JPH0573511U - 触針式測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】スライドロッドを進退自在に突出させてその先
端を被測定物に当接させ、スライドロッドの移動量を検
知することにより被測定物の長さ、厚さや幅を測定する
触針式測定器において、スライドロッドの進退による摩
耗を防止して測定精度の劣化を少なくして長寿命化を図
り、また、測定器の全長を短くし、さらに、測定に際し
測定命令を与えるだけで一連の測定制御シーケンスを実
行するものを得ることである。 【構成】レールとスライダの間に転動するベアリングボ
ールを挾んだリニアベアリングのレールを本体ケースに
固定し、このレールを走行するスライダにスライドロッ
ドと進出料の検知器を固定して、軸受のような摺動部分
なしにスライドロッドを進退自在に支持する。また、一
連の制御シーケンスを記憶した制御装置を組み込む。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、被測定物を進退自在なロッド（針）によって一定圧力で基準面に押 し当て、その幅や長さ、厚さを測定する触針式測定器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、触針式測定器（４３）は、図９に示すように、進出させた先端の測定子 （４４）を被測定物に接触させるスライドロッド（４５）と、このスライドロッ ド（４５）の移動量を検出するための検知器（４６）からなり、前記スライドロ ッド（４５）は略両端に設けられた軸受（４７）（４８）によって支持されてい た。

【０００３】 このような従来の触針式測定器（４３）を自動化した製造ラインなどに組み込 む場合は、図１０に示すように測定器（４３）の後方にアクチュエータ（４９） を設け、ピストンロッドと（５１）の先端とスライドロッド（４５）を後端を固 定して進退させるようにしていた。アクチュエータ（４９）は、例えば、エアコ ンプレッサなどの高圧空気供給源（１６）からエアシリンダ（５０）に高圧空気 を供給してピストンロッド（５１）を進出させ、この高圧空気を抜いて戻しばね （５２）によって元に戻るようにしたものである。このような構成では、全体の 長さがスライドロッド（４５）の長さ＋アクチュエータ（４９）の長さになり、 長大になるという問題点があった。

【０００４】 また、本願出願人は、以上のような問題点に鑑み、実開昭６１−１０２９１０ 号において、アクチュエータとスライドロッドを並列に配した触針式測定器を提 案した。この実開昭６１−１０２９１０号で提案した触針式測定器は、エアシリ ンダとピストンロッドからなるアクチュエータとスライドロッドが並列に設けら れ、スライドロッドとピストンロッドの間は連結板によって結合されている。ま た、スライドロッドは略両端に設けられた軸受によって支持されている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

従来の触針式測定器は、軸受（４７）（４８）内をスライドロッド（４５）が 摺動するので軸受（４７）（４８）が摩耗し、スライドロッド（４５）の進退の 直線性が損なわれてゆく。その結果、測定精度が徐々に悪くなってゆき、要求さ れる最小の測定限界によって異なるが、一般にスライドロッド（４５）が１０万 往復程度で測定誤差が限界を超えてしまうという問題点があった。

【０００６】 また、スライドロッド（４５）が進出したときに後側の軸受（４９）から抜け ないように、軸受（４７）から後方に進出量分の長さを必要とするばかりか、軸 受（４７）（４８）の長さの分も必要になるので、スライドロッド（４５）その ものが長いという問題点があった。

【０００７】 また、図１０のようにピストンロッド（５１）とスライドロッド（４５）を固 定する場合、ピストンロッド（５１）とスライドロッド（４５）が完全に同一軸 心上になければならず、これがずれているとスライドロッド（４５）の動きが悪 くなったり、軸受（４７）（４８）への負担が増大して、軸受（４７）（４８） の摩耗を促進するという問題点があった。

【０００８】 さらに、これらの測定器（４３）とアクチュエータ（４９）を自動化製造ライ ンに組み込んだ場合、測定器（４３）とアクチュエータ（４９）のそれぞれに対 して順次動作命令信号を送信しなければならないので、製造ラインの制御シーケ ンスが複雑になりシーケンサの負担が増大するという問題点があった。

