JPH0574939A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH0574939A
JPH0574939A JP3261099A JP26109991A JPH0574939A JP H0574939 A JPH0574939 A JP H0574939A JP 3261099 A JP3261099 A JP 3261099A JP 26109991 A JP26109991 A JP 26109991A JP H0574939 A JPH0574939 A JP H0574939A
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JP
Japan
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signal
line
signal line
group
lines
Prior art date
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Application number
JP3261099A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Okuma
禎幸 大熊
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent a signal-delay phenomenon that affects an adjacent signal conductor, by classifying signal conductors into common-input logic circuit groups, and providing a shielding wire between these groups of signal conductors for transmitting a decoded signal from a decoding circuit. CONSTITUTION:Each shielding line SL1 or SL2 is located between signal line groups, such as a group of signal conductors L1, L2, L3, and L4 for transmitting a decoded signal from a decoding circuit DEC1, a group of signal lines L5, L6, L7, and L8 from a decoding circuit DEC2, a group of signal lines L9, L10, L11, and L12 from a decoding circuit DEC 3. Then, a ground line GL is connected to the shielding lines SL1 and S12 through a connection line CL, which is provided at right angles to these shielding lines SL1 and SL2. In these three signal line groups, only one signal line in each group is set to a high level, and therefore two adjacent signal lines can not be changed to a high level at the same time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路技術さ
らには配線間のカップリング容量による信号の遅延防止
に適用して有効な技術に関し、例えばデコード信号を伝
える信号線群の構成方式に利用して有効な技術に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit technique and a technique effective when applied to a signal delay prevention due to a coupling capacitance between wirings. And about effective technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路においては、回路の高集
積化に伴い素子の間隔が小さくなる傾向がある。また、
例えばバス配線のように、複数の信号線が並行に配設さ
れることがあるが、このような信号線群においても、回
路の高集積化に伴いますます信号線ピッチが小さくなる
傾向がある。しかるに素子の間隔や信号線ピッチが小さ
いと、信号線間のカップリング容量等の寄生容量を介し
て一方の素子や信号線における信号の変化がこれに隣接
する他の素子や信号線上の信号に影響を与え、ノイズが
のったり信号が遅延する等の問題点がある。
2. Description of the Related Art In a semiconductor integrated circuit, the distance between elements tends to become smaller as the circuit becomes more highly integrated. Also,
For example, in the case of bus wiring, a plurality of signal lines may be arranged in parallel, but even in such a signal line group, the signal line pitch tends to become smaller as the circuit becomes highly integrated. .. However, if the element spacing or signal line pitch is small, the change in signal on one element or signal line will be transmitted to the signal on the other element or signal line adjacent to this via parasitic capacitance such as coupling capacitance between signal lines. There is a problem in that it affects and causes noise and signal delay.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来、半導体記憶装置
においては、記憶素子間の影響を防止するため、素子間
にシールド配線を設けるようにした発明が提案されてい
る(特願昭63−174113号)。しかしながら、上
述した信号線群における信号遅延について対策を行なっ
たものはなかった。そこで、各信号線間にシールド線を
設け、このシールド線をグランドレベル等に固定してお
くことによって、信号線間のカップリング容量による影
響(クロストーク)を防止する方法が考えられる。しか
しながら、各信号線間にシールド線を設ける方法にあっ
ては、並行に配設される信号線の数が多くなるほどシー
ルド線も多くなるため、信号線の占有面積が増大すると
いう不都合がある。
Conventionally, in a semiconductor memory device, there has been proposed an invention in which a shield wiring is provided between elements in order to prevent influence between memory elements (Japanese Patent Application No. 63-174113). issue). However, there has been no countermeasure against the signal delay in the signal line group described above. Therefore, a method of preventing the influence (crosstalk) due to the coupling capacitance between the signal lines by providing a shield line between the signal lines and fixing the shield line to the ground level or the like can be considered. However, in the method of providing the shield line between the signal lines, the shield line increases as the number of the signal lines arranged in parallel increases, so that the occupied area of the signal line increases.

