JPH0545132B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0545132B2
JPH0545132B2 JP9486385A JP9486385A JPH0545132B2 JP H0545132 B2 JPH0545132 B2 JP H0545132B2 JP 9486385 A JP9486385 A JP 9486385A JP 9486385 A JP9486385 A JP 9486385A JP H0545132 B2 JPH0545132 B2 JP H0545132B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chart
lens
image
scanning
image plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP9486385A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61253440A (ja
Inventor
Masaomi Sugawara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP9486385A priority Critical patent/JPS61253440A/ja
Publication of JPS61253440A publication Critical patent/JPS61253440A/ja
Publication of JPH0545132B2 publication Critical patent/JPH0545132B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0228Testing optical properties by measuring refractive power

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はカメラレンズ等の結像性能を評価す
るのに用いられる像面検出装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
カメラレンズ等の結像性能を評価する場合何ら
かの手段で測定像面を決定し、この決定された測
定像面をもとにレンズ系の性能を総合的に表わす
MTFを測定するようにしている。
このMTF測定ではフイルム面に相当する測定
面での結像に関与するのは被検レンズを通る全光
束になるのに対し測定像面検出におけるフアイン
ダでのピント合せに関与するのは実際にスプリツ
トイメージ部を通る光束によるため球面収差の影
響などで両者のピントのベスト位置ずれを生じる
おそれもあり最良の条件でMTF測定ができない
欠点もあつた。
しかして、従来かかる測定像面を決定する手段
としてカメラのスプリツトイメージ部を有するフ
アインダの像を画像処理しフアインダベストの像
面を得るようにしたものが特願昭59−207553号に
開示されている。
すなわち、このものの測定像面検出系は第7図
に示すように被検レンズ2により物体1の像をス
プリツトイメージ部を有するフアインダスクリー
ン3上に結像させ、これをリレーレンズ4にて拡
大しビデオカメラ5により撮像するようにしてい
る。この場合のピント合せは1眼レフと同じであ
りピントが合つていないと第8図に示すようにス
プリツトイメージ部の像が上下で連続しない。こ
れをビデオ処理装置6やコンピユータ7で検出
し、精度よく合焦位置に被検レンズ2を設定し測
定像面を得るようにしている。
ところが、このようなものではフアインダのス
プリツトイメージを2次元で画像処理するため画
像処理が複雑となりデータの取り込み時間などを
考えると測定像面を得られるまでにかなりの手間
がかかつてしまう。また、このものは測定像面の
みを得るものであるためその後MTF測定をする
場合測定像面検出系すべてをMTF測定系に切換
えなければならず、このための切換機構が複雑と
なる。
〔発明の目的〕
この発明は上記欠点を除去するためなされたも
のでベストフオーカスの測定像面を簡単に得ら
れ、しかも簡単な切換で実際の使用状態に即した
MTF測定を行なうことができる像面検出装置を
提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
この発明にかかる像面検出装置は被検レンズと
光源の間の光軸上にチヤートを配設するとともに
レンズ前面にカメラのフアインダスクリーンのス
プリツトイメージ部を通過する光束のみを通すよ
うな絞りを着脱自在に設け、さらにレンズおよび
チヤートを介して得られるチヤート像を走査する
走査手段およびこの走査手段の出力からレンズの
測定像面を検出するとともに出力をフーリエ変換
してMTFを測定する処理手段を設け、レンズの
ベストフオーカス測定時には絞りを介してチヤー
ト像を走査しベストフオーカスの測定像面を検出
してレンズのピントのベスト位置を設定し、レン
ズのMTFの測定時には絞りを除いてチヤート像
を走査しピントのベスト位置におけるレンズの
MTFを測定するようにしている。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図面に従い説明す
る。
第1図において11はレンズホルダー12に装
着された被検レンズで、このレンズ11前方の光
軸上に光源13を配設し、この光源13とレンズ
11の間に光源13側から順にコンデンサレンズ
14、フイルタ15、チヤート16を配設し、さ
らに被検レンズ11の前面に絞り17を配設して
