JPH0543044U - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
- Publication number
- JPH0543044U JPH0543044U JP9243391U JP9243391U JPH0543044U JP H0543044 U JPH0543044 U JP H0543044U JP 9243391 U JP9243391 U JP 9243391U JP 9243391 U JP9243391 U JP 9243391U JP H0543044 U JPH0543044 U JP H0543044U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure relief
- opening
- gas sensor
- gas
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガスセンサの圧力依存性を低減させる。
【構成】 一端に圧抜き孔が穿設され、他端に開口部3
が形成されたケース1内部にセンサ素子4が配設され、
開口部3から導入されたガスの濃度を検出するガスセン
サであって、圧抜き孔2に配設された圧抜き弁10がケ
ース1内部を大気圧に保持する。
が形成されたケース1内部にセンサ素子4が配設され、
開口部3から導入されたガスの濃度を検出するガスセン
サであって、圧抜き孔2に配設された圧抜き弁10がケ
ース1内部を大気圧に保持する。
Description
【0001】
この考案はガスセンサに関し、特に、圧力依存性の低減したガスセンサに関す るものである。
【0002】
一般に、半導体ガスセンサは圧力に対して圧力依存性を持っている。 すなわち、図2に示すように、ガスの濃度が一定の場合であっても、圧力が負 圧状態となるとセンサ出力が大きくなる傾向がある。
【0003】 また、半導体ガスセンサはガスの濃度に対して図3に示すような特性をもって いる。 すなわち、ガスの濃度が大きくなると、センサ出力も大きくなる傾向がある。
【0004】 したがって、この圧力依存性により負圧条件下では、検出するガスの濃度が一 定している場合でもセンサ出力が大きくなる結果、ガスの濃度が増加したような 挙動を示し、ガスセンサが正確なガスの濃度を検出することができないという問 題点を有していた。
【0005】 この考案は上記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、ガ スセンサ内を常に大気圧に保持して負圧状態としないで測定精度を向上させたガ スセンサを提供することを目的とするものである。
【0006】
上記の目的を達成するために、この考案は一端に圧抜き孔が穿設され、他端に 開口部が形成されたケース内部にセンサ素子が配設され、前記開口部から導入さ れたガスの濃度を検出するガスセンサであって、前記圧抜き孔にこれを開閉する 圧抜き弁を配設し、この圧抜き弁によって前記ケース内部を大気圧に保持するこ とを特徴とする手段を採用したものである。
【0007】
この考案は上記の手段を採用したことにより、ケースの内部が負圧状態となる と、圧抜き孔に配設した圧抜き弁が外気圧の作用により作動し、圧抜き孔が開放 してケースの内部に外気が流れ込み、負圧状態が解消され、常にケースの内部が 外気圧に保持される。
【0008】
以下、図面に示すこの考案の実施例について説明する。 図1にはこの考案によるガスセンサの実施例が示されていて、このガスセンサ は、一端に圧抜き孔2が穿設され、他端に開口部3が形成された略椀状のケース 1を有し、このケース1の内部に連通孔7が形成された隔壁6が設けられ、前記 圧抜き孔2側に室Aが開口部3側に室Bが形成されている。 そして、前記圧抜き孔2側に形成された室Aに前記圧抜き孔2を開閉する圧抜 き弁10が設けられ、前記開口部3側に形成される室Bにセンサ素子4が配設さ れている。
【0009】 前記圧抜き弁10は、前記圧抜き孔2を開閉する略半球状の弁体8と、この弁 体8と隔壁6との間に配設されて前記弁体8を圧抜き孔2側に付勢するスプリン グ9とからなっていて、常態時では前記圧抜き孔2は弁体8によって閉塞されて いる。
【0010】 また、前記開口部3側の室Bに配設されたセンサ素子4は前記圧抜き孔2側の 室Aに配設された電気回路5に前記隔壁6を貫通するピン14を介して接続し、 この電気回路5から外部に出力されるようになっている。
【0011】 さらに、前記開口部3、連通孔7、圧抜き孔2にはこれらを閉塞した状態でフ ィルター11、12、13がそれぞれ設けられ、圧抜き孔2側の室Aは圧抜き孔 2を介して外部と連通し、開口部3側の室Bは開口部3を介して外部と連通し、 圧抜き孔2側の室Aと開口部3側の室Bとは前記隔壁6に形成された連通孔7を 介して連通するようになっている。
