JPH0560502A - Inspection method for positioning of glass panel - Google Patents
Inspection method for positioning of glass panelInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小形軽量のガラス板を
位置決めすると同時に板厚や幅、色彩などを検査するガ
ラス板の位置決め検査方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass plate positioning inspection method for positioning a small and lightweight glass plate and simultaneously inspecting the plate thickness, width, color and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学機器などに使用される小形軽量のガ
ラス板は、その製造途中において板厚や幅、色彩などの
検査と、ガラス板を次工程に送る前の位置決めとが行な
われる。その場合、従来では、検査が行なわれる場所、
方法と、位置決めが行なわれる場所、方法とが異なって
いる。例えば、従来の一般的なガラス板の検査及び位置
決め方法を図３乃至図４を参照して説明する。2. Description of the Related Art A small and lightweight glass plate used for optical equipment and the like is subjected to an inspection of the plate thickness, width, color and the like during the manufacturing thereof and positioning before the glass plate is sent to the next step. In that case, conventionally, where the inspection is performed,
The method is different from the place and method where the positioning is performed. For example, a conventional general method for inspecting and positioning a glass plate will be described with reference to FIGS.
【０００３】図３は、ガラス板（１）について色彩検査
を行い、次いで、位置決めを行なうことを示す。ガラス
板（１）は、コンベア（10）で位置決め部（11）に搬送
される途中で、ガラス板（１）の色彩検査が行なわれ
る。ガラス板（１）は矩形で、接着テープ（12）上に複
数枚が立設されて定ピッチで一列に接着されており、接
着テープ（12）と共にコンベア（10）で搬送される。ガ
ラス板（１）は、前工程で欠けや傷の欠陥の有無が検査
され、欠陥のあるものには側端面に非透過性塗料による
欠陥表示マーク（13）がマーキングされている。コンベ
ア（10）で搬送されるガラス板（１）の搬送路の側方定
箇所に光学センサー（14）が配置され、これの直前をガ
ラス板（１）が順次に通過する。光学センサー（14）
は、ガラス板（１）の側端面の色彩を検査して、欠陥表
示マーク（13）の有無を検出する。光学センサー（14）
の前を、欠陥表示マーク（13）がマーキングされた欠陥
品のガラス板（１）が通ると、光学センサー（14）が欠
陥表示マーク有りを検出して、ガラス板（１）を欠陥品
として処理する。欠陥品でないガラス板（１）は、コン
ベア（10）から位置決め部（11）にハンドリングされ
る。位置決め部（11）は、移送されてきたガラス板
（１）を立てた状態で前後左右から位置決めアタッチメ
ント（15）…で挟んで位置決めする。この位置決め後、
ガラス板（１）は、位置決めされた状態で取り出されて
次工程へハンドリングされる。FIG. 3 shows that the glass plate (1) is subjected to a color inspection and then a positioning is performed. While the glass plate (1) is being conveyed to the positioning section (11) by the conveyor (10), the color inspection of the glass plate (1) is performed. The glass plate (1) has a rectangular shape, and a plurality of glass plates (1) are erected on an adhesive tape (12) and are adhered in a row at a constant pitch, and are conveyed by a conveyor (10) together with the adhesive tape (12). The glass plate (1) was inspected in the previous step for the presence of defects such as chips and scratches, and those with defects were marked with defect display marks (13) made of non-transparent paint on the side end faces. An optical sensor (14) is arranged at a fixed position on the side of the conveying path of the glass plate (1) conveyed by the conveyor (10), and the glass plate (1) sequentially passes immediately before this. Optical sensors (14)
Detects the presence or absence of the defect display mark (13) by inspecting the color of the side end surface of the glass plate (1). Optical sensors (14)
When the defective glass plate (1) marked with the defect display mark (13) passes in front of, the optical sensor (14) detects the presence of the defect display mark and regards the glass plate (1) as a defective product. To process. The glass plate (1) that is not a defective product is handled from the conveyor (10) to the positioning unit (11). The positioning part (11) positions the glass plate (1) that has been transferred in an upright state by sandwiching it with the positioning attachments (15) ... After this positioning,
The glass plate (1) is taken out in a positioned state and handled in the next step.
