JPH05640Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はボンベ元弁作動装置に係り、特にボン
ベ元弁の操作部を円滑に作動させるよう構成した
ボンベ元弁作動装置に関する。

従来の技術 本出願人は先に特願昭60−180306（特開昭62−
41496号公報）によりガスを封入されたボンベの
元弁をアクチユエータの駆動力で開閉操作するボ
ンベ元弁作動装置を提案した。このボンベ元弁緊
急遮断装置はアクチユエータを元弁より離間した
固定部所に配設し、アクチユエータの出力軸と元
弁のハンドルに結合したチヤツクとの間に自在継
手を設けてアクチユエータの駆動力を自在継手を
介してチヤツクに伝達し元弁を開閉操作する固定
とされていた。また、このようなボンベ元弁作動
装置では、ボンベの元弁を円滑に開閉操作するた
め、ハンドルの外周に結合するチヤツクの回動中
心と、元弁の操作ハンドルの軸芯とが一致してい
る必要がある。ところが、アクチユエータを元弁
より離れた固定部所に固定した後、アクチユエー
タの出力軸に自在継手を介して接続されたチヤツ
クを元弁の操作ハンドルに結合する際は、まずチ
ヤツクの外周締付部を弛め、拡径されたチヤツク
を操作ハンドルの外周に嵌合させ、そしてチヤツ
クの外周を締め付けて操作ハンドルの外周にチヤ
ツクを結合させていた。

考案が解決しようとする問題点 しかるに、上記構成になるボンベ元弁作動装置
では、チヤツクの外周の一部を締め付けて縮径す
るため、チヤツクの回動中心が操作ハンドルの軸
芯に対してずれやすかつた。したがつて、実際に
は自在継手と操作ハンドルの軸芯を正確に一致さ
せることが難しい。このため従来の装置では、例
えば各部材の軸芯がずれているため元弁を開閉動
作させる際円滑な回転伝達が得られないという問
題点があつた。

そこで、本考案は上記問題点を解決したボンベ
元弁作動装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段及び作用 本考案はガスが封入されたボンベと、該ボンベ
に取付けられた元弁と、該元弁より離間した固定
部所に配設され操作信号の供給により該元弁を作
動させるアクチユエータと、該アクチユエータの
出力軸と該元弁の操作部に結合されたチヤツクと
を連結する自在継手とを有してなるボンベ元弁作
動装置であつて、 前記自在継手と前記チヤツクとの間に横架さ
れ、前記自在継手に連結された一の軸と、 該一の軸と前記チヤツクとの間に横架され、前
記一の軸に直交して前記チヤツクに連結された他
の軸と、 前記自在継手と前記チヤツクとの間に介在し、
前記一の軸と他の軸とを互いに回動自在に支持す
ることにより前記自在継手と前記チヤツクとを接
続する接続部材と、を設けてなり、自在継手の軸
芯と元弁の操作ハンドルに結合するチヤツクの回
動中心と操作ハンドルの軸芯とがずれていた場
合、そのずれを自動調芯してアクチユエータから
の駆動力を操作ハンドルに円滑に伝達するように
したものである。

実施例 第１図乃至第３図に本考案になるボンベ元弁作
動装置の一実施例を示す。各図中、例えばボンベ
１には高濃度は半導体用材料ガスが封入されてい
る。各ボンベ１は夫々所定間隔離間させ垂直に立
てた状態でベルト１３により保持されてボンベ収
納ボツクス２内に収納されている。ボンベ１の上
部には元弁３が取付けられている。元弁３はその
上部に開閉操作する操作ハンドル３ａを有する。
したがつて、元弁３は操作ハンドル３ａの回動操
作によりその弁開度を調整される。このため、元
弁３の弁開度に応じた流量のガスがボンベ１より
流出し元弁３に連通接続された配管４を介してボ
ンベ収納ボツクス２の外部に供給される。

５はアクチユエータで、例えばボンベ収納ボツ
クス２の天板２ａの上面等に配設されており、ボ
ンベ１より離間した固定部所にある。アクチユエ
ータ５の出力軸６はアクチユエータ５の底面より
下方に延在し自在継手７に連結されている。な
お、自在継手７は軸７ａの両端に継手７ｂ，７ｃ
を設けてなる。

