JPH0579903A - 回転機の異常診断方法及びその装置 - Google Patents
回転機の異常診断方法及びその装置Info
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- JPH0579903A JPH0579903A JP23989491A JP23989491A JPH0579903A JP H0579903 A JPH0579903 A JP H0579903A JP 23989491 A JP23989491 A JP 23989491A JP 23989491 A JP23989491 A JP 23989491A JP H0579903 A JPH0579903 A JP H0579903A
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- Japan
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- rotating machine
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- frequency band
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転機の発生する振動音から回転機の異常診
断をするに当り、回転機の異常のきめ細かな診断を行
う。 【構成】 回転機の振動音を検出してこれを周波数分析
する。周波数分析した実測データのピークが閾値を超え
るか否かで異常が発生しているか否かを判定するのであ
るが、周波数領域を複数の例えば８つの周波数帯域Ｆ１
〜Ｆ８に分割し、各周波数帯域毎に二重線で示す閾値を
設定し、どの周波数帯域で実測データのピークが閾値を
超えるか否かを判定する。さらに、各周波数帯域におけ
る閾値は、回転機の運転状態に応じて最適な閾値とする
ことで、回転機の運転状態に応じた異常の診断が可能と
なる。
断をするに当り、回転機の異常のきめ細かな診断を行
う。 【構成】 回転機の振動音を検出してこれを周波数分析
する。周波数分析した実測データのピークが閾値を超え
るか否かで異常が発生しているか否かを判定するのであ
るが、周波数領域を複数の例えば８つの周波数帯域Ｆ１
〜Ｆ８に分割し、各周波数帯域毎に二重線で示す閾値を
設定し、どの周波数帯域で実測データのピークが閾値を
超えるか否かを判定する。さらに、各周波数帯域におけ
る閾値は、回転機の運転状態に応じて最適な閾値とする
ことで、回転機の運転状態に応じた異常の診断が可能と
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転機の異常診断方法及
びその装置に係り、特に、火力発電所のボイラ給水ポン
プ等に代表される大容量の回転機の異常を診断するのに
好適な診断方法及びその装置に関する。
びその装置に係り、特に、火力発電所のボイラ給水ポン
プ等に代表される大容量の回転機の異常を診断するのに
好適な診断方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の回転機の異常診断技術では、例え
ば特開昭５５−８３８２１号公報記載の様に、回転機の
発する異常音を監視し、この異常音の平均周波数が閾値
を超えたときに警報を出力するものである。
ば特開昭５５−８３８２１号公報記載の様に、回転機の
発する異常音を監視し、この異常音の平均周波数が閾値
を超えたときに警報を出力するものである。
【０００３】この従来技術は、従来の火力発電所におけ
るプラント補機の運用形態のごとく、回転機の運転方式
が定格点近傍でのみ運転されるものに対しては有効であ
る。しかし、最近の火力発電所のように、頻繁な起動，
停止を繰り返すプラントや、通常運用最低負荷を可能な
限り下げられたプラントの回転機については、異常診断
範囲が大幅に不足するので、異常が発生したか否かを判
別できない。
るプラント補機の運用形態のごとく、回転機の運転方式
が定格点近傍でのみ運転されるものに対しては有効であ
る。しかし、最近の火力発電所のように、頻繁な起動，
停止を繰り返すプラントや、通常運用最低負荷を可能な
限り下げられたプラントの回転機については、異常診断
範囲が大幅に不足するので、異常が発生したか否かを判
別できない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、回転