【０００９】 具体的には、高圧空気供給源（１６）から高圧空気をエアシリンダ（５０） に送る（バルブの切換）動作命令、測定子（４４）が被測定物に接触したかど うかの確認または接触するのに充分な時間待ち命令、スライドロッド（４５） の移動距離データのサンプリング命令、エアシリンダ（５０）から高圧空気を 抜く（ソレノイドバルブの切換）命令などが最低限必要になり、さらに移動距離 のデータを必要な単位系に変換しなければならない。数回のサンプリングデータ を平均化してスライドロッド（４５）の移動距離とするような場合には、さらに 複雑な測定制御シーケンスを製造ラインの制御シーケンスに組み込まなければな らない。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、第１に、軸受の摩耗およびスライドロッドの長大化という問題点を 解決するために、スライドロッドを本体ケースから進退自在に突出させて被測定 物にその先端の測定子を当接させ、前記スライドロッドの進出量を検知器によっ て検出して基準面からの距離を測定する触針式測定器において、前記スライドロ ッドを、リニアベアリングを介して進退自在に本体ケースに支持してなるもので ある。リニアベアリングは、本体ケースに固定されたレールと、このレール内を 走行するスライダと、レールとスライダの間に挾まれて転動するベアリングボー ルからなり、スライダにスライドロッドを固定される。

【００１１】 また、本考案は、第２に、複雑な測定制御シーケンスを製造ラインの制御シー ケンスに組み込まなければならないという問題点を解決するために、測定制御シ ーケンスを記憶し、外部からの測定命令信号によりこの測定制御シーケンスに基 づいてアクチュエータの進退制御と、検知器によるサンプリングと、測定データ の出力とを行なわしめる制御装置を具備してなるものである。

【００１２】

【作用】

測定時にアクチュエータなどにより、スライドロッドを本体ケースから突出さ せて、先端の測定子を被測定物に当接させる。このとき、レールとスライダの間 に挾まれたベアリングボールが転がり、レールやスライダをほとんど摩耗させず に進退が行なわれる。 また、複雑な制御シーケンスは測定器内の制御装置に格納して、製造ラインの 制御シーケンスには簡単な測定命令と測定結果の受信命令が加えられる。

【００１３】

【実施例】

本考案の一実施例を図１ないし図７に基づいて説明する。 図１において、（２）は本体ケース（１）の一端からその先端を突出させたス ライドロッドであり、突出した先端に球状または半球状の測定子（３）が形成さ れている。このスライドロッド（２）は、リニアベアリング（４）を介して進退 自在に本体ケース（１）に支持されている。

【００１４】 リニアベアリング（４）は、図３および図４に示すように、本体ケース（１） に固定されたレール（５）と、このレール（５）を走行するスライダ（６）から なり、レール（５）とスライダ（６）のそれぞれ相対する位置にボールレース溝 （８）（９）がスライダ（６）の移動方向に沿って設けられている。これらのボ ールレース溝（８）（９）の間には、スライダ（６）の進退によって転動する多 数のベアリングボール（７）が挾まれているが、これらのボールレース溝（８） （９）は、それぞれ左右に４５度の位置４点でベアリングボール（７）に接する ように半楕円形に形成されている。

【００１５】 スライダ（６）には、ボールレース溝（９）の両端を結ぶように、１本のピア ノ線による保持器（４１）が突出して設けられており、スライダ（６）の内部に はボールレース溝（９）と平行して循環路（１０）が設けられている。 レール（５）のボールレース溝（８）の奥には、前記保持器（４１）の遊嵌す る逃げ溝（４２）が設けられている。

【００１６】 （１１）は、前記スライドロッド（２）を進退させるための付勢手段のエアシ リンダであり、スライドロッド（２）の直後に直列的に配置されている。このエ アシリンダ（１１）には、進退自在で、かつ、その先端がエアシリンダ（１１） から前記スライドロッド（２）側に突出したピストンロッド（１２）が、図２に 示すように、第１チャンバー（１３）と第２チャンバー（１４）を区画・密閉す るように挿入されている。

【００１７】 第１チャンバー（１３）および第２チャンバー（１４）は、それぞれチャンバ ー（１３）（１４）に向かって空気の通過できる逆止弁（３３）（３４）と絞り 弁（３５）（３６）の並列回路を介してソレノイドバルブ（１５）に接続されて いる。ソレノイドバルブ（１５）には、さらに、一方のバルブ（１５₁）が外部 に設けられたエアコンプレッサーなどの高圧空気供給源（１６）が接続され、他 方のバルブ（１５₂）が大気に開放されている。

