JPH0572150A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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- JPH0572150A JPH0572150A JP3237729A JP23772991A JPH0572150A JP H0572150 A JPH0572150 A JP H0572150A JP 3237729 A JP3237729 A JP 3237729A JP 23772991 A JP23772991 A JP 23772991A JP H0572150 A JPH0572150 A JP H0572150A
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- rays
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造コストの低減と、ＳＮの向上と、測定精
度の向上と、使い勝手の向上を可能とする。 【構成】 回転する試料にＸ線を入射するＸ線源と、上
記試料を透視したＸ線を絞るため、放射状にスリットを
形成したコリメータと、上記スリットからのＸ線ビーム
を有感部で入射してＸ線を検出する半導体検出器を設け
たＸ線検査装置において、上記半導体検出部と上記試料
の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角以外の角
度で、かつＸ線ビームの延長線に対し、迎角で傾斜して
設置したので、試料での散乱Ｘ線が半導体検出器に入射
するのを防止するとともに、有感部の全面もしくは１部
でスリットからのＸ線ビームを確実に照射することがで
きる。
度の向上と、使い勝手の向上を可能とする。 【構成】 回転する試料にＸ線を入射するＸ線源と、上
記試料を透視したＸ線を絞るため、放射状にスリットを
形成したコリメータと、上記スリットからのＸ線ビーム
を有感部で入射してＸ線を検出する半導体検出器を設け
たＸ線検査装置において、上記半導体検出部と上記試料
の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角以外の角
度で、かつＸ線ビームの延長線に対し、迎角で傾斜して
設置したので、試料での散乱Ｘ線が半導体検出器に入射
するのを防止するとともに、有感部の全面もしくは１部
でスリットからのＸ線ビームを確実に照射することがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線検査装置に係り、と
くに、散乱したＸ線の入射による測定誤差を防ぎ、測定
精度の向上に好適なＸ線検査装置に関する。
くに、散乱したＸ線の入射による測定誤差を防ぎ、測定
精度の向上に好適なＸ線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線検査装置は、たとえば、アイ
・イ−・イ−・イ−，トランザクション，オン，ニュー
クリアー，サイエンス，エヌエス−２８，１（ＩＥＥ
Ｅ，Ｔｒａｎｓ，Ｎｕｃｌ，Ｓｃｉｅ，ＮＳ−２８，
１）（１９８４）（ｐｐ４７〜４９）に記載されている
ように、半導体検出器を、その有感面がＸ線の照射方向
に対して平行になるように複数個隣接して設置するとと
もに、該半導体検出器とＸ線源との間に試料のみを設置
したものが紹介されている。
・イ−・イ−・イ−，トランザクション，オン，ニュー
クリアー，サイエンス，エヌエス−２８，１（ＩＥＥ
Ｅ，Ｔｒａｎｓ，Ｎｕｃｌ，Ｓｃｉｅ，ＮＳ−２８，
１）（１９８４）（ｐｐ４７〜４９）に記載されている
ように、半導体検出器を、その有感面がＸ線の照射方向
に対して平行になるように複数個隣接して設置するとと
もに、該半導体検出器とＸ線源との間に試料のみを設置
したものが紹介されている。
【０００３】また、たとえば、特開昭５６−１６８５７
８号公報に記載されているように、被写体の体軸を略中
心軸としてこの中心軸に略直角な平面内にリング状に配
列固定された多数の放射線検出器を設け、該放射線検出
器の内側には、中心軸方向に２層になっているスリット
配列を有するとともに、該スリットを中心軸に直角な平
面内において中心軸に対して角度を変えて形成し、各層
のスリットを通った放射線が同時に１個の放射線検出器
に入射しないようにした回転コリメータを設置したもの
が提案されている。
８号公報に記載されているように、被写体の体軸を略中
心軸としてこの中心軸に略直角な平面内にリング状に配
列固定された多数の放射線検出器を設け、該放射線検出
器の内側には、中心軸方向に２層になっているスリット
配列を有するとともに、該スリットを中心軸に直角な平
面内において中心軸に対して角度を変えて形成し、各層
のスリットを通った放射線が同時に１個の放射線検出器
