JPH0552716A - 集塵装置 - Google Patents
集塵装置Info
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- JPH0552716A JPH0552716A JP3215315A JP21531591A JPH0552716A JP H0552716 A JPH0552716 A JP H0552716A JP 3215315 A JP3215315 A JP 3215315A JP 21531591 A JP21531591 A JP 21531591A JP H0552716 A JPH0552716 A JP H0552716A
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- cleaning
- collecting
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームのような塵埃の非常に少ない
試料空間においても、必要な数の塵埃を短時間で捕集で
きる集塵装置を提供することを目的とする。 【構成】 集約手段３によって試料中の塵埃を集約した
後、フィルタ６で塵埃を捕集するようにしている。
試料空間においても、必要な数の塵埃を短時間で捕集で
きる集塵装置を提供することを目的とする。 【構成】 集約手段３によって試料中の塵埃を集約した
後、フィルタ６で塵埃を捕集するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分析や検査対象である
塵埃を含む空間、いわゆる試料空間の塵埃をフィルタ上
に捕集する集塵装置に関する。
塵埃を含む空間、いわゆる試料空間の塵埃をフィルタ上
に捕集する集塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の一般的な集塵装置の概略
構成図である。同図において、１は塵埃２を含む試料空
間、４は試料空間１から試料を引き込むための配管、２
６は試料中の塵埃をフィルタホルダ７に保持されたフィ
ルタ６に捕集する捕集部、２７はポンプ、２８はタイ
マ、２９は流量計である。
構成図である。同図において、１は塵埃２を含む試料空
間、４は試料空間１から試料を引き込むための配管、２
６は試料中の塵埃をフィルタホルダ７に保持されたフィ
ルタ６に捕集する捕集部、２７はポンプ、２８はタイ
マ、２９は流量計である。
【０００３】次に、このような構成を有する従来の集塵
装置の動作を説明する。
装置の動作を説明する。
【０００４】図示の状態において、タイマ２８を作動さ
せ、ポンプ２７を駆動させると、塵埃を含む試料空間１
から配管４を介して試料が引き込まれ、試料中に含まれ
る塵埃は、フィルタ６の表面に捕集され、塵埃を除去さ
れた試料は、ポンプ２７の排気口から外部へ排出され
る。
せ、ポンプ２７を駆動させると、塵埃を含む試料空間１
から配管４を介して試料が引き込まれ、試料中に含まれ
る塵埃は、フィルタ６の表面に捕集され、塵埃を除去さ
れた試料は、ポンプ２７の排気口から外部へ排出され
る。
【０００５】このとき、フィルタ６による塵埃の捕集量
は、試料空間１に含まれる塵埃２の数、フィルタ６の捕
集効率、流量計２９の示す流量、タイマ２８の作動時間
によって算出することができ、目的に応じた捕集量にす
るために、流量計２９の流量とタイマ２８の作動時間と
がそれぞれ設定されるのが一般的である。
は、試料空間１に含まれる塵埃２の数、フィルタ６の捕
集効率、流量計２９の示す流量、タイマ２８の作動時間
によって算出することができ、目的に応じた捕集量にす
るために、流量計２９の流量とタイマ２８の作動時間と
がそれぞれ設定されるのが一般的である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の集塵
装置において、例えば、外気のようなクラス１，００
０，０００（クラス：清浄度の目安となる単位であり、
１ｆｅｅｔ3の容積に含まれるφ０.３μｍ以上の塵埃の
数を示す）程度の塵埃の数が非常に多い試料空間の場合
には、フィルタ６の有効径をφ１０ｍｍとしたときにフ
ィルタ６の圧損で５ｌ／ｍｉｎの流量を流せたとしてフ
ィルタ６の捕集効率がほぼ９０％とすると、１００，０
００の塵埃を捕集するのに３６ｓｅｃ程度と短いが、半