機の運転範囲のうち、定格点近傍を基準に異常診断用の
閾値を定めているので、定格点近傍以外の運転範囲では
異常の診断ができないという問題がある。最近の日負荷
変化の激しい電力需要に追随させて発電プラントを運転
するには、発電プラントの補機である回転機の起動中
や、通常運用最低負荷から定格点迄の広範囲に渡って、
異常の有無を検知できるようにする必要がある。万が
一、回転機に異常が発生しこれが拡大していくと、プラ
ント補機の停止に発展することになり、合理化等で予備
機を持たない最近の発電プラントでは、発電出力の急減
に至ることになり、経済的のみならず社会的に問題にな
ってしまう。また、従来は、回転機の異常診断結果は、
中央制御室内の制御監視盤等の警報窓に表示されたり、
或いは計算機に入力されて画面に表示されてプラント運
転員に告知されるが、近年の予防保全に対する要請の高
まりから、斯かる回転機の異常発生を現場保守員にも提
供する診断情報の確立が急務となっている。
機の運転範囲のうち、定格点近傍を基準に異常診断用の
閾値を定めているので、定格点近傍以外の運転範囲では
異常の診断ができないという問題がある。最近の日負荷
変化の激しい電力需要に追随させて発電プラントを運転
するには、発電プラントの補機である回転機の起動中
や、通常運用最低負荷から定格点迄の広範囲に渡って、
異常の有無を検知できるようにする必要がある。万が
一、回転機に異常が発生しこれが拡大していくと、プラ
ント補機の停止に発展することになり、合理化等で予備
機を持たない最近の発電プラントでは、発電出力の急減
に至ることになり、経済的のみならず社会的に問題にな
ってしまう。また、従来は、回転機の異常診断結果は、
中央制御室内の制御監視盤等の警報窓に表示されたり、
或いは計算機に入力されて画面に表示されてプラント運
転員に告知されるが、近年の予防保全に対する要請の高
まりから、斯かる回転機の異常発生を現場保守員にも提
供する診断情報の確立が急務となっている。
【０００５】本発明の目的は、回転機の異常診断範囲を
回転機の全運転範囲に拡大し、一般的に最も異常が発生
する起動開始点から定格点近傍迄の回転機の異常診断を
良好に行え、回転機の異常が重大事故に発展する可能性
を判断して回転機を停止させることのできる異常診断方
法及びその装置を提供することにある。
回転機の全運転範囲に拡大し、一般的に最も異常が発生
する起動開始点から定格点近傍迄の回転機の異常診断を
良好に行え、回転機の異常が重大事故に発展する可能性
を判断して回転機を停止させることのできる異常診断方
法及びその装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、回転機の振
動音を検出してこれを周波数分析し、周波数分析した実
測データのピークが閾値を超えるか否かで異常が発生し
ているか否かを判定するに当り、周波数領域を複数の例
えば８つの周波数帯域Ｆ１〜Ｆ８に分割し、各周波数帯
域毎に最適な閾値を設定し、どの周波数帯域で実測デー
タのピークが閾値を超えるか否かを判定することで、達
成される。
動音を検出してこれを周波数分析し、周波数分析した実
測データのピークが閾値を超えるか否かで異常が発生し
ているか否かを判定するに当り、周波数領域を複数の例
えば８つの周波数帯域Ｆ１〜Ｆ８に分割し、各周波数帯
域毎に最適な閾値を設定し、どの周波数帯域で実測デー
タのピークが閾値を超えるか否かを判定することで、達
成される。
【０００７】また、上記目的は、異常診断を行う閾値
を、回転機の運転状態に応じて最適な閾値とすること
で、達成される。
を、回転機の運転状態に応じて最適な閾値とすること
で、達成される。
【０００８】
【作用】回転機の振動音のうちどの周波数のピークが大
きくなって異常音となったかが判別されるので、これに
よりどのような種類の異常であるかの識別が可能とな
る。また、回転機の運転状態に応じた閾値の設定によ
り、運転状態に応じた異常音の診断が可能となる。
きくなって異常音となったかが判別されるので、これに
よりどのような種類の異常であるかの識別が可能とな
る。また、回転機の運転状態に応じた閾値の設定によ
り、運転状態に応じた異常音の診断が可能となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、本発明の一実施例に係る回転機異常診
