【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
磁気記録媒体としては、従来記録媒体の表面と
平行する方向、つまり面内方向の磁化を用いる方
式が実用になつている。しかしこのように面内方
向の磁化を用いる方式では記録波長を短かくする
と記録媒体内の減磁界が増加するため、高密度記
録にも自ずと限界がある。
そこで最近記録媒体表面と直交する方向の磁化
を利用することで短波長での媒体内減磁界を減少
させる垂直磁気記録方式が考えられている。
一方磁気記録はその利用度の大きさから、大量
の磁気記録媒体を必要とするため、新しい媒体と
いえどもその生産性は、従来実用になつている、
酸化鉄微粒子を結合剤で基板上に固定した、いわ
ゆる塗布型媒体と同等以上であることが望まれ
る。
従つて面内磁化、垂直磁化を問わず、有望視さ
れているのは、電子ビーム蒸着法である。
第１図は、電子ビーム蒸着により磁気記録媒体
を製造する場合の装置の主要構成図である。
第１図で１は、高分子基板、２，３は円筒状キ
ヤン、４，５は蒸発源容器、６，７は蒸着材料、
８はマスク、９，１０はスリツト、１１は送り出
し軸、１２は巻取り軸である。１３はフリーロー
ラーである。
第２図は、磁気記録媒体の一例である。第２図
で１４は高分子基板、１５は軟磁性層、１６は垂
直磁化層で、１７は保護層である。
かかる構成の媒体は、バツチ式で得た小面積の
デイスクに於ては、高密度記録を確認している
が、大量生産規模では未だそのレベルに達してい
ない。
特に雑音が大きくなり、ロツト内でのバラツキ
ロツト間の再現性が実用水準にないのが実状であ
る。
かかる媒体は、少量であれば、膜形成速度が極
めて小さい、高周波スパツタリング法により製造
してもよいが、これでも巻取りながら（第１図で
蒸発源をスパツタカソードに置きかえたものを想
定すればよい。）製造する時、バツチ式で得られ
る高性能には到達してないなど、高分子基板を巻
取りながらの膜形成は課題が残されている。
発明の目的
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、雑音
の少い磁気記録媒体の製造方法を提供するもので
ある。
発明の構成
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、基板の幅
を1m以上として、巻取り蒸着することを特徴と
するもので、雑音の少ない磁気記録媒体の製造に
適するものである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例について詳説する。
本発明の製法の限定要件は、第１図で用いる高
分子基板の幅を1m以上とすることである。
この幅の限定は、高分子基板の厚みと無関係で
はないのは勿論であるが、高密度記録の指向のひ
とつに体積記録密度のかん点と、薄膜磁性層を磁
気記録層とする磁気記録媒体は、薄形化に向いて
いることから、高分子基板が15μm以上で設計さ
れることはないとの前提にたつている。
又幅が1m以上との臨界値の存在理由の最大の
ものは、張力の影響からくる雑音の成分を極小に
おさえるためのもので、幅を広げることで張力は
幅方向の単位長さ当りに小さくできることが、基
板の物性の不均一性を吸収できることにつながり
結果的に、薄膜の応力むらを軽減し、磁気的な均
一性の保持に役立ち、雑音が小さくできるものと
考えられるものである。
第３図はその様子を示したものである。
磁歪の影響が無視できるようになるのに、線張
力密度が100〔ｇ／cm〕になれば良いことが第３図
より理解できる。夫々の特性に幅があるのは、基
板の厚みを変化させ、且つ、磁性薄膜の種類も変
化させているからであるが、本発明の要件を満足
すれば、用いられうる基板の範囲では良好な結果
が得られることがわかる。
本発明に用いることの出来る基板は、厚み
15μm以下のポリエステル類、ポリアミド、ポリ
アミドイミド、ポリイミド等で、磁性層は、Co，
Co−Ni，Co−Cr，Co−Ti，Co−Ｖ，Co−Mo，
Co−Mn，Co−Mg，Co−Sn，Co−Zn−Ｐ，Co
−Ni−Ｐ，Co−Ｏ，Co−Ni−Ｏ，Co−Mg−Ｏ
等で磁化容易軸の方向に無関係に用いることがで
きる。
又、本発明は磁気テープに限らず、磁気デイス
クの製造に於ても適用できるのは勿論である。
以下、さらに具体的に一実施例について説明す
る。
〔実施例〕
厚みと幅の異なるポリエチレンテレフタレート
を準備して、80％Ni−20％Feからなる軟磁性層
を0.4μm形成し、その上にCo−Cr（Cr，20％）垂
直磁化膜を0.15μm形成し、８mm幅にスリツトし
て、磁気テープを得た。
このテープを夫々、リターンパスを有する薄膜
磁気ヘツドで記録再生し、信号対雑音化（Ｓ／
Ｎ）の長手、幅の変化を調べた。
外観については、磁気テープとして不良となる
原因について記した。
特性は、幅方向、長手方向について夫々任意に
20点サンプリングして、変動で示した。
INDUSTRIAL APPLICATION FIELD The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic recording medium. Conventional Structures and Their Problems Conventional magnetic recording media have come into practical use using magnetization in a direction parallel to the surface of the recording medium, that is, in an in-plane direction. However, in such a system that uses magnetization in the in-plane direction, the demagnetizing field within the recording medium increases when the recording wavelength is shortened, so there is a natural limit to high-density recording. Recently, a perpendicular magnetic recording system has been considered in which the demagnetization field within the medium at short wavelengths is reduced by utilizing magnetization in a direction perpendicular to the surface of the recording medium. On the other hand, magnetic recording requires a large amount of magnetic recording media due to the degree of its use, so even though it is a new medium, its productivity has been limited until it has been put into practical use.