【００１８】 前記スライドロッド（２）とピストンロッド（１２）は、フレキシブルジョイ ント（１７）により連結されている。このフレキシブルジョイント（１７）は図 ５に示すように、前記スライドロッド（２）の後端部および前記ピストンロッド （１２）の先端部に螺設されたねじ（１８）（１９）に螺合して連結する引っ張 りばね（２０）と、スライドロッド（２）の後端部とピストンロッド（１２）の 先端部との間に挾まれた鋼球（２１）で構成されている。

【００１９】 スライドロッド（２）の後端またはピストンロッド（１２）の先端のいずれか 一方または両方には、浅い円錐形の凹み（２２）が設けられて前記鋼球（２１） が保持されている。図５は、ピストンロッド（１２）の先端に凹み（２２）を形 成した例を示す。 フレキシブルジョイント（１７）の構成は、これに限られるものではなく、例 えば、前記鋼球（２１）の代わり変わりにスライドロッド（２）の後端、または ピストンロッド（１２）の先端のいずれか一方を略半球形に形成してもよい。

【００２０】 前記スライドロッド（２）には、図６に示すように多数のスリット（２４）が 設けられたスケール（２３）が固定されており、さらに、このスケール（２３） に対峙させて図７に示すインデックススケール（２５）が本体ケース（１）に固 定されている。

【００２１】 前記スケール（２３）のスリット（２４）は、図６に示すように、その幅とピ ッチｄが等しく設定されている。また、インデックススケール（２５）には、そ れぞれ前記スリット（２４）と同じ幅とピッチｄの第１スリット（２６）と第２ スリット（２７）が設けられているが、これら第１スリット（２６）と第２スリ ット（２７）は、図７に示すように、スライダの進行方向に（ｎ＋１／４）×ｄ （ｎは正の整数）の間隔をもって設けられている。この第１スリット（２６）と 第２スリット（２７）の間隔は（ｎ−１／４）×ｄとすることもある。

【００２２】 なお、図面の都合上、図６および図７において前記スリット（２４）（２６） （２７）の幅とピッチｄは相当に広く描かれているが、実際はピッチｄが最小測 定限度の２倍になる。例えば、最小測定限度が５μｍであれば、ピッチｄは１０ μｍである。

【００２３】 また、図４において、スリット（２４）（２６）（２７）はスケール（２３） とインデックススケール（２５）を貫通して形成するように描かれているが、実 際はガラスなどの光学的な透明基板に、蒸着や印刷などによりスリット（２４） （２６）（２７）を除く部分に遮光性の膜を形成する場合が多い。この場合、ス ケール（２３）とインデックススケール（２５）は、遮光性の膜を形成された面 同士が向かい合わせられる。

【００２４】 前記第１スリット（２６）と第２スリット（２７）には、それぞれに面して第 １受光素子（２８）と第２受光素子（２９）が設けられ、これらの第１、第２受 光素子（２８）（２９）と第１、第２発光素子（３０）（３１）が前記スケール （２３）とインデックススケール（２５）を挾んで対峙している。 前記スケール（２３）の前端には、前端検出用の第３受光素子（３７）と第３ 発光素子（３８）がスリット（２４）のない位置でスケール（２３）を挾んで対 峙している。

【００２５】 本体ケース（１）内には、制御装置（５３）が設けられており、この制御装置 （５３）は、図９に示すように、ＣＰＵ（５４）にＲＯＭまたはＲＡＭからなる 測定シーケンスの記憶装置（５５）が接続され、また、ＲＳ２３２Ｃなどのイン ターフェース（５６）を介して前記ＣＰＵ（５４）の上位に位置し、製造ライン を制御するシーケンサなど（図示せず）に接続されている。前記ＣＰＵ（５４） は、ドライバ（５７）を介して前記ソレノイドバルブ（１５）に接続され、さら に、Ａ／Ｄ変換器（５８）を介して前記第１、第２、第３受光素子に接続されて いる。

【００２６】 つぎに、以上の構成におけるスライドロッド（２）の進退動作について説明す る。 測定待機状態では、ソレノイドバルブ（１５）は、図２（ａ）に示すように切 り換えられており、第１チャンバー（１３）が大気に開放され、第２チャンバー （１４）が高圧空気供給源（１６）に接続されている。