に入射しないようにした回転コリメータを設置したもの
が提案されている。
【０００４】さらに、たとえば、特開昭５７−１６１６
７７号公報に記載されているように、放射線検出器内部
に電極板から放出される二次電子の放出能が材質により
異なる性質を利用して、Ｘ線光学のアライメントを測定
できる電極群を組み込んで定量的な調整を行ないアライ
メントズレ量の調整を行なうものが提案されている。
７７号公報に記載されているように、放射線検出器内部
に電極板から放出される二次電子の放出能が材質により
異なる性質を利用して、Ｘ線光学のアライメントを測定
できる電極群を組み込んで定量的な調整を行ないアライ
メントズレ量の調整を行なうものが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記第１の従来技術は
低エネルギーのＸ線を利用する場合には、有用である
が、Ｘ線エネルギーが数百ＫｅＶ以上の中高エネルギー
Ｘ線ＣＴ装置に用いた場合には半導体検出器とＸ線源の
間に試料しか存在しないため、半導体検出器には試料を
透過したＸ線以外に試料で散乱したＸ線も入射する。Ｘ
線エネルギーが低い場合、たとえば従来のＸ線ＣＴでは
Ｘ線エネルギーは最大１４０ＫｅＶであるが、この場合
試料に入射したＸ線の試料との相互作用は光電効果によ
るＸ線の吸収が大部分であり、試料で散乱するＸ線の量
は極めて僅かであるので、散乱Ｘ線が検出器に入射する
量は無視できるほど小さい。しかるに、Ｘ線エネルギー
が数百ＫｅＶ以上に高くなると、試料に入射したＸ線が
試料で散乱される量も増加する。したがって、検出器で
はこの散乱されたＸ線も入射し検出されるため、測定値
に誤差が生じ断層像劣化の原因になるという問題があっ
た。また試料からの散乱Ｘ線を除去するために検出器の
前面にコリメータを設けた場合、コリメータに形成され
たスリット幅が０．２ｍｍ程度と極めて細く、かつ半導
体検出器の有感部幅も０．１〜０．２ｍｍ程度と極めて
薄いので、コリメータスリットの延長上に半導体検出器
の有感部を設置するのが困難であり、コリメータスリッ
トと半導体検出器の位置ずれにより検出感度が低下する
という問題があった。
低エネルギーのＸ線を利用する場合には、有用である
が、Ｘ線エネルギーが数百ＫｅＶ以上の中高エネルギー
Ｘ線ＣＴ装置に用いた場合には半導体検出器とＸ線源の
間に試料しか存在しないため、半導体検出器には試料を
透過したＸ線以外に試料で散乱したＸ線も入射する。Ｘ
線エネルギーが低い場合、たとえば従来のＸ線ＣＴでは
Ｘ線エネルギーは最大１４０ＫｅＶであるが、この場合
試料に入射したＸ線の試料との相互作用は光電効果によ
るＸ線の吸収が大部分であり、試料で散乱するＸ線の量
は極めて僅かであるので、散乱Ｘ線が検出器に入射する
量は無視できるほど小さい。しかるに、Ｘ線エネルギー
が数百ＫｅＶ以上に高くなると、試料に入射したＸ線が
試料で散乱される量も増加する。したがって、検出器で
はこの散乱されたＸ線も入射し検出されるため、測定値
に誤差が生じ断層像劣化の原因になるという問題があっ
た。また試料からの散乱Ｘ線を除去するために検出器の
前面にコリメータを設けた場合、コリメータに形成され
たスリット幅が０．２ｍｍ程度と極めて細く、かつ半導
体検出器の有感部幅も０．１〜０．２ｍｍ程度と極めて
薄いので、コリメータスリットの延長上に半導体検出器
の有感部を設置するのが困難であり、コリメータスリッ
トと半導体検出器の位置ずれにより検出感度が低下する
という問題があった。
【０００６】また、第２の従来技術は、上記第１の従来
技術と同様低エネルギーのＸ線を利用する場合には有用
かも知れないが、Ｘ線エネルギーが数百ＫｅＶ以上の中
高エネルギーＸ線ＣＴ装置に用いた場合には、放射線検
出器の有感部がコリメータスリットに対向しているた
め、コリメータスリットからの放射線が有感部より反射
して散乱する放射線の量が増加し、測定値に誤差を生
じ、断層像劣化の原因になるという問題があった。これ
に加えて半周もしくは１／４周にスリットを形成した複
数のコリメータを設置する必要があるため、構成が複雑
となるのみでなく、コリメータの交換が面倒でかつ容易
に製作できないため、製造コストが高くなるという問題
があった。
技術と同様低エネルギーのＸ線を利用する場合には有用
かも知れないが、Ｘ線エネルギーが数百ＫｅＶ以上の中
高エネルギーＸ線ＣＴ装置に用いた場合には、放射線検
出器の有感部がコリメータスリットに対向しているた
め、コリメータスリットからの放射線が有感部より反射
して散乱する放射線の量が増加し、測定値に誤差を生
じ、断層像劣化の原因になるという問題があった。これ
に加えて半周もしくは１／４周にスリットを形成した複
数のコリメータを設置する必要があるため、構成が複雑
となるのみでなく、コリメータの交換が面倒でかつ容易
