JPH0558662A - Production of parent material for optical fiber - Google Patents

Production of parent material for optical fiber

Info

Publication number
JPH0558662A
JPH0558662A JP25441191A JP25441191A JPH0558662A JP H0558662 A JPH0558662 A JP H0558662A JP 25441191 A JP25441191 A JP 25441191A JP 25441191 A JP25441191 A JP 25441191A JP H0558662 A JPH0558662 A JP H0558662A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
optical fiber
cladding
produced
glass rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25441191A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahide Kuwabara
正英 桑原
Akira Iino
顕 飯野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP25441191A priority Critical patent/JPH0558662A/en
Publication of JPH0558662A publication Critical patent/JPH0558662A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • C03B37/01493Deposition substrates, e.g. targets, mandrels, start rods or tubes

Abstract

PURPOSE:To rationally produce a large-sized parent material providing a single mode optical fiber capable of securing low-loss properties, in production of the parent material for the single mode optical fiber showing a variance within a range of + or -10ps/km/nm<2> in a wavelength within a range of 1.27mum-1.57mum. CONSTITUTION:In the specified invention method, a quartz-based glass rod (glass for core and glass for part of clad) is produced by MCVD method and glass for the remainder quartz-based clad is produced on the outer peripheral surface of the above-mentioned glass rod by VAD method and/or OVD method. In a related invention method, the glass rod produced by MCVD method is subjected to etching treatment and glass for the remainder quartz-based clad is subsequently produced by VAD method and/or OVD method. The specified invention method enables high yield, scaling up and high productivity of the product and the related invention method enables, in addition to those, production of a parent material capable of forming a single mode low-loss optical fiber.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光通信技術の分野で用い
られる単一モード光ファイバの母材を製造するための方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a preform of a single mode optical fiber used in the field of optical communication technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のとおり、光通信(光伝送)システ
ムでは、光ファイバの損失特性、周波数特性がシステム
設計上の基本的かつ重要なファクタである。光ファイバ
の周波数特性に関して、多モード光ファイバの場合は、
多モード分散が波長分散よりもはるかに大きく、これが
伝送帯域を決定づける主要因になるのに対し、単一モー
ド光ファイバの場合は、多モード分散が基本的になく、
伝送帯域を規定する要因が波長分散だけであるので、伝
送帯域がきわめて広い。したがって、大容量かつ高速度
の通信を行なうとき、1.27μm〜1.57μmの波
長域、たとえば、波長1.55μmにおいて損失が最小
である石英系の単一モード光ファイバを用いるのが望ま
しい。かかる単一モード光ファイバの分散値は、通常、
±10ps/km/nm2 の範囲内に設定される。
As is well known, in an optical communication (optical transmission) system, loss characteristics and frequency characteristics of an optical fiber are basic and important factors in system design. Regarding frequency characteristics of optical fiber, in the case of multimode optical fiber,
Multimode dispersion is much larger than chromatic dispersion, and this is the main factor that determines the transmission band, whereas in the case of single mode optical fiber, there is basically no multimode dispersion.
Since the only factor that defines the transmission band is chromatic dispersion, the transmission band is extremely wide. Therefore, when performing large-capacity and high-speed communication, it is desirable to use a silica-based single-mode optical fiber that has a minimum loss in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm, for example, the wavelength of 1.55 μm. The dispersion value of such a single mode optical fiber is usually
It is set within a range of ± 10 ps / km / nm 2 .

【0003】このような単一モード光ファイバの母材と
して石英系のものを作製するとき、MCVD法、VAD
法のいずれか一方を採用するのが一般である。
When a quartz-based material is prepared as the base material of such a single mode optical fiber, MCVD method, VAD method are used.
It is common to adopt either one of the laws.

【0004】MCVD法では、出発材である石英パイプ
内に気相のガラス原料、気相のドープ原料を酸素ガスと
共に供給しつつそのパイプを加熱する。こうした場合、
石英パイプ内で原料ガスの熱酸化反応が生じ、その反応
により生成されたガラスが石英パイプの内面に堆積する
ので、これの繰り返しにより、石英パイプの内面に透明
なクラッド用ガラス、コア用ガラスが順次形成される。
以下は、石英パイプを強加熱してコラプスすることによ
り、棒状の光ファイバ母材が得られる。
[0004] In the MCVD method, a quartz pipe which is a starting material is heated while supplying a vapor phase glass raw material and a vapor phase dope raw material together with oxygen gas. In these cases,
A thermal oxidation reaction of the raw material gas occurs in the quartz pipe, and the glass produced by the reaction is deposited on the inner surface of the quartz pipe.By repeating this, transparent clad glass and core glass are formed on the inner surface of the quartz pipe. It is formed sequentially.
In the following, a rod-shaped optical fiber preform is obtained by intensely heating and collapsing a quartz pipe.

【0005】VAD法では、多重管構造のバーナに気相
のガラス原料、気相のドープ原料、酸素ガス、水素ガス
などを供給し、これら各ガスの火炎加水分解反応により
生成されたスート状のガラス微粒子を、回転している石
英棒(ターゲット)の端部に向けて噴射かつ堆積成長さ
せて、棒状の多孔質ガラス体をつくる。以下は、多孔質
ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化することにより、
棒状の光ファイバ母材が得られる。
In the VAD method, a vapor-phase glass raw material, a vapor-phase doping raw material, oxygen gas, hydrogen gas, etc. are supplied to a burner having a multi-tube structure, and a soot-like gas produced by a flame hydrolysis reaction of each of these gases. Glass fine particles are jetted toward the end of a rotating quartz rod (target) and deposited and grown to form a rod-shaped porous glass body. The following is by dehydration and transparent vitrification of the porous glass body,
A rod-shaped optical fiber preform is obtained.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述した単一モード光
ファイバの母材をMCVD法により作製するとき、波長
域1.27μm〜1.57μmにおける分散値が±10
ps/km/nm2 となるように、石英パイプの内面に
堆積させるコア用ガラスとその周辺のクラッド用ガラス
に複雑な屈折率分布をもたせるが、寸法の制限を受ける
石英パイプ内において、各ガラス層の堆積厚さを精密に
コントロールしつつ複雑な屈折率分布のクラッド用ガラ
スを形成したり、そのクラッド用ガラスの内周面にコア
用ガラスを形成することは、技術的にきわめてむずかし
い。そのために母材を高生産することができないばかり
か、所要の特性をもつ母材の歩留り率までが低下し、母
材の大型化も石英パイプの寸法により阻まれる。
When the base material of the above-mentioned single mode optical fiber is produced by the MCVD method, the dispersion value in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm is ± 10.
The glass for core and the glass for cladding around it have a complicated refractive index distribution so that it becomes ps / km / nm 2 , but each glass in the quartz pipe is subject to size restrictions. It is technically difficult to form a glass for cladding having a complicated refractive index distribution while precisely controlling the deposited thickness of the layer, or to form a glass for core on the inner peripheral surface of the glass for cladding. Therefore, not only the base material cannot be produced at a high production rate, but also the yield rate of the base material having the required characteristics is lowered, and the size of the base material is hindered by the size of the quartz pipe.

