JPH0546944A - 薄膜磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0546944A JPH0546944A JP20419691A JP20419691A JPH0546944A JP H0546944 A JPH0546944 A JP H0546944A JP 20419691 A JP20419691 A JP 20419691A JP 20419691 A JP20419691 A JP 20419691A JP H0546944 A JPH0546944 A JP H0546944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cut
- magnetic head
- core
- chip
- dummy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は薄膜磁気ヘッドのギヤップ深さを正
確に観察可能にし、且つ、磁気ヘッドの小型化を実現す
るために成された。 【構成】複数個連続して成膜される薄膜磁気ヘッド用チ
ップの切断面にコア本体と同様の形状のダミーコアを設
け、切断されたときこのダミーコアがチップ側面に露出
するようにし、このチップを観察しながら媒体接触面を
研磨する。
確に観察可能にし、且つ、磁気ヘッドの小型化を実現す
るために成された。 【構成】複数個連続して成膜される薄膜磁気ヘッド用チ
ップの切断面にコア本体と同様の形状のダミーコアを設
け、切断されたときこのダミーコアがチップ側面に露出
するようにし、このチップを観察しながら媒体接触面を
研磨する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁気ディスクや磁気テ
ープ等の磁気記録媒体にデータのリードライトを行う薄
膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
ープ等の磁気記録媒体にデータのリードライトを行う薄
膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドはフェライト基板上に絶
縁層やインダクタンス層等をメッキやスパッタ法等で成
形してチップを製造したのち、このチップに保護板を接
着し、媒体に接触する断面（媒体接触面）が磁気回路部
から所定の長さになるように平滑に研磨して製造され
る。図３に基板上に成形され個別に切断されたチップの
例を示す。このチップは誘導型磁気ヘッド用のチップで
ある。基板１の上に下部コア２，絶縁層４，上部コア５
が形成されている。この薄膜磁気ヘッドの精度はデータ
読み取りのための上部コア５の長さ（ギャップの深さ）
に大きく依存するためこの長さが一定になるように媒体
接触面Ａを研磨しなければならない。しかし、上部コア
５は絶縁層４や保護板に覆われているため、この長さを
観察しながら研磨することができない。そこで、従来は
図３に示すように上部コア５の両側にマーカ８を設け、
このマーカ８が媒体接触面Ａに露出したとき、その長さ
まで研磨されたことを確認できるようにしていた。
縁層やインダクタンス層等をメッキやスパッタ法等で成
形してチップを製造したのち、このチップに保護板を接
着し、媒体に接触する断面（媒体接触面）が磁気回路部
から所定の長さになるように平滑に研磨して製造され
る。図３に基板上に成形され個別に切断されたチップの
例を示す。このチップは誘導型磁気ヘッド用のチップで
ある。基板１の上に下部コア２，絶縁層４，上部コア５
が形成されている。この薄膜磁気ヘッドの精度はデータ
読み取りのための上部コア５の長さ（ギャップの深さ）
に大きく依存するためこの長さが一定になるように媒体
接触面Ａを研磨しなければならない。しかし、上部コア
５は絶縁層４や保護板に覆われているため、この長さを
観察しながら研磨することができない。そこで、従来は
図３に示すように上部コア５の両側にマーカ８を設け、
このマーカ８が媒体接触面Ａに露出したとき、その長さ
まで研磨されたことを確認できるようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、研磨の精度を
向上するためには常時正確な研磨量を知っている必要が
あるが、このためには細かいステップでマーカを設け逐
次そのマーカを確認しながら研磨を進めていかなければ
ならなかった。このため、マーカの本数が増加して薄膜
磁気ヘッドの小型化を妨げる原因となり、また、マーカ
を確認するためには研磨を中断して研磨面（媒体接触
面）を確認しなければならないため研磨作業の効率化を
妨げる欠点があった。
向上するためには常時正確な研磨量を知っている必要が
あるが、このためには細かいステップでマーカを設け逐
次そのマーカを確認しながら研磨を進めていかなければ
ならなかった。このため、マーカの本数が増加して薄膜
磁気ヘッドの小型化を妨げる原因となり、また、マーカ
を確認するためには研磨を中断して研磨面（媒体接触
面）を確認しなければならないため研磨作業の効率化を
妨げる欠点があった。
【０００４】また、磁気ヘッド本体（上部コア５）とマ
ーカ８とは全く異なる構造であるため、パターニング工
程またはエッチング工程によって磁気ヘッド本体とマー
カとの形成位置の関係が微妙に異なり、マーカによる研
磨量読取精度には限界があった。
ーカ８とは全く異なる構造であるため、パターニング工
程またはエッチング工程によって磁気ヘッド本体とマー
カとの形成位置の関係が微妙に異なり、マーカによる研
磨量読取精度には限界があった。
【０００５】この発明は、チップ切断面に磁気ヘッド本
体と同じ構造のダミーコアを形成することにより上記課
題を解決した薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供すること
を目的とする。
体と同じ構造のダミーコアを形成することにより上記課
題を解決した薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の磁気
ヘッド用チップを連続して形成し、これを切断面で個々
のチップに切断したのち媒体接触面を研磨する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、磁気ヘッドの磁気回路部を
形成するとき、同時にこの磁気回路部と同様の断面形状
を有するダミーコアを前記切断面を跨ぐ位置に形成し、
切断後このダミーコアの長さを測定しながら媒体接触面
の研磨を行うことを特徴とする。
ヘッド用チップを連続して形成し、これを切断面で個々
のチップに切断したのち媒体接触面を研磨する薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、磁気ヘッドの磁気回路部を
形成するとき、同時にこの磁気回路部と同様の断面形状
