JPH0557260A

JPH0557260A - 超音波除塵装置及び除塵方法

Info

Publication number: JPH0557260A
Application number: JP21678691A
Authority: JP
Inventors: Morikazu Sasaki; 盛一佐々木; Masaaki Hojo; 正昭北條
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 1991-08-28
Filing date: 1991-08-28
Publication date: 1993-03-09

Abstract

(57)【要約】【目的】陰極線管の製造時におけるガラスバルブ内部
の除塵作業時に、ホーンがガラスバルブ表面を傷つける
のを防止すると共に、ホーンとガラスバルブ間のエネル
ギー伝達効率を改善して装置全体の除塵効率を向上す
る。【構成】超音波振動するホーン（２）の先端をガラス
バルブ（３）側面に当接させてガラスバルブ（３）を強
制的に振動させ、ガラスバルブ（３）に付着した塵埃を
ガラスバルブ（３）内面から離脱させるものであって、
ホーン（２）先端のガラスバルブ（３）との当接部位
に、ガラスより硬度が低い金属片からなる振動伝達部材
（１）を装着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波除塵装置及び除
塵方法に関し、詳しくは、陰極線管の製造工程における
ガラスバルブ内部の除塵作業に適用できる超音波除塵装
置及び除塵方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】陰極線管の製造工程においては、図４に
示すように、ガラスでファンネル部（11）とパネル部
（12）を封着した後、ネック部（４）への電子銃（図示
省略）の封入前に、ガラスバルブ（３）の内面に付着し
た塵埃を除去するため、除塵作業が行なわれる。

【０００３】このような除塵作業は、従来、後端を超音
波振動源（５）と連結し、先端に平面部（９）を構成し
た略円柱状のホーン（２）と、ネック部（４）の開口端
に連結した吸引手段（図示省略）とからなる除塵装置で
行なっている。上記除塵装置では、ホーン（２）の平面
部（９）をガラスバルブ（３）に当接させ、ホーン
（２）を図面水平方向に超音波振動させることにより、
ガラスバルブ（３）を強制的に振動させてガラスバルブ
（３）の内面に付着した塵埃を離脱・落下させ、落下し
た塵埃をネック部（４）から吸引して外部に排出してい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ホーン
は、超音波振動の減衰を最小限に抑止するため、一般に
ガラスに比して高い硬度を有するチタン合金等の金属材
料で構成する。このため、除塵作業時のホーンの振動に
伴い、ホーンがガラスバルブの表面を傷つけてしまうと
いう不具合があった。

【０００５】また、ホーンを高硬度材料で構成している
ことから、ホーンの当接面がバルブの表面になじみにく
く、この結果、ホーンとガラスバルブの良好な密着性が
得られなくなって両部材の接触状態が不安定になる。さ
らに、最悪の場合には、図５の拡大図に示すように、ホ
ーン（２）がガラスバルブ（３）に点接触してしまう。
このように両部材は不安定な接触状態にあるため、ホー
ン（２）の振動エネルギーがガラスバルブ（３）に伝達
されにくくり、装置全体の除塵効率が低下してしまう不
具合もあった。

【０００６】本発明は上記問題点を鑑みてなされたもの
であって、除塵作業時においてホーンがガラスバルブ表
面を傷つけるのを防止すると共に、ホーンとガラスバル
ブ間のエネルギー伝達効率を改善して装置全体の除塵効
率を向上し得る超音波除塵装置及び除塵方法を提供する
ことを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明方法では、超音波振動するホーンの先端をガ
ラスバルブ側面に当接させてガラスバルブを強制的に振
動させ、ガラスバルブに付着した塵埃をガラスバルブ内
面から離脱させるに際し、ホーン先端とガラスバルブと
の間に、ガラスより硬度が低い金属からなる振動伝達部
材を介在させる。

【０００８】また、本発明装置は、超音波振動するホー
ンの先端をガラスバルブ側面に当接させてガラスバルブ
を強制的に振動させ、ガラスバルブに付着した塵埃をガ
ラスバルブ内面から離脱させるものであって、ホーン先
端のガラスバルブとの当接部位に、ガラスより硬度の低
い金属片からなる振動伝達部材を装着して構成する。