断装置のシステム構成図である。図示しない回転機に取
り付けられた加速度センサ１は、回転機の運転音を検出
し、この検出信号はチャージ増幅器４にて増幅され、周
波数分析器５にて周波数分析され、その加速度スペクト
ル分析結果が異常診断装置６に入力される。更に、回転
機には回転機運転負荷検出器３と回転数検出器２が取り
付けられ、各検出信号が異常診断装置６に入力される。
異常診断装置６には警報装置７が接続され、異常診断装
置６が回転機の異常を検出したとき警報指令を警報装置
７に出力し、警報装置７は警報表示や音による警報を発
する。回転機運転負荷検出器３は、例えば回転機にて駆
動されるポンプの吐出流量を検出する。
明する。図１は、本発明の一実施例に係る回転機異常診
断装置のシステム構成図である。図示しない回転機に取
り付けられた加速度センサ１は、回転機の運転音を検出
し、この検出信号はチャージ増幅器４にて増幅され、周
波数分析器５にて周波数分析され、その加速度スペクト
ル分析結果が異常診断装置６に入力される。更に、回転
機には回転機運転負荷検出器３と回転数検出器２が取り
付けられ、各検出信号が異常診断装置６に入力される。
異常診断装置６には警報装置７が接続され、異常診断装
置６が回転機の異常を検出したとき警報指令を警報装置
７に出力し、警報装置７は警報表示や音による警報を発
する。回転機運転負荷検出器３は、例えば回転機にて駆
動されるポンプの吐出流量を検出する。
【００１０】図２は、周波数分析器５の分析結果の一例
を示すグラフである。加速度センサ１の検出信号である
加速度Ｇの波形を周波数軸上に取ると図２に示す様にグ
ラフとなり、これが実測データとして周波数分析器５か
ら回転機異常診断装置６に伝送装置等（図示せず）で送
られる。図２に示すグラフの様に、回転機の振動音のピ
ークは、振動周波数帯域毎にあり、このピークが回転機
の運転状態により高くなったり低くなったりする。そこ
で、本実施例では、図３に示す様に、周波数帯域を、複
数の帯域、例えば８つの帯域Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，
Ｆ５，Ｆ６，Ｆ７，Ｆ８に分割し、各帯域において二重
線で図示する閾値を設定し、各帯域における振動音ピー
クが閾値を超えるか否かを見て異常がどの周波数帯域で
発生したのかや、振動音ピークが閾値を超える周波数帯
域のパターンからどのような種類の異常が発生したのか
を診断するものである。回転機の振動音は、回転機の運
転状態により変化し、起動時の正常な振動音と通常運転
中における正常な振動音とは各周波数帯域におけるピー
クの現れ方が異なる。そこで、本実施例では、各周波数
帯域毎かつ回転機の運転状態毎に夫々の閾値を図４に示
す様にテーブルとしてメモリに格納しておき、回転機の
運転状態に従って各周波数帯域毎の閾値を読み出して使
用する。回転機の運転状態が時間の経過に従って起動状
態から低負荷状態，中負荷状態，高負荷状態と移行した
ときは、時間の関数或いは運転状態の移行の検出に従っ
て使用する閾値を該当運転状態のものに自動的に変更す
る。
を示すグラフである。加速度センサ１の検出信号である
加速度Ｇの波形を周波数軸上に取ると図２に示す様にグ
ラフとなり、これが実測データとして周波数分析器５か
ら回転機異常診断装置６に伝送装置等（図示せず）で送
られる。図２に示すグラフの様に、回転機の振動音のピ
ークは、振動周波数帯域毎にあり、このピークが回転機
の運転状態により高くなったり低くなったりする。そこ
で、本実施例では、図３に示す様に、周波数帯域を、複
数の帯域、例えば８つの帯域Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，
Ｆ５，Ｆ６，Ｆ７，Ｆ８に分割し、各帯域において二重
線で図示する閾値を設定し、各帯域における振動音ピー
クが閾値を超えるか否かを見て異常がどの周波数帯域で
発生したのかや、振動音ピークが閾値を超える周波数帯
域のパターンからどのような種類の異常が発生したのか
を診断するものである。回転機の振動音は、回転機の運
転状態により変化し、起動時の正常な振動音と通常運転
中における正常な振動音とは各周波数帯域におけるピー
クの現れ方が異なる。そこで、本実施例では、各周波数
帯域毎かつ回転機の運転状態毎に夫々の閾値を図４に示
す様にテーブルとしてメモリに格納しておき、回転機の
運転状態に従って各周波数帯域毎の閾値を読み出して使
