JPH0544024A - 細棒状蒸着用素材の製造方法 - Google Patents
細棒状蒸着用素材の製造方法Info
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- JPH0544024A JPH0544024A JP5515991A JP5515991A JPH0544024A JP H0544024 A JPH0544024 A JP H0544024A JP 5515991 A JP5515991 A JP 5515991A JP 5515991 A JP5515991 A JP 5515991A JP H0544024 A JPH0544024 A JP H0544024A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 塑性加工工程数を低減して、材料歩留りを大
幅に向上すると共に、低コスト及び高品質の細棒状蒸着
用素材を製造する。 【構成】 真空中に立設された筒状の鋳型４内にその下
方から高純度の金属あるいは合金の溶湯２を供給して冷
却固化し、棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に
熱間圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製
造する。
幅に向上すると共に、低コスト及び高品質の細棒状蒸着
用素材を製造する。 【構成】 真空中に立設された筒状の鋳型４内にその下
方から高純度の金属あるいは合金の溶湯２を供給して冷
却固化し、棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に
熱間圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製
造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、フィルム表面
に、電子ビームによる蒸着法によって薄膜を形成する際
に用いられる細棒状蒸着用素材を製造する製造方法に関
する。
に、電子ビームによる蒸着法によって薄膜を形成する際
に用いられる細棒状蒸着用素材を製造する製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、情報記録体としてのＶＴＲ，Ｄ
ＡＴ用磁気テープ，あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）等のプラスチックフィルム上に、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により
薄膜として付着している。この場合、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、
あるいはペレットの形態で素材として用いられている。
そして、細棒状素材の製造方法としては、従来、不純物
の混入を防止するために、真空中で溶解・精錬を行い、
耐火物を表面にライニングしたインゴットケースによっ
てインゴットとして鋳造した後に、分塊鍛造などの一次
加工（粗加工）及び仕上鍛造，圧延などの二次加工（仕
上加工）を施して、所定の最終製品形状を得ているもの
が知られている。
ＡＴ用磁気テープ，あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）等のプラスチックフィルム上に、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により
薄膜として付着している。この場合、Ｎｉ基合金やＣｏ
基合金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、
あるいはペレットの形態で素材として用いられている。
そして、細棒状素材の製造方法としては、従来、不純物
の混入を防止するために、真空中で溶解・精錬を行い、
耐火物を表面にライニングしたインゴットケースによっ
てインゴットとして鋳造した後に、分塊鍛造などの一次
加工（粗加工）及び仕上鍛造，圧延などの二次加工（仕
上加工）を施して、所定の最終製品形状を得ているもの
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の素材の製造方法にあっては、以下の問題がある。す
なわち、１）一般的に、蒸着用の金属及び合金は高純度
のため加工性に難点が多く、塑性加工で製品を得ようと
する場合所望の製品が得にくい、２）純金属あるいは合
金の塑性加工は、一般的には熱間で行われるため、繰り
返し行われる高温加熱の際に、素材がガスを吸収した
り、素材が酸化されることにより、高価な金属の損失が
多くなる、３）塑性加工による工程数の増加及び材料歩
留りの低下が原因でコスト高となる。
来の素材の製造方法にあっては、以下の問題がある。す
なわち、１）一般的に、蒸着用の金属及び合金は高純度
のため加工性に難点が多く、塑性加工で製品を得ようと
する場合所望の製品が得にくい、２）純金属あるいは合
金の塑性加工は、一般的には熱間で行われるため、繰り
返し行われる高温加熱の際に、素材がガスを吸収した
り、素材が酸化されることにより、高価な金属の損失が
多くなる、３）塑性加工による工程数の増加及び材料歩
留りの低下が原因でコスト高となる。
【０００４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、鋳造により直接棒状の中
間材を形成することによって、塑性加工工程数を低減す
ることができて、材料歩留りを大幅に向上させることが
できる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ確
実に得ることができる細棒状蒸着用素材の製造方法を提
供することにある。
で、その目的とするところは、鋳造により直接棒状の中
間材を形成することによって、塑性加工工程数を低減す
ることができて、材料歩留りを大幅に向上させることが
できる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ確
実に得ることができる細棒状蒸着用素材の製造方法を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に湯道
を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間材を鋳造
した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形
状まで加工するものである。
に、本発明は、真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に湯道
を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間材を鋳造