【０００４】図４は、図３のガラス板（１）の欠陥表示
マーク有無検査を、位置決め部（11）による位置決め後
に行うことを示す。すなわち、位置決め部（11）で位置
決めされたガラス板（１）を、真空チャック（16）で吸
引して位置決め部（11）から光学センサー（14）の待機
する検査ポジションまでハンドリングし、真空チャック
（16）で位置決め保持されたガラス板（１）の欠陥表示
マーク（13）の有無を光学センサー（14）で検査する。FIG. 4 shows that the glass plate (1) shown in FIG. 3 is inspected for presence or absence of a defect display mark after the positioning by the positioning section (11). That is, the glass plate (1) positioned by the positioning unit (11) is sucked by the vacuum chuck (16) and handled from the positioning unit (11) to the inspection position where the optical sensor (14) waits, and the vacuum chuck ( The optical sensor (14) inspects the glass plate (1) positioned and held in (16) for the presence or absence of a defect display mark (13).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
にガラス板の検査と位置決めとを別々に行なう方法は、
次なる問題があった。However, the method of separately inspecting and positioning the glass plate as described above is
There was the next problem.
【０００６】図３の場合、光学センサー（14）で検査さ
れるガラス板（１）がコンベア（10）上に接着テープ
（12）で接着されて立設された不安定な状態にあるた
め、このガラス板（１）を高精度で検査することが難し
く、信頼性に劣る。また、ガラス板（１）の複数の検査
項目の検査が同一場所でできないとともに、検査された
ガラス板（１）を位置決め部（11）へハンドリングしな
ければならないため、設備的、製造工程的に不利な問題
もあった。In the case of FIG. 3, the glass plate (1) to be inspected by the optical sensor (14) is in an unstable state in which it is erected on the conveyor (10) with the adhesive tape (12). It is difficult to inspect this glass plate (1) with high accuracy and the reliability is poor. Moreover, since it is not possible to inspect a plurality of inspection items of the glass plate (1) at the same place, and the inspected glass plate (1) must be handled by the positioning part (11), it is necessary in terms of equipment and manufacturing process. There was also a disadvantage.
【０００７】図４の場合、予め位置決めされてハンドリ
ングされてくるガラス板（１）を検査するので、安定し
た検査が行え、検査精度が高い。しかし、位置決め部
（11）で位置決めされたガラス板（１）を真空チャック
（16）で別の検査ポジションにハンドリングする際のタ
イムロスが目立ち、複数項目のガラス板検査の処理能力
が悪い。また、位置決め部（11）から検査ポジションへ
のハンドリングが必要であり、設備的、製造工程的に不
利な問題もあった。In the case of FIG. 4, since the glass plate (1) that has been positioned and handled in advance is inspected, a stable inspection can be performed and the inspection accuracy is high. However, the time loss when handling the glass plate (1) positioned by the positioning part (11) to another inspection position by the vacuum chuck (16) is conspicuous, and the processing capacity of the glass plate inspection of a plurality of items is poor. Further, handling from the positioning part (11) to the inspection position is necessary, which is disadvantageous in terms of equipment and manufacturing process.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の上記従来問題点
を解決する技術的手段は、ガラス板に部分的に接触して
ガラス板を位置決めする位置決めアタッチメントに、ガ
ラス板検査用センサーを直接に、または、連動するよう
に取付けて、ガラス板を位置決めすると同時に検査する
ようにしたことにある。A technical means for solving the above-mentioned conventional problems of the present invention is to directly attach a glass plate inspection sensor to a positioning attachment for positioning the glass plate by partially contacting the glass plate. Or, they are mounted so as to interlock with each other so that the glass plate is positioned and inspected at the same time.