８はチヤツクで、元弁３の操作ハンドル３ａの
外周に嵌合している。９は操作器で、ボンベ収納
ボツクス２より離れた位置に設けられており、ア
クチユエータ５に元弁３を開閉するための開閉信
号を供給する。１０は空気配管で、アクチユエー
タ５の出力軸６を回転駆動するための空気圧力を
アクチユエータ５に供給する。

第２図に示す如く、自在継手７の軸７ａの下端
にはピン１４を貫通させて固定された連結部材１
５が取付けられている。１６は継手７ａの十字継
手で、第２図中紙面に対し垂直方向に突出する軸
１６ａ，１６ｂが連結部材１５の腕部（破線で示
す）１５ａの孔に回動自在に係合しており、円筒
状の連結部材１７の上部開口１７ａ内に設けられ
ている。また、十字継手１６の軸１６ａ，１６ｂ
と直交する方向に突出した軸１６ｃ，１６ｄは連
結部材１７の腕部１７ｂの孔に回動自在に嵌合し
ている。

１８は円柱形状の軸部材で、上部１８ａを連結
部材１７の下部の中央孔１７ｃ内に嵌合させ、ピ
ン１９の圧入により連結部材１７に固定されてい
る。２０はカツプリングで、第４図Ａに示す如く
軸部材１８の下部１８ｂが嵌入する上部開口２０
ａを有しており、ピン２１の貫通により軸部材１
８と回動自在に連結されている。なお、軸部材１
８の下部１８ａの外径寸法はカツプリング２０の
上部開口２０ａの内径寸法よりも小径である。即
ち、下部１８ａと上部開口２０ａとの間には環状
の隙間２０ｃが介在している。したがつて、軸部
材１８はピン２１に沿つて摺動自在に設けられて
おり、上記隙間２０ｃの範囲内で矢印Ｘ方向に移
動しうる。また、カツプリング２０はチヤツク８
の上面より突出した突出部８ａが嵌入する下部開
口２０ｂを有しており、ピン２２の貫通によりチ
ヤツク８と回動自在に連結されている。第４図Ｂ
に示す如く、チヤツク８の突出部８ａはその外径
寸法がカツプリング２０の内径寸法よりも小径で
ある。即ち、突出部８ａとカツプリング２０との
間には環状の隙間２０ｄが介在する。ピン２２が
カツプリング２０及び突出部８ａを摺動自在に貫
通しているため、カツプリング２０はチヤツク８
に対してピン２２に沿つて隙間２０ｄの範囲で矢
印Ｙ方向に摺動変位しうる。なお、ピン２１及び
２２の両端には抜け止め用の止め輪２３が係合し
ている。

このカツプリング２０に貫通した一対のピン２
１，２２は互いに直交する向きに配設されてお
り、カツプリング２０を介して連結されている。
このため、カツプリング２０はピン２１，２２と
共に自在継手の如く動作する。なお、チヤツク８
の内側には操作ハンドル３ａの外周の凹凸部に係
合する環状のゴム部材２４が設けられている。チ
ヤツク８の締付ネジ８ｂの締付け操作によりチヤ
ツク８はゴム部材２４を内周方向に押圧する。そ
してゴム部材２４は操作ハンドル３ａの外周凹凸
部に食い込んでチヤツク８を操作ハンドル３ａに
結合する。

ここで、ボンベ１内のガスの流量を調整する場
合、あるいはボンベ１を開閉する場合は、まず操
作器９の操作スイツチ等を操作してアクチユエー
タ５に操作信号を供給する。これにより、空気配
管１０に接続された電磁弁５ａ，５ｂが作動して
空気配管１０からの空気圧力がアクチユエータ５
のシリンダ部５ｃに導入されピストン（図示せ
ず）が変位する。このようにアクチユエータ５が
作動して出力軸６が駆動される。出力軸６の回転
駆動力は自在継手７、連結部材１７、軸部材１
８、カツプリング２０を介してチヤツク８に伝達
される。即ち、元弁３の操作ハンドル３ａはアク
チユエータ５の出力軸６に駆動されて回動し元弁
３を開閉する。したがつて、ボンベ１の元弁３は
操作器９の遠隔操作により開閉弁し、その弁開度
を調整される。

なお、アクチユエータ５の駆動力が自在継手７
を介して元弁を開閉する構成であるため、アクチ
ユエータ５の出力軸６の位置と元弁３の操作ハン
ドル３ａの位置とを一致させる必要がなく、夫々
の取付位置が正確でなくても良い。

