JPH0569595U - 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉 - Google Patents

炉冷促進機能を有する真空熱処理炉

Info

Publication number
JPH0569595U
JPH0569595U JP918892U JP918892U JPH0569595U JP H0569595 U JPH0569595 U JP H0569595U JP 918892 U JP918892 U JP 918892U JP 918892 U JP918892 U JP 918892U JP H0569595 U JPH0569595 U JP H0569595U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
opening
furnace
heating chamber
cooler
heat treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP918892U
Other languages
English (en)
Inventor
忠 関
好良 中谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chugai Ro Co Ltd
Original Assignee
Chugai Ro Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chugai Ro Co Ltd filed Critical Chugai Ro Co Ltd
Priority to JP918892U priority Critical patent/JPH0569595U/ja
Publication of JPH0569595U publication Critical patent/JPH0569595U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間で炉冷を行なうことのできる真空熱処
理炉を提供することを目的とする。 【構成】 本考案にかかる炉冷促進機能を有する真空熱
処理炉は、加熱室(2)を形成する断熱壁の一部に開口
部(5)を設け、この開口部に断熱材を内張りした開閉
扉(7)を配設するとともに、前記開閉扉の外側に冷却
器(8)を設置、あるいは、この冷却器を加熱室内に進
退可能としたものである。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、炉冷促進機能を有する真空熱処理炉に関するものである。
【0002】
【従来の技術と考案が解決しようとする課題】
ろう付けや焼結処理を真空中で行なう場合、処理材を断熱壁からなる加熱室内 に載置したままで炉内自然冷却(炉冷という)する場合がある。 従来、前記炉冷は、加熱室の放熱のみにより行なっていたため、図4にイで示 すように処理材の在炉時間が長く生産性が悪かった。放熱を促進するには、断熱 壁を薄くすればよいが、このようにすると、加熱時での放熱量が増大し、エネル ギロスや、昇温時間の遅延等の新たな問題が生じて好ましくない。
【0003】 また、加熱・均熱した後、処理材を冷却室へ移送して放冷することもあるが、 ろう付けや焼結処理では、所定温度以上で処理材を移動させると処理材が変形を 起こすことがあり、このような場合には適用できないばかりか、別に冷却室を設 置しなければならず、装置が大掛かりとなり、かつ、冷却室スペースを必要とす るという問題を有する。 さらに、加熱・均熱後、加熱室そのものを移動して、処理材のみを移動するこ となく冷却する方法もあるが、前記第2の方法と同様の問題を有する。 したがって、本考案は熱処理炉そのものの大きさを大きくすることなく、しか も、加熱室の断熱壁の厚みを変えることなく炉冷時間を短くすることのできる炉 冷促進機能を有する真空熱処理炉を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本考案にかかる炉冷促進機能を有する真空熱処理炉は、加熱室を形成する断熱 壁の一部に開口部を設け、この開口部に断熱材を内張りした開閉扉を配設すると ともに、前記開閉扉の外側に冷却器を設置、あるいは、この冷却器を加熱室内に 進退可能としたものである。
【0005】
【実施例】
つぎに、本考案の実施例を図1〜図3にしたがって説明する。 図1は第1実施例を示し、1は水冷構造の炉殻ケーシング、2は断熱壁からな る加熱室で、加熱室2内の内壁部に発熱体3が配設され、処理材Wは炉殻ケーシ ング1および加熱室2に設けられた開閉扉(図示せず)を介して支持台4上に載 置される。 また、前記加熱室2の対向する側壁には開口部5が設けられ、この開口部5に は、断熱材を内張した開閉扉7が配設され、そして、この開口部5は炉殻ケーシ ング1に設置したシリンダ6により昇降する前記開閉扉7により開閉可能となっ ている。
【0006】 さらに、前記開口部5の外側には、冷却器8が、シール機構を介して前記炉殻 ケーシング1に設けたシリンダ9により前記開口部5を進退可能に配設されてい る。なお、10a,10bは冷却器8への冷却水給排パイプである。
【0007】 図2は第2実施例で、炉殻ケーシング1の前記開閉扉7と対向する部分に、炉 殻ケーシング1の一部を構成する冷却器ケーシング18を設け、このケーシング 18内に冷却器8をシリンダ9で加熱室2内へ進退可能としたものである。なお 、19は冷却器8の支持体、20はシールである。
【0008】 図3は第3実施例で、加熱室2の上方に開口部5が設けられ、この開口部5に 冷却器用フード21が設置されている。そして、前記開口部5はフード21に設 けた開閉扉7より開閉可能となっており、かつ、前記開閉扉7の上方には冷却器 8が、フード21に設けたシリンダ9により加熱室2内に進退可能となっている 。
【0009】 前記構成からなるため、処理材Wの加熱・均熱時には、前記開閉扉7を閉とし 、開口部5からの放熱を防止して従来同様の操業を行なう。 そして、均熱終了後、処理材Wを炉冷するには、シリンダ6を作動して前記開 閉扉7を開とし、冷却器8を開口部5に臨ませて加熱室2内を冷却するか、ある いは冷却器8をシリンダ9により加熱室2内に挿入して加熱室2内を冷却するも のである。
【0010】 なお、冷却器8内へ循環させる冷媒は、空気もしくはガスでもよいが、冷却水 を使用する方が冷却性能がよい。ただし、この場合には、冷却器8を加熱室2内 に臨ましめるあるいは挿入する前に冷却水を予め冷却器8内に循環させて、冷却 水の沸騰を防止する必要がある。
【0011】 本件考案にもとづく炉冷と従来の放冷のみによる炉冷と比較したところ、加熱 室2内の温度と炉冷時間との関係は、図4に示すようになった。 図中、イは従来の真空熱処理炉での炉冷、ロは本件考案において、冷却器8を 加熱室2内に挿入した場合の炉冷、ハは本件考案において、冷却器8を開口部5 に臨ませた場合の炉冷を示す。
【0012】 前記各実施例においては、冷却器8をシリンダ9により加熱室2内に進退可能 としたが、開口部5の外方から炉冷する場合にのみ適用するものであれば、開口 部5の外側に固定設置しておいてもよい。また、炉形式は、1室型炉に限らず、 2室あるいは3室型炉であっても良い。
【0013】
【考案の効果】
以上の説明で明らかなように、本考案においては、真空熱処理炉の加熱室に設 けた開口部に、断熱材を内張した開閉扉を設けるとともに、前記開口部の外方に 冷却器を配設するという簡単な構成で、通常の熱処理と炉冷とが行なえ、しかも 、炉冷時間は従来方法に比べて1/2以下に短縮することができ、それだけ生産 性が向上することとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1考案の第1実施例を示す断面図である。
【図2】 第1考案の第2実施例を示す断面図である。
【図3】 第2考案の実施例を示す断面図である。
【図4】 本考案と従来例との炉温と炉冷時間とを示す
グラフである。
【符号の説明】
1…炉殻、2…加熱室、3…発熱体、5…開口部、6…
シリンダ、7…開閉扉、8…冷却器、9…シリンダ、W
…処理材。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炉殻ケーシングの内部に配設した加熱室
    を形成する断熱壁の一部に開口部を設け、この開口部に
    断熱材を内張りした開閉扉を配設するとともに、前記開
    閉扉の外側で、かつ、炉殻ケーシング内の前記開口部に
    対応する位置に冷却器を設置したことを特徴とする炉冷
    促進機能を有する真空熱処理炉。
  2. 【請求項2】 前記冷却器が、前記開口部を介して前記
    加熱室に対し進退可能となっていることを特徴とする請
    求項1に記載の炉冷促進機能を有する真空熱処理炉。
  3. 【請求項3】 加熱室を形成する断熱壁の一部に開口部
    を設け、この開口部に断熱材を内張りした開閉扉を配設
    するとともに、前記開閉扉の外側で、かつ、前記加熱室
    内の前記開口部に対応する位置に冷却器を設置したこと
    を特徴とする炉冷促進機能を有する真空熱処理炉。
  4. 【請求項4】 前記冷却器が、前記開口部を介して前記
    加熱室に対し進退可能となっていることを特徴とする請
    求項3に記載の炉冷促進機能を有する真空熱処理炉。
JP918892U 1992-02-27 1992-02-27 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉 Pending JPH0569595U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP918892U JPH0569595U (ja) 1992-02-27 1992-02-27 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP918892U JPH0569595U (ja) 1992-02-27 1992-02-27 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0569595U true JPH0569595U (ja) 1993-09-21

