JPH0560810U - スライシングマシン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】エアパッドとブレードとの間隙に入り込んだイ
ンゴットの切粉を除去する機能を有したスライシングマ
シンを提供する。 【構成】エアパッド２０、２０に洗浄水噴出口を設け、
前記洗浄水噴出口の周囲にエアカーテンを形成する洗浄
用エア噴出口を設け、前記洗浄水をブレード１４に噴出
すると共に、洗浄用エアを噴出してエアカーテンを形成
する。この為、前記洗浄水はエアカーテンに閉じ込めら
れるようになり、乱流となりバブリングし、効率良くエ
アパッド２０、２０とブレード１４との間隙に入り込ん
だ切粉を除去する。これにより、インゴット１８切断
時、エアパッド２０、２０からブレード１４に噴出され
るブレードコントロール用エアのエア圧が正常に調整さ
れ、ブレード１４の変位を正確に修正することができ
る。また、切粉でブレード１４の台金を傷つけることが
なくなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はスライシングマシンに係り、特に半導体ウエハの切断時、エアーパッ ドとブレードとの間隙に入り込んだ切粉の除去機能を有したスライシングマシン に関する。

【０００２】

【従来の技術】

スライシングマシンの内周刃ブレードまたは外周刃ブレードを高速回転し、こ れにインゴットを押し当てインゴットを薄片状に切断し、半導体ウエハを製造す る。この時、ブレードの変位を検出するブレードセンサの値に基づいてエアーパ ッドからブレードコントロール用エアをブレードの押圧面に噴出し、ブレードの 変位を修正しながら切断する。

【０００３】 また、通常のエアーパッド１は図５に示したように、噴出したブレードコント ロール用エア２の圧力をブレード３の押圧面３Ａに効果的に与えることができる ように、エアパッド１の底面円周部６はブレード３面と僅かな間隙５を維持する ようになっており、エアパッド１とブレード３の押圧面３Ａとでエア噴出空間４ を形成している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、インゴットの切断作業が経過するに従い、前記エアパッド底面 部６とブレード３との間隙５にインゴットの切粉が入り込む傾向にある。この為 、前記間隙５に入り込んだ切粉の詰まり具合により前記エアパッド底面部６とブ レード３とで形成される前記エア噴出空間４の開放度が違ってくる為、所望のエ ア圧をブレードに及ぼすことができなくなるので、ブレードの変位が正確に修正 されない欠点がある。

【０００５】 また、ブレードは高速回転している為、前記エアパッド底面部とブレードとの 間隙に入り込んだ切粉によってブレードの台金に傷がつきブレードの寿命を短く する要因になる。 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、エアパッドの底面円周部と ブレードとの間隙に入り込んだ切粉を除去する機能を有したスライシングマシン を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は前記目的を達成する為に、エアーパッドからブレードコントロール用 エアを噴出してブレードの変位を修正しながら、ブレードの内周刃で結晶インゴ ットを薄片状に切断するスライシングマシンに於いて、前記エアーパッドに洗浄 水噴出口と、前記洗浄水噴出口の周囲にエアーカーテンを形成する洗浄用エア噴 出口を設けたことを特徴とする

【０００７】

【作用】

本考案によれば、エアーパッドに洗浄水噴出口を設け、前記洗浄水噴出口の周 囲にエアカーテンを形成する洗浄用エア噴出口を設け、洗浄水噴出口からブレー ドに洗浄水を噴出すると共に、洗浄用エア噴出口から前記洗浄水噴出口の周囲に エアを噴出するようにした。

【０００８】 これにより、前記洗浄水は高速で回転しているブレードに沿って遠心力で回転 方向外向きの水流となり、エアパッドとブレードとの間隙に入り込んだ切粉を前 記間隙の外へ除去する。この時、前記洗浄用エア供給口から噴出されたエアがエ アカーテンの役目をする為、前記洗浄水はエアカーテン内に閉じ込められ乱流を 生じバブリングする。このバブリング効果により、前記切粉がエアパッド底面の 台金に張りつくのを防ぐことができるので、切粉を間隙から完全に除去すること ができる。

