JPH0569160U - ローラー式シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 帯状体の張力によるロールの撓みを抑えるこ
とで隙間を出来るかぎり小さくし、シール効率を向上さ
せる。 【構成】 高圧部と低圧部とを隔てる隔壁１３の開口部
に、回転自在のロール１５を設ける。このロール１５
に、両部に導入される帯状体１６を巻回させることによ
り、隔壁１３とのわずかな隙間Ｓを通すようにする。ロ
ール１５の軸受部１７から軸方向に離間した位置に、ロ
ーラ軸端１８に径方向の力Ｆを掛けて帯状体１６の張力
Ｔによるロール１５の撓みを補正するためのベンディン
グ手段１９を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、帯状体を連続的に高圧部から低圧部へ或いは低圧部から高圧部へと 導くためのローラー式シール装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

真空めっき工程等においては、連続的に帯状体（ウエブ）を大きな圧力差のあ る区画室へ導くためのものとして、ローラー式シール装置（特公平１−５２４７ ３号公報）が使用されている。

【０００３】 図３に示すように、従来この種の装置は、真空室１とその両側に隣設されたよ り高圧な区画室２及び圧力差のある区画室２同士を隔てる隔壁３の開口部４に、 わずかな隙間Ｓを以て嵌め込まれるロール５を設け、このロール５に帯状体６を 適宜巻回させてその狭い隙間Ｓに通し、高圧側（大気側７）から低圧側（真空室 １）へと導くようになっている。そして真空室１内に導入された帯状体６に対し て、容器８に入っている金属或いは非金属物質を蒸発させることで被膜を形成さ せた後、同様にして反対側の区画室２を通過させて外部（７）に戻すようになっ ている。各ロール５は、区画室２外方に設けられた軸受部（図示せず）により、 所定の高さに回転自在に保持されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで真空室１によるめっき作業の効率上、開口部４におけるロール５と隔 壁３との隙間Ｓは、出来るだけ小さくすることが望ましい。すなわち、流体の流 れ易さの指標であるコンダクタンス（Ｃ＝流量／圧力差）は、粘性流の場合は隙 間Ｓの二乗に、分子流の場合は隙間Ｓにそれぞれ比例するので、隙間Ｓを小さく することが直ちにコンダクタンスを減少させることとなる。

【０００５】 しかしながらロール５は、巻回される帯状体６の張力によって撓むために、そ の分だけ隙間Ｓを余計に取る必要があり、ロール５の回転及び帯状体６の通過等 に必要な最小限の隙間Ｓとすることができなかった。言い換えると、この余計な 隙間Ｓによってシールの効率が低下してしまうという問題があった。

【０００６】 そこで本考案は、上記事情に鑑み、撓みを抑えることで隙間を出来るかぎり小 さくできるローラー式シール装置を提供すべく創案されたものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、高圧部と低圧部とを隔てる隔壁の開口部に回転自在のロールを設け て、上記両部に導入される帯状体を巻回させることにより隔壁とのわずかな隙間 を通すローラー式シール装置において、ロールの軸受部から軸方向に離間した位 置に、ローラ軸端に径方向の力を掛けて帯状体の張力によるロールの撓みを補正 するためのベンディング手段を設けたものである。

【０００８】 また上記ベンディング手段は、上記隙間を検出するセンサーにより径方向の力 を調節するように形成されることが望ましい。

【０００９】

【作用】

上記構成によって、ロールが帯状体の張力によって撓むときに、ベンディング 手段がローラ軸端に径方向の力を掛けて、軸受部を支点としてロールを反対方向 に曲げ、撓みを相殺させる。

【００１０】 またセンサーを備えた構成においては、帯状体による張力の変化に応じてその 撓みを相殺できる。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に従って説明する。

【００１２】 図１及び図２は、本考案に係わるローラー式シール装置の一実施例を示したも のである。この装置は、従来と同様に高圧部１１と低圧部１２とを隔てる隔壁１ ３の開口部１４に回転自在のロール１５が設けられ、低圧部１２から高圧部１１ に導入される極薄い帯状体１６を巻回させることにより、そのわずかな隙間Ｓを 通すように構成されたものであって、ロール１５の軸受部１７から軸方向に離間 した位置に、ローラ軸端１８に径方向の力Ｆを掛けるベンディング手段１９が設 けられて成る。

【００１３】 ロール１５は、帯状体１６の最大板幅よりも長い有効ロール長を有し、回転軸 心が隔壁１３の延長線上に位置するように設けられていると共に、その軸端１８ は、両部１１，１２の軸方向外側を区画する外壁２０を貫通して外方に延出され ている。そして帯状体１６は、側面視上軸心を中心に左右対称の経路で導かれる ようになっており、低圧部１２の下方からロール１５の上面側を半周ほど巻回し て高圧部１１の下方へ至るものである。

【００１４】 隔壁１３の開口部１４の上下端には、ロール１５本体の外周面に沿う断面円弧 状のガイド２１，２２がそれぞれ取り付けられている。すなわち実際には、この ガイド２１，２２の内面とロール１５外周面との間に、所定のわずかな隙間Ｓ ₁ ，Ｓ₂ が形成されるものである。

【００１５】 軸受部１７は、ベアリングを収容した外輪２３と、外輪２３を床面３０から支 えるスタンド部材２４とで成り、ロール１５を所定の高さに両持ち支持している 。そしてロール１５の軸端１８は、軸受部１７からさらに軸方向両外方に延長さ れ、この延長部２５に、本考案の特長となるベンディング手段１９がそれぞれ設 けられている。