【0004】本発明の目的は、半導体集積回路上の信号
線群において信号線間のカップリング容量を介して一方
の信号線上の信号の変化がこれに隣接する他の信号線上
の信号に影響を与え、信号が遅延するのを防止できるよ
うな信号線のレイアウト技術を提供することにある。こ
の発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴につ
いては、本明細書の記述および添附図面から明らかにな
るであろう。
An object of the present invention is that in a signal line group on a semiconductor integrated circuit, a change in a signal on one signal line affects a signal on another signal line adjacent to the signal line via a coupling capacitance between the signal lines. An object of the present invention is to provide a signal line layout technique that can prevent a signal from being delayed. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、デコーダ回路
によってデコードされた後の信号は、入力を共通にする
論理回路群毎にそのうち一つのみがハイレベルもしくは
ロウレベルになるもので、これらの信号線群では隣接す
る2つ(両側)の信号線上の信号が同時に変化すること
はないこと。また、信号線間のクロストークは、隣接す
る2つ(両側)の信号線上の信号が同時に変化する場合
が特に大きく、片側の信号線上の信号が変化してもそれ
ほど大きくないことに着眼してなされたものである。す
なわち、本発明は、デコーダ回路によってデコードされ
た後の信号を伝える信号線群を、入力を共通にする論理
回路群毎にグループ分けし、これらのグループ信号線群
間に、例えば電源配線もしくはテスト用信号線からなる
シールド線を配設するようにしたものである。この思想
は、マイクロコンピュータ等におけるバス配線にも適用
することができる。また、シールド線によって分割され
た上記信号線群は、互いに隣接していた信号線同志が途
中から隣接しなくなるように交差させる。
According to the present invention, only one of the signals after being decoded by the decoder circuit becomes high level or low level for each logical circuit group having a common input. In the signal line group, signals on two adjacent (both sides) signal lines should not change at the same time. In addition, the crosstalk between the signal lines is particularly large when the signals on the adjacent two (both sides) signal lines change at the same time, and it is not so large even if the signal on the signal line on one side changes. It was made. That is, according to the present invention, a signal line group for transmitting a signal decoded by a decoder circuit is divided into groups for each logic circuit group having a common input, and a power supply line or a test is provided between these group signal line groups. A shielded line composed of a signal line for use is arranged. This idea can also be applied to bus wiring in a microcomputer or the like. Further, the signal line groups divided by the shield line are crossed so that the signal lines that are adjacent to each other are not adjacent to each other in the middle.

【0006】[0006]

【作用】上記した手段によれば、シールド線が介在され
たため、隣接する2つ(両側)の信号線上の信号が同時
に変化することが回避され、信号線間のカップリング容
量を介して一方の信号線上の信号の変化によってこれに
隣接する他の信号線上の信号が遅延する現象を防止する
という目的が達成される。
According to the above-mentioned means, since the shield line is interposed, it is possible to prevent the signals on the adjacent two (both sides) signal lines from changing at the same time, and one of them is coupled via the coupling capacitance between the signal lines. The purpose of preventing a phenomenon in which a signal on another signal line adjacent to the signal line is delayed due to a change in the signal on the signal line is achieved.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。図1は、本発明を半導体メモリのアドレス
デコード信号を伝達する信号線群に適用した場合の実施
例を示す。特に制限されないが、この実施例のメモリで
は、外部からのアドレス信号A0,A1に対応してこれ
をデコードするデコード回路DEC1と、アドレス信号
A2,A3に対応してこれをデコードするデコード回路
DEC2と、アドレス信号A4,A5に対応してこれを
デコードするデコード回路DEC3が設けられている。
ADB0〜ADB5は外部から供給されたECLレベル
等のアドレス信号A0〜A5をそれぞれ内部回路に適し
たレベルの信号に変換して上記デコード回路DEC1,
DEC2,DEC3に供給するアドレスバッファ回路で
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a signal line group for transmitting an address decode signal of a semiconductor memory. Although not particularly limited, in the memory of this embodiment, there are a decode circuit DEC1 for decoding the address signals A0 and A1 from the outside and a decode circuit DEC2 for decoding the address signals A2 and A3. , A decode circuit DEC3 for decoding the address signals A4 and A5 is provided.
The ADB0 to ADB5 convert the address signals A0 to A5 of the ECL level or the like supplied from the outside into signals of a level suitable for the internal circuits, respectively, and decode the decoding circuits DEC1,
The address buffer circuit is supplied to the DEC2 and DEC3.

