JPH0563050U - バックライト付テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 １軸テーブル、ＸＹテーブル、ＸＹθテーブ
ル等をバックライト付のテーブルにする。 【構成】 ベース１１上にモータ１４とボールねじ１５
で移動が付与されるステージ１２を配置し、このステー
ジ１２の表面側に発光体１６を搭載することにより、ス
テージ上に載置した製品を下面から発光体１６の光で照
射することができる。ステージ１２及びベース１１には
透過光型テーブルのように貫通孔を設ける必要はなくな
り、ステージの強度が向上して負荷容量がアップすると
共に、ステージ案内部の設置位置が自由となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、１軸テーブル、ＸＹテーブル、ＸＹθテーブル等のバックライト 付テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、半導体、液晶（ＬＣＤ）、プリント基板（ＰＣＢ）等、各種製品の検 査や加工には、１軸テーブル、ＸＹテーブル、ＸＹθテーブルが用いられている が、製品計測時、加工時または加工前のアライメントの際には、製品の下から光 を照射して作業を行なう必要がある。

【０００３】 図６は、上記のような作業目的のために用いられている従来のテーブルとして 、透過光型ＸＹθテーブルを例示しており、ベース１上にステージ２を移動自在 に載置し、ベース１に取付けた電動リニアアクチュエータ３によりステージ２に 所定の移動を与えるようにすると共に、ステージ２とベース１の各々に貫通孔４ 、５を形成し、ベース１の貫通孔５の下方に光源６を配置し、ステージ２の貫通 孔４上に載置した製品に対して光源６で下から光を照射する構造になっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記のような従来の透過光型ＸＹθテーブルは、光源によってステージ上の製 品を照らすことができ、例えば液晶板等の欠陥箇所を確認する作業が容易に行え るが、ベース及びステージに貫通孔を設けるためにステージの負荷容量が減少し 、強度的に弱くなるという問題がある。

【０００５】 また、ベース及びステージに貫通孔を設けるため、ステージの移動を誘導する 案内部の設計に制約を受けるという問題もある。

【０００６】 そこで、この考案は、上記のような問題点を解決するため、ステージの強度低 下を防いで負荷容量を大きくできると共に、案内部の設計に関しても比較的自由 となるバックライト付テーブルを提供することを課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記のような課題を解決するため、この考案は、所定の方向への移動が付与さ れるステージの表面側に発光体を搭載した構成を採用したものである。

【０００８】

【作用】

ステージはその表面側に発光体を搭載しているため、ステージに貫通孔を設け る必要がなく、その分ステージの強度が向上して負荷容量がアップすると共に、 ステージの案内部を設ける位置はステージの下面全面を利用できるので比較的自 由となる。

【０００９】

【実施例】

以下、この考案の実施例を添付図面の図１乃至図５に基づいて説明する。

【００１０】 図１と図２は１軸テーブルの例を示し、ベース１１上にステージ１２を両側の 案内部１３、１３で移動自在に支持して配置し、モータ１４で駆動されるボール ねじ１５でステージ１２に移動を与えると共に、ステージ１２の表面側に発光体 １６を搭載した構造になっている。

【００１１】 図３はＸＹテーブルの例を示し、ベース２１の上面にＸ軸ヨーク２２とその上 にＹ軸ヨーク２３を配置し、Ｘ軸ヨーク２２はＸ軸モータ２４とＸ軸ボールねじ ２５で、また、Ｙ軸ヨーク２３はＹ軸モータ２６とＹ軸ボールねじ２７で、両者 に直角方向の移動を与えるようにすると共に、Ｙ軸ヨーク２３の上面に設けたス テージ１２の表面側に発光体１６を搭載した構造になっている。

【００１２】 図４はＸＹθテーブルの例を示し、ベース３１上に移動自在となるよう配置し たステージ１２をベース３１に取付けた電動リニアアクチュエータ３２で任意の 方向に移動させるようにすると共に、ステージ１２の表面側に発光体１６を搭載 した構造になっている。

【００１３】 前記の各例において、ステージ１２の表面側に発光体１６を搭載する手段とし は、ステージ１２の表面側に円形や多角形の凹部１２ａを設け、この凹部１２ａ 内に発光体１６を埋込み状に搭載してステージ１２の表面をフラットに形成して いる。

【００１４】 上記ステージ１２に搭載する発光体１６は図５の場合、裏面に反射板４１を重 ねた透明アクリル等の導光板４２と、この導光板４２のサイドに配置したランプ ４３とからなり、ランプ４３からの光が導光板４２内を通り、反射板４１で反射 されることにより表面側に光４４が出て行くものを例示したが、発光体１６はこ のようなものに限定されるものではなく、例えばＥＬバックライト等を使用する ことができ、ステージ１２に対する発光体１６の組込み構造も発光体の種類や構 造に合わせて選択すればよい。

【００１５】 また、発光体１６に対する給電は、外部から行なうだけでなく、テーブルの大 きさによってはバッテリーを搭載することも可能である。

【００１６】 この考案のテーブルは上記のような構成であり、ステージ１２上に製品を載置 した状態で発光体１６を発光させ、製品に対して下面から光を照射し、欠陥箇所 の確認や加工前のアライメント等を行なうものである。

【００１７】 ちなみに、この考案のテーブルの用途としては、液晶ガラスの基板の貼合せ、 スクリーン印刷、顕微鏡での目視検査、ＣＤＤカメラでの自動検査、計測等の分 野に使用できる。

【００１８】

【効果】

以上のように、この考案によるとステージの表面側に発光体を搭載したので、 ステージ及びテーブルに貫通孔を設ける必要がなくなり、ステージの強度が向上 し、負荷容量がアップする。

【００１９】 また、ステージの下面に設ける案内部の設置に関しても取付位置の選択が比較 的自由となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係るテーブルの１軸テーブルの例を
示す斜視図

【図２】同上の縦断面図

【図３】同じくＸＹテーブルの例を示す斜視図

【図４】同じくＸＹθテーブルの例を示す斜視図

【図５】発光体の一例を示す説明図

【図６】従来の透過光型テーブルの斜視図

【符号の説明】

１１、２１、３１ ベース １２ ステージ １６ 発光体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の方向への移動が付与されるステー
   ジの表面側に発光体を搭載したことを特徴とするバック
   ライト付テーブル。