【0007】これに対し、石英パイプを用いないVAD
法の場合は、単一モード光ファイバ母材として大型のも
のを作製することができるが、前述したような複雑な屈
折率分布のガラスを堆積する際に1層あたり1工程とい
う非現実的な対応を迫られ、単一モード光ファイバの母
材としても損失特性が低下する。
On the other hand, VAD without using a quartz pipe
In the case of the method, a large-sized single mode optical fiber preform can be produced, but when depositing glass having a complicated refractive index distribution as described above, one step per layer is unrealistic. As a result, it is necessary to take measures to reduce the loss characteristics even as a base material of a single mode optical fiber.

【0008】本発明はこのような技術的課題に鑑み、波
長域1.27μm〜1.57μmにおける分散値が±1
0ps/km/nm2 の範囲内にある単一モード光ファ
イバの母材を製造するにあたり、高歩留り、低損失性、
母材の大型化、高生産性をはかることのできる方法を提
供しようとするものである。
In view of such technical problems, the present invention has a dispersion value of ± 1 in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm.
In producing the base material of single mode optical fiber in the range of 0 ps / km / nm 2 , high yield, low loss,
It is intended to provide a method capable of increasing the size of the base material and increasing the productivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る特定発明
は、波長域1.27μm〜1.57μmにおける分散値
が±10ps/km/nm2 の範囲内にある単一モード
光ファイバの母材を製造する方法において、コア用ガラ
スと一部のクラッド用ガラスとを含む石英系のガラス棒
をMCVD法により作製し、その後、VAD法および/
またはOVD法を介して該ガラス棒の外周面に残部の石
英系クラッド用ガラスを形成することを特徴とし、かか
る手段にて課題を解決する。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a single mode optical fiber having a dispersion value within a range of ± 10 ps / km / nm 2 in a wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm. In the method of manufacturing a material, a silica-based glass rod containing glass for core and a part of glass for cladding is manufactured by MCVD method, and then VAD method and / or
Alternatively, the remaining quartz glass for cladding is formed on the outer peripheral surface of the glass rod by the OVD method, and the problem is solved by such means.

【0010】請求項2に係る関連発明は、波長域1.2
7μm〜1.57μmにおける分散値が±10ps/k
m/nm2 の範囲内にある単一モード光ファイバの母材
を製造する方法において、コア用ガラスと一部のクラッ
ド用ガラスとを含む石英系のガラス棒をMCVD法によ
り作製し、その後、該ガラス棒の外周面をエッチング処
理し、その後、VAD法および/またはOVD法を介し
て該ガラス棒の外周面に残部の石英系クラッド用ガラス
を形成することを特徴とし、かかる手段にて課題を解決
する。
The related invention according to claim 2 has a wavelength range of 1.2.
Dispersion value at 7 μm to 1.57 μm is ± 10 ps / k
In a method for producing a base material for a single mode optical fiber within the range of m / nm 2 , a silica-based glass rod containing a glass for core and a part of glass for cladding is produced by an MCVD method, and thereafter, The outer peripheral surface of the glass rod is subjected to etching treatment, and thereafter, the remaining quartz glass for cladding is formed on the outer peripheral surface of the glass rod through the VAD method and / or the OVD method. To solve.

【0011】[0011]

【作用】特定発明(請求項1)の方法により所定の単一
モード光ファイバの母材をつくるとき、MCVD法によ
る工程と、VAD法および/またはOVD法による工程
とを実施する。
When a predetermined single-mode optical fiber preform is produced by the method of the specified invention (claim 1), a step by the MCVD method and a step by the VAD method and / or the OVD method are carried out.

【0012】MCVD法は、周知のとおり、石英パイプ
内におけるガラス原料ガス、ドープ原料ガスの熱酸化反
応により生成されたガラスをそのパイプ内面に繰り返し
堆積させて所要の透明ガラスを形成する方法であり、事
後処理として、ガラス堆積後の石英パイプをコラプスし
て棒状にする。特定発明に係る方法の場合、MCVD法
により石英パイプ内に形成するのは、石英系のコア用ガ
ラスとクラッド用ガラスの一部だけであるから、寸法制
限のある石英パイプ内においてこれらのガラスを大きく
形成することができる。このようにして大きなコア用ガ
ラス、クラッド用ガラスを形成するとき、自明のとお
り、これらに所要の屈折率分布を付与する際の制御難度
が緩和され、たとえ、複雑な屈折率分布のものであって
も、これを精密かつ容易に形成することができる。した
がって、MCVD法を介して石英パイプの内面にコア用
ガラスと一部のクラッド用ガラスとを形成するとき、良
品の歩留り率、生産性が共に高まる。
As is well known, the MCVD method is a method of repeatedly depositing glass produced by a thermal oxidation reaction of a glass raw material gas and a doping raw material gas in a quartz pipe on the inner surface of the pipe to form a required transparent glass. As a post-treatment, the quartz pipe after glass deposition is collapsed into a rod shape. In the case of the method according to the specific invention, since only a part of the silica-based core glass and the clad glass is formed in the quartz pipe by the MCVD method, these glasses are formed in the quartz pipe having a size limitation. It can be formed large. When forming large glass for cores and glass for clads in this way, it is obvious that the degree of control difficulty in imparting the required refractive index distribution to these is eased, even if the refractive index distribution is complicated. However, it can be formed precisely and easily. Therefore, when the core glass and a part of the cladding glass are formed on the inner surface of the quartz pipe through the MCVD method, both the yield rate and the productivity of non-defective products are increased.

【0013】VAD法は、周知のとおり、ガラス原料ガ
ス、ドープ原料ガス、酸素ガス、水素ガスなどを多重管
構造のバーナに供給し、これら各ガスの火炎加水分解反
応により生成されたスート状のガラス微粒子を回転して
いるターゲットの堆積面に向けて噴射かつ堆積させて所
要の多孔質ガラス体を成長させる方法であり、事後処理
として、多孔質ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化す
る。OVD法も、周知のとおり、VAD法と同様の原理
で回転しているガラス棒の外周面に多孔質ガラス体を堆
積形成し、これを透明ガラス化する方法である。これら
VAD法、OVD法の場合、ガラスの堆積型式が異なる
が、多孔質ガラスを層状に堆積形成する点において実質
的に同じである。特定発明の方法では、VAD法および
/またはOVD法を主体にして前記石英系ガラス棒の外
周に残部のクラッド用ガラスを形成し、該ガラス棒を増
径する。VAD法および/またはOVD法によるとき、
ガラス棒の外周に形成されるクラッド用ガラスにより、
理論的には、制限なくガラス棒の外径を大型化すること
ができ、実際上も、かなりの増径がはかれる。したがっ
て、VAD法および/またはOVD法を介してガラス棒
の外周に残部のクラッド用ガラス(多孔質ガラス体)を
形成し、これを脱水ならびに透明ガラス化することによ
り、特段の難度をともなうことなくガラス棒が大型化さ
れ、ひいては、大型の光ファイバ母材が得られる。もち
ろん、こうしてガラス棒を大型化するとき、ガラス棒の
軸心にある複雑な屈折率分布(コア用ガラスと一部のク
ラッド用ガラス)がそのまま保持され、損失特性も低下
しない。
In the VAD method, as is well known, glass source gas, dope source gas, oxygen gas, hydrogen gas and the like are supplied to a burner having a multi-tube structure, and a soot-like gas produced by a flame hydrolysis reaction of each of these gases. This is a method of injecting and depositing glass fine particles toward a deposition surface of a rotating target to grow a required porous glass body. As a post-treatment, the porous glass body is dehydrated and made into transparent vitreous. As is well known, the OVD method is also a method in which a porous glass body is deposited and formed on the outer peripheral surface of a rotating glass rod according to the same principle as the VAD method, and this is made into a transparent glass. The VAD method and the OVD method have different glass deposition types, but they are substantially the same in that porous glass is deposited in layers. In the method of the specific invention, the remaining glass for cladding is formed on the outer periphery of the silica glass rod mainly by the VAD method and / or the OVD method, and the diameter of the glass rod is increased. When using the VAD method and / or the OVD method,
By the glass for the clad formed on the outer periphery of the glass rod,
Theoretically, the outer diameter of the glass rod can be increased without limitation, and in practice, the diameter can be considerably increased. Therefore, the remaining glass for cladding (porous glass body) is formed on the outer periphery of the glass rod through the VAD method and / or the OVD method, and this is dehydrated and made into a transparent glass without any particular difficulty. The glass rod is upsized, and thus a large optical fiber preform can be obtained. Of course, when the size of the glass rod is increased in this way, the complex refractive index distribution (the glass for the core and some of the glass for the clad) at the axis of the glass rod is maintained as it is, and the loss characteristic is not deteriorated.

【0014】関連発明の方法は、特定発明の方法を要部
にしているので、単一モード光ファイバの母材として、
前記と同様に、軸心に複雑な屈折率分布をもつ大型母材
を精密かつ容易に形成することができる。その上、関連
発明の方法では、MCVD法による工程と、VAD法お
よび/またはOVD法による工程との間に、ガラス棒の
外周面をエッチング処理する工程をも介在させるから、
以下に述べる理由により、単一モード光ファイバの母材
として損失特性(伝送特性)のよいものが得られる。一
般に、MCVD法にによりガラス堆積した後の石英パイ
プをコラプスしてガラス棒をつくるとき、急冷されるガ
ラス棒の外周部(表面側)に硬化歪みが発生し、他に
も、その後の取り扱いにおいてガラス棒の外周面が微小
に傷ついたり、微小な不純物が付着する。これらの歪
み、微小傷、不純物をもつ光ファイバ母材をそのまま線
引きして光ファイバを作製した場合、光ファイバの伝送
特性に低下をきたすことが経験的に知られている。特
に、このような欠陥が光ファイバ母材の要部(コア用ガ
ラスとその周辺のクラッド用ガラス)に生じた場合、光
ファイバの伝送特性に及ぼす影響が大きい。関連発明の
方法では、前記のごとく、コア用ガラスと一部のクラッ
ド用ガラスとからなるガラス棒の外周面をエッチング処
理するから、その外周面に集中している既述の欠陥が除
去される。したがって、このような処理を経た後の光フ
ァイバ母材を線引きして得られる光ファイバは、高度の
伝送特性(低損失性)を保持することとなる。
Since the method of the related invention has the method of the specific invention as an essential part, it can be used as a base material for a single-mode optical fiber.
Similar to the above, it is possible to precisely and easily form a large base material having a complicated refractive index distribution in the axis. Moreover, in the method of the related invention, since the step of etching the outer peripheral surface of the glass rod is also interposed between the step of MCVD method and the step of VAD method and / or OVD method,
For the reasons described below, a single-mode optical fiber having a good loss characteristic (transmission characteristic) can be obtained as a base material. Generally, when a glass pipe is made by collapsing a quartz pipe after glass is deposited by the MCVD method, a hardening strain occurs in the outer peripheral portion (surface side) of the rapidly cooled glass rod, and in addition, in the subsequent handling. The outer peripheral surface of the glass rod is slightly scratched or minute impurities are attached. It has been empirically known that when an optical fiber is manufactured by directly drawing an optical fiber preform having such distortion, minute scratches, and impurities, the optical fiber transmission characteristics are deteriorated. In particular, when such a defect occurs in the main part of the optical fiber preform (the glass for core and the glass for cladding around it), it has a great influence on the transmission characteristics of the optical fiber. In the method of the related invention, as described above, since the outer peripheral surface of the glass rod made of the glass for core and the glass for part of the cladding is subjected to the etching treatment, the aforementioned defects concentrated on the outer peripheral surface are removed. .. Therefore, the optical fiber obtained by drawing the optical fiber preform after such a treatment has a high transmission characteristic (low loss property).