いる。ここで、チヤート16には第2図に示すよ
うに明暗の縞を有しある空間周波数の正弦波又は
矩形波状に変化する濃度分布を有するものが用い
られる。また絞り17はカメラのフアインダスク
リーンに用いられるスプリツトイメージ部を通過
する光束のみを通すようなもので、例えば絞り形
状としては第3図に示すようにスプリツトイメー
ジ部の上下のプリズムを通過しフアインダを観察
する瞳に入射する光束を通すように光軸に対し対
称の2つの開口171,172を有するものが用
いられる。
一方、被検レンズ11後方の光軸上にはスリツ
ト部18を介して受光素子19を配設している。
この場合、スリツト部18はスリツト走査機構1
81により光軸と直角な面に沿つて走査されるよ
うにしている。
受光素子19には信号処理部20を接続してい
る。
次にその作用を説明する。
いま、光源13を点灯するとコンデンサレンズ
14にて集光されフイルタ15にて分光特性が合
せられチヤート16に与えられる。そして、チヤ
ート16を通つた光束は絞り17を介して被検レ
ンズ11に与えられるが、この場合被検レンズ1
1に入射される光束は絞り17により制限されス
プリツトイメージ部を通過するような光束のみが
与えられる。このような光束は被検レンズ11の
開口の一部を通りスリツト部18面に結像され
る。この状態で走査機構181によりスリツト部
18が光軸と直角な面に沿つて走査されると、ス
リツト部18を通つた像の強度分布が受光素子1
9に伝えられ、この受光素子19の出力が信号処
理部20に与えられ、ここでレンズのデフオーカ
スによるコントラストの変化が読み取られピント
のベスト位置が検出される。この場合第2図に示
すようなチヤート16を通した像を走査すること
により第4図に示すような強度分布が得られ、こ
れにより下式よりコントラスト値が求められる。
コントラスト値=(A−B)/(A+B) (ただし、Aは最大値、Bは最小値) 従つて、このコントラスト値が最大になるよう
に被検レンズ11の位置を設定すればベストフオ
ーカスの測定像面が得られることになる。
次に、この状態からMTFを測定するにはチヤ
ート16を第5図に示す単一スリツトを有するも
のとし、さらに絞り17を取り除く。こうすると
光源13の点灯により被検レンズ11に全光束を
通したときのMTFが測定される。この場合受光
素子19での出力は第6図に示すようになるが、
この出力を信号処理部20にてフーリエ変換する
ことによりMTFの値が得られることになる。
したがつて、このようにすればチヤート16を
通した像のコントラストを受素子19の出力を介
して求めることでベストフオーカスの測定像面が
得られるので従来のフアインダのスプリツトイメ
ージを2次元で画像処理するものに比べ測定像面
を極めて簡単に得ることができる。また、MTF
測定に供する場合はチヤート16をスリツト状の
ものにすると同時に絞り17を取り除くだけでよ
いので従来の測定像面検出系をすべてMTF測定
系に切換えるもののように複雑な切換機構も一際
不用にできる。さらに、被検レンズ11の前面に
スプリツトイメージ部を通過する光束のみを通す
ような絞り17を配設しフアインダーによるベス
トフオーカスの測定像面を検出するようにしてい
るので球面収差などの影響を除去できMTF測定
での測定面でのピント位置と正確に一致させるこ
とができ、これにより精度の高いMTF測定を行
なうこともできる。
なおこの発明は上記実施例にのみ限定されず要
点を変更しない範囲で適宜変形して実施できる。
例えば上述ではスリツト部18、スリツト走査機
構181および受光素子19を用いているが、こ
れに代えてスリツトに相当するところにCCD等
のリニアセンサアレイを配設すれば構成をより簡
単にできる。
〔発明の効果〕
この発明によればチヤート像のコントラストよ
りベストフオーカスの測定像面が得られるので所
望する測定像面を極めて簡単に得られる。また
MTF測定に供する場合も複雑な切換機構を一際
用いることがなく簡単にできる。さらにベストフ
オーカスの測定像面はMTF測定での測定面での
ピント位置と正確に一致させることができるので
精度の高いMTF測定を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す概略的構成
図、第2図は同実施例に用いられるチヤートの正
面図、第3図は同実施例に用いられる絞りの正面
図、第4図は同実施例を説明するための図、第5
図はMTF測定に用いられるスリツト部を示す正
面図、第6図はMTF測定を説明するための図、
第7図は従来の像面検出装置の一例を示す概略的
構成図、第8図は同装置を説明するための図であ
る。 1……物体、2……被検レンズ、3……フアイ
ンダスクリーン、4……リレーレンズ、5……ビ
デオカメラ、6……ビデオ処理装置、7……コン
ピユータ、11……被検レンズ、12……レンズ
ホルダー、13……光源、14……コンデンサレ
ンズ、15……フイルタ、16……チヤート、1
7……絞り、18……スリツト部、181……ス
リツト走査機構、19……受光素子、20……信
号処理部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被検レンズと、このレンズ前方の光軸上に設
    けられた光源と、この光源と上記レンズの間に配
    設されたチヤートと、上記レンズの前面に着脱自
    在に配設され上記チヤートを介してカメラのフア
    インダースクリーンのスプリツトイメージ部に対
    応するレンズ部分を通過する光束を通す絞りと、
    上記レンズを介して得られる上記チヤートのチヤ
    ート像を走査する走査手段と、この走査手段の出