導体製造工場などのクリーンルームのようにクラス１０
以下の塵埃の数が非常に少ない試料空間の場合では、４
２日間という途方もない時間がかかってしまうことにな
る。ところが、塵埃の発塵状態は、ほとんどが数分〜数
時間以内で変動しており、集塵装置で上述のように長時
間かけてフィルタ６の表面に捕集した塵埃を分析装置に
かけて分析しても、いつの時点のものであるか判別でき
ず、有効な対策を講じることができない場合がほとんど
であり、半導体製造工場における塵埃の撲滅活動にほと
んど役に立たないものであった。
装置において、例えば、外気のようなクラス１，００
０，０００（クラス：清浄度の目安となる単位であり、
１ｆｅｅｔ3の容積に含まれるφ０.３μｍ以上の塵埃の
数を示す）程度の塵埃の数が非常に多い試料空間の場合
には、フィルタ６の有効径をφ１０ｍｍとしたときにフ
ィルタ６の圧損で５ｌ／ｍｉｎの流量を流せたとしてフ
ィルタ６の捕集効率がほぼ９０％とすると、１００，０
００の塵埃を捕集するのに３６ｓｅｃ程度と短いが、半
導体製造工場などのクリーンルームのようにクラス１０
以下の塵埃の数が非常に少ない試料空間の場合では、４
２日間という途方もない時間がかかってしまうことにな
る。ところが、塵埃の発塵状態は、ほとんどが数分〜数
時間以内で変動しており、集塵装置で上述のように長時
間かけてフィルタ６の表面に捕集した塵埃を分析装置に
かけて分析しても、いつの時点のものであるか判別でき
ず、有効な対策を講じることができない場合がほとんど
であり、半導体製造工場における塵埃の撲滅活動にほと
んど役に立たないものであった。
【０００７】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、クリーンルームのような塵埃の非常に少ない
試料空間においても、必要な数の塵埃を短時間で捕集で
きる集塵装置を提供することを目的とする。
であって、クリーンルームのような塵埃の非常に少ない
試料空間においても、必要な数の塵埃を短時間で捕集で
きる集塵装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
を達成するために、次のように構成している。
【０００９】すなわち、本発明の集塵装置は、塵埃を含
む試料空間から引き込んだ試料中の塵埃を集約する集約
手段と、前記集約手段からの試料を引き込んで集約され
た塵埃をフィルタに捕集する捕集手段と、前記フィルタ
を交換する交換手段と、前記集約手段および前記捕集手
段を清浄化する清浄化手段と、前記集約手段および前記
捕集手段の引き込み力を発生させる動力手段と、前記集
約手段、捕集手段、交換手段、清浄化手段および動力手
段の各動作を制御する制御手段と、を備えている。
む試料空間から引き込んだ試料中の塵埃を集約する集約
手段と、前記集約手段からの試料を引き込んで集約され
た塵埃をフィルタに捕集する捕集手段と、前記フィルタ
を交換する交換手段と、前記集約手段および前記捕集手
段を清浄化する清浄化手段と、前記集約手段および前記
捕集手段の引き込み力を発生させる動力手段と、前記集
約手段、捕集手段、交換手段、清浄化手段および動力手
段の各動作を制御する制御手段と、を備えている。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、集約手段によって塵埃を集
約した後、フィルタで塵埃を捕集するので、捕集に要す
る時間を短縮することが可能となる。
約した後、フィルタで塵埃を捕集するので、捕集に要す
る時間を短縮することが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の一実施例の概略構成図で
あり、上述の従来例に対応する部分には、同一の参照符
を付す。
あり、上述の従来例に対応する部分には、同一の参照符
を付す。
【００１３】同図において、１は塵埃２を含む試料空
間、２５は試料を引き込む際に試料空間１を極力乱さな
いためのホーン、３は配管４を介して試料空間から引き
込んだ試料中の塵埃を集約する集約手段としてのサイク
ロン、５はサイクロン３からの試料を引き込んで集約さ
れた塵埃をフィルタに捕集する捕集手段であり、この捕
集手段５は、サイクロン３の下部に連通した収納部から
成っており、内部にフィルタ６を保持したフィルタホル
ダ７がセットされる。