【００２７】 被測定物が測定位置に達し、シーケンサなどからの測定命令信号がインターフ ェース（５６）を介してＣＰＵ（５４）に入力する。すると、ＣＰＵ（５４）は ドライバ（５７）を介してソレノイドバルブ（１５）を駆動して図２（ｂ）に示 すように切り換え、第１チャンバー（１３）を高圧空気供給源（１６）に接続す るとともに第２チャンバー（１４）を大気に開放する。すると、第１チャンバー （１３）には、高圧空気供給源（１６）の圧力が印加されるが、第２チャンバー （１４）内の高圧空気は絞り弁（３６）により通過が制限されているため、一気 に抜けずに徐々に抜けてゆき、これにしたがってピストンロッド（１２）が突出 してゆく。

【００２８】 ピストンロッド（１２）の突出により、スライドロッド（２）が押されて本体 ケース（１）から突出して、測定子（３）が被測定物に当接する。被測定物が基 準面に密着していれば、スライドロッド（２）とピストンロッド（１２）は停止 し、高圧空気供給源（１６）の空気圧に応じた圧力で被測定物を基準面に圧接す る。被測定物が基準面に密着していなければ、被測定物を基準面まで押し動かし て停止して被測定物を基準面に圧接する。

【００２９】 ピストンロッド（１２）とスライドロッド（２）が突出する際、スライドロッ ド（２）とピストンロッド（１２）の軸心が真直でなくても、フレキシブルジョ イント（１７）により結合されているので、スライドロッド（２）の突出方向が 曲げられたり、ピストンロッド（１２）が途中で引掛ったりすることはない。

【００３０】 第３受光素子（３７）には、測定待機状態では第３発光素子（３８）からの光 が入射しており、Ａ／Ｄ変換器（５８）を介してＣＰＵ（５４）にＯＮ信号を出 力している。スライドロッド（２）とともにスケール（２３）が動き始め、スケ ール（２３）により第３発光素子（３８）の光が遮られると、第３受光素子（３ ７）の出力はなくなり、ＣＰＵ（５４）にＯＦＦ信号が入力される。

【００３１】 ＣＰＵ（５４）に第３受光素子（３７）からＯＦＦ信号が入力されると、ＣＰ Ｕ（５４）は、Ａ／Ｄ変換器（５８）を介して入力される第１受光素子（２８） と第２受光素子（２９）からの出力によるパルスをカウントし始め、これに基づ いてレジスタの値を加算または減算してスライドロッド（２）の進出量をＣＰＵ （５４）内に保持している。第１受光素子（２８）と第２受光素子（２９）のパ ルスのカウントの詳細については後述する。 ＣＰＵ（５４）は、スライドロッド（２）の停止を確認して、保持されたスラ イドロッド（２）の進出量を読み出し、必要な単位系に変換した後インターフェ ース（５６）を介してシーケンサなどにデータとして出力する。

【００３２】 測定データをシーケンサに出力すると、ＣＰＵ（５４）は、ドライバ（５７） を介してソレノイドバルブ（１５）を図２（ａ）に示すように切り換えて、第１ チャンバー（１３）を大気に開放し、第２チャンバー（１４）を高圧空気供給源 （１６）に接続する。すると、ピストンロッド（１２）とスライドロッド（２） は、突出するときと逆に引っ込んでゆく。

【００３３】 そして、スケール（２３）が第３発光素子（３８）の光を遮らなくなり第３受 光素子（３７）に光が入射してＡ／Ｄ変換器（５８）を介してＣＰＵ（５４）に ＯＮ信号が入力する。ＣＰＵ（５４）にＯＮ信号が入力すると、ＣＰＵ（５４） は、内部に保持したスライドロッド（２）の進出量をリセットして０にする。

【００３４】 つぎに、スライドロッド（２）の進退によるリニアベアリング（４）の動作を 説明する。 スライドロッド（２）がピストンロッド（１２）により進退させられると、ス ライダ（６）がレール（５）内を前後に走行し、ボールレース溝（８）（９）に 挾まれたベアリングボール（７）がレール（５）に対しては進行方向に転がり、 スライダ（６）に対しては進行方向と反対に転がる。スライダ（６）の端部に達 したベアリングボール（７）は、保持器（４１）にすくい上げられるようにして 循環路（１０）入り、順次反対側の端部に搬送される。

【００３５】 ベアリングボール（７）は図４に示すように、左右に４５度の位置４点でボー ルレース溝（８）（９）に接しているので、縦方向、横方向からの力、進行方向 と直角なモーメントに対して、１個のベアリングボール（７）が常に２点以上の 支点を有し、また、進行方向と平行なモーメントに対しては直線上に並んだ複数 のベアリングボール（７）…により複数の支点を有するので、どのような方向か らの力、モーメントに対しても常に複数の支点を有しスライダ（６）の直進性が 保持される。