【0015】[0015]

【実施例】はじめ、本発明方法により製造される光ファ
イバ母材について、これの構成を具体的に説明する。
EXAMPLES First, the structure of an optical fiber preform manufactured by the method of the present invention will be specifically described.

【0016】図1において、10は石英系の光ファイバ
母材を示し、11は光ファイバ母材10のコア用ガラス
を示し、12、13、14、15は光ファイバ母材10
のクラッド用ガラスをそれぞれ示す。上記において、コ
ア用ガラス11の屈折率をn1 、クラッド用ガラス12
の屈折率をn2 、クラッド用ガラス13の屈折率をn
3 、クラッド用ガラス14の屈折率をn4 、クラッド用
ガラス15の屈折率をn5 とした場合、これらは、図2
の屈折率分布図に示すごとく、n1 >n3 >(n4 =n
5 )>n2 なる関係を満足させている。当然のことであ
るが、光ファイバ母材10を線引きして得られる単一モ
ード光ファイバも、図2に示す屈折率分布になる。
In FIG. 1, 10 is a silica-based optical fiber preform, 11 is glass for the core of the optical fiber preform 10, and 12, 13, 14, and 15 are optical fiber preforms 10.
The glass for clad of is shown respectively. In the above, the refractive index of the core glass 11 is n 1 , the cladding glass 12
Of the cladding glass 13 is n 2 .
3 , the refractive index of the cladding glass 14 is n 4 , and the refractive index of the cladding glass 15 is n 5 , these are as shown in FIG.
As shown in the refractive index distribution chart of n 1 > n 3 > (n 4 = n
5 )> n 2 is satisfied. As a matter of course, the single mode optical fiber obtained by drawing the optical fiber preform 10 also has the refractive index distribution shown in FIG.

【0017】コア用ガラス11は、GeO2 、P2
5 、TiO2 、Al23 、その他、屈折率高上用のド
ーパントを一つ以上含むドープト石英からなるが、屈折
率差および熱膨張係数差を小さくするために、B23
をも含んでいることがある。コア用ガラス11の代表的
一例として、SiO2 −GeO2 をあげることができ
る。クラッド用ガラス12は、F、B23 のごとき、
屈折率低下用のドーパントを含むドープト石英からな
る。クラッド用ガラス12の代表的一例として、SiO
2 −Fを上げることができる。クラッド用ガラス13
は、コア用ガラス11よりも低屈折率であるが、他のク
ラッド用ガラス12、14、15よりも高屈折率とする
ために、既述の屈折率高上用ドーパントを含むドープト
石英からなる。クラッド用ガラス13の代表的一例とし
て、SiO2 −GeO2 を上げることができる。クラッ
ド用ガラス14、15は、いずれも、純粋石英(SiO
2 )からなる。これらのうち、クラッド用ガラス14
は、後述するMCVD法において用いられる石英パイプ
(無水合成石英管)に該当し、クラッド用ガラス15
は、後述するVAD法またはOVD法において多孔質ガ
ラス(SiO2 )を形成し、これを透明ガラス化したも
のからなる。
The core glass 11 is made of GeO 2 , P 2 O.
5 , TiO 2 , Al 2 O 3 , and other doped quartz containing one or more dopants for increasing the refractive index, but B 2 O 3 for reducing the difference in refractive index and the difference in thermal expansion coefficient.
May also include. As a typical example of the core glass 11, SiO 2 —GeO 2 can be cited. The glass for clad 12 is made of F, B 2 O 3 ,
It is made of doped quartz containing a dopant for lowering the refractive index. As a typical example of the cladding glass 12, SiO
2- F can be raised. Glass for clad 13
Has a lower refractive index than the core glass 11, but has a higher refractive index than the other cladding glasses 12, 14, 15 and is made of doped quartz containing the above-described high refractive index dopant. .. As a typical example of the glass 13 for cladding, SiO 2 —GeO 2 can be used. The cladding glasses 14 and 15 are both made of pure quartz (SiO 2).
2 ) consists of. Of these, the glass for cladding 14
Corresponds to a quartz pipe (anhydrous synthetic quartz pipe) used in the MCVD method described later, and the glass for cladding 15
Is a transparent glass formed by forming porous glass (SiO 2 ) by the VAD method or OVD method described later.

【0018】上述した光ファイバ母材10は、波長域
1.27μm〜1.57μmにおける分散値が±10p
s/km/nm2 の範囲内にある単一モード光ファイバ
をつくるためのものであり、これは、屈折率分布からし
て三重クラッド型に属する(クラッド用ガラス14、1
5は、これらの屈折率が同一であるので、一つのクラッ
ド用ガラスとみなす)。しかし、本発明方法において
は、以下に述べる製造手段に準じて、三重未満あるいは
四重以上のクラッド用ガラスをもつ単一モード光ファイ
バ母材を作製することができる。
The optical fiber preform 10 described above has a dispersion value of ± 10 p in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm.
The purpose is to make a single-mode optical fiber in the range of s / km / nm 2 , which belongs to the triple clad type based on the refractive index distribution (cladding glass 14, 1
No. 5 has the same refractive index, and thus is regarded as one glass for cladding). However, according to the method of the present invention, a single mode optical fiber preform having less than triple or quadruple or more glass for cladding can be produced according to the production means described below.

【0019】つぎに、本発明方法を介して所定の光ファ
イバ母材10を作製し、この光ファイバ母材10から所
定の単一モード光ファイバをつくる場合の具体例、比較
例について説明する。なお、以下に述べる具体例1、2
において、クラッド用ガラス15を形成するとき、VA
D法をOVD法に代えてもよく、また、VAD法とOV
D法とを併用してもよい。
Next, a specific example and a comparative example in the case where a predetermined optical fiber preform 10 is produced by the method of the present invention and a predetermined single mode optical fiber is produced from the optical fiber preform 10 will be described. In addition, specific examples 1 and 2 described below
At the time of forming the cladding glass 15,
The D method may be replaced with the OVD method, and the VAD method and the OV method may be used.
You may use method D together.