【０００９】 また、エアパッドとブレードとの間隙に入り込んだ切粉を完全に除去すること によって、切粉でブレードの台金に傷をつけることがなくなる。

【００１０】

【実施例】

以下、添付図面に従って本考案に係るスライシングマシンの好ましい実施例を 詳説する。 図１に於いて、スピンドル１０の上端部にはチャックボディ１２が固着されて おり、更にスピンドル１０の下端部には図示していないモータが連結され、これ によりスピンドル１０、チャックボディ１２は回転するようになっている。

【００１１】 チャックボディ１２にはドーナツ状のブレード１４の外周縁が張り上げられ、 このブレード１４の内周縁には内周刃１６が形成されている。内周刃１６は微細 なダイヤモンド砥粒などで構成されている。また、このブレード１４はその外周 縁がチャックボディ１２の図示していない公知の増し張り機構によりその張力が 調整できるようになっている。

【００１２】 半導体インゴット１８の上端が図示していないワーク支持台に固着されている 。また、インゴット１８は切断送り機構により切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に移 動できるようになっており、更に前記ワーク支持台はワーク割出し機構によりワ ーク割出し方向（Ｚ−Ｚ方向）に移動できるようになっている。これら切断送り 機構並びにワーク割出し機構は図示していない制御装置からの指令信号により駆 動されるようになっている。

【００１３】 更に、ブレード１４の上面には図１及び図２に示すように、一対のエアパッド ２０、２０が配置されている。 また、エアパッド２０、２０に近接して非接触式の一対のブレードセンサ２２ 、２２が配置されている。 エアパッド２０、２０は図３、図４に示すように凸型円柱形状をしており、そ の円柱中心線部が円筒形な中空に穿設され、ブレードコントロール用エア（もし くは洗浄水）の噴出系路が形成されていると共に、前記中空はブレード１４側が 大径になっている。即ち、エアパッド２０、２０のブレードコントロール用エア のエア圧を効果的にブレード１４の押圧面１４Ａに与えるように、エアパッド２ ０、２０の底面円周部３０はブレード１４面と僅かな間隙２８を維持するように なっており、エアパッド２０、２０とブレード１４の押圧面１４Ａとでエア噴出 空間２６を形成している。

【００１４】 また、前記洗浄水噴出系路２４の上端部２４Ａと連通して延びた配管３２に三 方弁３４が設けられ、一方がブレードコントロール用エア供給配管３６に、他方 が洗浄水供給配管３８に接続され、前記制御装置からの指示により、周期的に三 方弁３４を切り換えながら使用するようになっている。 また、前記凸型円柱の大径円柱部の外周部には凸型円柱の底面が大気と連通し た筒状の溝が形成され洗浄用エアの噴出系路４０になっていると共に、前記大径 円柱部の側面から前記噴出系路４０に通じる洗浄用エア導入系路４２が形成され 、前記導入系路４２は洗浄用エアの供給配管４４に接続されている。

【００１５】 前記の如く構成されたスライシングマシンの作用は次の如く実施される。 先ず、ブレード１４はチャックボディ１２のブレード張り機構により所定の張 力で張られている。ブレード１４を張った後、切断する前にエアパッド２０、２ ０から所定圧力のブレードコントロール用エアを噴出する。これによりブレード １４は下方に撓むようになる。この状態においてブレード１４の内周刃１６付近 は充分な剛性は与えられており、この下方に撓んだ位置を基準（零）として切断 を開始する。

【００１６】 図２に示したように、インゴット１８は切断送り機構により切断送り方向（Ｘ −Ｘ方向）に移動してブレード１４の内周刃１６で切断されるが、ブレード１４ に変位を生ずると、ブレードセンサ２２、２２からの変位測定信号を制御機構で 制御し、エアパッド２０、２０からブレードコントロール用エアが噴出され、ブ レード１４の変位を修正しながら切断する。