用する。回転機の運転状態が時間の経過に従って起動状
態から低負荷状態，中負荷状態，高負荷状態と移行した
ときは、時間の関数或いは運転状態の移行の検出に従っ
て使用する閾値を該当運転状態のものに自動的に変更す
る。
【００１１】図５は、異常診断装置６の内部構成図であ
る。異常診断装置６は、全てディスクリートな個別のハ
ード部品で構成しても、また、マイクロプロセッサを用
いソフト的な構成とすることでもよいことは言うまでも
ない。この異常診断装置６では、周波数分析器５の分析
結果（波形データ）を取込装置８から取り込む。回転数
検出器２の検出値は取込装置１４にて取り込まれ、変換
器１５にて、その回転数検出値に対応する基準周波数の
値ｆNに変換される。次段の各特定周波数演算器１６
は、この基準周波数ｆNに基づき、該基準周波数ｆNを含
む８つの特定周波数（図３の一点鎖線で示す各周波数帯
域の中心となる周波数）を演算して求める。特定周波数
（基準周波数ｆNを含む。）が求められると、次ぎの周
波数帯域演算器１７がこの特定周波数を中心とする各周
波数帯域Ｆ１〜Ｆ８を決定し、異常音診断用閾値設定範
囲を分割する。周波数帯分割装置９は、この演算器１７
の出力と周波数分析結果とから実測の波形データを周波
数帯域Ｆ１〜Ｆ８に分割する。ピーク値演算器１０は、
実測された回転機の運転音の各周波数帯域毎のピーク値
を求める。
る。異常診断装置６は、全てディスクリートな個別のハ
ード部品で構成しても、また、マイクロプロセッサを用
いソフト的な構成とすることでもよいことは言うまでも
ない。この異常診断装置６では、周波数分析器５の分析
結果（波形データ）を取込装置８から取り込む。回転数
検出器２の検出値は取込装置１４にて取り込まれ、変換
器１５にて、その回転数検出値に対応する基準周波数の
値ｆNに変換される。次段の各特定周波数演算器１６
は、この基準周波数ｆNに基づき、該基準周波数ｆNを含
む８つの特定周波数（図３の一点鎖線で示す各周波数帯
域の中心となる周波数）を演算して求める。特定周波数
（基準周波数ｆNを含む。）が求められると、次ぎの周
波数帯域演算器１７がこの特定周波数を中心とする各周
波数帯域Ｆ１〜Ｆ８を決定し、異常音診断用閾値設定範
囲を分割する。周波数帯分割装置９は、この演算器１７
の出力と周波数分析結果とから実測の波形データを周波
数帯域Ｆ１〜Ｆ８に分割する。ピーク値演算器１０は、
実測された回転機の運転音の各周波数帯域毎のピーク値
を求める。
【００１２】回転機運転負荷検出器３（図１）の検出信
号は取込装置１８で取り込まれ、この負荷検出信号と回
転機用電動機の遮断器接点信号２０とが、異常音診断用
閾値設定器１９に取り込まれる。この異常音診断用閾値
設定器１９には前記した図４の閾値テーブルが格納され
ており、遮断器接点信号２０により回転機が起動モード
にあると判断されたときはそれに対応する各周波数帯域
の夫々の閾値が読み出される。また、負荷検出信号によ
り回転機の運転状態が判定され、同様に対応する各周波
数帯域の夫々の閾値が読み出される。
号は取込装置１８で取り込まれ、この負荷検出信号と回
転機用電動機の遮断器接点信号２０とが、異常音診断用
閾値設定器１９に取り込まれる。この異常音診断用閾値
設定器１９には前記した図４の閾値テーブルが格納され
ており、遮断器接点信号２０により回転機が起動モード
にあると判断されたときはそれに対応する各周波数帯域
の夫々の閾値が読み出される。また、負荷検出信号によ
り回転機の運転状態が判定され、同様に対応する各周波
数帯域の夫々の閾値が読み出される。
【００１３】この異常音診断用閾値設定器１９から読み
出された各閾値と、ピーク値演算器１０で求められた各
周波数帯域の実測データのピーク値とが、加減算器１１
Ｉ入力され、次段の比較器１２にて各周波数帯域におけ
る閾値と実測ピーク値とが比較され、比較結果が判定器
１３にて判定され、どの周波数帯域で異常音が発生して
いるか等が警報機に出力される。
出された各閾値と、ピーク値演算器１０で求められた各
周波数帯域の実測データのピーク値とが、加減算器１１
Ｉ入力され、次段の比較器１２にて各周波数帯域におけ
る閾値と実測ピーク値とが比較され、比較結果が判定器
１３にて判定され、どの周波数帯域で異常音が発生して
いるか等が警報機に出力される。
【００１４】以上述べたように、本実施例によれば、回
転機の各周波数帯域毎に異常音が発生しているか否かが
判定され、更に回転機の全運転範囲を運転状態に応じて