した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形
状まで加工するものである。
【０００６】
【作用】本発明の細棒状蒸着用素材の製造方法にあって
は、真空中に立設された筒状の鋳型内にその下方から高
純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固化し、
棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間圧延加
工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造する。
は、真空中に立設された筒状の鋳型内にその下方から高
純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固化し、
棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間圧延加
工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造する。
【０００７】
【実施例】以下、図１に基づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【０００８】図１において符号１は、真空溶解炉を用い
て溶解・精錬した純金属ないし合金（例えば、純Ｃｏ，
Ｃｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０％Ｃｒ，Ｃｏ−１５％Ｃ
ｒ，Ｃｏ−２０％Ｃｒ，Ｃｏ−３０％Ｃｒ，純Ｎｉな
ど）の溶湯２を収納した容器である。そして、この容器
１の下方には、溶湯投入口を有する湯道３が形成されて
おり、この湯道３の先端部には、複数本の円筒状の鋳型
４が着脱自在に立設されている。また、上記各鋳型４の
上端には、キャップ５が嵌め込まれている。
て溶解・精錬した純金属ないし合金（例えば、純Ｃｏ，
Ｃｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０％Ｃｒ，Ｃｏ−１５％Ｃ
ｒ，Ｃｏ−２０％Ｃｒ，Ｃｏ−３０％Ｃｒ，純Ｎｉな
ど）の溶湯２を収納した容器である。そして、この容器
１の下方には、溶湯投入口を有する湯道３が形成されて
おり、この湯道３の先端部には、複数本の円筒状の鋳型
４が着脱自在に立設されている。また、上記各鋳型４の
上端には、キャップ５が嵌め込まれている。
【０００９】上記構成の装置を用いて、棒状の中間材を
得る場合には、まず、一般的な真空溶解炉によって地金
を溶解・精錬した後、この溶湯２を容器１に収納して、
真空中で、図１に示す湯道３の溶湯投入口から上記容器
１内の溶湯２を投入する。これにより、上記溶湯２は、
湯道３を介して、立設された各鋳型４の下方から鋳型４
内に供給される。
得る場合には、まず、一般的な真空溶解炉によって地金
を溶解・精錬した後、この溶湯２を容器１に収納して、
真空中で、図１に示す湯道３の溶湯投入口から上記容器
１内の溶湯２を投入する。これにより、上記溶湯２は、
湯道３を介して、立設された各鋳型４の下方から鋳型４
内に供給される。
【００１０】この場合、鋳型４内を乱流を起こさずに徐
々に溶湯２が上昇していくことにより、鋳型４内に付着
している不純物（酸化物，カス等）が上記溶湯２によっ
て押し上げられ、溶湯２内に混入することがない。ま
た、鋳型４内に上方から溶湯２を注入すると、鋳型４内
に飛沫が飛ぶ等して、鋳型４の内面に付着するため、製
造された鋳造品の鋳肌が悪くなるのに対して、本実施例
のように、鋳型４の下方から溶湯２を供給すると、溶湯
２が鋳型４内を徐々に上昇することによって、製造され
た鋳造品の鋳肌が良好になり、鋳造品の表面に不純物が
付着しにくく、また、付着したとしても除去し易い。ま
た、鋳肌が良好なため熱間加工性も向上する。
々に溶湯２が上昇していくことにより、鋳型４内に付着
している不純物（酸化物，カス等）が上記溶湯２によっ
て押し上げられ、溶湯２内に混入することがない。ま
た、鋳型４内に上方から溶湯２を注入すると、鋳型４内
に飛沫が飛ぶ等して、鋳型４の内面に付着するため、製
造された鋳造品の鋳肌が悪くなるのに対して、本実施例
のように、鋳型４の下方から溶湯２を供給すると、溶湯
２が鋳型４内を徐々に上昇することによって、製造され
た鋳造品の鋳肌が良好になり、鋳造品の表面に不純物が
付着しにくく、また、付着したとしても除去し易い。ま
た、鋳肌が良好なため熱間加工性も向上する。
【００１１】さらに、上記各鋳型４の上端にはキャップ
５が嵌め込まれているから、鋳型４の上部から溶湯２が
あふれ出すことがない上に、鋳造品の上部に巣が生じに
くい。また、鋳造された製品に巣が生じたとしても、外
部に露出したものではなく、内部に生じたものであるか
ら、巣の内部が真空状態に保持されている。
５が嵌め込まれているから、鋳型４の上部から溶湯２が
あふれ出すことがない上に、鋳造品の上部に巣が生じに
くい。また、鋳造された製品に巣が生じたとしても、外
部に露出したものではなく、内部に生じたものであるか
ら、巣の内部が真空状態に保持されている。
【００１２】このようにして、各鋳型４内に供給された
溶湯２が冷却固化すると、鋳型４を湯道３から取り外
し、鋳型４内から鋳造品を取り出す。この場合、鋳型４
内の鋳造品は、冷却固化により収縮しているから、円滑
に抜き出すことができる。
溶湯２が冷却固化すると、鋳型４を湯道３から取り外
し、鋳型４内から鋳造品を取り出す。この場合、鋳型４
内の鋳造品は、冷却固化により収縮しているから、円滑
に抜き出すことができる。
【００１３】次いで、上述のようにして得られた鋳造品
（棒状の中間材）を熱間溝ロールによって圧延する。こ
の場合の圧延条件は、加工温度６００〜１１００℃，加
工度（断面減少率：１−ａ／Ａ，Ａは加工前の断面積，
ａは加工後の断面積）７５％以上に設定されている。そ
の理由は、まず、前提となる対象素材として純Ｃｏ，Ｃ
ｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０〜３０％Ｃｒ，純Ｎｉを想
定した場合、加工温度が１１００℃以上では表面酸化が
著しく、酸化ロスが生じる上に、熱間加工時の酸化皮膜
の巻込み等が発生し品質に悪影響を与える一方、６００
℃以下ではインゴット内部に引巣が生じた場合、この巣
の圧着が不完全になり蒸着特性に悪影響を及ぼすからで
あり、かつ上記加工温度６００〜１１００℃において加
工した場合でも加工率が７５％未満の場合、インゴット
の引巣の圧着が不充分になるため、７５％以上の加工率
が望ましい。
（棒状の中間材）を熱間溝ロールによって圧延する。こ
の場合の圧延条件は、加工温度６００〜１１００℃，加
工度（断面減少率：１−ａ／Ａ，Ａは加工前の断面積，
ａは加工後の断面積）７５％以上に設定されている。そ
の理由は、まず、前提となる対象素材として純Ｃｏ，Ｃ
ｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０〜３０％Ｃｒ，純Ｎｉを想