【００１７】 しかし図４に示すように、インゴット１８の切粉がエアパッド２０、２０の底 面円周部３０とブレード１４との間隙２８に入り込むと、エアパッド２０、２０ とブレード１４の押圧面１４Ａで形成される押圧空間２６の開放度が違ってくる 。 この為、エアパッド２０、２０から噴出されるエアが前記押圧面１４Ａに与え るエア圧に違いが生じて所望のエア圧を調整できなくなり、ブレードの変位を正 確に修正することができなくなる。

【００１８】 この対策として、インゴット１８切断終了から次の切断開始までの切断休止時 間、制御機構からの指示に基づき、前記三方弁３４がブレードコントロール用エ ア供給から洗浄水供給に切り換えられ、同時に洗浄用エアの噴出が開始される。 エアパッド２０、２０から洗浄水がブレード１４の押圧面１４Ａに噴出される と、前記洗浄水は高速回転しているブレード１４に沿って遠心力で回転方向外向 きの水流となり、前記エアパッド２０、２０の底面円周部３０とブレード１４と の間隙２８に入り込んだインゴット１８の切粉を前記間隙２８の外へ除去する。

【００１９】 この時、エアパッド２０、２０から前記押圧面１４Ａ周囲に噴出されるエアが エアカーテンの役目をする為、前記洗浄水は前記エアカーテン内に閉じ込められ て乱流となりバブリングする。このバブリング効果により前記切粉がエアパッド ２０、２０底面円筒部の台金に張りつくのを防ぐので、前記切粉を前記間隙２８ から完全に除去することができる。また、間隙２８から除去された切粉はブレー ド１４の回転遠心力によりブレード１４外に排出される。

【００２０】 これにより、エアパッドの底面円周部とブレードとの間隙が常に一定距離とな り、押圧空間の開放度を一定に保つことができるので、エアパッドから噴出され るエア圧が正常に調整され、ブレードの変位を正確に修正することができる。ま た、切粉でブレードの台金に傷をつけることがなくなる。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案に係わるスライシングマシンによれば、エアーパ ッドに洗浄水噴出手段及び洗浄用エア噴出手段を設けて、洗浄水とエアを噴出す るようにしたので、エアーパッドの底面円周部とブレードとの間隙に入り込んだ インゴットの切粉を完全に除去することができる。これにより、エアーパッドか ら噴出されるブレードコントロール用エアのブレードの押圧面に及ぼす圧力を正 常に調整することができる。

【００２２】 また、切粉でブレードの台金に傷をつけることがなくなるので、ブレードへの 悪影響を延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わるスライシングマシンのブレード
の付近の概略図

【図２】図１のスライシングマシンのブレードの平面図

【図３】本考案に係わるエアパッドの一部を切り欠いて
内部構造を示した斜視図

【図４】本考案に係わるエアパッドの一部を切り欠いて
内部構造を示した断面図

【図５】従来のエアパッドの一部を切り欠いて内部構造
を示した断面図

【符号の説明】

１４…ブレード １６…内周刃 １８…インゴット ２０…エアパッド

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】エアーパッドからブレードコントロール用
   エアを噴出してブレードの変位を修正しながら、ブレー
   ドの内周刃で結晶インゴットを薄片状に切断するスライ
   シングマシンに於いて、 前記エアーパッドに洗浄水噴出口と、前記洗浄水噴出口
   の周囲にエアーカーテンを形成する洗浄用エア噴出口を
   設けたことを特徴とするスライシングマシン
2. 【請求項２】前期洗浄水噴出口の噴出系路は前記ブレー
   ドコントロール用エアの噴出系路と共有すると共に、前
   記２系路の供給系路を周期的に切り換える切換手段を設
   けたことを特徴とする請求項１のスライシングマシン