【００３６】 上述したスライドロッド（２）の移動量の検出は、周知の光学式エンコーダに よるものである。 まず、第１発光素子（３０）と第１受光素子（２８）による出力信号について 説明する。第１発光素子（３０）の光は、スケール（２３）のスリット（２４） とインデックススケール（２５）の第１スリット（２６）を通して第１受光素子 （３０）に入射する。

【００３７】 スライドロッド（２）が移動するとスリット（２４）と第１スリット（２６） の隙間の幅が変化して第１受光素子（３０）に入射する光量が変化する。例えば スライドロッド（２）を等速で移動させたときには、第１受光素子（３０）の出 力として略正弦波が得られる。この正弦波をＡ／Ｄ変換器（５９）でパルス化し てＣＰＵ（５４）でカウントし正弦波の数、すなわち通過したスリット（２４） の数＝スライドロッド（２）の移動量をカウントする。もちろん、スライドロッ ド（２）の移動速度が変化しても、パルスの幅が広くなったり狭くなったりする が、絶対的なパルスの数は変化せず、カウントされるパルスの数はスライドロッ ド（２）の移動量に比例する。

【００３８】 また、第２発光素子（３１）と第２受光素子（２９）による出力信号は、上述 と同様に正弦波が得られ、この正弦波をＡ／Ｄ変換器（５９）でパルス化してカ ウントする。 但し、第１スリット（２６）と第２スリット（２７）は（ｎ＋１／４）×ｄの 間隔を有しているので、９０度の位相差を生じ、ＣＰＵ（５４）はこの９０度の 位相差によってスライドロッド（２）の進行方向を特定して、カウント量を加算 するか減算するかを決定する。

【００３９】 以上の実施例では、Ａ／Ｄ変換器（５９）を直接ＣＰＵ（５４）に接続して、 第１受光素子（２８）と第２受光素子（２９）からのパルス数をＣＰＵ（５４） で判定してカウントするようにしたが、本考案はこれに限られるものではなく、 ＣＰＵ（５４）とＡ／Ｄ変換器（５８）の間にカウンタを挿入して、このカウン タでパルス数をカウントしてカウント量を保持するようにしても良い。

【００４０】 ＣＰＵ（５４）で判定して直接カウントできるパルス数は３０ｋＨｚ程度まで であり、これを超えるような速度でスライドロッド（２）を進退させることはで きないが、カウンタを挿入することにより、さらに速い速度に対応することがで きる。

【００４１】 以上の実施例では、シーケンサからの測定命令により、１回のサンプリングに 基づき測定データを出力する測定制御シーケンスの例で説明したが、本考案はこ れに限られるものではなく、例えば、複数回のサンプリングデータを平均化して 測定データとして出力する測定制御シーケンスなど種々の測定制御シーケンスを 組み込むことができる。また、制御装置内には、１つの測定制御シーケンスだけ でなく、複数の測定制御シーケンスを格納しておくことができ、異なる制御コー ドでそれぞれの測定制御シーケンスを実行させることができる。

【００４２】

【考案の効果】

本考案は、上述のようにスライドロッドをリニアベアリングにより進退自在に 支持するように構成したので、スライドロッドの進退による軸受の摩耗が無く、 スライドロッドの進退の直線性が保持され、従来に比して約１０倍の長寿命とな るという効果を有する。

【００４３】 また、スライドロッドとピストンロッドの間は折曲自在なフレキシブルジョイ ントで連結するようにしたので、スライドロッドとピストンロッドが完全な同一 軸心上になくても、これを吸収してスライドロッドの動きが悪くなることがない という効果を有する。

【００４４】 また、スライドロッドは、後方に突出する部分や軸受に常に保持されている部 分を必要とせず、スライダの進退方向の長さ（スケールの長さ）＋必要な進出量 だけでスライドロッドが短く構成できるという効果を有する。この結果、アクチ ュエータをスライドロッドの後方に配置したにもかかわらず、測定器全体の長さ がさほど長くならないという効果を有する。

