JPH0572411A - 入射角調整装置 - Google Patents
入射角調整装置Info
- Publication number
- JPH0572411A JPH0572411A JP3141913A JP14191391A JPH0572411A JP H0572411 A JPH0572411 A JP H0572411A JP 3141913 A JP3141913 A JP 3141913A JP 14191391 A JP14191391 A JP 14191391A JP H0572411 A JPH0572411 A JP H0572411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- narrow band
- angle
- holder
- band filter
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光の入射角によって特性が変化する光学部品
を有する光学装置において、或る限定角度の光の入射角
を微調整して望ましい入射角に細かく設定し固定する構
造を得る。 【構成】 狭帯域フィルタ１を保持するホルダ１３は、
コリメータ支持筒９に同心円筒状に回転自在になってお
り、任意の円転位置で固定できる。そして、ホルダがフ
ィルタ１を回転軸５の垂線に対して保持する傾き角をα
度として取付面を形成することで、同心円筒の半回転を
調整角の±α度に対応させて微調整できる構造とする。
を有する光学装置において、或る限定角度の光の入射角
を微調整して望ましい入射角に細かく設定し固定する構
造を得る。 【構成】 狭帯域フィルタ１を保持するホルダ１３は、
コリメータ支持筒９に同心円筒状に回転自在になってお
り、任意の円転位置で固定できる。そして、ホルダがフ
ィルタ１を回転軸５の垂線に対して保持する傾き角をα
度として取付面を形成することで、同心円筒の半回転を
調整角の±α度に対応させて微調整できる構造とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光の入射角を拡大し
て微調整可能とする装置の構造に関するものである。
て微調整可能とする装置の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、例えば、公開特許公報 平２−
２２３８１５に示された光学部品の角度調整・固定手段
を用いた狭帯域フィルタ・モジュールの構造図である。
図において、１は光の入射角によって特性が変化する狭
帯域フィルタ、２は狭帯域フィルタ１の入射面の法線を
示す矢印、３は狭帯域フィルタ１を保持するホルダ、４
はホルダ３の回転方向を示す矢印、５はホルダ３の回転
軸、６は光ファイバ、７は光ファイバ６からの出射光を
平行光にする（または平行光を光ファイバ５に集光す
る）コリメート・レンズ、８はコリメート・レンズ７に
よって平行光に変換されたのち狭帯域フィルタ１に入射
する光線を示す矢印、９は光ファイバ６とコリメート・
レンズ７からなるファイバ・コリメータ、１０は偏心ピ
ンで、ホルダの回転軸５を中心に４方向に角度をかえて
微調整する。
２２３８１５に示された光学部品の角度調整・固定手段
を用いた狭帯域フィルタ・モジュールの構造図である。
図において、１は光の入射角によって特性が変化する狭
帯域フィルタ、２は狭帯域フィルタ１の入射面の法線を
示す矢印、３は狭帯域フィルタ１を保持するホルダ、４
はホルダ３の回転方向を示す矢印、５はホルダ３の回転
軸、６は光ファイバ、７は光ファイバ６からの出射光を
平行光にする（または平行光を光ファイバ５に集光す
る）コリメート・レンズ、８はコリメート・レンズ７に
よって平行光に変換されたのち狭帯域フィルタ１に入射
する光線を示す矢印、９は光ファイバ６とコリメート・
レンズ７からなるファイバ・コリメータ、１０は偏心ピ
ンで、ホルダの回転軸５を中心に４方向に角度をかえて
微調整する。
【０００３】次に狭帯域フィルタの特性、およびその入
射角依存性について説明する。図５は、狭帯域フィルタ
の透過特性の計算例を示す図である。図５に示されてい
るように、狭帯域フィルタは、ある波長の光のみ透過さ
せ、それ以外の波長の光を遮る特性を持っている。この
ため狭帯域フィルタ・モジュールは、光ファイバ増幅器
などにおいて、信号光を透過させ、雑音の原因であり信
号光とは波長が異なる自然放出光を遮ることに用いられ
る。図５において、透過率の最も大きな波長を透過中心
波長λ0 と言う。なお、図５の計算は、ＳiＯ2 とＴi
Ｏ2 の２９層の誘電体膜による狭帯域フィルタという条
件で行った。この計算例では、透過中心波長λ0の透過
率に対して透過率が−３ｄＢ以上の波長範囲は約１．５
nmである。
射角依存性について説明する。図５は、狭帯域フィルタ
の透過特性の計算例を示す図である。図５に示されてい