に製作できないため、製造コストが高くなるという問題
があった。
【０００７】さらに、第３の従来技術は、Ｘ線源と、Ｘ
線検出器との間には被検体のみしか存在しないため、Ｘ
線検出器には被検体を透過したＸ線以外は試料で散乱し
た多量のＸ線も入射しようとするので、これを防止する
には、Ｘ線検出器が大型化し、かつ、電極群の構成が複
雑化し、製造コストが高くなるという問題があった。
線検出器との間には被検体のみしか存在しないため、Ｘ
線検出器には被検体を透過したＸ線以外は試料で散乱し
た多量のＸ線も入射しようとするので、これを防止する
には、Ｘ線検出器が大型化し、かつ、電極群の構成が複
雑化し、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００８】本発明の第１の目的は、試料での散乱Ｘ線
が半導体検出器に入射するのを防止して半導体検出器の
測定誤差を低下するとともに、半導体検出器とコリメー
タ間のアライメント調整を容易にして製造コストの低減
を可能とする半導体検出装置を提供することにある。
が半導体検出器に入射するのを防止して半導体検出器の
測定誤差を低下するとともに、半導体検出器とコリメー
タ間のアライメント調整を容易にして製造コストの低減
を可能とする半導体検出装置を提供することにある。
【０００９】本発明の第２の目的は、Ｘ線の利用効率を
高め、半導体検出器の出力を増加してＳＮの向上を可能
とするＸ線検査装置を提供することにある。
高め、半導体検出器の出力を増加してＳＮの向上を可能
とするＸ線検査装置を提供することにある。
【００１０】本発明の第３の目的は、半導体検出器間の
散乱Ｘ線によるクロストークを低下させ、半導体検出器
の測定精度の向上を可能とするＸ線検査装置を提供する
ことにある。
散乱Ｘ線によるクロストークを低下させ、半導体検出器
の測定精度の向上を可能とするＸ線検査装置を提供する
ことにある。
【００１１】本発明の第４の目的は、コリメータと半導
体検出器の交換を可能にして使い勝手の向上を可能とす
る半導体検査装置を提供することにある。
体検出器の交換を可能にして使い勝手の向上を可能とす
る半導体検査装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、第１の発明は、回転する試料にＸ線を入射す
るＸ線源と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るた
め、放射状にスリットを形成したコリメータと、上記ス
リットからのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出
する半導体検出器とを設けたＸ線検査装置において、上
記半導体検出器の上記有感部と上記試料の上下方向回転
軸心と平行な面に対し、略直角以外の角度でかつ、上記
スリットからのＸ線ビームの延長線に対し、迎角で傾斜
して設置したものである。
るために、第１の発明は、回転する試料にＸ線を入射す
るＸ線源と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るた
め、放射状にスリットを形成したコリメータと、上記ス
リットからのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出
する半導体検出器とを設けたＸ線検査装置において、上
記半導体検出器の上記有感部と上記試料の上下方向回転
軸心と平行な面に対し、略直角以外の角度でかつ、上記
スリットからのＸ線ビームの延長線に対し、迎角で傾斜
して設置したものである。
【００１３】また、上記第２の目的を達成するために、
第２の発明は、回転する試料にＸ線を入射するＸ線源
と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るため、放射
状にスリットを形成したコリメータと、上記スリットか
らのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出する半導
体検出器とを設けたＸ線検査装置において、上記半導体
検出部の上記有感部を上記スリットからのＸ線ビームの
延長線上にあって平行に設置したものである。
第２の発明は、回転する試料にＸ線を入射するＸ線源
と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るため、放射
状にスリットを形成したコリメータと、上記スリットか
らのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出する半導
体検出器とを設けたＸ線検査装置において、上記半導体
検出部の上記有感部を上記スリットからのＸ線ビームの
延長線上にあって平行に設置したものである。