    力により上記レンズのベストフオーカスの測定像
    面の検出および出力をフーリエ変換してMTFの
    測定をする処理手段とを具備し、 上記レンズのベストフオーカス測定時には上記
    絞りを介して上記チヤートのチヤート像を走査し
    ベストフオーカスの測定像面を検出して上記レン
    ズのピントのベスト位置を設定し、 上記レンズのMTFの測定時には上記絞りを除
    いて上記チヤートのチヤート像を走査し上記ピン
    トのベスト位置における上記レンズのMTFを測
    定することを特徴とする像面検出装置。 2 上記チヤートのチヤート像を走査する走査手
    段は、光軸と直角な面に沿つて走査自在なスリツ
    ト部およびこのスリツト部を通つた像の強度分布
    を検出する受光素子を有することを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の像面検出装置。 3 上記チヤートのチヤート像を走査する走査手
    段は、自己走査機能を有するリニアセンサよりな
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    像面検出装置。 4 上記チヤートは、明暗の縞又は単一スリツト
    を有するものであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項乃至第3項のずれかに記載の像面検出
    装置。
JP9486385A 1985-05-01 1985-05-01 像面検出装置 Granted JPS61253440A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9486385A JPS61253440A (ja) 1985-05-01 1985-05-01 像面検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9486385A JPS61253440A (ja) 1985-05-01 1985-05-01 像面検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61253440A JPS61253440A (ja) 1986-11-11
JPH0545132B2 true JPH0545132B2 (ja) 1993-07-08

Family

ID=14121871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9486385A Granted JPS61253440A (ja) 1985-05-01 1985-05-01 像面検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61253440A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2723900B2 (ja) * 1988-03-25 1998-03-09 株式会社日立製作所 レンズ検査方法
JP2723914B2 (ja) * 1988-08-12 1998-03-09 株式会社日立製作所 レンズ鏡筒解像度検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61253440A (ja) 1986-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100685574B1 (ko) 센서의 측정 구멍에 비해 큰 타겟을 평가하기 위한 장치및 방법
US4629324A (en) Arrangement for measuring depth based on lens focusing
US4047022A (en) Auto focus with spatial filtering and pairwise interrogation of photoelectric diodes
JPH05249656A (ja) マスク検査装置
JPS6454B2 (ja)
JP3105702B2 (ja) 光学式欠陥検査装置
JP2955017B2 (ja) 同時および共焦点式の像形成装置
US6995847B2 (en) Methods and systems for substrate surface evaluation
KR20060086938A (ko) 포커싱 시스템 및 방법
JPH0545132B2 (ja)
JPH0417048B2 (ja)
JP3228458B2 (ja) 光学的3次元計測装置
JP2723914B2 (ja) レンズ鏡筒解像度検査装置
JP4828737B2 (ja) Mtf測定装置
JP3019431B2 (ja) Otf測定装置
JPH02218935A (ja) 光学系の検査方法および装置
JP2001166202A (ja) 焦点検出方法及び焦点検出装置
KR940002504B1 (ko) 가는선의 미세결함 검출장치
JPH0544977B2 (ja)
JP3275407B2 (ja) 微小寸法測定装置
KR100198527B1 (ko) 규칙적 미세패턴의 결함 검사장치
JPH023148Y2 (ja)
JP2000180373A (ja) 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JPS5927894B2 (ja) ピンボケ画像検出方法
JPH10197226A (ja) 光学系および撮像手段を有する装置における検査方法