Family

ID=11713556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP918892U Pending JPH0569595U (ja) 1992-02-27 1992-02-27 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0569595U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01142018A (ja) * 1987-10-28 1989-06-02 Degussa Ag 金属加工部品を熱処理するための真空炉

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01142018A (ja) * 1987-10-28 1989-06-02 Degussa Ag 金属加工部品を熱処理するための真空炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6059567A (en) Semiconductor thermal processor with recirculating heater exhaust cooling system
US5152048A (en) Process for manufacturing a composite assembly of ceramic and steel
CN100465296C (zh) 高压热处理炉
JP2000017305A (ja) 脱脂焼結炉
JPH0569595U (ja) 炉冷促進機能を有する真空熱処理炉
JPS61272586A (ja) ロ−ラハ−ス式真空炉
JPH09111309A (ja) 連続式焼結炉
JP2723132B2 (ja) 熱処理炉
CN216115385U (zh) 一种真空炉加热系统
JPS5974435A (ja) 高周波加熱装置
JPH05157461A (ja) 加熱炉
JP2000111261A (ja) 熱処理炉
CN217686643U (zh) 一种不破坏真空可实现快速冷却的真空炉
JPS61227169A (ja) スパツタリング装置
JP7338818B2 (ja) 熱処理炉
JP4003412B2 (ja) 真空チャンバ及びその真空チャンバを用いた液晶注入装置
JP2936655B2 (ja) 真空炉
JP2000055566A (ja) 多室熱処理炉の冷却装置
JPH01291090A (ja) 焼結炉
JP2871111B2 (ja) 真空炉における冷却方法
JPH043495Y2 (ja)
JPS6370088A (ja) 焼結方法およびその装置
JPH0336518Y2 (ja)
JP2500082Y2 (ja) 連続式脱脂焼結炉
JP2000171159A (ja) 熱処理炉