【００１４】また、上記第３の目的を達成するために、
第３の発明は、上記第１もしくは第２の発明のＸ線検査
装置において、上記半導体検出器の隣接する半導体検出
器との間に遮へい材を設置したものである。
第３の発明は、上記第１もしくは第２の発明のＸ線検査
装置において、上記半導体検出器の隣接する半導体検出
器との間に遮へい材を設置したものである。
【００１５】また、上記第４の目的を達成するために第
４の発明は、上記第１もしくは第２もしくは第３の発明
のＸ線ＣＴ検出装置において、上記コリメータおよび上
記半導体検出器を取外し自在に組み付けたものである。
４の発明は、上記第１もしくは第２もしくは第３の発明
のＸ線ＣＴ検出装置において、上記コリメータおよび上
記半導体検出器を取外し自在に組み付けたものである。
【００１６】
【作用】第１の発明によれば、半導体検出器の有感部を
試料の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角でな
い角度で傾斜し、かつＸ線ビームの延長線に対し迎角で
傾斜して設置したので、試料での散乱Ｘ線が半導体検出
器に入射するのを防止して半導体検出器の測定誤差を低
下するとともに、有感部の全面もしくは１部のいずれか
一方でスリットからのＸ線ビームを確実に照射すること
ができ、半導体検出器とコリメータ間のアライメント調
整を容易にすることができ、これによってＸ線検査装置
の製造コストを低減することができる。
試料の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角でな
い角度で傾斜し、かつＸ線ビームの延長線に対し迎角で
傾斜して設置したので、試料での散乱Ｘ線が半導体検出
器に入射するのを防止して半導体検出器の測定誤差を低
下するとともに、有感部の全面もしくは１部のいずれか
一方でスリットからのＸ線ビームを確実に照射すること
ができ、半導体検出器とコリメータ間のアライメント調
整を容易にすることができ、これによってＸ線検査装置
の製造コストを低減することができる。
【００１７】また、第２の発明によれば、半導体検出器
の有感部をスリットからのＸ線ビームの延長線上にあっ
て平行に設置したので、Ｘ線の利用効率が高くなり、半
導体検出器の出力が増加してＳＮを向上することができ
る。
の有感部をスリットからのＸ線ビームの延長線上にあっ
て平行に設置したので、Ｘ線の利用効率が高くなり、半
導体検出器の出力が増加してＳＮを向上することができ
る。
【００１８】また、第３の発明によれば、半導体検出器
の隣接する半導体検出器の間に遮へい材を設置したの
で、Ｘ線検出器間の散乱Ｘ線によるクロストークを低下
させ、半導体検出器の測定精度を向上することができ
る。
の隣接する半導体検出器の間に遮へい材を設置したの
で、Ｘ線検出器間の散乱Ｘ線によるクロストークを低下
させ、半導体検出器の測定精度を向上することができ
る。
【００１９】また、第４の発明によれば、コリメータと
半導体検出器を取外し自在に組み付けたので、コリメー
タもしくは半導体検出器との交換が可能となるとともに
アライメント調整が容易となり、使い勝手を向上するこ
とができる。
半導体検出器を取外し自在に組み付けたので、コリメー
タもしくは半導体検出器との交換が可能となるとともに
アライメント調整が容易となり、使い勝手を向上するこ
とができる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を示す図１について
説明する。
説明する。
【００２１】図１に示すように、Ｘ線源１からのＸ線
は、回転する試料２を透過したのち、コリメータ３に当
たる。コリメータ３には放射線に複数個形成されたスリ
ットによりＸ線は絞られＸ線ビーム４となる。半導体検
出器５には通常空乏層と云われる有感部５１が設けられ
ている。該有感部５１はＸ線ビーム４が照射すると、Ｘ
線のフォトンを電流に変換して信号処理回路７に送り、
増幅される。また、上記半導体検出器５は検出器固定具
６に固定支持されている。このときの検出器固定具６に
半導体検出器５が取り付けられる面は、上記試料２の上
下方向回転軸心に対し、略直角以外の角度で、かつＸ線
ビーム４の延長線に対して迎角で傾斜するＸ線ビーム４
が確実に照射するようにしている。この傾斜角度はＸ線
ビーム４の延長線に対し小さいほど有感部５１にＸ線ビ
ーム４が照射する面積が大きくなるので、検出感度は向
上する。
は、回転する試料２を透過したのち、コリメータ３に当
たる。コリメータ３には放射線に複数個形成されたスリ
ットによりＸ線は絞られＸ線ビーム４となる。半導体検
出器５には通常空乏層と云われる有感部５１が設けられ
ている。該有感部５１はＸ線ビーム４が照射すると、Ｘ
線のフォトンを電流に変換して信号処理回路７に送り、
増幅される。また、上記半導体検出器５は検出器固定具