【0008】この実施例では、上記デコード回路DEC
1によってデコードされた信号を伝達する信号線群L
1,L2,L3,L4と、上記デコード回路DEC2に
よってデコードされた信号を伝達する信号線群L5,L
6,L7,L8と、上記デコード回路DEC3によって
デコードされた信号を伝達する信号線群L9,L10,
L11,L12との間に、図2に拡大して示すように、
シールド線SL1とSL2がそれぞれ介在するように配
設されている。そして、このシールド線SL1とSL2
は、特に制限されないが、これとほぼ直交する方向に配
設された結合線CLによって回路の接地電位を与えるグ
ランドラインGLに接続されている。上記結合線CL
は、信号線L1〜L12を形成する配線層と異なる配線
層によって形成される。
In this embodiment, the decoding circuit DEC is used.
Signal line group L for transmitting the signal decoded by 1
1, L2, L3, L4 and signal line groups L5, L for transmitting signals decoded by the decoding circuit DEC2.
6, L7, L8 and signal line groups L9, L10 for transmitting the signals decoded by the decoding circuit DEC3.
Between L11 and L12, as shown enlarged in FIG.
The shield lines SL1 and SL2 are arranged so as to be interposed therebetween. Then, the shield lines SL1 and SL2
Is not particularly limited, but is connected to a ground line GL that gives the ground potential of the circuit by a coupling line CL arranged in a direction substantially orthogonal to this. Above bond line CL
Is formed by a wiring layer different from the wiring layer forming the signal lines L1 to L12.

【0009】上記実施例においては、3つの信号線群は
それぞれその中の一本のみがハイレベルにされ、他の3
本の信号線はロウレベルにされる。従って、各信号線群
の中では、隣接する2つ(両側)の信号線上の信号が同
時に変化することはない。一方、信号線L4,L5,L
8,L9に関しては、シールド線SL1,SL2がない
と仮定すると、両側の信号線上の信号が同時に逆方向に
変化する場合がある。例えば信号線L5に着目した場
合、信号線L5上の信号X5がロウレベルからハイレベ
ルに変化するときに、信号線L4上の信号X4および信
号線L6上の信号X6がハイレベルからロウレベルに変
化することがある。この場合、シールド線SL1がない
と図3に破線イで示すように、配線間のカップリング容
量を介して信号X4とX6の変化が影響して信号X5が
遅延されてしまうが、上記実施例では信号線L4,L
5,L8,L9間にシールド線SL1が配設されている
ため、カップリング容量を介した信号X4の変化の影響
が小さくなり、信号X5の遅延が減少される。信号線L
4,L8,L9上の信号についても同様である。また、
グランド配線GLを上記信号線群と並行に配設する場合
には、同一電流密度を保証するのに本来のグランド配線
の線幅を小さくすることが可能となる。
In the above embodiment, only one of the three signal line groups is set to high level and the other three signal line groups are set to high level.
The signal line of the book is set to low level. Therefore, in each signal line group, signals on adjacent two (both sides) signal lines do not change at the same time. On the other hand, the signal lines L4, L5, L
As for 8 and L9, assuming that there are no shield lines SL1 and SL2, the signals on the signal lines on both sides may change in opposite directions at the same time. For example, when focusing on the signal line L5, when the signal X5 on the signal line L5 changes from the low level to the high level, the signal X4 on the signal line L4 and the signal X6 on the signal line L6 change from the high level to the low level. Sometimes. In this case, if the shield line SL1 is not provided, the signal X5 is delayed due to the change of the signals X4 and X6 via the coupling capacitance between the wirings as shown by the broken line B in FIG. Then the signal lines L4, L
Since the shield line SL1 is arranged between 5, L8 and L9, the influence of the change of the signal X4 via the coupling capacitance is reduced, and the delay of the signal X5 is reduced. Signal line L
The same applies to the signals on 4, L8 and L9. Also,
When the ground wiring GL is arranged in parallel with the signal line group, it is possible to reduce the original line width of the ground wiring in order to guarantee the same current density.