It is desired that the performance is equivalent to or higher than that of a so-called coating type medium in which iron oxide fine particles are fixed onto a substrate with a binder. Therefore, regardless of in-plane magnetization or perpendicular magnetization, the electron beam evaporation method is considered promising. FIG. 1 is a main configuration diagram of an apparatus for manufacturing magnetic recording media by electron beam evaporation. In Fig. 1, 1 is a polymer substrate, 2 and 3 are cylindrical cans, 4 and 5 are evaporation source containers, 6 and 7 are evaporation materials,
8 is a mask, 9 and 10 are slits, 11 is a feeding shaft, and 12 is a winding shaft. 13 is a free roller. FIG. 2 is an example of a magnetic recording medium. In FIG. 2, 14 is a polymer substrate, 15 is a soft magnetic layer, 16 is a perpendicular magnetization layer, and 17 is a protective layer. Although high-density recording has been confirmed in small-area disks obtained by batch type media with such a configuration, this level has not yet been achieved on a mass production scale. In particular, the noise becomes large, and the actual situation is that the reproducibility between lots is not at a practical level due to variations within a lot. Such a medium may be produced in small quantities by high-frequency sputtering, which has an extremely low film formation rate; ) During manufacturing, there are still issues with forming a film while winding a polymer substrate, such as not achieving the high performance that can be achieved with the batch method. Purpose of the Invention The present invention was made in view of the above circumstances, and provides a method for manufacturing a magnetic recording medium with less noise. Structure of the Invention The method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention is characterized in that the width of the substrate is 1 m or more and the deposition is performed by winding, and is suitable for manufacturing a magnetic recording medium with less noise. DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. A limiting requirement of the manufacturing method of the present invention is that the width of the polymer substrate used in FIG. 1 is 1 m or more. Of course, this width limitation is not unrelated to the thickness of the polymer substrate, but one of the aims of high-density recording is the volume recording density and the magnetic recording medium that uses a thin film magnetic layer as the magnetic recording layer. is based on the premise that polymer substrates will not be designed with a thickness of 15 μm or more because they are suitable for thinning. The main reason for the existence of the critical width of 1m or more is to minimize the noise component caused by the influence of tension; by widening the width, the tension can be reduced per unit length in the width direction. It is believed that being able to make it smaller allows it to absorb non-uniformity in the physical properties of the substrate, thereby reducing stress unevenness in the thin film, helping to maintain magnetic uniformity, and reducing noise. Figure 3 shows this situation. It can be seen from Figure 3 that the linear tension density needs to be 100 [g/cm] for the influence of magnetostriction to become negligible. The reason why there is a wide range of characteristics is that the thickness of the substrate and the type of magnetic thin film are changed, but as long as the requirements of the present invention are satisfied, the characteristics are good within the range of substrates that can be used. It can be seen that good results can be obtained. The substrate that can be used in the present invention has a thickness of