【0020】具体例1 光ファイバ母材10の要部となるガラス棒をMCVD法
により作製するとき、クラッド用ガラス14に該当する
石英パイプとして、外径200mmφ、厚さ1mm、長
さ300mmの無水合成石英管を用い、これをガラス旋
盤に回転自在にセットし、その両端に原料ガス供給系、
排気系を接続した。さらに、無水合成石英管を外部から
加熱するための手段として、石英管の長さ方向に往復動
する酸水素炎バーナをガラス旋盤に備えつけた。この酸
水素炎バーナの場合、往動時に無水合成石英管を強く加
熱するが、復動時には無水合成石英管を保温する程度の
火力か、それ以下の火力に弱まる。
Concrete Example 1 When a glass rod which is a main part of the optical fiber preform 10 is produced by the MCVD method, a quartz pipe corresponding to the glass 14 for cladding has an outer diameter of 200 mmφ, a thickness of 1 mm and a length of 300 mm, and is anhydrous. A synthetic quartz tube was used, which was rotatably set on a glass lathe.
The exhaust system was connected. Further, as a means for heating the anhydrous synthetic quartz tube from the outside, a glass lathe was equipped with an oxyhydrogen flame burner that reciprocates in the length direction of the quartz tube. In the case of this oxyhydrogen flame burner, the anhydrous synthetic quartz tube is heated strongly at the time of the forward movement, but at the time of the backward movement, the thermal power is low enough to keep the anhydrous synthetic quartz tube warm or less.

【0021】上記において、MCVD法により無水合成
石英管の内面に所定の各ガラスを形成するとき、無水合
成石英管の内面にクラッド用ガラス13、クラッド用ガ
ラス12、コア用ガラス11の順にこれらを堆積する。
具体的には、酸水素炎バーナにより無水合成石英管を外
部から加熱している状態において、はじめ、ガラス原料
ガスSiCl4 、ドープ原料ガスGeCl4 を酸素ガス
2 と共に無水合成石英管内へ供給し、この際の熱酸化
反応で生成されたSiO2 −GeO2 ガラスを無水合成
石英管の内面に堆積させてクラッド用ガラス13を形成
し、続いて、ガラス原料ガスSiCl4 、ドープ原料ガ
スSF6を酸素ガスO2 と共に無水合成石英管内へ供給
し、この際の熱酸化反応で生成されたSiO2 −Fガラ
スをクラッド用ガラス13の内面に堆積させてクラッド
用ガラス12を形成し、さらに続いて、ガラス原料ガス
SiCl4 、ドープ原料ガスGeCl4 を酸素ガスO2
と共に無水合成石英管内へ供給し、この際の熱酸化反応
で生成されたSiO2 −GeO2 ガラスをクラッド用ガ
ラス12の内面に堆積させてコア用ガラス11を形成し
た。
In the above, when each glass is formed on the inner surface of the anhydrous synthetic quartz tube by the MCVD method, the cladding glass 13, the cladding glass 12, and the core glass 11 are sequentially formed on the inner surface of the anhydrous synthetic quartz tube. accumulate.
Specifically, while the anhydrous synthetic quartz tube is being heated from the outside by the oxyhydrogen flame burner, first, the glass raw material gas SiCl 4 and the doping raw material gas GeCl 4 are supplied into the anhydrous synthetic quartz tube together with the oxygen gas O 2. The SiO 2 —GeO 2 glass produced by the thermal oxidation reaction at this time is deposited on the inner surface of the anhydrous synthetic quartz tube to form the glass 13 for cladding, and subsequently, the glass raw material gas SiCl 4 and the doping raw material gas SF 6 are formed. Is supplied into an anhydrous synthetic quartz tube together with oxygen gas O 2 , and the SiO 2 —F glass produced by the thermal oxidation reaction at this time is deposited on the inner surface of the glass 13 for cladding to form the glass 12 for cladding. Glass source gas SiCl 4 and dope source gas GeCl 4 as oxygen gas O 2
It was supplied together with the water into an anhydrous synthetic quartz tube, and the SiO 2 —GeO 2 glass produced by the thermal oxidation reaction at this time was deposited on the inner surface of the glass for cladding 12 to form the glass for core 11.

【0022】このMCVD法により無水合成石英管の内
面に各ガラス11、12、13を堆積形成した後は、周
知にして任意のコラプス手段、たとえば、酸水素炎によ
る強加熱で当該石英管をコラプスし、かくて、光ファイ
バ母材10の要部となるガラス棒を得る。
After depositing and forming the respective glasses 11, 12, 13 on the inner surface of the anhydrous synthetic quartz tube by the MCVD method, it is well known that the quartz tube is collapsed by an arbitrary collapse means, for example, strong heating by an oxyhydrogen flame. Then, a glass rod which is a main part of the optical fiber preform 10 is thus obtained.

【0023】上述したガラス棒の外周面に、光ファイバ
母材10のクラッド用ガラス15をVAD法により形成
するとき、ガラス棒を回転昇降装置にセットして垂直に
吊り下げ、複数の流路が同心円状に並んだ周知の多重管
バーナをガラス棒の外周面に向けて傾斜状に配置した。
この準備を終えた後、多重管バーナを用いて第一回目の
VAD法を実施するとき、各バーナ流路にガラス原料ガ
スSiCl4 、水素ガスH2 、酸素ガスO2 、緩衝ガス
Arを供給して多重管バーナを燃焼状態にし、かかる燃
焼状態での火炎加水分解反応により生成したスート状の
ガラス微粒子を、回転しつつ上下方向に移動しているガ
ラス棒の外周面に向けて噴射かつ堆積させた。かくて、
ガラス棒の外周面には、堆積したガラス微粒子により多
孔質ガラス体が形成された。
When the cladding glass 15 of the optical fiber preform 10 is formed on the outer peripheral surface of the above-mentioned glass rod by the VAD method, the glass rod is set on a rotary elevating device and vertically suspended so that a plurality of flow paths are formed. Well-known multi-tube burners arranged concentrically were arranged in an inclined shape toward the outer peripheral surface of the glass rod.
After completing this preparation, when performing the first VAD method using a multi-tube burner, glass source gas SiCl 4 , hydrogen gas H 2 , oxygen gas O 2 , and buffer gas Ar are supplied to each burner channel. Then, the multi-tube burner is put into a combustion state, and soot-shaped glass particles generated by the flame hydrolysis reaction in such a combustion state are jetted and deposited on the outer peripheral surface of the glass rod that is moving in the vertical direction while rotating. Let Thus,
A porous glass body was formed on the outer peripheral surface of the glass rod by the deposited glass fine particles.