【0012】 つぎに、上記のように構成されたガスセンサの作用について以下に説明する。 まず、ガスセンサの開口部3側を検査対象のガス側に取り付けると、検査対象 のガスは開口部3から開口部3側の室Bに導入され、この室Bに位置するセンサ 素子4はガスの濃度に応じた信号を発生させる。
【0013】 そして、センサ素子4で発生した信号は、電気回路5に導かれ、この電気回路 5で処理されて外部に出力され、ガスの濃度を検出することができる。
【0014】 また、開口部3側の室Bが負圧状態となると、連通孔7を介して連通する圧抜 き孔2側の室Aも負圧状態となり、圧抜き孔2側の室Aと外部との間に圧力差が 生じる。
【0015】 この圧力差によって圧抜き弁10の弁体8は外気圧によって押圧され、圧抜き 孔2が開放されてケース1の内部の負圧状態が解消される。
【0016】 このように、ケース1の内部の負圧状態が圧抜き弁10によって解消されるた め、開口部3側の室Bは常に大気圧に保持され、圧力依存性が低減し、その結果 ガスセンサの検出精度が向上することとなる。
【0017】
この考案は前記のように構成したことにより、ケース内が負圧状態となると、 圧抜き孔に配設された圧抜き弁が外気圧の作用により作動し、圧抜き孔が開放し てケース内部に外気が流れ込み、負圧状態が解消され、常にケースの内部が外気 圧に保持されるため、圧力依存性が低減し、その結果ガスセンサの検出精度が向 上するという優れた効果を有するものである。
【図1】この考案によるガスセンサの実施例を示す概略
断面図である。
断面図である。
【図2】ガスセンサの圧力依存性を示す図で、圧力とセ
ンサ出力との関係を示す図である。
ンサ出力との関係を示す図である。
【図3】検出ガスの濃度とセンサ出力との関係を示す図
である。
である。
1……ケース 2……圧抜き孔 3……開口部 4……センサ素子 5……電気回路 6……隔壁 7……連通孔 8……弁体 9……スプリング 10……圧抜き弁 11、12、13……フィルター 14……ピン
Claims (1)
- 【請求項1】 一端に圧抜き孔(2)が穿設され、他端
に開口部(3)が形成されたケース(1)内部にセンサ
素子(4)が配設され、前記開口部(3)から導入され
たガスの濃度を検出するガスセンサであって、前記圧抜
き孔(2)にこれを開閉する圧抜き弁(10)を配設
し、該圧抜き弁(10)によって前記ケース(1)内部
を大気圧に保持することを特徴とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9243391U JPH0543044U (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9243391U JPH0543044U (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ガスセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0543044U true JPH0543044U (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=14054305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9243391U Pending JPH0543044U (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0543044U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103328965A (zh) * | 2010-11-29 | 2013-09-25 | 气体产品与化学公司 | 用于测量气体的分子量的方法和设备 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP9243391U patent/JPH0543044U/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103328965A (zh) * | 2010-11-29 | 2013-09-25 | 气体产品与化学公司 | 用于测量气体的分子量的方法和设备 |
TWI463137B (zh) * | 2010-11-29 | 2014-12-01 | Air Prod & Chem | 測量氣體的分子量的方法及設備 |
US9459191B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the molecular weight of a gas |
CN108828065A (zh) * | 2010-11-29 | 2018-11-16 | 气体产品与化学公司 | 用于测量气体的分子量的方法和设备 |
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