るように、狭帯域フィルタは、ある波長の光のみ透過さ
せ、それ以外の波長の光を遮る特性を持っている。この
ため狭帯域フィルタ・モジュールは、光ファイバ増幅器
などにおいて、信号光を透過させ、雑音の原因であり信
号光とは波長が異なる自然放出光を遮ることに用いられ
る。図５において、透過率の最も大きな波長を透過中心
波長λ0 と言う。なお、図５の計算は、ＳiＯ2 とＴi
Ｏ2 の２９層の誘電体膜による狭帯域フィルタという条
件で行った。この計算例では、透過中心波長λ0の透過
率に対して透過率が−３ｄＢ以上の波長範囲は約１．５
nmである。
【０００４】図６は、上記計算条件による狭帯域フィル
タの透過中心波長λ0 の入射角依存性についての計算結
果である。光ファイバ増幅器などにおける信号光の波長
は、１５３５nmや１５５３nmである。図６において、よ
り入射角依存性の小さい１５５３nmの信号光について透
過中心波長の入射角依存性を調べる。図６より透過中心
波長が１５５３nmとなる入射角は５°であり、５°付近
における透過中心波長の入射角依存性は、約−１nm/deg
である。このため、透過中心波長を１５５３±０．５nm
にするためには、入射角を５±０．５°と非常に狭い範
囲内に調整しなければならい。
タの透過中心波長λ0 の入射角依存性についての計算結
果である。光ファイバ増幅器などにおける信号光の波長
は、１５３５nmや１５５３nmである。図６において、よ
り入射角依存性の小さい１５５３nmの信号光について透
過中心波長の入射角依存性を調べる。図６より透過中心
波長が１５５３nmとなる入射角は５°であり、５°付近
における透過中心波長の入射角依存性は、約−１nm/deg
である。このため、透過中心波長を１５５３±０．５nm
にするためには、入射角を５±０．５°と非常に狭い範
囲内に調整しなければならい。
【０００５】従来の光学装置は上記のように、狭帯域フ
ィルタのホルダ３が矢印４の方向に回転可能な構造とな
っている。また、ホルダの回転軸５に対して光学部品へ
の入射光線８および光学部品の入射面の法線２が直面を
なすような構造となっている。このため、ホルダ３の回
転がそのまま光学部品の入射角変化となり、透過中心波
長を調整する。透過中心波長の調整後、回転軸調整手段
である１０により回転軸は調整されて、光学装置は組み
立てられる。
ィルタのホルダ３が矢印４の方向に回転可能な構造とな
っている。また、ホルダの回転軸５に対して光学部品へ
の入射光線８および光学部品の入射面の法線２が直面を
なすような構造となっている。このため、ホルダ３の回
転がそのまま光学部品の入射角変化となり、透過中心波
長を調整する。透過中心波長の調整後、回転軸調整手段
である１０により回転軸は調整されて、光学装置は組み
立てられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の光学装置は上記
のような構造なので、ホルダの回転がそのまま光学部品
への入射角の変化になるため、微妙な角度の調整が困難
である。また、固定時のピンのゆがみによる角度ずれが
そのまま光学部品への入射角ずれになってしまった。ま
た、ピンのゆるみにより固定後の信頼性にも問題があっ
た。
のような構造なので、ホルダの回転がそのまま光学部品
への入射角の変化になるため、微妙な角度の調整が困難
である。また、固定時のピンのゆがみによる角度ずれが
そのまま光学部品への入射角ずれになってしまった。ま
た、ピンのゆるみにより固定後の信頼性にも問題があっ
た。
【０００７】この発明は、このような問題点を解消する
ためになされたもので、光学部品への狭い入射角の範囲
の微妙な調整を大幅な変化で可能とし、また組み立て時
の光学部品への入射角ずれが小さく、また、調整後の変
化が少ない高信頼な構造を得ようとするものである。
ためになされたもので、光学部品への狭い入射角の範囲
の微妙な調整を大幅な変化で可能とし、また組み立て時
の光学部品への入射角ずれが小さく、また、調整後の変
化が少ない高信頼な構造を得ようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る入射角調
整装置は、光学部品のホルダが回転可能で、かつ、任意
回転位置で固定可能な構造とし、かつ、入射光軸に対し
て調整したい角度範囲を±α度とすると、ホルダが光学
部品を支持する面の回転軸に対する傾きをα度傾けた構
造とした。
整装置は、光学部品のホルダが回転可能で、かつ、任意
回転位置で固定可能な構造とし、かつ、入射光軸に対し
て調整したい角度範囲を±α度とすると、ホルダが光学
部品を支持する面の回転軸に対する傾きをα度傾けた構
造とした。
【０００９】
【作用】この発明においては、光学部品のホルダの調整
角を１８０°とし、これにより光学部品への入射角の調
整角度に対応させたので、ホルダの回転に対して入射角
が緩やかに変化する。