【0024】ガラス棒の外周面に形成された多孔質ガラ
ス体は、これを高温のCl2 含有雰囲気内で脱水し、か
つ、高温のHe含有雰囲気内で透明ガラス化して、クラ
ッド用ガラス15の一部とした。
The porous glass body formed on the outer peripheral surface of the glass rod is dehydrated in a high-temperature Cl 2 -containing atmosphere, and is transparentized in a high-temperature He-containing atmosphere to obtain a glass 15 for cladding. Partial.

【0025】この段階での光ファイバ母材10を加熱し
つつ延伸して長さ900mm程度に引き伸ばした後、上
述した内容に準じて、第二回目のVAD法を実施して多
孔質ガラス体を形成し、これを前記と同様に脱水、透明
ガラス化してクラッド用ガラス15の残部とした。
At this stage, the optical fiber preform 10 is stretched while being heated and stretched to a length of about 900 mm, and then the second VAD method is carried out according to the above-mentioned contents to form a porous glass body. After being formed, this was dehydrated in the same manner as described above to be transparent vitrified, and the remainder of the glass 15 for cladding was formed.

【0026】こうして形成されたクラッド用ガラス15
の全体の厚さは、クラッド用ガラス13の厚さの7.2
倍であり、光ファイバ母材10の寸法は、外径60mm
φ、長さ900mmである。
Clad glass 15 thus formed
Of the total thickness of the cladding glass 13 is 7.2
And the dimensions of the optical fiber preform 10 have an outer diameter of 60 mm.
φ, length 900 mm.

【0027】具体例1の光ファイバ母材10を加熱延伸
手段で線引きした場合、外径125μmφの単一モード
光ファイバが約200kmもの長さで得られる。それに
対し、標準的なMCVD法で得られる外径20mmφ、
長さ300mmの光ファイバ母材では、これを線引きし
ても、外径125μmφの光ファイバが約8kmしか得
られない。
When the optical fiber preform 10 of Example 1 is drawn by a heating and drawing means, a single mode optical fiber having an outer diameter of 125 μmφ can be obtained with a length of about 200 km. On the other hand, an outer diameter of 20 mmφ obtained by the standard MCVD method,
Even if the optical fiber preform with a length of 300 mm is drawn, an optical fiber with an outer diameter of 125 μmφ can be obtained only for about 8 km.

【0028】具体例1の光ファイバ母材10から得られ
る単一モード光ファイバの特性を示すと、波長1.30
μmにおける損失特性が0.39dB/km、波長1.
39μmにおける損失特性が3.0dB/km、波長
1.55μmにおける損失特性が0.20dB/kmで
あり、これらの値は、標準的なレベルを上回っている。
この単一モード光ファイバの分散特性は、1.27μm
〜1.57μmの波長域において、±10ps/km/
nm2 の範囲内にあった。
The characteristics of the single-mode optical fiber obtained from the optical fiber preform 10 of Example 1 are as follows:
The loss characteristic in μm is 0.39 dB / km, and the wavelength is 1.
The loss characteristic at 39 μm is 3.0 dB / km and the loss characteristic at a wavelength of 1.55 μm is 0.20 dB / km, and these values are above the standard level.
The dispersion characteristic of this single mode optical fiber is 1.27 μm.
± 10 ps / km / in the wavelength range of ~ 1.57 μm
It was in the range of nm 2 .

【0029】具体例2 具体例1と同様のMCVD法、VAD法にて光ファイバ
母材10を作製するとき、MCVD法により得られたガ
ラス棒をエッチング処理した後、VAD法を実施した。
Specific Example 2 When the optical fiber preform 10 was manufactured by the same MCVD method and VAD method as in Specific Example 1, the glass rod obtained by the MCVD method was etched and then the VAD method was performed.

【0030】かかるエッチング処理は、ガラス棒をガラ
ス腐食作用のある溶液に浸漬して行なう。ここで用いら
れる腐食性溶液としては、フッ酸、フッ酸の水溶液と強
酸(例:硫酸、塩酸、硝酸など)との混合水溶液、フッ
化アンモニウム水溶液、フッ化アンモニウム水溶液とフ
ッ酸との混合水溶液、フッ化アンモニウム水溶液と強酸
との混合水溶液、フッ化アンモニウム水溶液とフッ酸と
強酸との混合水溶液などをあげることができる。エッチ
ング処理の具体例として、MCVD法で得られたガラス
棒をフッ酸に浸漬し、その表面から深さ0.5mmの部
分までを取り除いた。
The etching treatment is carried out by immersing the glass rod in a solution having a glass corrosive action. The corrosive solution used here is hydrofluoric acid, a mixed aqueous solution of an aqueous solution of hydrofluoric acid and a strong acid (eg, sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, etc.), an ammonium fluoride aqueous solution, an aqueous solution of an ammonium fluoride aqueous solution and hydrofluoric acid. Examples thereof include a mixed aqueous solution of an ammonium fluoride aqueous solution and a strong acid, an aqueous mixed solution of an ammonium fluoride aqueous solution, hydrofluoric acid and a strong acid, and the like. As a specific example of the etching treatment, a glass rod obtained by the MCVD method was dipped in hydrofluoric acid to remove a portion from the surface to a depth of 0.5 mm.