６に固定支持されている。このときの検出器固定具６に
半導体検出器５が取り付けられる面は、上記試料２の上
下方向回転軸心に対し、略直角以外の角度で、かつＸ線
ビーム４の延長線に対して迎角で傾斜するＸ線ビーム４
が確実に照射するようにしている。この傾斜角度はＸ線
ビーム４の延長線に対し小さいほど有感部５１にＸ線ビ
ーム４が照射する面積が大きくなるので、検出感度は向
上する。
【００２２】したがって、上記の実施例によれば、コリ
メータ３により試料２またはその周囲で散乱したＸ線が
半導体検出器５に入射するのを防止し、半導体検出器５
の測定誤差を少なくすることができる。また、コリメー
タ３によりＸ線ビーム４は絞られるのを含め、ＣＴ断層
像において分解能を向上させることができる。さらに半
導体検出器５の有感部５１が上記試料２の上下方向回転
軸心に対し、略直角以外の角度で、かつ、コリメータ３
のスリットからのＸ線ビーム４の延長線に対して傾斜し
て設置されているので、有感部５１をＸ線ビーム４の延
長線に設置するのが容易になるとともに、アライメント
調整が容易になり、これによって製造コストの低下をは
かることができる。また、検出器固定具６の端面にコリ
メータ３を交換可能に取付けることにより、たとえ半導
体検出器５に不具合が生じても交換後の半導体検出器５
のアライメント調整が容易となり、使い勝手が向上す
る。また、検出器固定具６をタングステンなどの放射線
遮へい効果を有する材料にて形成することにより、半導
体検出器５間のクロストークを減少させることができ
る。
メータ３により試料２またはその周囲で散乱したＸ線が
半導体検出器５に入射するのを防止し、半導体検出器５
の測定誤差を少なくすることができる。また、コリメー
タ３によりＸ線ビーム４は絞られるのを含め、ＣＴ断層
像において分解能を向上させることができる。さらに半
導体検出器５の有感部５１が上記試料２の上下方向回転
軸心に対し、略直角以外の角度で、かつ、コリメータ３
のスリットからのＸ線ビーム４の延長線に対して傾斜し
て設置されているので、有感部５１をＸ線ビーム４の延
長線に設置するのが容易になるとともに、アライメント
調整が容易になり、これによって製造コストの低下をは
かることができる。また、検出器固定具６の端面にコリ
メータ３を交換可能に取付けることにより、たとえ半導
体検出器５に不具合が生じても交換後の半導体検出器５
のアライメント調整が容易となり、使い勝手が向上す
る。また、検出器固定具６をタングステンなどの放射線
遮へい効果を有する材料にて形成することにより、半導
体検出器５間のクロストークを減少させることができ
る。
【００２３】つぎに、本発明の他の一実施例を示す図２
について説明する。
について説明する。
【００２４】図２では、コリメータ３と半導体検出器５
との組み合せを示す。コリメータ３は、測定対象や目的
によりスリットを変えて使用することがある。そこで、
あらかじめ複数種類（図では４種類）のコリメータ３を
製作しておく。この場合、スリットの最小幅は０．１〜
０．２ｍｍ程度となり、また有感部５１の厚さも通常
０．１〜０．２ｍｍ程度である。そのため、半導体検出
器５の有感部５１が、コリメータ３のスリットからのＸ
線ビーム４の延長線の方向と平行に設置されていれば半
導体検出器５とコリメータ３とのアライメント調整はミ
クロン単位で行う必要があり極めて困難である。とくに
半導体検出器５が多チャンネルの場合には、そのアライ
メント調整は不可能に近く、コリメータ３を交換するこ
とができなくなる。これに対して上記実施例では、半導
体検出器５の有感部５１が上記試料２の上下方向回転軸
心に対し略直角以外の角度で、かつ、Ｘ線ビーム４の延
長線の方向に対して迎角で傾斜しＸ線ビーム４が有感部
５１に確実に照射するように構成されているので、コリ
メータ３の交換が容易となり、使い勝手が向上するばか
りでなく、測定目的によってコリメータ３を選択できる
ので、最適な測定ができる。
との組み合せを示す。コリメータ３は、測定対象や目的
によりスリットを変えて使用することがある。そこで、
あらかじめ複数種類（図では４種類）のコリメータ３を
製作しておく。この場合、スリットの最小幅は０．１〜
０．２ｍｍ程度となり、また有感部５１の厚さも通常
０．１〜０．２ｍｍ程度である。そのため、半導体検出
器５の有感部５１が、コリメータ３のスリットからのＸ
線ビーム４の延長線の方向と平行に設置されていれば半
導体検出器５とコリメータ３とのアライメント調整はミ
クロン単位で行う必要があり極めて困難である。とくに
半導体検出器５が多チャンネルの場合には、そのアライ
メント調整は不可能に近く、コリメータ３を交換するこ
とができなくなる。これに対して上記実施例では、半導
体検出器５の有感部５１が上記試料２の上下方向回転軸
心に対し略直角以外の角度で、かつ、Ｘ線ビーム４の延
