JPH0547822A - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
- Publication number
- JPH0547822A JPH0547822A JP3201670A JP20167091A JPH0547822A JP H0547822 A JPH0547822 A JP H0547822A JP 3201670 A JP3201670 A JP 3201670A JP 20167091 A JP20167091 A JP 20167091A JP H0547822 A JPH0547822 A JP H0547822A
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- JP
- Japan
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- horn
- linear motor
- rotor yoke
- yoke
- coil
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78301—Capillary
-
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78343—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure by ultrasonic vibrations
- H01L2224/7835—Stable and mobile yokes
Landscapes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コアに巻回されたコイルの熱の放熱面積を広
くして駆動中のリニヤモータの発熱温度を低下させる。 【構成】 先端部に押圧ツール２を保持するホーン１
と、このホーン１を回転軸６を中心に上下方向に回転さ
せるリニヤモータ４とを備え、このリニヤモータ４が、
上記ホーン１が取り付けられて、外面にマグネット８が
装着されたロータヨーク５と、このロータヨーク５の外
面に対向するステータヨーク９とから成り、このステー
タヨーク９のコイル１１が巻回されたコア１０を上記ロ
ータヨーク５と反対側に突設させてボンディング装置を
構成した。
くして駆動中のリニヤモータの発熱温度を低下させる。 【構成】 先端部に押圧ツール２を保持するホーン１
と、このホーン１を回転軸６を中心に上下方向に回転さ
せるリニヤモータ４とを備え、このリニヤモータ４が、
上記ホーン１が取り付けられて、外面にマグネット８が
装着されたロータヨーク５と、このロータヨーク５の外
面に対向するステータヨーク９とから成り、このステー
タヨーク９のコイル１１が巻回されたコア１０を上記ロ
ータヨーク５と反対側に突設させてボンディング装置を
構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンディング装置に係
り、詳しくは、リニヤモータのステータヨークのコアを
ロータヨークと反対側に向けて突設することにより、コ
アに巻回されたコイルの放熱面積を広くして駆動中のリ
ニヤモータの温度の異常上昇や、これにともなうコイル
の焼き付けを解消するようにしたものである。
り、詳しくは、リニヤモータのステータヨークのコアを
ロータヨークと反対側に向けて突設することにより、コ
アに巻回されたコイルの放熱面積を広くして駆動中のリ
ニヤモータの温度の異常上昇や、これにともなうコイル
の焼き付けを解消するようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップの電極と基板の電極を接続
するワイヤボンディング、フィルムキャリアのリードと
半導体チップの電極をボンディングするシングルポイン
トＴＡＢ、フリップチップ等のスタッドバンプの形成な
どを行う際には、先端部にキャピラリツールやウエッジ
ツールなどの押圧ツールを取り付けたホーンを、上下方
向に揺動させることにより、所定のボンディングを行っ
ている。
するワイヤボンディング、フィルムキャリアのリードと
半導体チップの電極をボンディングするシングルポイン
トＴＡＢ、フリップチップ等のスタッドバンプの形成な
どを行う際には、先端部にキャピラリツールやウエッジ
ツールなどの押圧ツールを取り付けたホーンを、上下方
向に揺動させることにより、所定のボンディングを行っ
ている。
【０００３】ホーンを揺動させるための駆動手段として
は、リニヤモータが多用されている。リニヤモータは、
互いにギャップをおいて配設されたロータヨークとステ
ータヨークを有しており、ステータヨークのコアに巻回
されたコイルに給電して、ロータヨークとステータヨー
クの間に磁気力を発生させることにより、ロータヨーク
を回転させて、このロータヨークに結合されたホーンを
揺動させるようになっている。
は、リニヤモータが多用されている。リニヤモータは、
互いにギャップをおいて配設されたロータヨークとステ
ータヨークを有しており、ステータヨークのコアに巻回
されたコイルに給電して、ロータヨークとステータヨー
クの間に磁気力を発生させることにより、ロータヨーク
を回転させて、このロータヨークに結合されたホーンを
揺動させるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来手
段では、ステータヨークは、コイルが巻回されたコア側