【0031】エッチング処理後のガラス棒は、これを水
洗、中性液洗浄、アルカリ液洗浄など、任意の洗浄手段
で洗浄して腐食性溶液を完全に洗い落とし、その後、6
0℃以上、望ましくは100℃以上の清浄な気流(例:
空気、不活性ガス)と接触させて乾燥する。その具体例
として、ガラス棒を水洗し、その後、ガラス棒を120
℃に保持されたHe気流に曝して乾燥した。
After the etching treatment, the glass rod is washed by any washing means such as washing with water, washing with a neutral solution, washing with an alkaline solution to completely wash off the corrosive solution, and then 6
Clean air flow above 0 ° C, preferably above 100 ° C (eg:
Dry in contact with air and inert gas. As a specific example, the glass rod is washed with water and then the glass rod is washed with 120
It was dried by exposing it to a He stream maintained at 0 ° C.

【0032】以下はVAD法を主体にして、具体例1と
同様にガラス棒の外周にクラッド用ガラス15を形成し
た。具体例2における光ファイバ母材10は、具体例1
と同様、外径60mmφ、長さ900mmである。
In the following, the VAD method was mainly used to form the cladding glass 15 on the outer periphery of the glass rod in the same manner as in Example 1. The optical fiber preform 10 in the specific example 2 is the specific example 1
Similarly, the outer diameter is 60 mmφ and the length is 900 mm.

【0033】具体例2の光ファイバ母材10から得られ
る単一モード光ファイバの特性を示すと、波長1.30
μmにおける損失特性が0.36dB/km、波長1.
39μmにおける損失特性が0.60dB/km、波長
1.55μmにおける損失特性が0.19dB/kmで
あり、これらの値は、具体例1における特性をかなり上
回っている。この単一モード光ファイバの分散特性は、
図3に示すとおりであり、1.27μm〜1.57μm
の波長域における所定の分散値を確保している。
The characteristics of the single mode optical fiber obtained from the optical fiber preform 10 of Example 2 are as follows:
The loss characteristic in μm is 0.36 dB / km, and the wavelength is 1.
The loss characteristic at 39 μm is 0.60 dB / km and the loss characteristic at a wavelength of 1.55 μm is 0.19 dB / km, and these values are considerably higher than the characteristics in the first specific example. The dispersion characteristics of this single mode optical fiber are
As shown in FIG. 3, 1.27 μm to 1.57 μm
The predetermined dispersion value in the wavelength range of is secured.

【0034】比較例 はじめに、VAD法を介してコア用ガラス11に該当す
る多孔質ガラス体、クラッド用ガラス12に該当する多
孔質ガラス体を同時合成し、これを透明ガラス化してガ
ラス棒を作製した。
Comparative Example First, a porous glass body corresponding to the core glass 11 and a porous glass body corresponding to the clad glass 12 were simultaneously synthesized via the VAD method, and this was made into a transparent glass to prepare a glass rod. did.

【0035】ついで、第一回目のOVD法によりクラッ
ド用ガラス13に該当する多孔質ガラス体を外付けし、
これを透明ガラス化した後、第二回目のOVD法によ
り、クラッド用ガラス14、クラッド用ガラス15に該
当する多孔質ガラス体をそれぞれ外付けし、これらを透
明ガラス化した。
Then, a porous glass body corresponding to the cladding glass 13 is externally attached by the first OVD method,
After this was made into a transparent vitreous material, a porous glass body corresponding to the cladding glass 14 and the cladding glass 15 was externally attached by the second OVD method to make them transparent vitrified materials.

【0036】比較例で作製した光ファイバ母材は、外径
が25mmφ、長さが340mmである。
The optical fiber preform produced in the comparative example has an outer diameter of 25 mmφ and a length of 340 mm.

【0037】比較例の光ファイバ母材から得られる単一
モード光ファイバの特性を示すと、波長1.30μmで
の損失特性が0.58dB/km、波長1.39μmで
の損失特性が4.20dB/km、波長1.55μmで
の損失特性が0.43dB/kmであり、これらの値
は、具体例2だけでなく、具体例1における特性をかな
り下回っている。
The characteristics of the single mode optical fiber obtained from the optical fiber preform of the comparative example are as follows: loss characteristic at wavelength 1.30 μm is 0.58 dB / km and loss characteristic at wavelength 1.39 μm is 4. The loss characteristics at 20 dB / km and a wavelength of 1.55 μm are 0.43 dB / km, and these values are considerably lower than the characteristics of not only the specific example 2 but also the specific example 1.

【0038】[0038]

【発明の効果】特定発明に係る光ファイバ母材の製造方
法は、コア用ガラスと一部のクラッド用ガラスとを含む
石英系のガラス棒をMCVD法により作製し、その後、
VAD法および/またはOVD法を介して該ガラス棒の
外周面に残部の石英系クラッド用ガラスを形成するか
ら、波長域1.27μm〜1.57μmにおける分散値
が±10ps/km/nm2 の範囲内にある単一モード
光ファイバの母材を製造するときに、製品の高歩留り、
大型化、高生産性をはかることができる。
According to the method for producing an optical fiber preform according to the specified invention, a quartz glass rod containing a glass for core and a part of glass for cladding is produced by the MCVD method, and thereafter,
Since the remaining silica-based cladding glass is formed on the outer peripheral surface of the glass rod through the VAD method and / or OVD method, the dispersion value in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm is ± 10 ps / km / nm 2 . When producing the base material of single mode optical fiber within the range, high yield of products,
Larger size and higher productivity can be achieved.

【0039】関連発明に係る光ファイバ母材の製造方法
は、コア用ガラスと一部のクラッド用ガラスとを含む石
英系のガラス棒をMCVD法により作製し、その後、該
ガラス棒の外周面をエッチング処理し、その後、VAD
法および/またはOVD法を介して該ガラス棒の外周面
に残部の石英系クラッド用ガラスを形成するから、上述
した所定の単一モード光ファイバの母材を製造すると
き、製品の高歩留り、大型化、高生産性がはかれるだけ
でなく、低損失の単一モード光ファイバをつくることの
できる母材が得られる。
In the method for producing an optical fiber preform according to the related invention, a silica-based glass rod containing glass for core and a part of glass for cladding is produced by MCVD method, and then the outer peripheral surface of the glass rod is formed. Etching, then VAD
The remaining glass for silica-based cladding is formed on the outer peripheral surface of the glass rod through the method and / or the OVD method. Therefore, when the base material of the above-mentioned predetermined single-mode optical fiber is manufactured, the high yield of the product, In addition to achieving large size and high productivity, it is possible to obtain a base material capable of producing a low loss single mode optical fiber.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明方法により作製された光ファイバ母材の
断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an optical fiber preform manufactured by the method of the present invention.