間、２５は試料を引き込む際に試料空間１を極力乱さな
いためのホーン、３は配管４を介して試料空間から引き
込んだ試料中の塵埃を集約する集約手段としてのサイク
ロン、５はサイクロン３からの試料を引き込んで集約さ
れた塵埃をフィルタに捕集する捕集手段であり、この捕
集手段５は、サイクロン３の下部に連通した収納部から
成っており、内部にフィルタ６を保持したフィルタホル
ダ７がセットされる。
【００１４】９は捕集手段５のフィルタホルダ７を、カ
ートリッジ８に収納したり、該カートリッジ８に収納さ
れている新しいフィルタホルダ７を捕集手段５にセット
するフィルタホルダ７の交換手段、１０は清浄動作時に
サイクロン３および捕集手段５の内壁に清浄エアーを吹
き付けて清浄化する清浄化手段、１１はサイクロン３お
よび捕集手段５の引き込み力を発生させる動力手段とし
てのポンプ、１２はポンプ１１からのエアを清浄化する
清浄化フィルタ、１３はフレキシブルチューブからなる
配管、１４〜１８は操作バルブ、１９は各部を制御する
制御手段である。
ートリッジ８に収納したり、該カートリッジ８に収納さ
れている新しいフィルタホルダ７を捕集手段５にセット
するフィルタホルダ７の交換手段、１０は清浄動作時に
サイクロン３および捕集手段５の内壁に清浄エアーを吹
き付けて清浄化する清浄化手段、１１はサイクロン３お
よび捕集手段５の引き込み力を発生させる動力手段とし
てのポンプ、１２はポンプ１１からのエアを清浄化する
清浄化フィルタ、１３はフレキシブルチューブからなる
配管、１４〜１８は操作バルブ、１９は各部を制御する
制御手段である。
【００１５】図２および図３は、この実施例の集塵装置
の捕集動作および清浄動作を説明するための概略構成を
示す斜視図であり、図１に対応する部分には、同一の参
照符を付す。なお、この図２および図３では、配管４，
１３は省略しており、各動作におけるエアーの流れを実
線でそれぞれ示している。
の捕集動作および清浄動作を説明するための概略構成を
示す斜視図であり、図１に対応する部分には、同一の参
照符を付す。なお、この図２および図３では、配管４，
１３は省略しており、各動作におけるエアーの流れを実
線でそれぞれ示している。
【００１６】塵埃を集約するサイクロン３のキャップ３
ａは、制御手段１９によって制御される駆動モータ２０
ａ，２０ｂによって上下方向および水平方向に移動可能
に構成されており、捕集動作時は、サイクロン３の本体
３ｂに取り付けられ、清浄動作時には、サイクロン本体
３ｂから取り外されるようになっている。
ａは、制御手段１９によって制御される駆動モータ２０
ａ，２０ｂによって上下方向および水平方向に移動可能
に構成されており、捕集動作時は、サイクロン３の本体
３ｂに取り付けられ、清浄動作時には、サイクロン本体
３ｂから取り外されるようになっている。
【００１７】捕集手段５の下部５ａは、フィルタホルダ
７の交換を可能にするために、図示しない駆動モータに
よって上下方向に移動可能に構成されている。
７の交換を可能にするために、図示しない駆動モータに
よって上下方向に移動可能に構成されている。
【００１８】この実施例では、サイクロン３および捕集
手段５の内壁は、電界研磨によって鏡面仕上げされてお
り、塵埃による内部汚染を改善するようにしている。
手段５の内壁は、電界研磨によって鏡面仕上げされてお
り、塵埃による内部汚染を改善するようにしている。
【００１９】捕集手段５のフィルタホルダ７を、カート
リッジ８に収納したり、あるいは、カートリッジ８から
の新しいフィルタホルダ７を捕集手段５にセットするフ
ィルタホルダ７の交換手段９は、捕集手段５とカートリ
ッジ８との間でフィルタホルダ７を移送する移送用爪２
１と、該移送用爪２１を駆動する駆動モータ２２と、フ
ィルタホルダ７が配列収納されているカートリッジ８
を、上下方向に移動させる駆動モータ２３とを備えてい
る。
リッジ８に収納したり、あるいは、カートリッジ８から
の新しいフィルタホルダ７を捕集手段５にセットするフ
ィルタホルダ７の交換手段９は、捕集手段５とカートリ
ッジ８との間でフィルタホルダ７を移送する移送用爪２
１と、該移送用爪２１を駆動する駆動モータ２２と、フ
ィルタホルダ７が配列収納されているカートリッジ８
を、上下方向に移動させる駆動モータ２３とを備えてい
る。
【００２０】サイクロン３および捕集手段５を清浄化す