【０００９】さらに、本発明装置は、超音波振動するホ
ーンの先端をガラスバルブ側面に当接させてガラスバル
ブを強制的に振動させ、ガラスバルブに付着した塵埃を
ガラスバルブ内面から離脱させるものであって、ホーン
先端とガラスバルブとの間に、ガラスより硬度が低い金
属箔からなり、且つ、巻取り装置に連結して巻取り自在
に構成した振動伝達部材を介在させて構成する。

【００１０】

【作用】ホーン先端とガラスバルブとの間に、ガラスよ
り硬度の低い金属からなる振動伝達部材を介在させたこ
とにより、振動するホーンがガラスバルブに直接当接し
なくなるので、ガラスバルブに傷は生じない。また、ホ
ーンと振動伝達部材及び振動伝達部材とガラスバルブが
円滑になじむことから、これらの接触部位での良好な密
着性が得られる。従って、上記接触部位での接触状態が
安定し、ホーンの振動エネルギーは振動伝達部材を介し
てガラスバルブに確実に伝達される。

【００１１】また、ホーン先端のガラスバルブとの当接
予定部にガラスより硬度が低い金属片からなる振動伝達
部材を装着しても、上述と同様の作用が得られる。

【００１２】さらに、ホーン先端とガラスバルブとの間
に、ガラスより硬度の低い金属箔からなる振動伝達部材
を介在させても同様の作用を得ることができる。上記振
動伝達部材は、除塵作業中に巻取り装置で適宜巻取られ
る。従って、ホーンの先端部が、振動伝達部材の一定位
置を連続的に衝打することもなくなり、振動伝達部材の
破れ等の発生が防止できる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明に係る超音波除塵装置及び除塵
方法の実施例を図１乃至図３を参照して説明する。

【００１４】本発明装置は、図１（ａ）に示すように、
先端部にガラスより硬度の低い金属、例えば、アルミニ
ウム等を略矩形柱状に形成してなる振動伝達部材（１）
を装着したホーン（２）と、吸引手段（図示省略）とで
構成したものであり、この時、上記振動伝達部材（１）
は、その一部分をホーン（２）の先端部に埋め込んだ状
態で装着されている。

【００１５】ガラスバルブ（３）が所定位置に搬送され
ると、図１（ｂ）に示すように、ホーン（２）を図面右
方向に移動させて先端に装着した振動伝達部材（１）を
ガラスバルブ（３）側面に当接させ、同時に、ガラスバ
ルブ（３）のネック部（４）に吸引手段（図示省略）を
接続する。この結果、ホーン（２）とガラスバルブ
（３）間には振動伝達部材（１）が介在することにな
る。この状態で、超音波振動源（５）を駆動してホーン
（２）を振動させると、ホーン（２）の振動が振動伝達
部材（１）を介してガラスバルブ（３）へと伝達され
る。

【００１６】上述の構成により、ガラスより高い硬度を
有するホーン（２）が、ガラスバルブ（３）に直接当接
せず、ガラスより低い硬度を有する振動伝達部材（１）
がガラスバルブ（３）に接触する。このことから、ホー
ン（２）が振動しても、ガラスバルブ（３）には傷が生
じない。また、振動伝達部材（１）とガラスバルブ
（３）が円滑になじむことから、両部材（１）（３）の
良好な密着性が得られる。従って、図２の拡大図に示す
ように、上記接触部位での接触状態が安定し、振動伝達
部材（１）は、ガラスバルブ（３）に面接触するように
なる。このことから、ホーン（２）の振動エネルギーは
振動伝達部材（１）を介してガラスバルブ（３）に確実
に伝達され、ホーン（２）とガラスバルブ（３）の間の
エネルギー伝達効率が改善される。