【図2】本発明方法により作製された光ファイバ母材の
屈折率分布図である。
FIG. 2 is a refractive index distribution diagram of an optical fiber preform manufactured by the method of the present invention.

【図3】本発明方法により作製された光ファイバ母材の
分散特性図である。
FIG. 3 is a dispersion characteristic diagram of an optical fiber preform manufactured by the method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 光ファイバ母材 11 コア用ガラス 12 クラッド用ガラス 13 クラッド用ガラス 14 クラッド用ガラス 15 クラッド用ガラス 10 Optical Fiber Base Material 11 Glass for Core 12 Glass for Clad 13 Glass for Clad 14 Glass for Clad 15 Glass for Clad

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // G02B 6/00 356 A 7036−2K ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location // G02B 6/00 356 A 7036-2K

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 波長域1.27μm〜1.57μmにお
ける分散値が±10ps/km/nm2 の範囲内にある
単一モード光ファイバの母材を製造する方法において、
コア用ガラスと一部のクラッド用ガラスとを含む石英系
のガラス棒をMCVD法により作製し、その後、VAD
法および/またはOVD法を介して該ガラス棒の外周面
に残部の石英系クラッド用ガラスを形成することを特徴
とする光ファイバ母材の製造方法。
1. A method for producing a base material for a single-mode optical fiber having a dispersion value in a wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm within a range of ± 10 ps / km / nm 2 .
A silica-based glass rod containing a core glass and a part of the cladding glass was produced by the MCVD method, and then VAD
A method for producing an optical fiber preform, characterized in that the rest of the silica-based cladding glass is formed on the outer peripheral surface of the glass rod by an OVD method and / or an OVD method.
【請求項2】 波長域1.27μm〜1.57μmにお
ける分散値が±10ps/km/nm2 の範囲内にある
単一モード光ファイバの母材を製造する方法において、
コア用ガラスと一部のクラッド用ガラスとを含む石英系
のガラス棒をMCVD法により作製し、その後、該ガラ
ス棒の外周面をエッチング処理し、その後、VAD法お
よび/またはOVD法を介して該ガラス棒の外周面に残
部の石英系クラッド用ガラスを形成することを特徴とす
る光ファイバ母材の製造方法。
2. A method for producing a base material for a single-mode optical fiber having a dispersion value in the wavelength range of 1.27 μm to 1.57 μm within a range of ± 10 ps / km / nm 2 .
A silica-based glass rod including a core glass and a part of the cladding glass is produced by an MCVD method, and then an outer peripheral surface of the glass rod is etched, and then a VAD method and / or an OVD method is used. A method for producing an optical fiber preform, characterized in that the remaining glass for silica-based cladding is formed on the outer peripheral surface of the glass rod.
JP25441191A 1991-09-06 1991-09-06 Production of parent material for optical fiber Pending JPH0558662A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25441191A JPH0558662A (en) 1991-09-06 1991-09-06 Production of parent material for optical fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25441191A JPH0558662A (en) 1991-09-06 1991-09-06 Production of parent material for optical fiber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0558662A true JPH0558662A (en) 1993-03-09

Family

ID=17264605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25441191A Pending JPH0558662A (en) 1991-09-06 1991-09-06 Production of parent material for optical fiber

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0558662A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999040037A1 (en) * 1998-02-03 1999-08-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of manufacturing optical fiber base material
WO2020181787A1 (en) * 2019-03-11 2020-09-17 江苏永鼎光纤科技有限公司 Optical fiber with high core-cladding concentricity and preparation method therefor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999040037A1 (en) * 1998-02-03 1999-08-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of manufacturing optical fiber base material
US6474108B2 (en) * 1998-02-03 2002-11-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Fiber preform method with a hot drill-in step for a Ge-doped tube and an F-doped rod
KR100573508B1 (en) * 1998-02-03 2006-04-26 스미토모덴키고교가부시키가이샤 Method of manufacturing optical fiber base material
WO2020181787A1 (en) * 2019-03-11 2020-09-17 江苏永鼎光纤科技有限公司 Optical fiber with high core-cladding concentricity and preparation method therefor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Schultz Fabrication of optical waveguides by the outside vapor deposition process
EP0198510B1 (en) Method of producing glass preform for optical fiber
WO2019142878A1 (en) Method for manufacturing optical fiber preform, optical fiber preform, method for manufacturing optical fiber, and optical fiber
JP3098828B2 (en) Dispersion shifted fiber and method of manufacturing the same
CN113461322B (en) Optical fiber and method for manufacturing optical fiber preform
EP0164127B1 (en) Method for producing glass preform for optical fibers
JPH0558662A (en) Production of parent material for optical fiber
CN113716861A (en) Method for preparing bending insensitive optical fiber by external gas phase deposition method
JPH07230015A (en) Dispersion shift type single-mode optical fiber, and preform for the same and its manufacture
JP2002047027A (en) Preform for optical fiber and single mode optical fiber
JP2014101236A (en) Production method of optical fiber preform, and optical fiber
JPS63139028A (en) Production of optical fiber glass base material
JPH0820574B2 (en) Dispersion shift fiber and manufacturing method thereof
JPS63315530A (en) Production of optical fiber preform
JPH10206654A (en) Optical fiber and its manufacture
JPH0798671B2 (en) Method for manufacturing preform for optical fiber
JPH085685B2 (en) Method for manufacturing base material for dispersion-shifted optical fiber
JPH0426523A (en) Production of optical fiber
JPS6183639A (en) Production of quartz pipe of high purity
JPH0327491B2 (en)
JP3174682B2 (en) Method for producing glass preform for optical fiber
Schultz Vapor phase materials and processes for glass optical waveguides
JPH0818842B2 (en) Method for manufacturing base material for optical fiber
JP2645717B2 (en) Manufacturing method of base material for optical fiber
JPH11180725A (en) Production of optical fiber preform