JPH054619B2 - - Google Patents
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- JPH054619B2 JPH054619B2 JP23938387A JP23938387A JPH054619B2 JP H054619 B2 JPH054619 B2 JP H054619B2 JP 23938387 A JP23938387 A JP 23938387A JP 23938387 A JP23938387 A JP 23938387A JP H054619 B2 JPH054619 B2 JP H054619B2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光パワーメータに関するものであ
り、詳しくは光電変換素子の感度ムラによる測定
誤差を低減することにある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Field of Application) The present invention relates to an optical power meter, and more specifically, to reducing measurement errors due to uneven sensitivity of photoelectric conversion elements.
(従来の技術)
第4図は、実用化されている光パワーメータの
一例を示す構成説明図である。第4図において、
1はセンサヘツドであり、光電変換素子2および
プリアンプ3が設けられている。4は装置本体で
あり、センサヘツド1がコネクタ5を介して着脱
される。(Prior Art) FIG. 4 is a configuration explanatory diagram showing an example of an optical power meter that has been put into practical use. In Figure 4,
Reference numeral 1 denotes a sensor head, in which a photoelectric conversion element 2 and a preamplifier 3 are provided. Reference numeral 4 denotes a main body of the apparatus, to which the sensor head 1 is attached and detached via a connector 5.
ところで、このようなセンサヘツド1の光電変
換素子2としては、Si,Ge,InPのようなPN接
合が形成された量子形素子を測定波長領域に応じ
て選択して用いることが多い。 Incidentally, as the photoelectric conversion element 2 of such a sensor head 1, a quantum type element in which a PN junction is formed, such as Si, Ge, or InP, is often selected and used depending on the measurement wavelength range.
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、このような量子形の光電変換素子2
のPN接合の深さにはバラツキがあることから、
測定光の照射位置によつては3%程度の感度ムラ
を生じることになる。(Problem to be solved by the invention) However, such a quantum photoelectric conversion element 2
Since there are variations in the depth of the PN junction,
Depending on the irradiation position of the measurement light, sensitivity unevenness of about 3% will occur.
このような感度ムラは、測定精度を低下させる
ことになり、好ましくない。 Such sensitivity unevenness is undesirable because it reduces measurement accuracy.
本発明は、このような点に着目したものであ
り、その目的は、量子形光電変換素子の感度ムラ
の影響を受けることなく高精度の測定が行える光
パワーメータを提供することにある。 The present invention has focused on such points, and its purpose is to provide an optical power meter that can perform highly accurate measurements without being affected by sensitivity unevenness of quantum photoelectric conversion elements.
(問題点を解決するための手段)
本発明の光パワーメータは、
分光素子と、
分光素子を走査する手段と、
分光出力光を選択的に通過させる光制限手段
と、
光制限手段を介して加えられる分光出力光を電
気信号に変換する光電変換素子、
とで構成されたことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) The optical power meter of the present invention includes a spectroscopic element, a means for scanning the spectroscopic element, a light restriction means for selectively passing the spectral output light, and a light restriction means for selectively passing the spectral output light. A photoelectric conversion element that converts applied spectral output light into an electrical signal.
(実施例)
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail using the drawings.
第1図は、本発明の一実施例を示す構成説明図
である。第1図において、6は測定光の波長を分
光する分光素子であり、例えば回析格子を用い
る。7は分光素子6が取り付けられる支持プレー
トであり、一端は剛体8に固定され、他端は自由
端として解放されている。9は支持プレート7の
自由端を変位させるアクチユエータであり、例え
ば積層圧電素子を用いる。ここで、これら支持プ
レート7およびアクチユエータ9は分光素子6を
走査する手段を構成することになる。10は分光
素子6の出力光を選択的に通過させるスリツト、
11はスリツト10を介して加えられる分光出力
光を電気信号に変換する光電変換素子である。こ
れらスリツト10と光電変換素子11の位置関係
は固定されていて、光電変換素子11の一定の位
置にスリツト10を通過した分光素子6の出力光
が加えられることになる。12は光電変換素子の
変換信号を増幅するプリアンプ、13はプリアン
プ12の出力信号を積分する積分アンプ、14は
積分アンプ13の出力信号を処理する信号処理部
である。 FIG. 1 is a configuration explanatory diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 6 denotes a spectroscopic element that separates the wavelength of measurement light, and uses, for example, a diffraction grating. Reference numeral 7 denotes a support plate to which the spectroscopic element 6 is attached, one end of which is fixed to the rigid body 8 and the other end left open as a free end. Reference numeral 9 denotes an actuator that displaces the free end of the support plate 7, and uses, for example, a laminated piezoelectric element. Here, the support plate 7 and the actuator 9 constitute means for scanning the spectroscopic element 6. 10 is a slit through which the output light of the spectroscopic element 6 selectively passes;
Reference numeral 11 denotes a photoelectric conversion element that converts the spectral output light applied through the slit 10 into an electrical signal. The positional relationship between the slit 10 and the photoelectric conversion element 11 is fixed, and the output light from the spectroscopic element 6 that has passed through the slit 10 is applied to a certain position of the photoelectric conversion element 11. 12 is a preamplifier that amplifies the conversion signal of the photoelectric conversion element; 13 is an integral amplifier that integrates the output signal of the preamplifier 12; and 14 is a signal processing section that processes the output signal of the integral amplifier 13.
