲で
可変することができ、これによりフォーカス調整を行う
ことができるものである。加算回路１６の出力電圧は励
磁電流源１７に入力され、これによって励磁電流源１７
からは加算回路１６の出力電圧に対応する励磁電流が発
生され、対物レンズコイル１８に供給される。
カス調整手段として機能する可変抵抗１５の一端に印加
される。可変抵抗１５の他端は接地されている。可変抵
抗１５からの出力電圧は加算回路１６の他方の入力端子
に入力され、第１の基準電圧と加算される。従って、い
ま加速電圧設定部１２により加速電圧がＶH1に設定され
たとすると、可変抵抗１５を調整することにより、加算
回路１６の出力電圧をＶH1〜（ＶH1＋△Ｖ1 ）の範囲で
可変することができ、これによりフォーカス調整を行う
ことができるものである。加算回路１６の出力電圧は励
磁電流源１７に入力され、これによって励磁電流源１７
からは加算回路１６の出力電圧に対応する励磁電流が発
生され、対物レンズコイル１８に供給される。
【００１６】従って、全てのＷＤにおいて加速電圧を変
化させた場合においても可変抵抗１５を調整するだけで
容易にフォーカスを合わせることができる。例えば、曲
線３０を当該ＳＥＭ等の最長のＷＤにおける最適励磁電
流に対応する曲線とし、曲線３１を最短のＷＤにおける
最適励磁電流に対応する曲線とすると、最長、最短のＷ
Ｄにおいては加速電圧を変化させてもフォーカスずれが
生じることはなく、その丁度中間の励磁電流を必要とす
るＷＤにおいては、可変抵抗１５を中央の位置に設定し
ておけば曲線３１と曲線３０を１：１に案分した曲線３
７が形成され、この曲線３７は実線の最適励磁電流３３
に常に一致する保証はないが、曲線３３の破線３６から
のずれの度合いは、曲線３０の破線３４からのずれの度
合いと、曲線３１の破線３５からのずれの度合いの中間
程度であることを考えれば、曲線３７と曲線３３のずれ
は少ない。従って、そのフォーカスずれの程度は小さい
ものであり、可変抵抗１５を僅かに調整するだけで容易
にフォーカスを合わせることができる。このことは他の
ＷＤにおいても同様である。
化させた場合においても可変抵抗１５を調整するだけで
容易にフォーカスを合わせることができる。例えば、曲
線３０を当該ＳＥＭ等の最長のＷＤにおける最適励磁電
流に対応する曲線とし、曲線３１を最短のＷＤにおける
最適励磁電流に対応する曲線とすると、最長、最短のＷ
Ｄにおいては加速電圧を変化させてもフォーカスずれが
生じることはなく、その丁度中間の励磁電流を必要とす
るＷＤにおいては、可変抵抗１５を中央の位置に設定し
ておけば曲線３１と曲線３０を１：１に案分した曲線３
７が形成され、この曲線３７は実線の最適励磁電流３３
に常に一致する保証はないが、曲線３３の破線３６から
のずれの度合いは、曲線３０の破線３４からのずれの度
合いと、曲線３１の破線３５からのずれの度合いの中間
程度であることを考えれば、曲線３７と曲線３３のずれ
は少ない。従って、そのフォーカスずれの程度は小さい
ものであり、可変抵抗１５を僅かに調整するだけで容易
にフォーカスを合わせることができる。このことは他の
ＷＤにおいても同様である。
【００１７】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば第１、第２の基準電圧は必
ずしも当該ＳＥＭ等の最長、最短のＷＤにおいて最適励
磁電流に対応するものである必要はなく、使用頻度が高
いＷＤの範囲等を考慮して必要に応じて定めることがで
きるものである。また、上記実施例では第１基準電圧
源、第２基準電圧源がそれぞれＲＯＭを備えるものとし
たが、図２に示すデータをテーブルとして制御装置に備
えさせ、制御装置から直接第１の基準電圧、及び第１の
基準電圧と第２の基準電圧の差の電圧を出力するように
してもよいものである。なお、この場合には第１及び第
２基準電圧源はＤ／Ａ変換器だけで構成されることにな
ることは明きらかである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば第１、第２の基準電圧は必
ずしも当該ＳＥＭ等の最長、最短のＷＤにおいて最適励
磁電流に対応するものである必要はなく、使用頻度が高
いＷＤの範囲等を考慮して必要に応じて定めることがで
きるものである。また、上記実施例では第１基準電圧
源、第２基準電圧源がそれぞれＲＯＭを備えるものとし
たが、図２に示すデータをテーブルとして制御装置に備
えさせ、制御装置から直接第１の基準電圧、及び第１の
基準電圧と第２の基準電圧の差の電圧を出力するように
してもよいものである。なお、この場合には第１及び第
２基準電圧源はＤ／Ａ変換器だけで構成されることにな
ることは明きらかである。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、対物レンズの磁極片の磁気飽和等によりフォ
ーカスをとるための励磁電流が加速電圧の平方根に比例
する値からずれた場合においても、全てのＷＤに対し
て、加速電圧を変化させても容易にフォーカスを合わせ
ることができる。また本発明の構成は従来の構成にＲＯ
Ｍ、加算回路等を追加するだけでよいので、安価に構成
することができる。
によれば、対物レンズの磁極片の磁気飽和等によりフォ
ーカスをとるための励磁電流が加速電圧の平方根に比例
する値からずれた場合においても、全てのＷＤに対し
て、加速電圧を変化させても容易にフォーカスを合わせ
ることができる。また本発明の構成は従来の構成にＲＯ
Ｍ、加算回路等を追加するだけでよいので、安価に構成
することができる。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 ＲＯＭに書き込まれるデータを説明するため
の図である。
の図である。
【図３】 従来の構成例を示す図である。
【図４】 従来の他の構成例を示す図である。 １０…制御装置、１１…フォーカス調整機構、１２…加
速電圧設定部、１３…第１基準電圧源、１４…第２基準
電圧源、１５…可変抵抗、１６…加算回路、１７…励磁
電流源、１８…対物レンズコイル、１９…ＲＯＭ、２０
…Ｄ／Ａ変換器、２１…ＲＯＭ、２２…Ｄ／Ａ変換器。
速電圧設定部、１３…第１基準電圧源、１４…第２基準