【0010】図4には本発明の第2の実施例が示されて
いる。この実施例は、信号線群L1,L2,L3,L4
を、互いに隣接していた信号線同志が途中から隣接しな
くなるように交差させたものである。すなわち、第1行
目の信号線L1を途中で第3行目に移し、第2行目の信
号線L2を途中で第1行目に、第3行目の信号線L3を
途中で第4行目に、そして第4行目の信号線L4を途中
で第2行目にそれぞれ移したものである。各信号線を交
差結合する結合線CL1,CL2(破線で示す)は、信
号線(実線で示す)を形成する配線層と異なる配線層に
よって形成される。
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the signal line groups L1, L2, L3, L4
Are crossed so that the signal lines that were adjacent to each other will not be adjacent from the middle. That is, the signal line L1 of the first row is moved to the third row midway, the signal line L2 of the second row is midway through the first line, and the signal line L3 of the third row is midway through the fourth line. The signal line L4 of the fourth row and the signal line L4 of the fourth row are moved to the second row in the middle. The coupling lines CL1 and CL2 (shown by broken lines) that cross-couple the signal lines are formed by a wiring layer different from the wiring layer that forms the signal lines (shown by solid lines).

【0011】ここでは、信号線群L1,L2,L3,L
4についてのみ図示したが、他の信号線群L5,L6,
L7,L8や信号線群L9,L10,L11,L12に
ついても同様に配線の途中で交差させるようにする。な
お、上記実施例では、各信号線群がそれぞれ4本である
場合について説明したが、各信号線群がそれぞれ8本あ
るいは16本等である場合、さらには信号線群毎に本数
が異なる場合にも適用することができる。また、上第2
の記実施例では、配線の途中で1回のみ交差させたもの
を示したが、各信号線を途中で2回以上交差させるよう
にしても良い。さらに、上記実施例では、グランド配線
をシールド線に利用しているが、電源電圧Vccライン
やテスト用の信号線をシールド線として利用するように
してもよい。
Here, the signal line groups L1, L2, L3, L
Although only FIG. 4 is shown, other signal line groups L5, L6,
Similarly, L7, L8 and the signal line groups L9, L10, L11, L12 are made to intersect in the middle of the wiring. In the above embodiment, the case where each signal line group is four has been described. However, when each signal line group is eight or sixteen, or when the number of signal line groups is different. Can also be applied to. Also, the second upper
In the above embodiment, the wiring is shown to intersect only once in the middle of the wiring, but each signal line may be intersected twice or more in the middle. Further, although the ground wiring is used as the shield wire in the above-described embodiment, the power supply voltage Vcc line or the test signal wire may be used as the shield wire.

【0012】以上説明したように上記実施例は、デコー
ダ回路によってデコードされた後の信号を伝える信号線
群を、入力を共通にする論理回路群毎にグループ分け
し、これらのグループ信号線群間に、例えば電源配線も
しくはテスト用信号線からなるシールド線を配設するよ
うにしたので、シールド線によって隣接する2つ(両
側)の信号線上の信号が同時に変化することが回避さ
れ、信号線間のカップリング容量を介して一方の信号線
上の信号の変化によってこれに隣接する他の信号線上の
信号が遅延する現象を防止することができるという効果
がある。また、シールド線によって分割された上記信号
線群を、互いに隣接していた信号線同志が途中から隣接
しなくなるように交差させるようにしたので、隣接する
他の信号線上の信号の変化による影響(クロストーク)
が半減され、信号の遅延をさらに効果的に防止すること
ができるという効果がある。
As described above, in the above embodiment, the signal line groups for transmitting the signals after being decoded by the decoder circuit are grouped for each logical circuit group having a common input, and the group of signal line groups are connected to each other. In addition, for example, since the shield wire composed of the power supply wiring or the test signal wire is arranged, it is possible to prevent the signals on two adjacent (both sides) signal wires from being changed simultaneously by the shield wire, and There is an effect that it is possible to prevent a phenomenon in which a signal on one of the signal lines is delayed by a change in the signal on one of the signal lines via the coupling capacitance of the above-mentioned signal. Further, since the signal line group divided by the shield line is made to intersect so that the signal lines adjacent to each other are not adjacent to each other on the way, the influence of the change in the signal on the other adjacent signal line ( Crosstalk)
Is halved, and the signal delay can be prevented more effectively.