角を１８０°とし、これにより光学部品への入射角の調
整角度に対応させたので、ホルダの回転に対して入射角
が緩やかに変化する。
【００１０】
実施例１．図１は、この発明による狭帯域フィルタ・モ
ジュールの一実施例を示した構造図である。図におい
て、１〜９は、従来の狭帯域フィルタ・モジュールにお
ける同一符号のものと同様の機能を果たすものである。
１３のホルダは９のコリメータ支持筒と同心円筒状にな
っており、一部が中空円で、その部分に狭帯域フィルタ
１貼り付けてある。また、貼付部分１３ａは回転軸と垂
直な面に対し、調整角±αの半分の角度αだけ傾けた構
造とする。さらに、１３のホルダには、回転調整後、固
定するネジがある。
ジュールの一実施例を示した構造図である。図におい
て、１〜９は、従来の狭帯域フィルタ・モジュールにお
ける同一符号のものと同様の機能を果たすものである。
１３のホルダは９のコリメータ支持筒と同心円筒状にな
っており、一部が中空円で、その部分に狭帯域フィルタ
１貼り付けてある。また、貼付部分１３ａは回転軸と垂
直な面に対し、調整角±αの半分の角度αだけ傾けた構
造とする。さらに、１３のホルダには、回転調整後、固
定するネジがある。
【００１１】次に動作について説明する。図２は、狭帯
域フィルタのホルダ１３を回転したときの入射角変化の
説明図である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィル
タの法線２は傾けているため、ホルダ１３を回転させる
と狭帯域フィルタの法線２は、図２に点線で示されたよ
うに変化する。狭帯域フィルタへの入射角は、狭帯域フ
ィルタの法線２と狭帯域フィルタへの入射光線８のなす
角度である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィルタ
への入射光線８は傾いているので、ホルダ１３の回転に
ともなう狭帯域フィルタの法線２の変化により、狭帯域
フィルタへの入射角を変えることができる。αを調整し
たい範囲の調整角度±αから計算し設定することで、調
整のために同心円方向、つまり図１の４の方向に１８０
度回転させることで、入射角は±α度変化する。
域フィルタのホルダ１３を回転したときの入射角変化の
説明図である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィル
タの法線２は傾けているため、ホルダ１３を回転させる
と狭帯域フィルタの法線２は、図２に点線で示されたよ
うに変化する。狭帯域フィルタへの入射角は、狭帯域フ
ィルタの法線２と狭帯域フィルタへの入射光線８のなす
角度である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィルタ
への入射光線８は傾いているので、ホルダ１３の回転に
ともなう狭帯域フィルタの法線２の変化により、狭帯域
フィルタへの入射角を変えることができる。αを調整し
たい範囲の調整角度±αから計算し設定することで、調
整のために同心円方向、つまり図１の４の方向に１８０
度回転させることで、入射角は±α度変化する。
【００１２】図３は、ホルダ１３の回転角を変えたとき
の狭帯域フィルタへの入射角変化を計算した結果であ
る。なお、ホルダの回転軸に対する狭帯域フィルタの法
線および狭帯域フィルタへの入射光線の傾き角は、それ
ぞれ２°および５°とした。図３より、ホルダの１８０
°の回転に対して狭帯域フィルタへの入射角は３°〜７
°と緩やかに変化していることがわかる。図２におい
て、ホルダの回転軸５と狭帯域フィルタへの入射光線８
が紙面内にあるとすればわかるように、一般に、ホルダ
の回転軸に対する狭帯域フィルタの法線および狭帯域フ
ィルタへの入射光線の傾き角をα、βとすると、ホルダ
の１８０°の回転に対して狭帯域フィルタへの入射角は
｜β−α｜〜｜β＋α｜の範囲で変化する。α、βを選
ぶことにより、微妙な入射角の調整が可能となる。
の狭帯域フィルタへの入射角変化を計算した結果であ
る。なお、ホルダの回転軸に対する狭帯域フィルタの法
線および狭帯域フィルタへの入射光線の傾き角は、それ
ぞれ２°および５°とした。図３より、ホルダの１８０
°の回転に対して狭帯域フィルタへの入射角は３°〜７
°と緩やかに変化していることがわかる。図２におい
て、ホルダの回転軸５と狭帯域フィルタへの入射光線８
が紙面内にあるとすればわかるように、一般に、ホルダ
の回転軸に対する狭帯域フィルタの法線および狭帯域フ
ィルタへの入射光線の傾き角をα、βとすると、ホルダ
の１８０°の回転に対して狭帯域フィルタへの入射角は
｜β−α｜〜｜β＋α｜の範囲で変化する。α、βを選
ぶことにより、微妙な入射角の調整が可能となる。
【００１３】この発明による狭帯域フィルタ・モジュー
ルでは、回転のための特別な機構が不要なため小形・高
信頼な構造である。また、狭帯域フィルタのホルダ１３
