JPH0544024A - 細棒状蒸着用素材の製造方法 - Google Patents
細棒状蒸着用素材の製造方法Info
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- JPH0544024A JPH0544024A JP5515991A JP5515991A JPH0544024A JP H0544024 A JPH0544024 A JP H0544024A JP 5515991 A JP5515991 A JP 5515991A JP 5515991 A JP5515991 A JP 5515991A JP H0544024 A JPH0544024 A JP H0544024A
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Abstract
幅に向上すると共に、低コスト及び高品質の細棒状蒸着
用素材を製造する。 【構成】 真空中に立設された筒状の鋳型4内にその下
方から高純度の金属あるいは合金の溶湯2を供給して冷
却固化し、棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に
熱間圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製
造する。
Description
に、電子ビームによる蒸着法によって薄膜を形成する際
に用いられる細棒状蒸着用素材を製造する製造方法に関
する。
AT用磁気テープ,あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等は、ポリエチレンテレフタレート(PE
T)等のプラスチックフィルム上に、Ni基合金やCo
基合金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により
薄膜として付着している。この場合、Ni基合金やCo
基合金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、
あるいはペレットの形態で素材として用いられている。
そして、細棒状素材の製造方法としては、従来、不純物
の混入を防止するために、真空中で溶解・精錬を行い、
耐火物を表面にライニングしたインゴットケースによっ
てインゴットとして鋳造した後に、分塊鍛造などの一次
加工(粗加工)及び仕上鍛造,圧延などの二次加工(仕
上加工)を施して、所定の最終製品形状を得ているもの
が知られている。
来の素材の製造方法にあっては、以下の問題がある。す
なわち、1)一般的に、蒸着用の金属及び合金は高純度
のため加工性に難点が多く、塑性加工で製品を得ようと
する場合所望の製品が得にくい、2)純金属あるいは合
金の塑性加工は、一般的には熱間で行われるため、繰り
返し行われる高温加熱の際に、素材がガスを吸収した
り、素材が酸化されることにより、高価な金属の損失が
多くなる、3)塑性加工による工程数の増加及び材料歩
留りの低下が原因でコスト高となる。
で、その目的とするところは、鋳造により直接棒状の中
間材を形成することによって、塑性加工工程数を低減す
ることができて、材料歩留りを大幅に向上させることが
できる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ確
実に得ることができる細棒状蒸着用素材の製造方法を提
供することにある。
に、本発明は、真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に湯道
を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間材を鋳造
した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形
状まで加工するものである。
は、真空中に立設された筒状の鋳型内にその下方から高
純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固化し、
棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間圧延加
工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造する。
明する。
て溶解・精錬した純金属ないし合金(例えば、純Co,
Co−20%Ni,Co−10%Cr,Co−15%C
r,Co−20%Cr,Co−30%Cr,純Niな
ど)の溶湯2を収納した容器である。そして、この容器
1の下方には、溶湯投入口を有する湯道3が形成されて
おり、この湯道3の先端部には、複数本の円筒状の鋳型
4が着脱自在に立設されている。また、上記各鋳型4の
上端には、キャップ5が嵌め込まれている。
得る場合には、まず、一般的な真空溶解炉によって地金
を溶解・精錬した後、この溶湯2を容器1に収納して、
真空中で、図1に示す湯道3の溶湯投入口から上記容器
1内の溶湯2を投入する。これにより、上記溶湯2は、
湯道3を介して、立設された各鋳型4の下方から鋳型4
内に供給される。
々に溶湯2が上昇していくことにより、鋳型4内に付着
している不純物(酸化物,カス等)が上記溶湯2によっ
て押し上げられ、溶湯2内に混入することがない。ま
た、鋳型4内に上方から溶湯2を注入すると、鋳型4内
に飛沫が飛ぶ等して、鋳型4の内面に付着するため、製
造された鋳造品の鋳肌が悪くなるのに対して、本実施例
のように、鋳型4の下方から溶湯2を供給すると、溶湯
2が鋳型4内を徐々に上昇することによって、製造され
た鋳造品の鋳肌が良好になり、鋳造品の表面に不純物が
付着しにくく、また、付着したとしても除去し易い。ま
た、鋳肌が良好なため熱間加工性も向上する。
5が嵌め込まれているから、鋳型4の上部から溶湯2が
あふれ出すことがない上に、鋳造品の上部に巣が生じに
くい。また、鋳造された製品に巣が生じたとしても、外
部に露出したものではなく、内部に生じたものであるか
ら、巣の内部が真空状態に保持されている。
溶湯2が冷却固化すると、鋳型4を湯道3から取り外
し、鋳型4内から鋳造品を取り出す。この場合、鋳型4
内の鋳造品は、冷却固化により収縮しているから、円滑
に抜き出すことができる。
(棒状の中間材)を熱間溝ロールによって圧延する。こ
の場合の圧延条件は、加工温度600〜1100℃,加
工度(断面減少率:1−a/A,Aは加工前の断面積,
aは加工後の断面積)75%以上に設定されている。そ
の理由は、まず、前提となる対象素材として純Co,C
o−20%Ni,Co−10〜30%Cr,純Niを想
定した場合、加工温度が1100℃以上では表面酸化が
著しく、酸化ロスが生じる上に、熱間加工時の酸化皮膜
の巻込み等が発生し品質に悪影響を与える一方、600
℃以下ではインゴット内部に引巣が生じた場合、この巣
の圧着が不完全になり蒸着特性に悪影響を及ぼすからで
あり、かつ上記加工温度600〜1100℃において加
工した場合でも加工率が75%未満の場合、インゴット
の引巣の圧着が不充分になるため、75%以上の加工率
が望ましい。
巣がつぶされ完全に圧着して均一な材質でかつ所定断面
形状の圧延品が得られる。続いて、この圧延品を研摩等
により酸化皮膜を除去し蒸着用素材が得られる。また、
使用条件により、この細棒をプレス等で切断してペレッ
ト状にして使用する。
型4を用いて説明したが、これに限らず、角筒状やその
他の断面形状の鋳型を用いてもよい。
着用素材の製造方法は、真空中で溶解・精錬した高純度
の金属あるいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型
内に湯道を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間
材を鋳造した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所
定断面形状まで加工するものであるから、真空中に立設
された筒状の鋳型内にその下方から高純度の金属あるい
は合金の溶湯を供給して冷却固化し、棒状の中間材を得
た後、この棒状の中間材に熱間圧延加工及び切断加工を
施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造することによ
り、塑性加工工程数を低減することができて、材料歩留
りを大幅に向上させることができる上に、低コスト及び
高品質の製品を円滑にかつ確実に得ることができる。
す概略構成図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に湯道
を介して該鋳型の下方から供給し、棒状の中間材を鋳造
した後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形
状まで加工することを特徴とする細棒状蒸着用素材の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3055159A JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3055159A JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0544024A true JPH0544024A (ja) | 1993-02-23 |
JP2874365B2 JP2874365B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=12990966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3055159A Expired - Lifetime JP2874365B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2874365B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163344U (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-30 | ||
JPS6333563A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用Pt−Ni合金タ−ゲツトの製造方法 |
JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP3055159A patent/JP2874365B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163344U (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-30 | ||
JPS6333563A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-13 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用Pt−Ni合金タ−ゲツトの製造方法 |
JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2874365B2 (ja) | 1999-03-24 |
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