【０００９】[0009]
【作用】ガラス板を位置決めする複数の位置決めアタッ
チメントの全部に、或いは選択的にガラス板検査用セン
サーを取付けておくと、位置決めアタッチメントでガラ
ス板を位置決めした状態を維持させて、ガラス板の板厚
や幅、色彩などが対応するセンサーで検査できる。この
検査は、位置決めされたガラス板に対して行われ、か
つ、位置決めアタッチメント付設のセンサーで直接的に
行われるので、安定した高精度の検査が可能となる。複
数の位置決めアタッチメントに複数の検査項目のセンサ
ーを取付けることで、ガラス板の複数項目の検査が同時
に同一場所で実行される。If the glass plate inspection sensor is attached to all of the plurality of positioning attachments for positioning the glass plate, or if the glass plate inspection sensor is selectively attached, the state in which the glass plate is positioned by the positioning attachment is maintained, and the plate thickness of the glass plate is maintained. You can inspect with a sensor that corresponds to width, width, color, etc. This inspection is performed on the positioned glass plate and is directly performed by the sensor provided with the positioning attachment, so that stable and highly accurate inspection can be performed. By attaching the sensors for the plurality of inspection items to the plurality of positioning attachments, the inspection of the plurality of items of the glass plate can be simultaneously performed at the same place.
【００１０】[0010]
【実施例】本発明方法の具体的実施装置例を、図１およ
び図２を参照して説明する。図１（イ）は、ガラス板
（１）の位置決め検査装置の要部の平面図で、この装置
は、矩形のガラス板（１）を垂直に立てて保持する真空
チャック（２）と、ガラス板（１）の両側面を押圧して
位置決めする一対の位置決めアタッチメント（３ａ）
（３ｂ）と、ガラス板（１）を板厚方向で押圧して位置
決めする一対の位置決めアタッチメント（４ａ）（４
ｂ）を有する。真空チャック（２）は、図２（イ）に示
すように、フラットな上面に真空吸引用スリット（７）
を有する。真空チャック（２）上のスリット（７）の位
置にガラス板（１）がハンドリング装置（図示せず）で
供給されると、このスリット（７）の真空吸引でガラス
板（１）が真空チャック（２）上に垂直に吸着される。
この吸着と前後して、図２（ロ）に示す開放位置にある
一対の位置決めアタッチメント（３ａ）（３ｂ）が接近
動して、ガラス板（１）を幅方向から位置決めする。こ
れと前後して図２（ハ）に示す開放位置にある一対の位
置決めアタッチメント（４ａ）（４ｂ）が接近動して、
ガラス板（１）を板厚方向から位置決めする。なお、位
置決めアタッチメント（４ａ）（４ｂ）は、その各前面
中央部に凹部（８）（８）を有し、この凹部上下の突起
部（９）…でガラス板（１）前後面の上下周縁部だけを
押して位置決めするようにしてある。つまり、ガラス板
（１）は、その中央部が有効使用され、周縁部がガラス
板取付部として使用されることから、ガラス板（１）の
周縁部だけを位置決めアタッチメント（４ａ）（４ｂ）
で押して、ガラス板（１）の中央部が位置決めの際に傷
付けられるのを防止する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A concrete example of an apparatus for carrying out the method of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 (a) is a plan view of a main part of a glass plate (1) positioning inspection apparatus. This apparatus includes a vacuum chuck (2) for vertically holding a rectangular glass plate (1) and a glass chuck (2). A pair of positioning attachments (3a) for positioning by pressing both sides of the plate (1)
(3b) and a pair of positioning attachments (4a) (4) that press and position the glass plate (1) in the plate thickness direction.
b). As shown in FIG. 2 (a), the vacuum chuck (2) has a slit (7) for vacuum suction on a flat upper surface.
Have. When the glass plate (1) is supplied to the position of the slit (7) on the vacuum chuck (2) by a handling device (not shown), the glass plate (1) is vacuum-chucked by the vacuum suction of the slit (7). (2) vertically adsorbed on top.
Around this suction, the pair of positioning attachments (3a) and (3b) in the open position shown in FIG. 2B approach and move to position the glass plate (1) in the width direction. Before and after this, the pair of positioning attachments (4a) and (4b) in the open position shown in FIG.