をファイバ・コリメータ９にネジ止め、接着またはＹＡ
Ｇレーザ溶接でのメタル固定などの方法により固定する
ことで、組み立て後の狭帯域フィルタへの入射角の経年
変化が起こりにくく、高信頼な狭帯域フィルタ・モジュ
ールが得られる。
ルでは、回転のための特別な機構が不要なため小形・高
信頼な構造である。また、狭帯域フィルタのホルダ１３
をファイバ・コリメータ９にネジ止め、接着またはＹＡ
Ｇレーザ溶接でのメタル固定などの方法により固定する
ことで、組み立て後の狭帯域フィルタへの入射角の経年
変化が起こりにくく、高信頼な狭帯域フィルタ・モジュ
ールが得られる。
【００１４】なお、特開平３−２２２２６にレーザ光の
円板への照射光の範囲調整のためにプリズム軸のまわり
に回転させる構造が考えられているが、１８０度の回転
を調整角±αの狭い範囲に変換する思想は全くない。な
お、上記実施例においては、光の入射角によって特性が
変化する光学部品として狭帯域フィルタを有する狭帯域
フィルタ・モジュールについて述べたが、狭帯域フィル
タ以外の光学部品についても利用できるということはい
うまでもない。
円板への照射光の範囲調整のためにプリズム軸のまわり
に回転させる構造が考えられているが、１８０度の回転
を調整角±αの狭い範囲に変換する思想は全くない。な
お、上記実施例においては、光の入射角によって特性が
変化する光学部品として狭帯域フィルタを有する狭帯域
フィルタ・モジュールについて述べたが、狭帯域フィル
タ以外の光学部品についても利用できるということはい
うまでもない。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、光学
部品のホルダの回転軸に対してホルダの支持面を調整角
の半分に対応した角度だけ傾けたので、ホルダの大幅な
回転に対して入射角が緩やかに変化する。このため、光
学部品への微妙な入射角の調整ができる。しかも組み立
て時にホルダのホルダの回転ずれがおこっても光学部品
への入射角ずれに影響する割合が少なく、固定が容易で
経年変化が少ないという効果がある。
部品のホルダの回転軸に対してホルダの支持面を調整角
の半分に対応した角度だけ傾けたので、ホルダの大幅な
回転に対して入射角が緩やかに変化する。このため、光
学部品への微妙な入射角の調整ができる。しかも組み立
て時にホルダのホルダの回転ずれがおこっても光学部品
への入射角ずれに影響する割合が少なく、固定が容易で
経年変化が少ないという効果がある。
【図１】この発明の一実施例を示す狭帯域フィルタ・モ
ジュールの構造図である。
ジュールの構造図である。
【図２】ホルダを回転させたときの狭帯域フィルタへの
入射角変化の説明図である。
入射角変化の説明図である。
【図３】この発明の一実施例のホルダを回転させた時の
狭帯域フィルタへの入射角変化を計算した結果である。
狭帯域フィルタへの入射角変化を計算した結果である。
【図４】従来の狭帯域フィルタ・モジュールの構造図で
ある。
ある。
【図５】狭帯域フィルタの透過特性を示す図である。
【図６】狭帯域フィルタの透過中心波長の入射角依存性
についての計算結果である。
についての計算結果である。
１ 狭帯域フィルタ ６ 光ファイバ ７ コリメート・レンズ ９ ファイバ・コリメータ支持筒 １１ ホルダ固定ネジ １３ 狭帯域フィルタ１を保持するホルダ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１月１７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光の入射角を微調整
可能とする装置の構造に関するものである。
可能とする装置の構造に関するものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る入射角調
整装置は、光学部品のホルダが回転可能で、かつ、任意
回転位置で固定可能な構造とし、ホルダの回転軸に対し
て入射光線および光学部品の入射面の法線が傾くような
構造とした。
整装置は、光学部品のホルダが回転可能で、かつ、任意
回転位置で固定可能な構造とし、ホルダの回転軸に対し
て入射光線および光学部品の入射面の法線が傾くような
構造とした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【作用】この発明においては、光学部品のホルダの回転
角が、直接、光学部品の入射角の変化にはならず、ホル
ダの回転に対して入射角の変化が緩らかに起こる。
角が、直接、光学部品の入射角の変化にはならず、ホル
ダの回転に対して入射角の変化が緩らかに起こる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】
【実施例】 実施例１．図１は、この発明による狭帯域フィルタ・モ
ジュールの一実施例を示した構造図である。図におい