長線の方向に対して迎角で傾斜しＸ線ビーム４が有感部
５１に確実に照射するように構成されているので、コリ
メータ３の交換が容易となり、使い勝手が向上するばか
りでなく、測定目的によってコリメータ３を選択できる
ので、最適な測定ができる。
【００２５】つぎに、本発明のさらに他の一実施例を示
す図３について説明する。
す図３について説明する。
【００２６】図３に示すように、半導体検出器５の有感
部５１がコリメータ３のスリットからのＸ線ビーム４の
延長上にあってＸ線ビーム４の延長方向に平行に設置し
ている。したがって、本実施例においては、有感部５１
全面がＸ線ビーム４内にあるため、Ｘ線の利用効率が高
くなり、半導体検出器５の検出出力が増加し、これによ
ってＳＮ向上をはかることができる。なお、上記実施例
は、Ｘ線ＣＴ検査装置に実施した場合について説明した
が、ＣＴによるＸ線検査装置にも適用できることは云う
までもない。
部５１がコリメータ３のスリットからのＸ線ビーム４の
延長上にあってＸ線ビーム４の延長方向に平行に設置し
ている。したがって、本実施例においては、有感部５１
全面がＸ線ビーム４内にあるため、Ｘ線の利用効率が高
くなり、半導体検出器５の検出出力が増加し、これによ
ってＳＮ向上をはかることができる。なお、上記実施例
は、Ｘ線ＣＴ検査装置に実施した場合について説明した
が、ＣＴによるＸ線検査装置にも適用できることは云う
までもない。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２８】第１の発明によれば、半導体検出部の有感
部を試料の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角
以外の角度で、かつ、スリットからのＸ線ビームの延長
線に対し、迎角で傾斜して設置したので、試料での散乱
光線が半導体検出器に入射するのを防止して半導体検出
器の測定誤差を低下するとともに、有感部の全部または
１部のいずれか一方でスリットからのＸ線ビームを確実
に照射することができ、半導体検出器とコリメータ間の
アライメント調整を容易にすることができ、これによっ
てＸ線検査装置の製造コストを低減することができる。
部を試料の上下方向回転軸心と平行な面に対し、略直角
以外の角度で、かつ、スリットからのＸ線ビームの延長
線に対し、迎角で傾斜して設置したので、試料での散乱
光線が半導体検出器に入射するのを防止して半導体検出
器の測定誤差を低下するとともに、有感部の全部または
１部のいずれか一方でスリットからのＸ線ビームを確実
に照射することができ、半導体検出器とコリメータ間の
アライメント調整を容易にすることができ、これによっ
てＸ線検査装置の製造コストを低減することができる。
【００２９】また、第２の発明によれば、半導体検出器
の有感部をスリットからのＸ線ビームの延長線上にあっ
て平行に設置したので、Ｘ線の利用効率が高くなり、半
導体検出器の出力が増加してＳＮを向上することができ
る。
の有感部をスリットからのＸ線ビームの延長線上にあっ
て平行に設置したので、Ｘ線の利用効率が高くなり、半
導体検出器の出力が増加してＳＮを向上することができ
る。
【００３０】また、第３の発明によれば、半導体検出器
の隣接する半導体検出器の間に遮へい材を設置したの
で、半導体検出器間の散乱Ｘ線によるクロストークを低
下させ、半導体検出器の測定精度を向上することができ
る。
の隣接する半導体検出器の間に遮へい材を設置したの
で、半導体検出器間の散乱Ｘ線によるクロストークを低
下させ、半導体検出器の測定精度を向上することができ
る。
【００３１】また、第４の発明によれば、コリメータと
半導体検出器を取外し自在に組み付けたので、コリメー
タもしくは半導体検出器の交換が可能となるとともにア
ライメント調整が容易となり、使い勝手を向上すること
ができる。
半導体検出器を取外し自在に組み付けたので、コリメー
タもしくは半導体検出器の交換が可能となるとともにア
ライメント調整が容易となり、使い勝手を向上すること
ができる。
【図１】本発明の一実施例を示すＸ線ＣＴ検査装置のシ
ステム図
ステム図
【図２】本発明の他の一実施例を示す図
【図３】本発明のさらに他の一実施例を示す図
１…Ｘ線源、２…試料、３…コリメータ、４…Ｘ線ビー
ム、５…半導体検出器、６…検出器固定具、７…信号処
理回路。
ム、５…半導体検出器、６…検出器固定具、７…信号処
理回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 克利 茨城県日立市森山町1168番地 株式会社日 立製作所エネルギー研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 回転する試料にＸ線を入射するＸ線源