る清浄化手段１０は、清浄動作時にサイクロン本体３ｂ
内に挿入されてサイクロン３および捕集手段５の内壁に
清浄エアーを吹き付けるとともに、サイクロン３および
捕集手段５内部のエアーを吸い込む清浄化ヘッド１０ａ
と、この清浄化ヘッド１０ａを上下方向に移動させる駆
動モータ１０ｂとを備えており、捕集動作時は、清浄化
ヘッド１０ａをサイクロン本体３ｂの上方位置に保持
し、清浄動作時には、清浄化ヘッド１０ａをサイクロン
本体３ｂ内に挿入する。
る清浄化手段１０は、清浄動作時にサイクロン本体３ｂ
内に挿入されてサイクロン３および捕集手段５の内壁に
清浄エアーを吹き付けるとともに、サイクロン３および
捕集手段５内部のエアーを吸い込む清浄化ヘッド１０ａ
と、この清浄化ヘッド１０ａを上下方向に移動させる駆
動モータ１０ｂとを備えており、捕集動作時は、清浄化
ヘッド１０ａをサイクロン本体３ｂの上方位置に保持
し、清浄動作時には、清浄化ヘッド１０ａをサイクロン
本体３ｂ内に挿入する。
【００２１】清浄化ヘッド１０ａは、図４に示されるよ
うに、清浄化エアーを吹き付ける吹き出し孔１０ｃと、
サイクロン３内のエアーを吸い込む吸い込み孔１０ｄと
が多数形成されている。
うに、清浄化エアーを吹き付ける吹き出し孔１０ｃと、
サイクロン３内のエアーを吸い込む吸い込み孔１０ｄと
が多数形成されている。
【００２２】以上の各駆動モータ２０ａ，２０ｂ，１０
ｂ２２，２３やフレキシブルチューブからなる配管１３
の途中に設けられている操作バルブ１４〜１８なども、
制御手段１９によって制御される。
ｂ２２，２３やフレキシブルチューブからなる配管１３
の途中に設けられている操作バルブ１４〜１８なども、
制御手段１９によって制御される。
【００２３】次に、上記構成を有する集塵装置の動作を
説明する。
説明する。
【００２４】先ず、図２に示される捕集動作時において
は、交換手段９によってカートリッジ８から捕集手段５
にフィルタホルダ７がセットされており、この状態でポ
ンプ１１を駆動させると、塵埃を含む試料空間１から配
管４を介して試料がサイクロン３に引き込まれ、試料中
に含まれる塵埃は、サイクロン３で一旦集約されて捕集
手段５に入り、捕集手段５のフィルタ６表面に捕集さ
れ、塵埃を除かれた試料は、操作バルブ１８を介してポ
ンプ１１に至り、一方、サイクロン３上部の排気も、操
作バルブ１４を介してポンプ１１に至り、このポンプ１
１から清浄化フィルタ１２で清浄化された後、操作バル
ブ１７を介して外部へ排気される。このように清浄化フ
ィルタ１２で清浄化して排気するので、クリーンルーム
に影響を与えることがない。なお、この捕集動作時にお
いては、操作バルブ１５，１６は閉じている。
は、交換手段９によってカートリッジ８から捕集手段５
にフィルタホルダ７がセットされており、この状態でポ
ンプ１１を駆動させると、塵埃を含む試料空間１から配
管４を介して試料がサイクロン３に引き込まれ、試料中
に含まれる塵埃は、サイクロン３で一旦集約されて捕集
手段５に入り、捕集手段５のフィルタ６表面に捕集さ
れ、塵埃を除かれた試料は、操作バルブ１８を介してポ
ンプ１１に至り、一方、サイクロン３上部の排気も、操
作バルブ１４を介してポンプ１１に至り、このポンプ１
１から清浄化フィルタ１２で清浄化された後、操作バル
ブ１７を介して外部へ排気される。このように清浄化フ
ィルタ１２で清浄化して排気するので、クリーンルーム
に影響を与えることがない。なお、この捕集動作時にお
いては、操作バルブ１５，１６は閉じている。
【００２５】この捕集動作時における塵埃のフィルタ６
表面への捕集量は、試料空間に含まれる塵埃の数と、サ
イクロン３の集約効率と、捕集手段５への流量と、フィ
ルタ６の捕集効率と、制御手段１９で管理されている作
動時間とによって算出することができ、目的に応じた捕
集量になった後、制御手段１９は、ポンプ１１を停止さ
せ、交換手段９を動作させて表面に塵埃の付着したフィ
ルタ６を保持したフィルタホルダ７を、カートリッジ８
へ収納する。
表面への捕集量は、試料空間に含まれる塵埃の数と、サ
イクロン３の集約効率と、捕集手段５への流量と、フィ
ルタ６の捕集効率と、制御手段１９で管理されている作
動時間とによって算出することができ、目的に応じた捕
集量になった後、制御手段１９は、ポンプ１１を停止さ
せ、交換手段９を動作させて表面に塵埃の付着したフィ