The glass plate (1) is positioned from the plate thickness direction. The positioning attachments (4a), (4b) have recesses (8), (8) at the center of each front surface, and the projections (9) at the top and bottom of the recesses enable the upper and lower peripheral edges of the front and rear surfaces of the glass plate (1). Only the parts are pushed for positioning. In other words, the glass plate (1) is effectively used at its central portion and its peripheral portion is used as a glass plate mounting portion, so that only the peripheral portion of the glass plate (1) is positioned by the attachments (4a) (4b).
Press with to prevent the central part of the glass plate (1) from being damaged during positioning.
【００１１】上記実施例の構造上、動作上の特徴は、位
置決めアタッチメント（３ａ）〜（４ｂ）に複数のガラ
ス板検査用センサー、例えば色彩センサー（５）と、板
厚測定用近接センサー（６）を直接に取付けたこと、そ
して、ガラス板（１）の位置決めと同時に、ガラス板
（１）の複数項目の検査を行うことである。The structural and operational characteristics of the above embodiment are characterized in that a plurality of glass plate inspection sensors, such as a color sensor (5), and a plate thickness measuring proximity sensor (6) are provided on the positioning attachments (3a) to (4b). ) Is directly attached, and simultaneously with the positioning of the glass plate (1), a plurality of items of the glass plate (1) are inspected.
【００１２】色彩センサー（５）は、一対の位置決めア
タッチメント（３ａ）（３ｂ）の前面に露呈させて埋め
込まれた投光部（５ａ）と受光部（５ｂ）を備えた透過
型センサーである。位置決めアタッチメント（３ａ）
（３ｂ）がガラス板（１）の両側面を押して位置決めし
たとき、色彩センサー（５）の投光部（５ａ）と受光部
（５ｂ）がガラス板（１）の両側面に対向し、投光部
（５ａ）からガラス板（１）を透過した光が受光部（５
ｂ）に入射する。受光部（５ｂ）の入射光の解析からガ
ラス板（１）の色彩が検査される。具体的には、例えば
ガラス板（１）が欠陥品で、その側面に欠陥表示マーク
がマーキングされていると、欠陥表示マークで受光部
（５ａ）の入射光量が減り、欠陥表示マークが読み取ら
れてガラス板（１）が欠陥品と判定される。このような
色彩センサー（５）によるガラス板色彩（欠陥）検査
は、ガラス板（１）の位置決めと同時に、しかも、位置
決めされたガラス板（１）に直接接触して行われるの
で、その検査精度は高い。The color sensor (5) is a transmissive sensor having a light projecting portion (5a) and a light receiving portion (5b) which are embedded and exposed on the front surface of the pair of positioning attachments (3a) (3b). Positioning attachment (3a)
When (3b) pushes and positions both side surfaces of the glass plate (1), the light emitting section (5a) and the light receiving section (5b) of the color sensor (5) face the both side surfaces of the glass plate (1) and project. The light transmitted through the glass plate (1) from the light section (5a) is received by the light receiving section (5).
incident on b). The color of the glass plate (1) is inspected by analyzing the incident light of the light receiving part (5b). Specifically, for example, if the glass plate (1) is a defective product and a defect display mark is marked on the side surface of the glass plate (1), the incident light amount of the light receiving portion (5a) is reduced by the defect display mark, and the defect display mark is read. The glass plate (1) is determined to be defective. Since the glass plate color (defect) inspection by such a color sensor (5) is performed at the same time as the positioning of the glass plate (1) and further by directly contacting the positioned glass plate (1), the inspection accuracy thereof. Is high.
【００１３】近接センサー（６）は、例えば横長棒状の
渦電流型センサーで、位置決めアタッチメント（４ａ）
（４ｂ）の一方の下部に貫通させて固定される。一対の
位置決めアタッチメント（４ａ）（４ｂ）が接近動して
ガラス板（１）を両側から押すと、ガラス板（１）の板
厚に比例した間隔Ｄで、近接センサー（６）の無い位置
決めアタッチメント（４ａ）と近接センサー（６）の先
端とが対向する。この対向間隔Ｄに比例した渦電流が近
接センサー（６）に発生し、渦電流検出からガラス板
（１）の板厚が検査される。この近接センサー（６）に
よるガラス板板厚検査は、ガラス板（１）の位置決めと
同時に行われる。また、この板厚検査は、位置決めされ
たガラス板（１）に対して間接的に行われる検査である
が、ガラス板（１）の板厚と近接センサー（６）の検出
信号の比例関係が安定しているので、その検査精度は高
い。The proximity sensor (6) is, for example, a horizontally long rod-shaped eddy current sensor, and has a positioning attachment (4a).