また、上記構成の装置ではチヤツク８の回動中
心と、操作ハンドル３ａの軸芯を正確に一致させ
ることは難しく、各部材の組付け後チヤツク８と
操作ハンドル３ａの軸芯がずれていることがあ
る。しかるに、例えば操作ハンドル３ａの軸芯に
対してチヤツク８がその回動中心がずれた状態で
組付けられても、軸部材１８がピン２１に沿つて
Ｘ方向に変位すると共にカツプリング２０がピン
２２に沿つて矢印Ｙ方向に変位するため、継手７
ｂと操作ハンドル３ａとの軸芯が調芯されて一致
する。

したがつて、チヤツク８の回動中心と、操作ハ
ンドル３ａの軸芯にずれがある場合でもピン２
１，２２の軸方向に沿う軸部材１８、カツプリン
グ２０の摺動変位により軸芯のずれがなくなるよ
うに調整される。このため、元弁３の操作ハンド
ル３ａはチヤツク８との軸芯のずれに影響される
ことなくアクチユエータ５の出力軸６の回転駆動
力を円滑に伝達される。このように、元弁３はア
クチユエータ５からの回転駆動力を円滑かつ確実
に伝達されるため、弁開度をよりきめ細く調整す
ることもでき、ガスの流量をより精度良く制御す
ることができる。

また、チヤツク８と操作ハンドル３ａとの軸芯
がずれても上記のようにアクチユエータ５からの
回転駆動力が円滑に伝達されるので、必らずしも
チヤツク８と操作ハンドル３ａとの軸芯を一致さ
せる必要がない。このため、各部材の組付工程で
神経を使わずに済み、その分組付工程での能率が
向上する。また、ボンベ交換時においてもボンベ
交換作業が容易である。

又、上記実施例では、アクチユエータ５が元弁
３を開弁又は閉弁駆動させるものとして説明した
が、これに限らず、例えば開弁駆動のみ又は閉弁
駆動のみ行う装置にも適用できるのは勿論であ
る。

考案の効果 上述の如く、本考案になるボンベ元弁作動装置
は、自在継手に連結されたチヤツクの軸芯と、ボ
ンベ元弁の操作ハンドルとの軸芯とがずれていて
も自在継手と操作ハンドルとの軸芯のずれを互い
に直交する軸に沿つて調芯するため操作信号に応
じたアクチユエータからの回転駆動力を円滑かつ
確実に操作ハンドルに伝達することができる。し
たがつて、ボンベの元弁の弁開度をよい精度良く
制御することができるとともに各部材の組付工程
で神経を使わずに済み組付作業が容易になつて作
業能率が向上し、さらにボンベを交換する際交換
後元弁の操作ハンドルとチヤツクとの軸芯を正確
に一致させる必要がなく、両部材の軸芯のずれを
気にしなくて良いため、ボンベ交換作業が容易で
ある等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案になるボンベ元弁作動装置の一
実施例の斜視図、第２図は第１図に示す装置の要
部を拡大して示す一部切截断面図、第３図は装置
の概略構成図、第４図Ａは第２図を矢印Ｙ方向よ
りみた断面図、第４図Ｂは第４図Ａ中Ｂ−Ｂ
線に沿う断面図である。 １……ボンベ、３……元弁、５……アクチユエ
ータ、６……出力軸、７……自在継手、８……チ
ヤツク、１７……連結部材、１８……軸部材、２
０……カツプリング、２１，２２……ピン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ガスが封入されたボンベと、該ボンベに取付け
   られた元弁と、該元弁より離間した固定部所に配
   設され操作信号の供給により該元弁を作動させる
   アクチユエータと、該アクチユエータの出力軸と
   該元弁の操作部に結合されたチヤツクとを連結す
   る自在継手とを有してなるボンベ元弁作動装置で
   あつて、 前記自在継手と前記チヤツクとの間に横架さ
   れ、前記自在継手に連結された一の軸と、 該一の軸と前記チヤツクとの間に横架され、前
   記一の軸に直交して前記チヤツクに連結された他
   の軸と、 前記自在継手と前記チヤツクとの間に介在し、
   前記一の軸と他の軸とを互いに回動自在に支持す
   ることにより前記自在継手と前記チヤツクとを接
   続する接続部材と、を設けてなるボンベ元弁作動
   装置。