電圧源、１５…可変抵抗、１６…加算回路、１７…励磁
電流源、１８…対物レンズコイル、１９…ＲＯＭ、２０
…Ｄ／Ａ変換器、２１…ＲＯＭ、２２…Ｄ／Ａ変換器。
Claims (1)
- 【請求項１】 第１の対物レンズ作動距離における設定
された加速電圧に対する最適励磁電流に対応する第１の
基準電圧を発生する第１基準電圧源と、前記第１の対物
レンズ作動距離より短い第２の対物レンズ作動距離にお
ける設定された加速電圧に対する最適励磁電流に対応す
る第２の基準電圧と前記第１の基準電圧との差の電圧を
発生する第２基準電圧源と、前記第２基準電圧源の出力
電圧を可変する電圧可変手段と、前記第１の基準電圧と
前記電圧可変手段の出力電圧を加算する加算手段と、前
記加算手段の出力電圧に基づいて対物レンズに供給する
励磁電流を発生する励磁電流源とを備えることを特徴と
する対物レンズの励磁電流発生方式。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3240980A JPH0582067A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 対物レンズの励磁電流発生方式 |
| US07/944,449 US5264703A (en) | 1991-09-20 | 1992-09-14 | Electron beam instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3240980A JPH0582067A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 対物レンズの励磁電流発生方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582067A true JPH0582067A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17067529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3240980A Withdrawn JPH0582067A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 対物レンズの励磁電流発生方式 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5264703A (ja) |
| JP (1) | JPH0582067A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7440362B2 (en) * | 2002-11-26 | 2008-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical disc drive which uses a train of pulses to shift the focus of a focusing section |
| WO2013129124A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101140735B (zh) * | 2006-09-04 | 2011-12-28 | 意法半导体研发（上海）有限公司 | 用集成可编程电阻阵列调节vcom电平的方法 |
| DE102015001292A1 (de) * | 2015-02-02 | 2016-08-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops |
| DE102015001297B4 (de) * | 2015-02-02 | 2023-03-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750756A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-25 | Jeol Ltd | Objective lens current control method for scan type electron microscope |
| JPH071681B2 (ja) * | 1990-04-19 | 1995-01-11 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置 |
| JP2833836B2 (ja) * | 1990-07-17 | 1998-12-09 | 日本電子株式会社 | 走査型電子顕微鏡のオートフォーカス方法 |
| JPH0594798A (ja) * | 1991-05-21 | 1993-04-16 | Jeol Ltd | 焦点深度切り換え可能な電子顕微鏡等の電子光学観察装置 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP3240980A patent/JPH0582067A/ja not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-09-14 US US07/944,449 patent/US5264703A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7440362B2 (en) * | 2002-11-26 | 2008-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical disc drive which uses a train of pulses to shift the focus of a focusing section |
| WO2013129124A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5264703A (en) | 1993-11-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |