JPH0570967B2 - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電界効果トランジスタ(以下
FETと略称する)を制御素子として用いた半導
体移相器の小形化に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] This invention relates to field effect transistors (hereinafter referred to as field effect transistors).
This study relates to the miniaturization of semiconductor phase shifters that use FETs (abbreviated as FETs) as control elements.
第4図は、例えば、IEEE MMIC Symposium
(1984年)P11〜13に発表された従来の半導体移
相器の構成を示す等価回路図である。同図におい
て、入力端子1には、キヤパシタ2を介して第
1FET3のソース電極が接続され、またインダク
タ4を介して第2FET5のソース電極が接続され
ている。ここで、FETにおけるドレイン電極お
よびソース電極の区別は重要でないため、便宜上
から入出力端子に近い側の電極をソース電極と
し、以下の説明においても同様とする。第1FET
3のドレイン電極には第3FET6、第4FET7の
ソース電極が接続され、第3FET6のドレイン電
極は接地され、第4FET7のドレイン電極はキヤ
パシタ2を介して出力端子8に接続されている。
Figure 4 shows, for example, the IEEE MMIC Symposium
(1984) P11-13 is an equivalent circuit diagram showing the configuration of a conventional semiconductor phase shifter. In the figure, input terminal 1 is connected to a capacitor 2 via capacitor 2.
The source electrode of the first FET 3 is connected, and the source electrode of the second FET 5 is also connected via the inductor 4. Here, since the distinction between the drain electrode and the source electrode in the FET is not important, for convenience, the electrode closer to the input/output terminal will be referred to as the source electrode, and the same will apply in the following description. 1st FET
The source electrodes of the third FET 6 and the fourth FET 7 are connected to the drain electrode of the fourth FET 7 , the drain electrode of the third FET 6 is grounded, and the drain electrode of the fourth FET 7 is connected to the output terminal 8 via the capacitor 2 .
また、第2FET5のドレイン電極には第5FET
9、第6FET10のソース電極が接続され、第
5FET9のドレイン電極は接地され、第6FET1
0のドレイン電極はインダクタ4を介して出力端
子に接続されている。 In addition, the drain electrode of the second FET5 is connected to the fifth FET5.
9. The source electrode of the sixth FET 10 is connected and
The drain electrode of 5FET9 is grounded, and the drain electrode of 6th FET1
The drain electrode of 0 is connected to the output terminal via an inductor 4.
また、第3FET6のソース電極とドレイン電極
間にはインダクタ11が並列接続され、第2FET
5、第5FET9のソース電極とドレイン電極間に
はインダクタ12が並列接続されている。 In addition, an inductor 11 is connected in parallel between the source electrode and drain electrode of the third FET 6, and the second FET
5. An inductor 12 is connected in parallel between the source electrode and drain electrode of the fifth FET 9.
このほかには、各FETのゲート電極にバイア
スを引火するための回路が必要であるが、ここで
は表示を省略している。 In addition to this, a circuit is required to apply a bias to the gate electrode of each FET, but it is not shown here.
従来の半導体移相器は上記のように構成され、
以下に述べるFETのゲート電極へのバイアス印
加方法により、デイジタル形の半導体移相器とな
る。 A conventional semiconductor phase shifter is configured as described above,
A digital type semiconductor phase shifter is obtained by applying a bias to the gate electrode of the FET described below.
第5図は、ゲート電極に印加するバイアスを変
えた場合のFETの等価回路であつて、第5図a
はゲート電極を接地電位とした場合であつて、
FETのON状態と呼ぶ。第5図bはゲート電極に
ピンチオフ電圧を印加した場合であつて、FET
のOFF状態と呼ぶ。FETがON状態である場合、
FETは低抵抗素子となる。一方、FETがOFF状
態である場合、FETはキヤパシタとなる。 Figure 5 is an equivalent circuit of the FET when the bias applied to the gate electrode is changed.
is the case when the gate electrode is at ground potential, and
This is called the FET ON state. Figure 5b shows the case where a pinch-off voltage is applied to the gate electrode of the FET.
This is called the OFF state. When the FET is in the ON state,
FET becomes a low resistance element. On the other hand, when the FET is in the OFF state, the FET becomes a capacitor.
このようなFETの特性を利用し、OFF状態の
FETをフイルタ回路の一部として用いることに
より、この種の半導体移相器はHigh Pass−Low
Pass形移相器として動作する。以下、FETのゲ
ート電極に印加するバイアスを変えた場合の半導
体移相器等価回路の変化および位相変化について
述べる。 Utilizing these FET characteristics, the OFF state
By using FETs as part of the filter circuit, this type of semiconductor phase shifter has a High Pass-Low
Operates as a pass type phase shifter. Below, we will discuss changes in the semiconductor phase shifter equivalent circuit and phase changes when the bias applied to the gate electrode of the FET is changed.
第6図aは第4図に示す回路に於ける第1FET
3、第4FET7、第5FET9の各ゲート電極にピ
ンチオフ電圧を印加してOFF状態とし、第2FET
4、第3FET6、第6FET10の各ゲート電極を
接地電位としてON状態とした場合の等価回路で
ある。この場合、第1FET3、第4FET7はキヤ
パシタC2として、また第5FET9はキヤパシタC3
として表わされ、第2FET4、第3FET6、第
6FET10はそれぞれ抵抗rとして表わされる。 Figure 6a shows the first FET in the circuit shown in Figure 4.
3. Apply a pinch-off voltage to each gate electrode of the 4th FET 7 and 5th FET 9 to turn them off, and the 2nd FET
4. This is an equivalent circuit when the gate electrodes of the third FET 6 and the sixth FET 10 are set to the ground potential and turned on. In this case, the first FET3 and fourth FET7 serve as capacitor C2 , and the fifth FET9 serves as capacitor C3.
2nd FET4, 3rd FET6, 3rd FET6,
Each of the 6FETs 10 is represented by a resistance r.
ここで、抵抗rの値が、インダクタ11、イン
ダクタ12の呈するインピーダンスより十分小さ
いことを考慮して、第6図aは第6図bのように
書き直すことができる。そして、この第6図bに
示す等価回路は低域通過形フイルタとなることを
表わしており、通過位相は直結した場合に比べ遅
れ位相となる。 Here, considering that the value of the resistance r is sufficiently smaller than the impedance exhibited by the inductors 11 and 12, FIG. 6a can be rewritten as shown in FIG. 6b. The equivalent circuit shown in FIG. 6b represents a low-pass filter, and the passing phase is delayed compared to the case of direct connection.
一方、第7図aは第2FET4、第3FET6、第
6FET10の各ゲート電極にピンチオフ電圧を印
加してFETをOFF状態とし、他のFETのゲート
電極を接地電位としてFETをON状態とした場合
の等価回路である。この場合、第2FET4、第
6FET10はキヤパシタC5として、また第3FET
6はキヤパシタC4として表わされる。また他の
FETは抵抗rで表わされる。抵抗rの値が、キ
ヤパシタ12およびインダクタ4の呈するインピ
ーダンスより十分小さいことを考慮して、第7図
aは第7図bのように書き直すことができる。 On the other hand, Fig. 7a shows 2nd FET4, 3rd FET6,
This is an equivalent circuit when a pinch-off voltage is applied to each gate electrode of the 6FET 10 to turn the FET into an OFF state, and the gate electrodes of other FETs are set to ground potential to turn the FET into an ON state. In this case, the second FET4,
6FET10 can be used as capacitor C5 and also as 3rd FET
6 is represented as capacitor C4 . Also other
FET is represented by resistance r. Considering that the value of the resistance r is sufficiently smaller than the impedance exhibited by the capacitor 12 and the inductor 4, FIG. 7a can be rewritten as shown in FIG. 7b.
第7図bの等価回路に於いて、インダクタ12
とキヤパシタC5、インダクタ11とキヤパシタ
C4の並列共振周波数より低い周波数に対しては、
高域通過形フイルタとなることを表わしている。
そして、通過位相は直結した場合に比べて進み位
相となる。 In the equivalent circuit of FIG. 7b, inductor 12
and capacitor C 5 , inductor 11 and capacitor
For frequencies lower than the parallel resonant frequency of C 4 ,
This indicates that it is a high-pass filter.
Then, the passing phase becomes an advanced phase compared to the case of direct connection.
すなわち、この種の半導体移相器に於いては、
第1FET3、第4FET7、第5FET9の各ゲート
電極に印加するバイアスと第2FET4、第3FET
6、第6FET10の各ゲート電極に印加するバイ
アスを0Vとピンチオフ電圧とに交互に切り換え
ることにより、通過位相を進み、遅れと変えるこ
とができ、これに伴なつてデイジタル移相器が実
現できることになる。 That is, in this type of semiconductor phase shifter,
Bias applied to each gate electrode of 1st FET 3, 4th FET 7, 5th FET 9 and 2nd FET 4, 3rd FET
6. By alternately switching the bias applied to each gate electrode of the 6th FET 10 between 0V and the pinch-off voltage, the passing phase can be changed to lead or lag, and as a result, a digital phase shifter can be realized. Become.
しかし、上記従来の半導体移相器に於いては、
6個のFETと、5個のインダクタと、2個のキ
ヤパシタが必要であり、回路構成が複雑で回路素
子が多いために小形化が困難となる問題を有して
いる。
However, in the above conventional semiconductor phase shifter,
Six FETs, five inductors, and two capacitors are required, and the circuit configuration is complex and has many circuit elements, making it difficult to miniaturize.
この発明は、かかる問題点を解決するためにな
されたものであつて、回路構成を簡単にしかつ
FET、インダクタの使用数を少なくするととも
に、小形の半導体移相器を得ることを目的とする
ものである。 This invention was made in order to solve such problems, and it simplifies the circuit configuration and
The purpose is to reduce the number of FETs and inductors used and to obtain a compact semiconductor phase shifter.
従つて、この発明による半導体移相器は、同一
の線路に接続されるFETのソース電極を共通に
することによつて、移相器を小形化するものであ
る。
Therefore, in the semiconductor phase shifter according to the present invention, the FETs connected to the same line share a common source electrode, thereby reducing the size of the phase shifter.
よつて、この発明による半導体移相器に於いて
は、4個のFETと3個のインダクタンスを用い
て低域通過形フイルタおよび高域通過形フイルタ
が実現されて、所望の移相量が得られることか
ら、全体として極めて小さなものとなる。
Therefore, in the semiconductor phase shifter according to the present invention, a low-pass filter and a high-pass filter are realized using four FETs and three inductances, and a desired amount of phase shift can be obtained. As a result, the overall size is extremely small.
〔実施例〕
第1図は、この発明による半導体移相器の一実
施例を示す斜視図である。同図において、13は
半導体基板であつて、その下面側には地導体14
が設けられている。15は入力線路であつて、こ
の入力線路15には前記半導体基板13に形成さ
れた第1FET16および第2FET17が各ソース
電極を共有して接続されている。また、第1FET
16のドレイン電極には、第1ループインダクタ
ンス18の一端が接続され、第1ループインダク
タ18の他端は第3FET19のドレイン電極に接
続されている。第3FET19のソース電極は出力
線路21に接続され、第3FET19とソース電極
を共有して第4FET20が接続されている。第
2FET17、第4FET20のドレイン電極にはそ
れぞれ第2ループインダクタ22の一端が接続さ
れている。また、第2ループインダクタ22の他
端は、接地端子23およびスルーホール24を介
して接地されている。そして、各FETのゲート
電極には、高インピーダンス線路25とキヤパシ
タ26から成るバイアス回路27が接続されてい
る。[Embodiment] FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a semiconductor phase shifter according to the present invention. In the figure, 13 is a semiconductor substrate, and a ground conductor 14 is provided on the lower surface side of the semiconductor substrate.
is provided. Reference numeral 15 denotes an input line, and a first FET 16 and a second FET 17 formed on the semiconductor substrate 13 are connected to this input line 15, sharing their respective source electrodes. Also, the 1st FET
One end of the first loop inductor 18 is connected to the drain electrode of the third FET 16, and the other end of the first loop inductor 18 is connected to the drain electrode of the third FET 19. The source electrode of the third FET 19 is connected to the output line 21, and the fourth FET 20 is connected to share the source electrode with the third FET 19. No.
One end of a second loop inductor 22 is connected to the drain electrodes of the second FET 17 and the fourth FET 20, respectively. Further, the other end of the second loop inductor 22 is grounded via a ground terminal 23 and a through hole 24. A bias circuit 27 consisting of a high impedance line 25 and a capacitor 26 is connected to the gate electrode of each FET.
このように構成された半導体移相器において、
第1FET16と第3FET19のゲート電極を接地
電位とし、第2FET17と第4FET20のゲート
電極にピンチオフ電圧を印加した場合の等価回路
を第2図aに示す。ここで、第2FET17、第
4FET20はキヤパシタCbとして、また第1FET
16、第3FET19は抵抗rとして表わされてい
る。また、第1インダクタ用線路18、第2イン
ダクタ用線路22はそれぞれインダクタLa、イ
ンダクタLbと表わされている。そして、キヤパ
シタCbとインダクタLbの直列共振周波数より低
い周波数においては、第2図aに示す回路は第2
図bに示す低域通過形フイルタとなる。この場合
の通過位相は、次式であらわされる。 In the semiconductor phase shifter configured in this way,
FIG. 2a shows an equivalent circuit when the gate electrodes of the first FET 16 and the third FET 19 are set to the ground potential, and a pinch-off voltage is applied to the gate electrodes of the second FET 17 and the fourth FET 20. Here, the second FET17,
4FET20 serves as the capacitor C b and also as the 1st FET
16. The third FET 19 is represented as a resistor r. Further, the first inductor line 18 and the second inductor line 22 are represented as an inductor L a and an inductor L b , respectively. At frequencies lower than the series resonance frequency of capacitor C b and inductor L b , the circuit shown in Figure 2a
The result is a low-pass filter shown in Figure b. The passing phase in this case is expressed by the following equation.
θL=−tan-1(X1+2B1−B1 2X1/2−2X1B1)
なお、X1はLaが呈する規格化リアクタンス値、
B1はCbとLbの直列回路が呈する規格化サセプタ
ンス値である。X1,B1は入出力線路の特性イン
ピーダンスZ0で規格化されている。 θ L = −tan -1 (X 1 +2B 1 −B 1 2 X 1 /2−2X 1 B 1 ) In addition, X 1 is the normalized reactance value exhibited by L a ,
B 1 is the normalized susceptance value exhibited by the series circuit of C b and L b . X 1 and B 1 are standardized by the characteristic impedance Z 0 of the input/output line.
ここで、所要の周波数においてX11とする
インダクタLaが実現できる。また、後述の条件
により決定されるインダクタLbに対してB1X1/2
とするキヤパシタCbが実現できる。 Here, an inductor L a in which X 1 is 1 at a required frequency can be realized. Also, for the inductor L b determined by the conditions described later, B 1 X 1/2
A capacitor C b can be realized.
よつて上式の分子、分母はともに正となり、θL
は遅れ位相となる。 Therefore, both the numerator and denominator of the above equation are positive, and θ L
is a delayed phase.
一方、第1FET16と第3FET19のゲート電
極にピンチオフ電圧を印加し、第2FET17と第
4FET20のゲート電極を接地電位とした場合の
等価回路を第3図aに示す。ここで、第1FET1
6、第3FET19はキヤパシタCaによつて、また
第2FET17、第4FET20は抵抗rによつて表
わされている。 On the other hand, a pinch-off voltage is applied to the gate electrodes of the first FET 16 and the third FET 19.