ルタ６を保持したフィルタホルダ７を、カートリッジ８
へ収納する。
【００２６】本件発明者の実験によると、サイクロン３
に試料を約１ｍ3／ｍｉｎで導入し、捕集手段５に約３
００ｍｌ／ｍｉｎで引き込んだ場合の集約効率は、塵埃
の粒径によって若干異なるけれども、約８０％程度確保
されており、例えば、クラス１０の試料空間の場合、フ
ィルタ６の捕集効率がほぼ９０％であるとすると、１０
０，０００の塵埃を捕集するのに約７時間で済み、従来
の４２日間に比べると大幅に短縮されることになる。
に試料を約１ｍ3／ｍｉｎで導入し、捕集手段５に約３
００ｍｌ／ｍｉｎで引き込んだ場合の集約効率は、塵埃
の粒径によって若干異なるけれども、約８０％程度確保
されており、例えば、クラス１０の試料空間の場合、フ
ィルタ６の捕集効率がほぼ９０％であるとすると、１０
０，０００の塵埃を捕集するのに約７時間で済み、従来
の４２日間に比べると大幅に短縮されることになる。
【００２７】次に、図３に示される清浄動作時において
は、サイクロン３のキャップ３ａが本体３ｂから取り外
され、清浄化ヘッド１０ａがサイクロン本体３ｂ内に挿
入されてセットされる。この状態で、ポンプ１１を駆動
し、清浄化フィルタ１２で清浄化されたエアーを操作バ
ルブ１６を介して清浄化ヘッド１０ａの吹き出し孔１０
ｃからサイクロン３および捕集手段５の内壁に吹き付け
る一方、吸い込み孔１０ｄから吸い込んだエアーを操作
バルブ１５を介してポンプ１１に導いて再び清浄化フィ
ルタ１２に供給してエアーを循環させる。なお、この清
浄動作時においては、操作バルブ１４，１８は閉じてい
る。
は、サイクロン３のキャップ３ａが本体３ｂから取り外
され、清浄化ヘッド１０ａがサイクロン本体３ｂ内に挿
入されてセットされる。この状態で、ポンプ１１を駆動
し、清浄化フィルタ１２で清浄化されたエアーを操作バ
ルブ１６を介して清浄化ヘッド１０ａの吹き出し孔１０
ｃからサイクロン３および捕集手段５の内壁に吹き付け
る一方、吸い込み孔１０ｄから吸い込んだエアーを操作
バルブ１５を介してポンプ１１に導いて再び清浄化フィ
ルタ１２に供給してエアーを循環させる。なお、この清
浄動作時においては、操作バルブ１４，１８は閉じてい
る。
【００２８】この清浄動作の後に、交換手段９によって
カートリッジ８から捕集手段５に新たなフィルタホルダ
７がセットされて以上の捕集動作および清浄動作を繰り
返す。
カートリッジ８から捕集手段５に新たなフィルタホルダ
７がセットされて以上の捕集動作および清浄動作を繰り
返す。
【００２９】このようにしてサイクロン３によって塵埃
を集約した後、フィルタ６で塵埃を捕集するので、捕集
に要する時間を短縮することが可能となり、しかも、捕
集動作と清浄動作とが自動的に行われることになる。
を集約した後、フィルタ６で塵埃を捕集するので、捕集
に要する時間を短縮することが可能となり、しかも、捕
集動作と清浄動作とが自動的に行われることになる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、集約手段
によって塵埃を集約した後、フィルタで塵埃を捕集する
ので、捕集に要する時間を従来例に比べて短縮すること
が可能となる。しかも、捕集動作および清浄化動作を自
動的に行うことが可能である。
によって塵埃を集約した後、フィルタで塵埃を捕集する
ので、捕集に要する時間を従来例に比べて短縮すること
が可能となる。しかも、捕集動作および清浄化動作を自
動的に行うことが可能である。
【図１】本発明の一実施例の概略構成図である。
【図２】図１の実施例の捕集動作時の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】図１の実施例の清浄動作時の構成を示す図であ
る。
る。
【図４】清浄化ヘッドの構成を示す一部断面図である。
【図５】従来例の概略構成図である。
１ 試料空間 ２ 塵埃 ３ サイクロン（集約手段） ５ 捕集手段 ６ フィルタ ９ 交換手段 １０ 清浄化手段 １１ ポンプ（動力手段） １９ 制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ 8518−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 塵埃を含む試料空間から引き込んだ試料