をロータヨークに対向するように配置されていたため、
駆動中のコイルの発熱が、このロータヨークとステータ
ヨークの間の狭い空間にこもって、十分に放熱できず、
リニヤモータの温度は異常上昇して、最悪の場合にはコ
イルの焼き付けを起こすという問題点があった。
段では、ステータヨークは、コイルが巻回されたコア側
をロータヨークに対向するように配置されていたため、
駆動中のコイルの発熱が、このロータヨークとステータ
ヨークの間の狭い空間にこもって、十分に放熱できず、
リニヤモータの温度は異常上昇して、最悪の場合にはコ
イルの焼き付けを起こすという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、駆動中のリニヤモータの
温度の異常上昇や、これにともなうコイルの焼き付けを
解消できるボンディング装置を提供することを目的とす
る。
温度の異常上昇や、これにともなうコイルの焼き付けを
解消できるボンディング装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、先
端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンを回
転軸を中心に上下方向に回転させるリニヤモータとを備
えたボンディング装置において、リニヤモータのステー
タヨークのコイルが巻回されたコアをロータヨークと反
対側に向けて突設したものである。
端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンを回
転軸を中心に上下方向に回転させるリニヤモータとを備
えたボンディング装置において、リニヤモータのステー
タヨークのコイルが巻回されたコアをロータヨークと反
対側に向けて突設したものである。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、コイルに給電すると、この
コイルは発熱するが、ステータヨークのコアはロータヨ
ークと反対側に向けて突設されるため、その熱はコアの
放熱フィン効果により外部へ放熱され、したがってコイ
ルの発熱による温度の異常上昇や、これにともなうコイ
ルの焼き付けを解消できる。
コイルは発熱するが、ステータヨークのコアはロータヨ
ークと反対側に向けて突設されるため、その熱はコアの
放熱フィン効果により外部へ放熱され、したがってコイ
ルの発熱による温度の異常上昇や、これにともなうコイ
ルの焼き付けを解消できる。
【０００８】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【０００９】図１は本発明に係るボンディング装置の側
面図、図２は同正面図である。１は先端部にキャピラリ
ツールなどの押圧ツール２を保持するホーンであり、３
はこのホーン１の基端部側が取り付けられたホーンホル
ダである。４はこのホーン１を回転させるリニヤモータ
であって、次にこのリニヤモータ４を詳細に説明する。
面図、図２は同正面図である。１は先端部にキャピラリ
ツールなどの押圧ツール２を保持するホーンであり、３
はこのホーン１の基端部側が取り付けられたホーンホル
ダである。４はこのホーン１を回転させるリニヤモータ
であって、次にこのリニヤモータ４を詳細に説明する。
【００１０】５はこのリニヤモータ４のロータヨークで
あり、ホーンホルダ３の一側面にボルト１５により取り
付けられている。このロータヨーク５は扇形であり、円
弧状外面にはマグネット８が装着されている。６はホー
ン１の回転軸であり、ホーンホルダ３に嵌挿されてい
る。７は回転軸６の軸受である。９はリニヤモータ４の
ステータヨークであって、そのコア１０はロータヨーク
５と反対側に突設されており、各々の４本のコア１０に
はコイル１１が巻回されている。コイル１１に給電する
と、ロータヨーク５は回転軸６を中心に回転するが、そ
の際、磁気力によりこのマグネット８はステータヨーク
９側に強く吸引され、これによりロータヨーク５もステ
ータヨーク９側に強く吸引されて、回転軸６は軸受７に
押接される。このように、回転軸６を磁気力により軸受
７に強く押し付けることにより、ホーン１の揺動時のが
たつきをなくし、押圧荷重や押圧点の安定した良好なボ
ンディングを行うことができる。
あり、ホーンホルダ３の一側面にボルト１５により取り
付けられている。このロータヨーク５は扇形であり、円
弧状外面にはマグネット８が装着されている。６はホー
ン１の回転軸であり、ホーンホルダ３に嵌挿されてい
る。７は回転軸６の軸受である。９はリニヤモータ４の
ステータヨークであって、そのコア１０はロータヨーク
５と反対側に突設されており、各々の４本のコア１０に
はコイル１１が巻回されている。コイル１１に給電する
と、ロータヨーク５は回転軸６を中心に回転するが、そ
の際、磁気力によりこのマグネット８はステータヨーク
９側に強く吸引され、これによりロータヨーク５もステ
ータヨーク９側に強く吸引されて、回転軸６は軸受７に
押接される。このように、回転軸６を磁気力により軸受
７に強く押し付けることにより、ホーン１の揺動時のが
たつきをなくし、押圧荷重や押圧点の安定した良好なボ
ンディングを行うことができる。
【００１１】図１において、１２はボンディング用のワ
イヤ、１３は基板、Ｐはチップである。
イヤ、１３は基板、Ｐはチップである。
【００１２】本装置は上記のような構成により成り、次
に動作を説明する。図１において、コイル１１に給電す
ると、ホーン１は回転軸６を中心に上下方向に揺動し、
ワイヤボンディングが行われる。その際、ロータヨーク
５は磁気力によりステータヨーク９側に吸引されている
ので、回転軸６は軸受７にしっかり押接され、したがっ
てホーン１はがたつきなく揺動しながら、ワイヤボンデ
ィングが行われる。
に動作を説明する。図１において、コイル１１に給電す
ると、ホーン１は回転軸６を中心に上下方向に揺動し、
ワイヤボンディングが行われる。その際、ロータヨーク
５は磁気力によりステータヨーク９側に吸引されている
ので、回転軸６は軸受７にしっかり押接され、したがっ
てホーン１はがたつきなく揺動しながら、ワイヤボンデ
ィングが行われる。
【００１３】また、このコイル１１への給電に伴ってコ
イル１１は発熱するが、ステータヨーク９のコア１０は
ロータヨーク５と反対側に向けられているため、コア１
０に巻回されたコイル１１の熱は、従来手段のようにロ
ータヨーク５とステータヨーク９の間の狭い空間にこも
ることなく外部へ放熱される。したがって、駆動中のリ
ニヤモータ４の温度上昇や、これにともなうコイル１１
の焼き付けを防止するとができる。このように本手段
は、コイル１１が巻回されるコア１０を放熱フィンとし
て兼務させるものである。
イル１１は発熱するが、ステータヨーク９のコア１０は
ロータヨーク５と反対側に向けられているため、コア１
０に巻回されたコイル１１の熱は、従来手段のようにロ
ータヨーク５とステータヨーク９の間の狭い空間にこも
ることなく外部へ放熱される。したがって、駆動中のリ
ニヤモータ４の温度上昇や、これにともなうコイル１１
の焼き付けを防止するとができる。このように本手段
は、コイル１１が巻回されるコア１０を放熱フィンとし
て兼務させるものである。
【００１４】なお、上記実施例は、ワイヤボンディング
を例にとって説明したが、本手段はシングルポイントＴ
ＡＢやスタッドバンプなどのボンディング手段にも適用
できる。
を例にとって説明したが、本手段はシングルポイントＴ
ＡＢやスタッドバンプなどのボンディング手段にも適用
できる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、先端部に
押圧ツールを保持するホーンと、このホーンを回転軸を
中心に上下方向に回転させるリニヤモータとを備え、こ
のリニヤモータが、上記ホーンが取り付けられて、外面
にマグネットが装着されたロータヨークと、このロータ
ヨークの外面に対向するステータヨークとから成り、こ
のステータヨークのコアを上記ロータヨークと反対側に
突設させているので、コイルの発熱は、コアの放熱フィ
ン効果により外部へ放熱されることとなり、駆動中の温
度の異常上昇を防止してコイルの焼き付けを解消でき
る。またコアを外側に突設したことにより、コアに対す
るコイルの巻線作業を行いやすく、コストダウンを図る
こともできる。
押圧ツールを保持するホーンと、このホーンを回転軸を
中心に上下方向に回転させるリニヤモータとを備え、こ
のリニヤモータが、上記ホーンが取り付けられて、外面
にマグネットが装着されたロータヨークと、このロータ
ヨークの外面に対向するステータヨークとから成り、こ
のステータヨークのコアを上記ロータヨークと反対側に
突設させているので、コイルの発熱は、コアの放熱フィ
ン効果により外部へ放熱されることとなり、駆動中の温
度の異常上昇を防止してコイルの焼き付けを解消でき
る。またコアを外側に突設したことにより、コアに対す
るコイルの巻線作業を行いやすく、コストダウンを図る
こともできる。
【図１】本発明に係るボンディング装置の側面図
【図２】同装置の正面図
１ ホーン ２ 押圧ツール ４ リニヤモータ ５ ロータヨーク ６ 回転軸 ８ マグネット ９ ステータヨーク １０ コア １１ コイル
Claims (1)
- 【請求項１】先端部に押圧ツールを保持するホーンと、
このホーンを回転軸を中心に上下方向に回転させるリニ
ヤモータとを備え、このリニヤモータが、上記ホーンが
取り付けられて、外面にマグネットが装着されたロータ
ヨークと、このロータヨークの外面に対向するステータ
ヨークとから成り、このステータヨークのコイルが巻回
されたコアを上記ロータヨークと反対側に向けて突設し
たことを特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201670A JPH0547822A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201670A JPH0547822A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547822A true JPH0547822A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16444955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201670A Pending JPH0547822A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547822A (ja) |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP3201670A patent/JPH0547822A/ja active Pending
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