(4b) is penetrated and fixed to one lower part of (4b). When the pair of positioning attachments (4a) and (4b) move close to each other and push the glass plate (1) from both sides, the positioning attachment without the proximity sensor (6) is arranged at an interval D proportional to the plate thickness of the glass plate (1). (4a) and the tip of the proximity sensor (6) face each other. An eddy current proportional to the facing distance D is generated in the proximity sensor (6), and the plate thickness of the glass plate (1) is inspected by detecting the eddy current. The glass plate thickness inspection by the proximity sensor (6) is performed simultaneously with the positioning of the glass plate (1). Further, this plate thickness inspection is a test performed indirectly on the positioned glass plate (1), but there is a proportional relationship between the plate thickness of the glass plate (1) and the detection signal of the proximity sensor (6). Since it is stable, its inspection accuracy is high.
【００１４】以上のガラス板（１）の幅方向と板厚方向
の位置決めは、ほぼ同時的に行われ、ガラス板（１）の
色彩（欠陥）検査と板厚検査もほぼ同時的に、同一場所
で行われる。従って、ガラス板（１）の２種項目の検査
が短時間で正確に実行され、しかも、検査設備は位置決
め装置に一体に組み込まれ、位置決めと検査の設備の共
用化、全体設備の縮小化を可能にする。The above-described positioning of the glass plate (1) in the width direction and the plate thickness direction is performed almost at the same time, and the color (defect) inspection and the plate thickness inspection of the glass plate (1) are almost simultaneously performed. Done in place. Therefore, the inspection of the two kinds of items of the glass plate (1) can be accurately executed in a short time, and the inspection equipment is integrated into the positioning device, so that the equipment for positioning and inspection can be shared and the overall equipment can be reduced. to enable.
【００１５】本発明は、上記実施例に限らず、ガラス板
の形状や、ガラス板の位置決めアタッチメントの種類、
数の変更に応じて、位置決めアタッチメントに直接に、
または、連動するように取付けるガラス板検査用センサ
ーの種類、数が変更される。例えば、ガラス板を幅方向
で位置決めする位置決めアタッチメントに、ガラス板の
幅を検査するセンサーを取付けることも可能であり、垂
直のガラス板を上下から挟持してガラス板を上下方向で
位置決めする位置決めアタッチメントに、ガラス板の高
さを検査するセンサーを取付けることも可能である。The present invention is not limited to the above embodiment, but the shape of the glass plate, the type of the glass plate positioning attachment,
Depending on the number change, directly on the positioning attachment,
Alternatively, the type and number of glass plate inspection sensors attached so as to be linked are changed. For example, it is possible to attach a sensor that inspects the width of the glass plate to the positioning attachment that positions the glass plate in the width direction. A positioning attachment that holds the vertical glass plate from above and below and positions the glass plate in the up and down direction. It is also possible to attach a sensor for inspecting the height of the glass plate.