分割し各分割した夫々運転状態に応じて異常音の発生の
有無が判定されるので、回転機の些細な異常すら検出す
ることが可能となり、重大事故に至る前に対処すること
が可能となる。
転機の各周波数帯域毎に異常音が発生しているか否かが
判定され、更に回転機の全運転範囲を運転状態に応じて
分割し各分割した夫々運転状態に応じて異常音の発生の
有無が判定されるので、回転機の些細な異常すら検出す
ることが可能となり、重大事故に至る前に対処すること
が可能となる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、回転機の起動から全運
転範囲に渡ってきめ細かな異常診断が可能となり、異常
の兆候を事故発生前に検出して未然に事故を防ぐことが
可能となる。
転範囲に渡ってきめ細かな異常診断が可能となり、異常
の兆候を事故発生前に検出して未然に事故を防ぐことが
可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る異常診断装置の構成図
である。
である。
【図２】回転機の振動音（運転音）の周波数特性図であ
る。
る。
【図３】周波数帯域毎に閾値を設けて異常音の診断を行
う本発明の一実施例に係る異常診断方法の説明図であ
る。
う本発明の一実施例に係る異常診断方法の説明図であ
る。
【図４】回転機の運転状態に応じた閾値を設定したテー
ブル構成図である。
ブル構成図である。
【図５】図１に示す異常診断装置の内部構成図である。
１…加速度センサ、２…回転数検出器、３…回転機運転
負荷検出器、４…チャージ増幅器、５…周波数分析器、
６…異常音診断装置、７…警報装置、８…周波数分析結
果取込装置、９…周波数帯分割装置、１０…ピーク値演
算器、１１…加減算器、１２…比較判定器、１３…異常
周波数帯判定器、１４…回転数取込装置、１５…変換器
（回転数→周波数）、１６…各特定周波数演算器、１７
…周波数帯演算器、１８…回転機運転負荷取込装置、１
９…異常音診断用閾値設定器、２０…回転機用電動機遮
断器接点。
負荷検出器、４…チャージ増幅器、５…周波数分析器、
６…異常音診断装置、７…警報装置、８…周波数分析結
果取込装置、９…周波数帯分割装置、１０…ピーク値演
算器、１１…加減算器、１２…比較判定器、１３…異常
周波数帯判定器、１４…回転数取込装置、１５…変換器
（回転数→周波数）、１６…各特定周波数演算器、１７
…周波数帯演算器、１８…回転機運転負荷取込装置、１
９…異常音診断用閾値設定器、２０…回転機用電動機遮
断器接点。
Claims (9)
- 【請求項１】 回転機の運転音を検出し、検出結果を周
波数分析し、この周波数分析結果の実測値データを複数
の周波数帯域毎に分割し、各周波数帯域毎の実測値デー
タのピーク値と各周波数帯域毎に設定した閾値とを比較
し、閾値を実測値データのピークが超えた周波数帯域で
異常となっていることを診断することを特徴とする回転
機の異常診断方法。 - 【請求項２】 回転機の運転音を検出する手段と、検出
結果を周波数分析する手段と、この周波数分析結果の実
測値データを複数の周波数帯域毎に分割する手段と、各
周波数帯域毎の実測値データのピーク値と各周波数帯域
毎に設定した閾値とを比較する手段と、閾値を実測値デ
ータのピークが超えた周波数帯域で異常となっているこ
とを診断する手段とを備えることを特徴とする回転機の
異常診断装置。 - 【請求項３】 回転機の運転音の検出結果を周波数分析
し、周波数分析結果の実測値データのピークと異常診断
用閾値とを比較して異常の診断を行う回転機の異常診断
方法において、前記異常診断用閾値を回転機の運転状態
に応じた値に変化させ回転機の運転状態に対応して異常
の診断を行うことを特徴とする回転機の異常診断方法。 - 【請求項４】 回転機の運転音の検出結果を周波数分析
し、周波数分析結果の実測値データのピークと異常診断
用閾値とを比較して異常の診断を行う回転機の異常診断
装置において、前記異常診断用閾値を回転機の運転状態
に応じた値に変化させる手段と、回転機の運転状態に対
応して異常の診断を行う手段を設けたことを特徴とする
回転機の異常診断装置。 - 【請求項５】 回転機の運転音を検出し、検出結果を周
波数分析し、この周波数分析結果の実測値データを複数
の周波数帯域毎に分割し、各周波数帯域毎の実測値デー
タのピーク値と各周波数帯域毎且つ回転機の運転状態毎