【００１６】 ベンディング手段１９は、軸端延長部２５を回転自在に囲繞するベアリング部 材２６と、上下方向に伸縮する復動式の油圧シリンダー２７とで成り、油圧シリ ンダー２７のピストンロッド２８の先端が、ベアリング部材２６に連結されてい る。そして油圧シリンダー２７の基端側は、支持台２９を介して床面３０に反力 をとるようになっている。すなわち油圧シリンダー２７の伸縮力が、ベアリング 部材２６を介して軸端延長部２５に径方向（上下方向）の力Ｆとして伝達される ようになっている。またこの油圧シリンダー２７には、作動油圧を供給するため の油圧供給源（油圧ポンプ）３１と、その油圧供給路３２の途中に設けられた圧 力調整弁３３と、圧力調整弁３３をロール１５の稼動状況等に合わせて適宜作動 させるための制御盤３４とが備えられている。そして本実施例にあっては、下部 ガイド２２の隔壁位置に、ロール１５表面に対向するように形成された距離セン サー３５が埋設され、制御盤３４に連絡されている。すなわち、距離センサー３ ５が検出した隙間Ｓ₂ の値に応じて制御盤３４が圧力調整弁３３をコントロール し、油圧シリンダー２７による径方向の力Ｆを増減するようになっている。

【００１７】 次に本実施例の作用を説明する。

【００１８】 真空めっき工程において帯状体１６を低圧部１２から高圧部１１に導くに際し て、帯状体１６はロール１５の上側を巻回しつつ、ロール１５と上部ガイド２１ との狭い隙間Ｓ₁ を通って導かれる。このとき、帯状体１６の下向きの張力Ｔに よって、ロール１５は下に凸となるような撓みが生ずるが、制御盤３４が圧力調 整弁３３を適宜作動させて油圧シリンダー２７を短縮することにより、軸端延長 部２５に下方の力Ｆを加え、軸受部１７を支点としてロール１５を逆方向に曲げ て、この撓みを解消する。なお帯状体１６がロール１５の下側を巻回する経路で ある場合は、ロール１５は上に凸の撓みとなるので、油圧シリンダー２７は伸長 することにより上方の力を掛けるものとする。

【００１９】 そして帯状体１６の幅や厚さ、送り速度などが変わると張力Ｔが変化するが、 例えば幅が小さくなって張力Ｔが小さくなり、撓みの量が小さくなると、距離セ ンサー３５が下部ガイド２２とロール１５との隙間Ｓ₂ を検出することで、直ち にその減少変化量を制御盤３４に入力する。制御盤３４はこの情報により油圧を 減じて、油圧シリンダー２７による力Ｆを弱め、隙間Ｓ₂ を所定値に維持する。

【００２０】 このように、ロール１５の軸受部１７の外側に、軸端延長部２５に上下方向の 力Ｆを掛ける油圧シリンダー２７を設けたので、帯状体１６の張力Ｔによる有害 な撓みが生じることがなく、運転に伴ってロール１６とガイド２１，２２との隙 間Ｓ₁ ，Ｓ₂ が広がったり過度に狭まったりすることがない。従って設定する隙 間Ｓを予め大きめにする必要がなく、ロール回転等のためだけの最少限の値にで き、真空めっき工程における効率を大幅に向上できる。

【００２１】 なお本実施例にあっては、帯状体１６を低圧部１２から高圧部１１へと導く場 合において示したが、逆方向の場合など、その他の経路であっても同様にして構 成することができる。

【００２２】 またベンディング手段１９として油圧シリンダー２７を示したが、これに限る ものではなく、例えば電動式のジャッキを設けるようにしても構わない。そして 本実施例にあっては軸受部１７の両外側にベンディング手段１９を設けるものと したが、場合によっては内側に設けることも考えられ、さらに片側のみとするこ とも可能である。ただしこのように設けた場合は、所定の曲げを得るための力は 本実施例のものより大きなものが必要になると予想される。

【００２３】 そして本実施例にあっては、距離センサー３５を下部ガイド２２に設けるもの としたが、外壁２０に設けて隙間Ｓ₂ を検出するようにしてもよい。さらにセン サーを省略して、予め帯状体の幅などから張力及び撓みを推定し、これに相応し た一定の力を軸端延長部に掛けるようにしても、ある程度の撓み防止が期待でき る。

【００２４】 また本考案のローラー式シール装置は、真空ロックに限らず、高圧側と低圧側 とを適宜シールするためのものとして広く適用できるものである。

【００２５】

【考案の効果】

以上要するに本考案によれば、次のような優れた効果を発揮する。

【００２６】 (1) 請求項１記載の構成によれば、ロールの撓みを実質的に防止でき、隙間を 出来るかぎり小さくすることができてシール効率の向上が達成される。

【００２７】 (2) 請求項２記載の構成によれば、帯状体の張力が変化しても所定の隙間を維 持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わるローラ式シール装置の一実施例
を示した正面断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。

【図３】従来のローラ式シール装置を示した側断面図で
ある。

【符号の説明】

１１ 高圧部 １２ 低圧部 １３ 隔壁 １４ 開口部 １５ ロール １６ 帯状体 １７ 軸受部 １８ ローラ軸端 １９ ベンディング手段 ３５ 距離センサー Ｔ 張力 Ｆ 径方向の力

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 高圧部と低圧部とを隔てる隔壁の開口部
   に回転自在のロールを設けて、上記両部に導入される帯
   状体を巻回させることにより上記隔壁とのわずかな隙間
   を通すローラー式シール装置において、上記ロールの軸
   受部から軸方向に離間した位置に、ローラ軸端に径方向
   の力を掛けて上記帯状体の張力による上記ロールの撓み
   を補正するためのベンディング手段を設けたことを特徴
   とするローラー式シール装置。
2. 【請求項２】 上記ベンディング手段が、上記隙間を検
   出するセンサーにより上記径方向の力を調節するように
   形成された請求項１記載のローラー式シール装置。