The magnetic layer is made of polyester, polyamide, polyamideimide, polyimide, etc. with a diameter of 15 μm or less, and the magnetic layer is made of Co,
Co-Ni, Co-Cr, Co-Ti, Co-V, Co-Mo,
Co-Mn, Co-Mg, Co-Sn, Co-Zn-P, Co
-Ni-P, Co-O, Co-Ni-O, Co-Mg-O
etc., it can be used regardless of the direction of the axis of easy magnetization. Furthermore, the present invention is of course applicable not only to the production of magnetic tapes but also to the production of magnetic disks. An example will be described in more detail below. [Example] Prepare polyethylene terephthalate with different thicknesses and widths, form a soft magnetic layer of 0.4 μm consisting of 80% Ni-20% Fe, and coat a Co-Cr (Cr, 20%) perpendicular magnetization film on top of it. A magnetic tape was obtained by forming a 0.15 μm film and slitting it into a width of 8 mm. Each of these tapes is recorded and played back using a thin-film magnetic head with a return path, and signal-to-noise conversion (S/
N) was examined for changes in length and width. Regarding the appearance, we have described the causes of failure as a magnetic tape. Characteristics can be set arbitrarily in the width direction and longitudinal direction.
20 points were sampled and the variation is shown.
【表】【table】
【表】
上表より明らかなように、特にパーマロイ薄膜
を形成する過程で本発明の効果が大きいため、
Ｓ／Ｎの均一性は本発明以外のものは実用になら
ない。
尚、垂直磁化膜１層からなる媒体、面内磁化膜
からなる媒体についても、本発明の改良効果は確
認した。
発明の効果
以上のように、本発明は、高分子基板の幅を１
ｍ以上となし、単位幅長さ当りの張力を100ｇ以
下の状態で巻取り蒸着することで、歪みによる雑
音の発生を抑えて、Ｓ／Ｎの改良された磁気記録
媒体を大量に生産できるものでその実用的効果は
大きい。[Table] As is clear from the above table, the effect of the present invention is particularly large in the process of forming permalloy thin films.
With respect to S/N uniformity, anything other than the present invention cannot be put to practical use. The improvement effect of the present invention was also confirmed for a medium consisting of a single layer of perpendicular magnetization film and a medium consisting of a single layer of in-plane magnetization film. Effects of the Invention As described above, the present invention can reduce the width of the polymer substrate by 1
By winding and vapor depositing with a tension of 100 g or less per unit width and length, it is possible to suppress the generation of noise due to distortion and mass produce magnetic recording media with improved S/N. Its practical effects are great.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
第１図は、磁気記録媒体の製造に利用される蒸
着装置の一例を示す図、第２図は、磁気記録媒体
の一例を示す断面図、第３図は、本発明の要件を
説明するための図である。
１……高分子基板、２，３……円筒状キヤン、
６，７……蒸着材料。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a vapor deposition apparatus used for manufacturing a magnetic recording medium, FIG. 2 is a sectional view showing an example of a magnetic recording medium, and FIG. 3 is a diagram for explaining the requirements of the present invention. This is a diagram. 1... Polymer substrate, 2, 3... Cylindrical can,
6,7... Vapor deposition material.