An equivalent circuit when the gate electrode of the 4FET 20 is set to the ground potential is shown in FIG. 3a. Here, the first FET1
6. The third FET 19 is represented by a capacitor C a , and the second FET 17 and fourth FET 20 are represented by a resistor r.
LaとCaの直列共振周波数より低い周波数にお
いては、第3図aの等価回路は第3図bのように
表わすことができる。そして、この第3図bは高
域通過形フイルタであり、通過位相は次式で表わ
される。 At frequencies lower than the series resonance frequency of L a and C a , the equivalent circuit of FIG. 3a can be expressed as shown in FIG. 3b. FIG. 3b shows a high-pass filter, and the passing phase is expressed by the following equation.
θH=−tan-1(X2+2B2−B2 2X2/2−2X2B2)
上式中、X2はインダクタLaとキヤパシタCaの
直列回路が呈する規格化リアクタンス値、B2は
インダクタLbが呈する規格化サセプタンス値で
ある。 θ H = −tan −1 (X 2 +2B 2 −B 2 2 X 2 / 2−2X 2 B 2 ) In the above equation, B 2 is the normalized susceptance value exhibited by the inductor L b .
ここで、先にX11とするように決定したイ
ンダクタLaを用いて、X2−1とするキヤパシ
タCaが実現できる。 Here, by using the inductor L a previously determined to have X 1 1, a capacitor C a having X 2 -1 can be realized.
また、B2X2/2とするインダクタLbが、B1
X1/2とするようにして実現できる。 Also, the inductor L b , which is B 2 X 2/2 , is B 1
This can be achieved by setting X 1/2 .
よつて、上式の分子は負、分母は正となりθHは
進み位相となる。 Therefore, the numerator of the above equation is negative, the denominator is positive, and θ H has a leading phase.
従つて、第1FET16、第3FET19と第
2FET17、第4FET20の各ゲート電極に印加
するバイアスを接地電位およびピンチオフ電圧と
切り換えることにより、位相を遅れ、進みと切り
換えることができ、移相量θS:θS=θH−θLのデイ
ジタル移相器が実現される。 Therefore, the first FET16, the third FET19 and the
By switching the bias applied to the gate electrodes of the 2nd FET 17 and the 4th FET 20 between the ground potential and the pinch-off voltage, the phase can be switched between delayed and advanced, and the phase shift amount θ S : θ S = θ H − θ L is digital. A phase shifter is realized.
ところで、上記説明では、インダクタLa,Lb
を実現するための手段としてループインダクタを
用いる場合について示したが、これに限らず、ス
パイラルインダクタあるいはインダクタ用線路を
用いることができることは言うまでもない。 By the way, in the above explanation, the inductors L a , L b
Although a case has been described in which a loop inductor is used as a means for realizing this, it goes without saying that the present invention is not limited to this, and a spiral inductor or an inductor line can be used.
この発明は以上説明したように、4個のFET
と3個のインダクタを用い、OFF状態のFETを
フイルタ回路の一部として用い、さらに同一の線
路に接続した2個のFETのドレインを共通にす
るものであることから、部品数の減少とあいまつ
て半導体移相器の小形化が実現される優れた効果
を有する。
As explained above, this invention uses four FETs.
This reduces the number of components by using three inductors, an OFF FET as part of the filter circuit, and a common drain for the two FETs connected to the same line. This has an excellent effect in that the semiconductor phase shifter can be made smaller.