て、１〜９は、従来の狭帯域フィルタ・モジュールにお
ける同一符号のものと同様の機能を果たすものである。
１３のホルダは９のコリメータ支持筒と同心円筒状にな
っており、一部が中空円で、その部分に狭帯域フィルタ
１貼り付けてある。また、貼付部分１３ａは回転軸と垂
直な面に対し、調整角度αだけ傾けた構造とする。さら
に、１３のホルダには、回転調整後、固定するネジがあ
る。
ジュールの一実施例を示した構造図である。図におい
て、１〜９は、従来の狭帯域フィルタ・モジュールにお
ける同一符号のものと同様の機能を果たすものである。
１３のホルダは９のコリメータ支持筒と同心円筒状にな
っており、一部が中空円で、その部分に狭帯域フィルタ
１貼り付けてある。また、貼付部分１３ａは回転軸と垂
直な面に対し、調整角度αだけ傾けた構造とする。さら
に、１３のホルダには、回転調整後、固定するネジがあ
る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】次に動作について説明する。図２は、狭帯
域フィルタのホルダ１３を回転したときの入射角変化の
説明図である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィル
タの法線２は傾けているため、ホルダ１３を回転させる
と狭帯域フィルタの法線２は、図２に点線で示されたよ
うに変化する。狭帯域フィルタへの入射角は、狭帯域フ
ィルタの法線２と狭帯域フィルタへの入射光線８のなす
角度である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィルタ
への入射光線８は傾いているので、ホルダ１３の回転に
ともなう狭帯域フィルタの法線２の変化により、狭帯域
フィルタへの入射角を変えることができる。
域フィルタのホルダ１３を回転したときの入射角変化の
説明図である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィル
タの法線２は傾けているため、ホルダ１３を回転させる
と狭帯域フィルタの法線２は、図２に点線で示されたよ
うに変化する。狭帯域フィルタへの入射角は、狭帯域フ
ィルタの法線２と狭帯域フィルタへの入射光線８のなす
角度である。ホルダの回転軸５に対して狭帯域フィルタ
への入射光線８は傾いているので、ホルダ１３の回転に
ともなう狭帯域フィルタの法線２の変化により、狭帯域
フィルタへの入射角を変えることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 入射光を受ける光学部品のホルダを入射
光軸にほぼ平行な回転軸に対して回転自在とし、かつ任
意の回転位置で固定可能な構造とし、かつ上記ホルダが
支持する光学部品の支持面を入射光軸に対して調整した
い角度範囲の半分の角度だけ上記回転軸に対して傾けた
構造を備えた入射角調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3141913A JPH0572411A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 入射角調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3141913A JPH0572411A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 入射角調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572411A true JPH0572411A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=15303081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3141913A Pending JPH0572411A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 入射角調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572411A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08254609A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Nec Corp | 光フィルタ |
| JP2009175751A (ja) * | 2009-03-31 | 2009-08-06 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶可変波長フィルタ装置 |