と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るため、放射
状にスリットを形成したコリメータと、上記スリットか
らのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出する半導
体検出器を設けたＸ線検査装置において、上記半導体検
出器の上記有感部を上記試料の上下方向回転軸心と平行
な平面に対し、略直角以外の角度で、かつ上記スリット
からのＸ線ビームの延長線に対し迎角で傾斜して設置し
たことを特徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項２】 回転する試料にＸ線を入射するＸ線源
と、上記試料を透視したＸ線の大きさを絞るため、放射
状にスリットを形成するコリメータと、上記スリットか
らのＸ線ビームを有感部で入射してＸ線を検出する半導
体検出部を設けたＸ線検査装置において、上記半導体検
出器の上記有感部を上記スリットからのＸ線ビームの延
長線上にあって平行に設置したことを特徴とするＸ線検
査装置。 - 【請求項３】 上記半導体検出器は、隣接する半導体検
出器との間に遮へい材を設置したことを特徴とする請求
項１もしくは２記載のＸ線検査装置。 - 【請求項４】 上記コリメータと上記半導体検出器は、
取外し自在に組み付けられていることを特徴とする請求
項１，２，３のいずれかの項に記載のＸ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3237729A JPH0572150A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3237729A JPH0572150A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572150A true JPH0572150A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17019622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3237729A Pending JPH0572150A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572150A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0585641A1 (de) * | 1992-08-12 | 1994-03-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgendiffraktometer |
| WO2000054072A1 (en) * | 1999-03-10 | 2000-09-14 | Mamea Imaging Ab | Method and apparatus for detecting x-rays and use of such an apparatus |
| KR20160010798A (ko) * | 2014-07-18 | 2016-01-28 | 한국원자력연구원 | 원전연료 감마스캐닝 시스템 테스트용 표준봉 제작을 위한 시준기 및 그 제작방법 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP3237729A patent/JPH0572150A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0585641A1 (de) * | 1992-08-12 | 1994-03-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgendiffraktometer |
| WO2000054072A1 (en) * | 1999-03-10 | 2000-09-14 | Mamea Imaging Ab | Method and apparatus for detecting x-rays and use of such an apparatus |
| US6878942B2 (en) | 1999-03-10 | 2005-04-12 | Sectra Mamea Ab | Method and apparatus for detecting X-rays |
| KR20160010798A (ko) * | 2014-07-18 | 2016-01-28 | 한국원자력연구원 | 원전연료 감마스캐닝 시스템 테스트용 표준봉 제작을 위한 시준기 및 그 제작방법 |
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