【００４５】 さらに、本体内に制御装置を設け、制御装置内に記憶した測定制御シーケンス により、アクチュエータの制御や受光素子からのデータサンプリングを行ない、 測定データを出力するようにしたので、これらの細かい測定制御シーケンスを製 造ラインを制御するシーケンサに逐一組み込む必要がない。また、種々の測定手 順や方法を制御装置に記憶しておくことにより、シーケンサ側では命令１つを書 き換えるだけで簡単に測定手順の変更が出来るという効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による触針式測定器の一実施例を示す断
面図である。

【図２】（ａ）はスライドロッドの退入状態、（ｂ）は
進出状態を示す説明図である。

【図３】レールとスライダからなるリニアベアリングの
ベアリングボールを１部省略した拡大断面図である。

【図４】図１の一部省略したＡ−Ａ線拡大断面図であ
る。

【図５】フレキシブルジョイントの拡大断面図である。

【図６】スケールの拡大正面図である。

【図７】インデックススケールの拡大正面図である。

【図８】制御装置のブロック図である。

【図９】従来の触針式測定器を示す断面図である。

【図１０】従来のアクチュエータを取付けた触針式測定
器の説明図である。

【符号の説明】

（１）…本体ケース、（２）…スライドロッド、（３）
…測定子、（４）…リニアベアリング、（５）…レー
ル、（６）…スライダ、（７）…ベアリングボール、
（８）（９）…ボールレース溝、（１０）…循環路、
（１１）…エアシリンダ、（１２）…ピストンロッド、
（１３）…第１チャンバー、（１４）…第２チャンバ
ー、（１５）…ソレノイドバルブ、（１６）…高圧空気
供給源、（１７）…フレキシブルジョイント、（１８）
（１９）…ねじ、（２０）…引っ張りばね、（２１）…
鋼球、（２２）…円錐形の凹み、（２３）…スケール、
（２４）…スリット、（２５）…インデックススケー
ル、（２６）…第１スリット（２７）…第２スリッ
ト、、（２８）…第１受光素子、（２９）…第２受光素
子、（３０）…第１発行素子、（３１）…第２発光素
子、（３３）（３４）…逆止弁、（３５）（３６）…絞
り弁、（３７）…第３受光素子、（３８）…第３発光素
子、（４１）…保持器、（４２）…逃げ溝、（５３）…
制御装置、（５４）…ＣＰＵ、（５５）…記憶装置、
（５６）…インターフェース、（５７）…ドライバ、
（５８）…カウンタ、（５９）…Ａ／Ｄ変換器。

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】スライドロッドを本体ケースから進退自在
   に突出させて被測定物にその先端の測定子を当接させ、
   前記スライドロッドの進出量を検知器によって検出して
   基準面からの距離を測定する触針式測定器において、 前記スライドロッドを、リニアベアリングを介して進退
   自在に本体ケースに支持してなることを特徴とする触針
   式測定器。
2. 【請求項２】リニアベアリングは、本体ケースに固定さ
   れたレールと、このレール内を走行するスライダと、レ
   ールとスライダの間に挾まれて転動するベアリングボー
   ルからなり、スライダにスライドロッドを固定してなる
   ことを特徴とする請求項１記載の触針式測定器。
3. 【請求項３】ピストンロッドが進退するアクチュエータ
   をスライドロッドの後端側に直列に配置して設け、この
   ピストンロッドの先端とスライドロッドの後端をフレキ
   シブルジョイントで連結してなることを特徴とする請求
   項１記載の触針式測定器。
4. 【請求項４】フレキシブルジョイントは、ピストンロッ
   ドの先端とスライドロッドの後端に引っ張りばねを螺合
   して相互に折曲自在に連結し、ピストンロッドの先端と
   スライドロッドの後端の間に鋼球を挾持してなることを
   特徴とする請求項３記載の触針式測定器。
5. 【請求項５】フレキシブルジョイントは、ピストンロッ
   ドの先端とスライドロッドの後端に引っ張りばねを螺合
   して相互に折曲自在に連結し、ピストンロッドの先端ま
   たはスライドロッドの後端のいずれか一方を略半球形に
   形成してなることを特徴とする請求項３記載の触針式測
   定器。
6. 【請求項６】測定制御シーケンスを記憶し、外部からの
   測定命令信号によりこの測定制御シーケンスに基づい
   て、アクチュエータの進退制御と、検知器からの信号の
   サンプリングと、測定データの出力とを行なわしめる制
   御装置を具備してなることを特徴とする請求項１記載の
   触針式測定器。