【００１７】また、上記振動伝達部材（１）の態様とし
ては、図３に示す構成も適用可能である。この振動伝達
部材（１）は、アルミニウム等のガラスより硬度の低い
金属箔からなるもので、巻取り機構（６）及び送り出し
機構（７）を備えた巻取り装置（８）を連結して巻取り
自在に構成したものである。また、上記ホーン（２）の
先端部には平面部（９）を構成する。このような構成に
より、図１に示すものと同様に、当接部での傷の発生防
止、及び、ホーン（２）とガラスバルブ（３）間のエネ
ルギー伝達効率の改善が達成される。また、除塵作業中
に、上記巻取り装置（８）を駆動して振動伝達部材
（１）を適宜巻取ることにより、ホーン（２）の先端部
が、振動伝達部材（１）の一定位置を連続的に衝打する
こともなくなり、振動伝達部材（１）の破れ等の発生が
防止できる。従って、上記巻取り装置によれば、振動伝
達部材（１）をホーン（２）とガラスバルブ（３）間に
常時安定して介在させることができる。

【００１８】尚、図３において、上記巻取り装置（８）
の巻取り方向は、図示の方向だけでなく、下方或いは紙
面垂直方向でもよい。また、上記振動伝達部材（１）と
しては、アルミニウムだけでなく、ガラスより硬度が低
く、且つ、振動エネルギーを確実に伝達し得る金属材
料、例えば、亜鉛、鉛等が適用可能である。

【００１９】

【発明の効果】本発明方法によれば、ガラスバルブ表面
に傷が発生せず、また、ホーンとガラスバルブ間のエネ
ルギー伝達効力が改善されて除塵効率を向上させること
ができる。このことから、確実な除塵作業が行なえ、高
品質な製品を生産することができる。

【００２０】また、ホーン先端のガラスバルブとの当接
予定部に、ガラスより硬度が低い金属片からなる振動伝
達部材を装着しても、上述と同様の作用・効果を得るこ
とができる。

【００２１】さらに、ホーン先端とガラスバルブとの間
に、ガラスより硬度の低い金属箔からなる振動伝達部材
を介在させても同様の作用を得ることができる。また、
上記振動伝達部材は、除塵作業中に巻取り装置で適宜巻
取られるから、振動伝達部材の一定位置が連続的に衝打
されることもない。従って、振動伝達部材の破れ等が防
止でき、常時安定した除塵作業が行なえる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はホーンの正面及び側面図であり、
（ｂ）は本発明に係る超音波除塵装置の側面図である。

【図２】ホーンとガラスバルブの当接状況を示す拡大図
である。

【図３】本発明に係る超音波装置の他の実施例を示す側
面図である。

【図４】従来の超音波装置の側面図である。

【図５】従来のホーンとガラスバルブの当接状況を示す
拡大図である。

【符号の説明】

１振動伝達部材２ホーン３ガラスバルブ８巻取り装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波振動するホーンの先端をガラスバ
ルブ側面に当接させてガラスバルブを強制的に振動さ
せ、ガラスバルブに付着した塵埃をガラスバルブ内面か
ら離脱させるに際し、ホーン先端とガラスバルブとの間に、ガラスより硬度が
低い金属からなる振動伝達部材を介在させたことを特徴
とする超音波除塵方法。
【請求項２】超音波振動するホーンの先端をガラスバ
ルブ側面に当接させてガラスバルブを強制的に振動さ
せ、ガラスバルブに付着した塵埃をガラスバルブ内面か
ら離脱させるものであって、ホーン先端のガラスバルブとの当接部位に、ガラスより
硬度が低い金属片からなる振動伝達部材を装着したこと
を特徴とする超音波除塵装置。
【請求項３】超音波振動するホーンの先端をガラスバ
ルブ側面に当接させてガラスバルブを強制的に振動さ
せ、ガラスバルブに付着した塵埃をガラスバルブ内面か
ら離脱させるものであって、ホーン先端とガラスバルブとの間に、ガラスより硬度が
低い金属箔からなり、且つ、巻取り装置に連結して巻取
り自在に構成した振動伝達部材を介在させたことを特徴
とする超音波除塵装置。