【0013】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば上記
実施例では、デコーダ回路によってデコードされた後の
信号を伝える信号線群に適用したものについて説明した
が、バス配線その他複数の信号線が隣接して並行に配設
されている場合に適用することができる。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say. For example, in the above-described embodiment, the description has been given of the case where the present invention is applied to the signal line group which transmits the signal after being decoded by the decoder circuit, but it is applied when the bus wiring and a plurality of signal lines are adjacently arranged in parallel. can do.

【0014】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
集積回路における信号線の構成に適用した場合について
説明したが、この発明はそれに限定されるものでなく、
プリント基板上の信号線の構成に利用することができ
る。
In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the structure of the signal line in the semiconductor integrated circuit which is the field of application of the background has been described, but the invention is not limited thereto. Not
It can be used for the configuration of signal lines on a printed circuit board.

【0015】[0015]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。すなわち、半導体集積回路上の信号線
群において信号線間のカップリング容量を介して一方の
信号線上の信号の変化がこれに隣接する他の信号線上の
信号に影響を与え、信号が遅延するのを防止することが
できる。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, in a signal line group on a semiconductor integrated circuit, a change in a signal on one signal line affects a signal on another signal line adjacent to the signal line via a coupling capacitance between the signal lines, and the signal is delayed. Can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を半導体メモリのアドレスデコード信号
を伝達する信号線群に適用した場合の実施例を示すブロ
ック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment in which the present invention is applied to a signal line group for transmitting an address decode signal of a semiconductor memory.

【図2】上記アドレスデコード信号を伝達する信号線群
の具体的レイアウトの一例を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing an example of a specific layout of a signal line group for transmitting the address decode signal.

【図3】信号線群を伝達される信号のタイミングを示す
タイムチャートである。
FIG. 3 is a time chart showing timings of signals transmitted through a signal line group.

【図4】信号線群の具体的レイアウトの他の実施例を示
す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing another embodiment of the specific layout of the signal line group.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

L1〜L4,L5〜L8,L9〜L12 信号線群 DEC1,DEC2,DEC3 デコーダ(入力を共通
にする論理回路群) SL1,SL2 シールド線 GL グランド配線
L1 to L4, L5 to L8, L9 to L12 Signal line group DEC1, DEC2, DEC3 Decoder (Logic circuit group having common inputs) SL1, SL2 Shield line GL Ground line

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 デコーダ回路によってデコードされた後
の信号を伝える信号線群を、入力を共通にする論理回路
群毎にグループ分けし、これらのグループ信号線群間に
シールド線を配設してなることを特徴とする半導体集積
回路
1. A signal line group for transmitting a signal decoded by a decoder circuit is divided into groups for each logic circuit group having a common input, and a shield line is arranged between these group signal line groups. Semiconductor integrated circuit characterized by
【請求項2】 上記シールド線は、電源配線もしくはテ
スト用信号線を兼用していることを特徴とする請求項1
記載の半導体集積回路。
2. The shield line also serves as a power line or a test signal line.
The semiconductor integrated circuit described.
【請求項3】 上記シールド線によって分割された信号
線群は、互いに隣接していた信号線同志が途中から隣接
しなくなるように交差されていることを特徴とする請求
項1記載の半導体集積回路。
3. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the signal line group divided by the shield line is crossed so that the signal lines that are adjacent to each other are not adjacent to each other in the middle. ..
JP3261099A 1991-09-11 1991-09-11 Semiconductor integrated circuit Pending JPH0574939A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010003099A (en) * 1999-06-21 2001-01-15 구자홍 Method for transmitting signal of deep sub-micron wire
JP2007207301A (en) * 2006-01-31 2007-08-16 Ricoh Co Ltd Semiconductor memory device
CN103823459A (en) * 2012-11-16 2014-05-28 哈尔滨飞机工业集团有限责任公司 Engine control box tester

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