第1図はこの発明による半導体移相器の一実施
例を示す斜視図、第2図、第3図は第1図に示す
この発明による半導体移相器の動作を説明するた
めの等価回路図、第4図は従来の半導体移相器の
構成を示す等価回路図、第5図は電界効果トラン
ジスタの等価回路図、第6図、第7図は従来の半
導体移相器の動作を説明するための等価回路図で
ある。
13は半導体基板
、14は地導体、15は入力線路、16は第
1FET、17は第2FET、18は第1ループイン
ダクタ、19は第3FET、20は第4FET、21
は出力線路、22は第2ループインダクタ、23
は接地端子、24はスルーホール、25は高イン
ピーダンス線路、26はキヤパシタ、27はバイ
アス回路。なお、各図中同一符号は同一または相
当部分を示す。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the semiconductor phase shifter according to the present invention, and FIGS. 2 and 3 are equivalent circuit diagrams for explaining the operation of the semiconductor phase shifter according to the present invention shown in FIG. , Fig. 4 is an equivalent circuit diagram showing the configuration of a conventional semiconductor phase shifter, Fig. 5 is an equivalent circuit diagram of a field effect transistor, and Figs. 6 and 7 explain the operation of the conventional semiconductor phase shifter. FIG. 13 is a semiconductor substrate, 14 is a ground conductor, 15 is an input line, and 16 is a
1FET, 17 is the second FET, 18 is the first loop inductor, 19 is the third FET, 20 is the fourth FET, 21
is the output line, 22 is the second loop inductor, 23
is a ground terminal, 24 is a through hole, 25 is a high impedance line, 26 is a capacitor, and 27 is a bias circuit. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
プ線路からなる入力線路および出力線路と、前記
半導体基板上の前記入力線路に接続されたソース
電極を共有化して形成された第1電解効果トラン
ジスタおよび第2電解効果トランジスタと、前記
半導体基板上の前記出力線路に接続されたソース
電極を共有化して形成された第3電解効果トラン
ジスタおよび第4電解効果トランジスタと、前記
半導体基板上に形成されて前記第1電解効果トラ
ンジスタのドレイン電極と第3電解効果トランジ
スタのドレイン電極間に接続された第1インダク
タンス素子と、前記半導体基板上に形成されて前
記第2電解効果トランジスタおよび第4電解効果
トランジスタのドレイン電極と接地間にそれぞれ
接続された第2インダクタンス素子とを備え、前
記第1〜第4電解効果トランジスタのゲート電極
にはバイアス電圧が印加されることを特徴とする
半導体移相器。1. A first field-effect transistor and a first field-effect transistor formed by sharing an input line and an output line formed on a semiconductor substrate, each consisting of a microstrip line, and a source electrode connected to the input line on the semiconductor substrate. two field-effect transistors, a third field-effect transistor and a fourth field-effect transistor formed by sharing a source electrode connected to the output line on the semiconductor substrate; a first inductance element connected between the drain electrode of the first field effect transistor and the drain electrode of the third field effect transistor; and the drain electrode of the second field effect transistor and the fourth field effect transistor formed on the semiconductor substrate. and a second inductance element connected between the first to fourth field effect transistors, and a bias voltage is applied to the gate electrodes of the first to fourth field effect transistors.
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JP4815185A JPS61208307A (en) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Semiconductor phase shifter |
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---|---|---|---|---|
US5317290A (en) * | 1987-10-19 | 1994-05-31 | General Electric Company | MMIC (monolithic microwave integrated circuit) switchable bidirectional phase shift network |
JPH0352301A (en) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Fujitsu Ltd | Switch for microwave |
JP2869288B2 (en) * | 1992-06-19 | 1999-03-10 | 三菱電機株式会社 | Loaded line type phase shifter |
JP3087844B2 (en) * | 1997-12-26 | 2000-09-11 | 日本電気株式会社 | Semiconductor phase shifter |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4918416A (en) * | 1972-06-12 | 1974-02-18 | ||
JPS59196603A (en) * | 1983-04-22 | 1984-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor phase shifter |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59149702U (en) * | 1983-03-28 | 1984-10-06 | 三菱電機株式会社 | semiconductor phase shifter |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP4815185A patent/JPS61208307A/en active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4918416A (en) * | 1972-06-12 | 1974-02-18 | ||
JPS59196603A (en) * | 1983-04-22 | 1984-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor phase shifter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61208307A (en) | 1986-09-16 |
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