定した場合、加工温度が１１００℃以上では表面酸化が
著しく、酸化ロスが生じる上に、熱間加工時の酸化皮膜
の巻込み等が発生し品質に悪影響を与える一方、６００
℃以下ではインゴット内部に引巣が生じた場合、この巣
の圧着が不完全になり蒸着特性に悪影響を及ぼすからで
あり、かつ上記加工温度６００〜１１００℃において加
工した場合でも加工率が７５％未満の場合、インゴット
の引巣の圧着が不充分になるため、７５％以上の加工率
が望ましい。
【００１４】この結果、上記棒状の中間材の内部に残る
巣がつぶされ完全に圧着して均一な材質でかつ所定断面
形状の圧延品が得られる。続いて、この圧延品を研摩等
により酸化皮膜を除去し蒸着用素材が得られる。また、
使用条件により、この細棒をプレス等で切断してペレッ
ト状にして使用する。
巣がつぶされ完全に圧着して均一な材質でかつ所定断面
形状の圧延品が得られる。続いて、この圧延品を研摩等
により酸化皮膜を除去し蒸着用素材が得られる。また、
使用条件により、この細棒をプレス等で切断してペレッ
ト状にして使用する。
【００１５】なお、上記実施例においては、円筒状の鋳
型４を用いて説明したが、これに限らず、角筒状やその
他の断面形状の鋳型を用いてもよい。
型４を用いて説明したが、これに限らず、角筒状やその
他の断面形状の鋳型を用いてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の細棒状蒸
着用素材の製造方法は、真空中で溶解・精錬した高純度
の金属あるいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型
内に湯道を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間
材を鋳造した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所
定断面形状まで加工するものであるから、真空中に立設
された筒状の鋳型内にその下方から高純度の金属あるい
は合金の溶湯を供給して冷却固化し、棒状の中間材を得
た後、この棒状の中間材に熱間圧延加工及び切断加工を
施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造することによ
り、塑性加工工程数を低減することができて、材料歩留
りを大幅に向上させることができる上に、低コスト及び
高品質の製品を円滑にかつ確実に得ることができる。
着用素材の製造方法は、真空中で溶解・精錬した高純度
の金属あるいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型
内に湯道を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間
材を鋳造した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所
定断面形状まで加工するものであるから、真空中に立設
された筒状の鋳型内にその下方から高純度の金属あるい
は合金の溶湯を供給して冷却固化し、棒状の中間材を得
た後、この棒状の中間材に熱間圧延加工及び切断加工を
施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造することによ
り、塑性加工工程数を低減することができて、材料歩留
りを大幅に向上させることができる上に、低コスト及び
高品質の製品を円滑にかつ確実に得ることができる。
【図１】本発明の方法を実施するための装置の一部を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
２ 溶湯（高純度金属または合金） ３ 湯道 ４ 鋳型
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 昭文 埼玉県桶川市上日出谷1230番地 三菱マテ リアル株式会社桶川第一製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に湯道
を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間材を鋳造
した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形
状まで加工することを特徴とする細棒状蒸着用素材の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055159A JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055159A JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544024A true JPH0544024A (ja) | 1993-02-23 |
| JP2874365B2 JP2874365B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=12990966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3055159A Expired - Lifetime JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874365B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6163344U (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-30 | ||
| JPS6333563A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用Ｐｔ−Ｎｉ合金タ−ゲツトの製造方法 |
| JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP3055159A patent/JP2874365B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6163344U (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-30 | ||
| JPS6333563A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用Ｐｔ−Ｎｉ合金タ−ゲツトの製造方法 |
| JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2874365B2 (ja) | 1999-03-24 |
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