中の塵埃を集約する集約手段と、 前記集約手段からの試料を引き込んで集約された塵埃を
フィルタに捕集する捕集手段と、 前記フィルタを交換する交換手段と、 前記集約手段および前記捕集手段を清浄化する清浄化手
段と、 前記集約手段および前記捕集手段の引き込み力を発生さ
せる動力手段と、 前記集約手段、捕集手段、交換手段、清浄化手段および
動力手段の各動作を制御する制御手段と、 を備えることを特徴とする集塵装置。 - 【請求項２】 前記集約手段は、試料の対流を利用して
塵埃を集約するサイクロンである前記請求項第１項に記
載の集塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215315A JP2918361B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 集塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215315A JP2918361B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 集塵装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552716A true JPH0552716A (ja) | 1993-03-02 |
| JP2918361B2 JP2918361B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=16670281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3215315A Expired - Lifetime JP2918361B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 集塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2918361B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082696A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-04-10 | Taisei Corp | 集塵排気システム |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4894067A (ja) * | 1972-03-14 | 1973-12-04 | ||
| JPS6171823A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-04-12 | ケルンフオルシユングスツエントルム・カ−ルスル−エ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 固体物質で負荷された廃ガス流の有害物質含有量を長期間測定及び連続監視する方法 |
| JPH01254270A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-11 | Rheon Autom Mach Co Ltd | 粉体回収装置 |
| JPH01165500U (ja) * | 1988-05-11 | 1989-11-20 | ||
| JPH0240212A (ja) * | 1988-07-21 | 1990-02-09 | Univ Minnesota | Ｐｍ１０サンプル用入口装置およびサンプル装置 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP3215315A patent/JP2918361B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS4894067A (ja) * | 1972-03-14 | 1973-12-04 | ||
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2918361B2 (ja) | 1999-07-12 |
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