を有するダミーコアを前記切断面を跨ぐ位置に形成し、
切断後このダミーコアの長さを測定しながら媒体接触面
の研磨を行うことを特徴とする。
【０００７】
【作用】この発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法において
は、チップ切断面を跨ぐようにダミーコアを形成した。
このダミーコアはコイルやＭＲ素子などの磁気回路部を
含有していないがその断面形状は全くヘッド本体と同様
のものである。さらに、このダミーコアはチップ切断面
を跨ぐように形成されているため個々のチップに切断さ
れたとき隣合う２個の磁気ヘッドの両側面（切断面）こ
のダミーコアの断面が露出することになる。研磨工程に
おいて側面からこのダミーコアの形状や長さを観察する
ことにより、常に研磨量を正確に知ることができる。
は、チップ切断面を跨ぐようにダミーコアを形成した。
このダミーコアはコイルやＭＲ素子などの磁気回路部を
含有していないがその断面形状は全くヘッド本体と同様
のものである。さらに、このダミーコアはチップ切断面
を跨ぐように形成されているため個々のチップに切断さ
れたとき隣合う２個の磁気ヘッドの両側面（切断面）こ
のダミーコアの断面が露出することになる。研磨工程に
おいて側面からこのダミーコアの形状や長さを観察する
ことにより、常に研磨量を正確に知ることができる。
【０００８】これによって、研磨精度を向上するために
マーカの数を増やす必要がなくなりヘッド全体の小型化
につながる。また、ダミーコアはヘッド本体と同様の構
造であるため同じ工程で形成することができ、工程数を
増やす必要がない。このように、ヘッド本体と同様の工
程で形成されるため、パターニング工程やエッチング工
程の条件がどのように変化してもその位置関係や長さが
変わってしまうことがなくなる。さらに、側面から観察
することができるため、研磨作業を停止することなくそ
の長さを観察することができる。
マーカの数を増やす必要がなくなりヘッド全体の小型化
につながる。また、ダミーコアはヘッド本体と同様の構
造であるため同じ工程で形成することができ、工程数を
増やす必要がない。このように、ヘッド本体と同様の工
程で形成されるため、パターニング工程やエッチング工
程の条件がどのように変化してもその位置関係や長さが
変わってしまうことがなくなる。さらに、側面から観察
することができるため、研磨作業を停止することなくそ
の長さを観察することができる。
【０００９】
【実施例】図１はこの発明の実施例に係る薄膜磁気ヘッ
ド用チップの形成状態を示す図、図２は同薄膜磁気ヘッ
ド用チップを個別に切断した状態を示す図である。この
薄膜磁気ヘッド用チップは図３の示したものと同様誘導
型磁気ヘッド用チップである。この実施例において図３
に示した従来の薄膜磁気ヘッドと同一構成の部分は同一
番号を付して説明を省略する。この実施例においては各
チップの両端部（切断面７）の位置にダミーコア６が形
成されている。このダミーコア６は絶縁層，上部コアを
有し、その外観においてはヘッド本体（上部コア５，磁
気回路部３からなる部分）と全く同様の構成を備えてい
る。ダミーコア６（上部コア形状の部分）は上部コア５
と同様の工程で形成されたものである。図１に示すよう
にダミーコア６は切断面７を跨ぐように成形される。切
断されたときには左右に隣接するそれぞれのチップの切
断面にその断面が露出するようにされている。チップは
図２の９に示すように保護板によって完全に覆われてい
るため内部の状態（上部コア５の長さ）を外部から知る
ことができないが、全く同一の形状のダミーコア６が側
面に露出しているため、この長さａを観察することによ
って上部コア５の長さ（研磨量）を知ることができる。
ド用チップの形成状態を示す図、図２は同薄膜磁気ヘッ
ド用チップを個別に切断した状態を示す図である。この
薄膜磁気ヘッド用チップは図３の示したものと同様誘導
型磁気ヘッド用チップである。この実施例において図３
に示した従来の薄膜磁気ヘッドと同一構成の部分は同一
番号を付して説明を省略する。この実施例においては各
チップの両端部（切断面７）の位置にダミーコア６が形
成されている。このダミーコア６は絶縁層，上部コアを
有し、その外観においてはヘッド本体（上部コア５，磁
気回路部３からなる部分）と全く同様の構成を備えてい
る。ダミーコア６（上部コア形状の部分）は上部コア５
と同様の工程で形成されたものである。図１に示すよう
にダミーコア６は切断面７を跨ぐように成形される。切
断されたときには左右に隣接するそれぞれのチップの切
断面にその断面が露出するようにされている。チップは
図２の９に示すように保護板によって完全に覆われてい
るため内部の状態（上部コア５の長さ）を外部から知る
ことができないが、全く同一の形状のダミーコア６が側
面に露出しているため、この長さａを観察することによ
って上部コア５の長さ（研磨量）を知ることができる。
【００１０】このように切断されたチップの媒体接触面
Ａを研磨する場合には、研磨工程を行いながら側面から
ａを観測することにより、作業を中断しなくても常時正
確な上部コアの長さを知ることができる。なお、チップ
の両側にダミーコアを設けているのは、両側のダミーコ
アの長さの差によって研磨の平行度を知るためである。
Ａを研磨する場合には、研磨工程を行いながら側面から
ａを観測することにより、作業を中断しなくても常時正
確な上部コアの長さを知ることができる。なお、チップ
の両側にダミーコアを設けているのは、両側のダミーコ
アの長さの差によって研磨の平行度を知るためである。
【００１１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ヘッド
本体と同様の断面形状を有するダミーコアを切断面を跨
ぐように形成したことにより、正確な研磨量を常時知る
ことが可能になる。さらに、その観測を側面から行うこ
とができるため、研磨作業を停止することなく作業中に
観察することが可能になる。さらに、磁気ヘッド本体の
成膜と同様の工程でダミーコアが製造されるため、従来
のマーカのようにマーカのみを形成する工程を設ける必
要がなくなり製造工程を簡略化することも可能になると
ともに、パターニング工程やエッチング工程の条件がど
のように変化してもその位置関係や長さが変わってしま
うことがなくなる。
本体と同様の断面形状を有するダミーコアを切断面を跨
ぐように形成したことにより、正確な研磨量を常時知る
ことが可能になる。さらに、その観測を側面から行うこ
とができるため、研磨作業を停止することなく作業中に
観察することが可能になる。さらに、磁気ヘッド本体の
成膜と同様の工程でダミーコアが製造されるため、従来
のマーカのようにマーカのみを形成する工程を設ける必
要がなくなり製造工程を簡略化することも可能になると
ともに、パターニング工程やエッチング工程の条件がど
のように変化してもその位置関係や長さが変わってしま
うことがなくなる。