【００１６】[0016]
【発明の効果】本発明のように、ガラス板を位置決めす
る複数の位置決めアタッチメントの全部に、或いは選択
的にガラス板検査用センサーを取付けておくと、位置決
めアタッチメントでガラス板を位置決めすると同時に、
ガラス板の板厚や幅、色彩などの複数項目の検査が同一
場所で能率良く実行でき、ガラス板の位置決め検査工程
の処理能力向上化が図れる。また、ガラス板検査は、位
置決めされたガラス板に対して直接的に、或いは、位置
決めアタッチメントを介して間接的に行われるので、安
定した高精度の検査が可能となり、検査の信頼性が向上
する。さらに、ガラス板の検査用センサーを含む検査設
備とガラス板の位置決め設備が共用化できて、ガラス板
位置決め検査設備全体を縮小化することができる効果も
ある。As in the present invention, when a glass plate inspection sensor is attached to all of the plurality of positioning attachments for positioning the glass plate, or alternatively, the glass plate is positioned by the positioning attachment, at the same time,
Multiple items such as the thickness, width, and color of the glass plate can be efficiently inspected at the same place, and the processing capacity of the glass plate positioning inspection process can be improved. Further, since the glass plate inspection is performed directly on the positioned glass plate or indirectly via the positioning attachment, stable and highly accurate inspection is possible and the reliability of the inspection is improved. .. Further, there is also an effect that the inspection equipment including the glass plate inspection sensor and the glass plate positioning equipment can be shared, and the entire glass plate positioning inspection equipment can be downsized.
【図１】本発明を実施する装置の具体例を示す図で、
（イ）は平面図、（ロ）はガラス板幅方向の位置決めア
タッチメントの側面図、（ハ）はガラス板厚さ方向の位
置決めアタッチメントの側面図FIG. 1 is a diagram showing a specific example of an apparatus for carrying out the present invention,
(A) is a plan view, (B) is a side view of the positioning attachment in the glass plate width direction, and (C) is a side view of the positioning attachment in the glass plate thickness direction.
【図２】図１装置の各位置決めアタッチメントを示す図
で、（イ）は吸着チャックの斜視図、（ロ）はガラス板
幅方向の位置決めアタッチメントの斜視図、（ハ）はガ
ラス板厚さ方向の位置決めアタッチメントの斜視図FIG. 2 is a diagram showing each positioning attachment of the apparatus shown in FIG. 1, in which (a) is a perspective view of a suction chuck, (b) is a perspective view of a positioning attachment in a glass plate width direction, and (c) is a glass plate thickness direction. Perspective view of the positioning attachment
【図３】従来の第１のガラス板位置決め検査方法を説明
するための斜視図FIG. 3 is a perspective view for explaining a first conventional glass plate positioning inspection method.
【図４】従来の第２のガラス板位置決め検査方法を説明
するための斜視図FIG. 4 is a perspective view for explaining a second conventional glass plate positioning inspection method.
【符号の説明】 １ ガラス板 ２ 位置決めアタッチメント（真空チャック） ３ａ 位置決めアタッチメント ３ｂ 位置決めアタッチメント ４ａ 位置決めアタッチメント ４ｂ 位置決めアタッチメント ５ センサー ６ センサー[Explanation of symbols] 1 glass plate 2 positioning attachment (vacuum chuck) 3a positioning attachment 3b positioning attachment 4a positioning attachment 4b positioning attachment 5 sensor 6 sensor
Claims (1)
位置決めする複数の位置決めアタッチメントに、ガラス
板検査用センサーを直接に、または、連動するように取
付けて、ガラス板を位置決めすると同時に検査するよう
にしたことを特徴とするガラス板の位置決め検査方法。1. A glass plate inspection sensor is directly or interlockingly attached to a plurality of positioning attachments for positioning the glass plate by partially contacting the glass plate, and the glass plate is inspected at the same time. A method for inspecting the positioning of a glass plate, characterized in that
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03223957A JP3074827B2 (en) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Glass plate positioning inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03223957A JP3074827B2 (en) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Glass plate positioning inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560502A true JPH0560502A (en) | 1993-03-09 |
| JP3074827B2 JP3074827B2 (en) | 2000-08-07 |
Family
ID=16806349
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03223957A Expired - Fee Related JP3074827B2 (en) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Glass plate positioning inspection method |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3074827B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011002253A (en) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Avanstrate Inc | Method for setting glass plate to device for measuring end face of glass plate, and measuring implement |
| JP2013061291A (en) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | Outer dimension measuring device of square battery cell |
| US10759911B2 (en) | 2012-03-13 | 2020-09-01 | Texchem Polymers Sdn Bhd | Thermoplastic starch composition derivatives from agricultural byproducts |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP03223957A patent/JP3074827B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP3074827B2 (en) | 2000-08-07 |
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