| JP2013536452A (ja) * | 2010-06-29 | 2013-09-19 | セントレ ナショナル デ ラ ルシェルシェ サイエンティフィック−シーエヌアールエス | サブ波長スケールでの構造化膜を有するスペクトルフィルタおよびそのようなフィルタの製造方法 |
| US10625398B2 (en) | 2012-05-22 | 2020-04-21 | Satisloh Ag | Centering machine for workpieces, particularly optical lenses |
| WO2022102548A1 (ja) * | 2020-11-13 | 2022-05-19 | 湖北工業株式会社 | 光フィルタデバイス |
-
1991
- 1991-06-13 JP JP3141913A patent/JPH0572411A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08254609A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Nec Corp | 光フィルタ |
| JP2009175751A (ja) * | 2009-03-31 | 2009-08-06 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶可変波長フィルタ装置 |
| JP2013536452A (ja) * | 2010-06-29 | 2013-09-19 | セントレ ナショナル デ ラ ルシェルシェ サイエンティフィック−シーエヌアールエス | サブ波長スケールでの構造化膜を有するスペクトルフィルタおよびそのようなフィルタの製造方法 |
| US10625398B2 (en) | 2012-05-22 | 2020-04-21 | Satisloh Ag | Centering machine for workpieces, particularly optical lenses |
| WO2022102548A1 (ja) * | 2020-11-13 | 2022-05-19 | 湖北工業株式会社 | 光フィルタデバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2796005B2 (ja) | 投影露光装置及び偏光子 | |
| KR100894303B1 (ko) | 조사 편광 제어부를 구비한 광학 축소 시스템 | |
| JPH0618791A (ja) | 光減衰器 | |
| JPH0456962B2 (ja) | ||
| US6556599B1 (en) | External cavity laser using angle-tuned filter and method of making same | |
| JP3330874B2 (ja) | 自動光ファイバブラッグ格子書き込みのための高精度波長制御装置及び方法 | |
| JPS5818653A (ja) | 記録装置 | |
| JPH0572411A (ja) | 入射角調整装置 | |
| US5206515A (en) | Deep ultraviolet photolithography and microfabrication | |
| JP3572083B2 (ja) | 光ディスク装置 | |
| GB2264182A (en) | Optical beam scanners and systems using same | |
| US5073879A (en) | Information processing apparatus using a beam splitting means having non-polarization beam split surface | |
| JP3340824B2 (ja) | 全反射プリズムを含む光学系 | |
| US5504620A (en) | Device for dividing an optical beam | |
| JP2854781B2 (ja) | 光学機器 | |
| JP2715610B2 (ja) | 狭帯域化レーザ装置 | |
| JP2000088531A (ja) | 薄膜の膜厚計測装置及び薄膜の膜厚計測方法 | |
| JPH0350470B2 (ja) | ||
| JP2833288B2 (ja) | 光フィルタ装置 | |
| JP2860172B2 (ja) | 反射鏡の角度調整装置 | |
| JP4045545B2 (ja) | 受光装置 | |
| JPH025242B2 (ja) | ||
| JP2605638B2 (ja) | 光ヘッドの非点隔差補正方法及び装置 | |
| JPH02158943A (ja) | 光学ヘッド装置 | |
| JPH05150178A (ja) | 光走査装置 |