に設定した異常判別閾値とを比較し、回転機の運転状態
に応じた異常診断を周波数帯域毎に行うことを診断する
ことを特徴とする回転機の異常診断方法。 - 【請求項６】 回転機の運転音を検出する手段と、検出
結果を周波数分析する手段と、この周波数分析結果の実
測値データを複数の周波数帯域毎に分割する手段と、各
周波数帯域毎且つ回転機の運転状態毎に異常判定閾値を
設定する手段と、各周波数帯域毎の実測値データのピー
ク値と前記異常判定閾値とを比較する手段と、回転機の
運転状態に応じた異常診断を周波数帯域毎に行う手段と
を備えることを診断することを特徴とする回転機の異常
診断装置。 - 【請求項７】 請求項６において、異常判定閾値は、周
波数帯域毎且つ回転機運転状態毎に予めテーブルデータ
としてメモリに格納してあり回転機の運転状態検出値に
応じた各周波数帯域毎の異常判定閾値がメモリから読み
出され使用される構成となっていることを特徴とする回
転機の異常診断装置。 - 【請求項８】 請求項６または請求項７において、回転
機の運転状態の変化に伴って異常判定閾値と当該運転状
態に該当する閾値に変更して異常の診断を行う構成とし
たことを特徴とする回転機の異常診断装置。 - 【請求項９】 請求項６乃至請求項８のいずれかにおい
て、回転機の運転状態は回転機用電動機の遮断器の入，
切信号と、回転機の負荷検出信号とにより判別すること
を特徴とする回転機の異常診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23989491A JPH0579903A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 回転機の異常診断方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23989491A JPH0579903A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 回転機の異常診断方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579903A true JPH0579903A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17051446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23989491A Pending JPH0579903A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 回転機の異常診断方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0579903A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07286892A (ja) * | 1994-04-18 | 1995-10-31 | Toshiba Corp | 回転機器の監視診断装置 |
| JPH1082689A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Kayaba Ind Co Ltd | 異音判定装置 |
| JPH1082693A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Kayaba Ind Co Ltd | 音色評価装置 |
| JP2002296105A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 故障箇所判定方法および故障箇所判定装置 |
| JP2003074478A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Toshiba Corp | 半導体製造装置用回転機の寿命予測方法及び半導体製造装置 |
| JP2003149042A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Ricoh Co Ltd | 回収品の再使用評価システム、再使用評価方法およびその方法をコンピュータに実行させるプログラム |
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