このような構成において、アクチユエータ9を
駆動することにより支持プレート7が振動し、分
光素子6の分光出力波長とスリツト10との相対
的な位置関係が振動に応じて周期的に変化するこ
とになる。一方、スリツト10と光電変換素子1
1との位置関係は前述のように固定されているの
で、光電変換素子11の一定の位置には支持プレ
ート7の振動に応じて周期的に変化するようにし
て分光素子6の分光出力波長が加えられることに
なる。 In such a configuration, the support plate 7 vibrates by driving the actuator 9, and the relative positional relationship between the spectral output wavelength of the spectroscopic element 6 and the slit 10 changes periodically in accordance with the vibration. . On the other hand, the slit 10 and the photoelectric conversion element 1
1 is fixed as described above, the spectral output wavelength of the spectroscopic element 6 is placed at a certain position of the photoelectric conversion element 11 so as to change periodically according to the vibration of the support plate 7. It will be added.
これにより、プリアンプ12から第2図に示す
ように周波数の走査に応じて信号が出力され、こ
の出力信号は積分アンプ13を介して信号処理部
14に加えられることになり、従来のような光電
変換素子11の照射位置の変化による感度ムラの
発生を防止することができ、高精度の光パワー測
定が実現できる。 As a result, the preamplifier 12 outputs a signal according to frequency scanning as shown in FIG. It is possible to prevent uneven sensitivity from occurring due to changes in the irradiation position of the conversion element 11, and highly accurate optical power measurement can be achieved.
なお、上記実施例では、分光素子として用いら
れる回析格子6が配置された支持プレート7を積
層圧電素子9で振動させてスリツト10を介して
光電変換素子11の一定の位置に周波数が走査さ
れた光を加える例を示したが、第3図に示すよう
に、水晶基板15に回折格子16とコイル17と
が一体化されたガルバノメータを用いてもよい。
このような構成によれば、第1図に比べて、走査
部分の小型化が図れ、量産化にも適し、コストを
下げることもできる。 In the above embodiment, the support plate 7 on which the diffraction grating 6 used as a spectroscopic element is arranged is vibrated by the laminated piezoelectric element 9, and the frequency is scanned to a certain position of the photoelectric conversion element 11 through the slit 10. Although an example has been shown in which light is added, a galvanometer in which a diffraction grating 16 and a coil 17 are integrated with a crystal substrate 15 may be used as shown in FIG.
According to such a configuration, the scanning portion can be made smaller than that shown in FIG. 1, and it is suitable for mass production, and costs can be reduced.
また、これらの構成において、回折素子の回転
角度を大きくすることにより実質的にスリツトを
介して光電変換素子に加えられる光をチヨツピン
グすることもでき、同期整流回路と組み合わせて
微弱光パワーの測定を行うこともできる。 In addition, in these configurations, by increasing the rotation angle of the diffraction element, the light applied to the photoelectric conversion element through the slit can be substantially stepped, and in combination with a synchronous rectification circuit, it is possible to measure the weak optical power. You can also do this.
また、分光素子は回折格子に限るものではな
く、例えばPLZTのような電気光学効果を利用し
た分光装置であつてもよい。 Further, the spectroscopic element is not limited to a diffraction grating, and may be a spectroscopic device that utilizes an electro-optic effect, such as PLZT.
また、スリツトの代わりにピンホールを用いて
もよい。 Also, pinholes may be used instead of slits.
(発明の効果)
以上説明したように、本発明によれば、量子形
光電変換素子の感度ムラの影響を受けることなく
高精度の測定が行える光パワーメータが実現で
き、実用上の効果は大きい。(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, it is possible to realize an optical power meter that can perform highly accurate measurements without being affected by the sensitivity unevenness of quantum photoelectric conversion elements, and has great practical effects. .
第1図は本発明の一実施例を示す構成説明図、
第2図は第1図のプリアンプの出力信号説明図、
第3図は本発明の他の実施例を示す構成説明図、
第4図は従来の光パワーメータの構成説明図であ
る。
6,16……回折素子(分光素子)、7……支
持プレート、9……アクチユエータ(積層圧電素
子)、10……スリツト(光制限手段)、11……
光電変換素子、12……プリアンプ、13……積
分アンプ、14……信号処理部、15……水晶基
板、17……コイル。
FIG. 1 is a configuration explanatory diagram showing an embodiment of the present invention;
Figure 2 is an explanatory diagram of the output signal of the preamplifier in Figure 1;
FIG. 3 is a configuration explanatory diagram showing another embodiment of the present invention;
FIG. 4 is an explanatory diagram of the configuration of a conventional optical power meter. 6, 16... Diffraction element (spectroscopic element), 7... Support plate, 9... Actuator (laminated piezoelectric element), 10... Slit (light limiting means), 11...
Photoelectric conversion element, 12... preamplifier, 13... integrating amplifier, 14... signal processing section, 15... crystal substrate, 17... coil.
Claims (1)
と、 光制限手段を介して加えられる分光出力光を電
気信号に変換する光電変換素子、 とで構成されたことを特徴とする光パワーメー
タ。[Claims] 1. A spectroscopic element, a means for scanning the spectroscopic element, a light restriction means for selectively passing the spectral output light, and a spectral output light applied via the light restriction means for converting into an electrical signal. An optical power meter comprising: a photoelectric conversion element;
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23938387A JPS6480828A (en) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Light power meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23938387A JPS6480828A (en) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Light power meter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6480828A JPS6480828A (en) | 1989-03-27 |
JPH054619B2 true JPH054619B2 (en) | 1993-01-20 |
Family
ID=17043968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23938387A Granted JPS6480828A (en) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Light power meter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6480828A (en) |
-
1987
- 1987-09-24 JP JP23938387A patent/JPS6480828A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6480828A (en) | 1989-03-27 |
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