【図１】この発明に係る薄膜磁気ヘッド用チップの成膜
状態を示す図
状態を示す図
【図２】同薄膜磁気ヘッド用チップを切断した状態を示
す図
す図
【図３】従来の薄膜磁気ヘッド用チップを示す図
５ 上部コア ６ ダミーコア ７ 切断面
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の磁気ヘッド用チップを連続して形
成し、これを切断面で個々のチップに切断したのち媒体
接触面を研磨する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 磁気ヘッドの磁気回路部を形成するとき、同時にこの磁
気回路部と同様の断面形状を有するダミーコアを前記切
断面を跨ぐ位置に形成し、切断後このダミーコアの長さ
を測定しながら媒体接触面の研磨を行うことを特徴とす
る薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20419691A JPH0546944A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20419691A JPH0546944A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0546944A true JPH0546944A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16486426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20419691A Pending JPH0546944A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0546944A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6906893B2 (en) | 2002-10-08 | 2005-06-14 | Hitachi Global Storage Technologies | Magnetic head coil and structure for protecting same during pole notch processing |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP20419691A patent/JPH0546944A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6906893B2 (en) | 2002-10-08 | 2005-06-14 | Hitachi Global Storage Technologies | Magnetic head coil and structure for protecting same during pole notch processing |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7377024B2 (en) | Method of making a magnetic write head with trailing shield throat pad | |
| KR100264700B1 (ko) | 희생 마스크층을 사용하여 자기 정렬되는 자극 폴을 가지는 박막 자기 트랜스듀서 및 그 제조 방법 | |
| JP2005317188A (ja) | 平面型垂直記録用ヘッド | |
| US6826020B2 (en) | Merged-pole magnetic head having inverted write elements | |
| JP2004111021A (ja) | 犠牲ラッピングエクステンションを有する記憶デバイスのスライダー | |
| US6202289B1 (en) | Manufacturing process of thin film magnetic head sliders | |
| US5167062A (en) | Method of manufacturing magnetic write/read head and fabrication method | |
| US6195871B1 (en) | Method of manufacturing magnetic head elements | |
| JPS62192016A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0546944A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0757419A (ja) | 浮動ヘッドスライダおよびその製造方法 | |
| US6563669B1 (en) | Inverted write head with high-precision track width definition | |
| JPH0346884B2 (ja) | ||
| US5778514A (en) | Method for forming a transducing head | |
| JP2572213B2 (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JP2002197608A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS63276705A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JP2701373B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP3837269B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダー及びその製造方法 | |
| JP4492418B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS6226618A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS63253515A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH09305920A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH041906A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH11250414A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |