JPH054178A - Driving device - Google Patents

Driving device

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JPH054178A
JPH054178A JP3016597A JP1659791A JPH054178A JP H054178 A JPH054178 A JP H054178A JP 3016597 A JP3016597 A JP 3016597A JP 1659791 A JP1659791 A JP 1659791A JP H054178 A JPH054178 A JP H054178A
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JP
Japan
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arm
attached
end portion
output module
motor
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Ryoji Ishibashi
良治 石橋
Toru Ishigame
徹 石亀
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

Abstract

PURPOSE:To provide a driving device operable with high speed and simple in structure. CONSTITUTION:The driver comprises a first arm 16 and a second arm 29 which are rotatably provided on the same axis, a two-axis output module 1 for driving each of the first and second arms 16, 29, a third arm 41 having a base end portion rotatably mounted to a fore end of the first arm 16, a fourth arm 42 having a base end portion rotatably mounted to a fore end portion of the second arm 29 and a fore end portion rotatably mounted to a fore end portion of the third arm 41, a theta axis motor 43 mounted to the fore end portion of the third arm 41, and a table 44 mounted to an output shaft of the theta axis motor 43.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、自動化ラインに組み込
まれるXYテーブルや工具等を駆動するのに好適な駆動
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving device suitable for driving an XY table, a tool and the like incorporated in an automation line.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の、例えば、XYテーブルのほとん
どの駆動装置は、直交する2本のX方向及びY方向リニ
アガイドに案内されるテーブルをボールねじ等で駆動す
るタイプが用いられている。
2. Description of the Related Art Most of conventional driving devices for XY tables, for example, use a type in which a table guided by two linear guides in the X and Y directions that are orthogonal to each other is driven by a ball screw or the like.

【0003】又、上記構成のXYテーブルを例えば、自
動化された基板製造ラインに組み込む場合には、基板等
の移載行うコンベアがXYテーブルと干渉するので、テ
ーブル面とコンベア面とに段差を設け、テーブル上にコ
ンベアへの基板移載機構(リフト機能と水平方向の移載
機能とを有した機構)が設けられている。
Further, when the XY table having the above structure is incorporated in, for example, an automated board manufacturing line, a conveyor for transferring boards and the like interferes with the XY table, so that a step is provided between the table surface and the conveyor surface. A table transfer mechanism (a mechanism having a lift function and a horizontal transfer function) is provided on the table.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成のX
Yテーブルの駆動において、絶対精度はX方向リニアガ
イド及びY方向リニアガイドの組み付け精度やボールね
じ等の送り精度に依存し、キャリブレーションが難しい
という問題点がある。
However, the above-mentioned configuration of X
In driving the Y table, the absolute accuracy depends on the assembling accuracy of the X-direction linear guide and the Y-direction linear guide, and the feed accuracy of the ball screw or the like, and there is a problem that calibration is difficult.

【0005】又、X方向リニアガイド及びY方向リニア
ガイドの大きさによりテーブルの移動範囲が限定される
という問題点もある。
There is also a problem that the moving range of the table is limited by the sizes of the X-direction linear guide and the Y-direction linear guide.

【0006】又、テーブル上にコンベアへの移載機構が
必要となるが、この移載機構はリフト機能をも必要なの
で、機構が複雑になるという問題点がある。
Further, a transfer mechanism to the conveyor is required on the table, but since this transfer mechanism also needs a lift function, there is a problem that the mechanism becomes complicated.

【0007】更に、一般に、ボールねじの移動速度は低
く(1 〜1.5m/sec)、高速な移動ができず、又、ボール
ねじは入手性が悪く、納期がかかるという問題点もあ
る。
Further, in general, the moving speed of the ball screw is low (1 to 1.5 m / sec), it cannot be moved at high speed, and the ball screw is not easily available, and there is a problem that it takes a delivery time.

【0008】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その第1の目的は、高速で、しかも構造が簡単な
駆動装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and a first object of the present invention is to provide a driving device which has a high speed and a simple structure.

【0009】又、本発明の別の目的は容易にキャリブレ
ーションが可能で、しかも広い動作範囲を有する駆動装
置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a drive device which can be easily calibrated and has a wide operating range.

【0010】又、本発明の更に他の目的は、小型で、内
部の配線が容易で、取り付けに制約がない2軸出力モジ
ュールを提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a biaxial output module which is small in size, has easy internal wiring, and has no restrictions on mounting.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項1の発明は、同軸上で各々回転可能に設けられた第1
のアーム及び第2のアームと、前記第1及び第2のアー
ムを各々駆動する2軸出力モジュールと、前記第1のア
ームの先端部に基端部が回転可能に取り付けられた第3
のアームと、前記第2のアームの先端部に基端部が回転
可能に取り付けられ、先端部が前記第3のアームの先端
部に回転可能に取り付けられた第4のアームと、ベース
側でy方向に設けられたY方向ガイドレールと、このY
方向ガイドレールに摺動可能に係合するサブテーブル
と、このサブテーブル上でx方向に設けられたX方向ガ
イドレールとを具備し、工具やテーブル等の被駆動物
が、このX方向ガイドレールに摺動可能に係合し、前記
第3及び第4のアームの先端部が回転可能に取り付けら
れるものである。
According to a first aspect of the invention for solving the above-mentioned problems, the first invention is provided so as to be rotatable coaxially with each other.
Arm and a second arm, a biaxial output module for driving each of the first and second arms, and a third end having a proximal end rotatably attached to a distal end of the first arm.
On the base side, and a fourth arm having a proximal end rotatably attached to the distal end of the second arm and a distal end rotatably attached to the distal end of the third arm. The Y-direction guide rail provided in the y-direction and this Y-direction guide rail
A sub table slidably engaged with the direction guide rail and an X direction guide rail provided on the sub table in the x direction are provided. Is slidably engaged with, and the tip ends of the third and fourth arms are rotatably attached.

【0012】又、請求項2の発明は、同軸上で各々回転
可能に設けられた第1のアーム及び第2のアームと、前
記第1及び第2のアームを各々駆動する2軸出力モジュ
ールと、前記第1のアームの先端部に基端部が回転可能
に取り付けられた第3のアームと、前記第2のアームの
先端部に基端部が回転可能に取り付けられ、先端部が前
記第3のアームの先端部に回転可能に取り付けられた第
4のアームと、前記第3のアームの先端部に取り付けら
れたθ軸モータとを具備し、工具やテーブル等の被駆動
物がこのθ軸モータの出力軸に取り付けられるものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, a first arm and a second arm which are coaxially rotatably provided, and a biaxial output module which drives the first and second arms, respectively, are provided. A third arm having a proximal end rotatably attached to the distal end of the first arm, and a proximal end rotatably attached to the distal end of the second arm, the distal end being The third arm includes a fourth arm rotatably attached to the tip of the third arm and a θ-axis motor attached to the tip of the third arm. It is attached to the output shaft of a shaft motor.

【0013】更に、請求項3の発明は、請求項1又は請
求項2の発明における前記2軸出力モジュールは、ベー
ス側に取り付けられるフランジと、このフランジの中心
穴に回転可能に配設され、一端部には前記第2のアーム
が取り付けられるシャフトと、前記フランジを介して一
方のサイドに設けられ、ステータがフランジ側,ロータ
はケーシングに取り付けられるとともに、ケーシングに
は前記第1のアームが取り付けられる第1のモータと、
前記フランジを介して他方のサイドに設けられ、ステー
タが前記フランジ側,ロータはケーシングに取り付けら
れるとともに、ケーシングには、前記シャフトの他端部
が取り付けられる第2のモータとから構成されるもので
ある。
Further, in the invention of claim 3, the biaxial output module in the invention of claim 1 or 2 is rotatably disposed in a flange attached to the base side and a center hole of the flange. A shaft to which the second arm is attached is provided at one end, and is provided on one side through the flange, the stator is attached to the flange side, the rotor is attached to the casing, and the first arm is attached to the casing. A first motor,
The second motor is provided on the other side through the flange, the stator is attached to the flange side, the rotor is attached to the casing, and the casing includes a second motor to which the other end of the shaft is attached. is there.

【0014】[0014]

【作用】請求項1の発明の駆動装置において、第1のア
ーム及び第2のアームが2軸出力モジュールにより各々
駆動されると、第3及び第4のアームも駆動され、サブ
テーブルはY方向ガイドレールに案内されてY方向に移
動し、工具やテーブル等の被駆動物はX方向ガイドテー
ブルに案内されてX方向に移動する。
In the drive device of the present invention, when the first arm and the second arm are respectively driven by the biaxial output module, the third and fourth arms are also driven, and the sub table is in the Y direction. Guided by the guide rail, it moves in the Y direction, and driven objects such as tools and tables are guided by the X direction guide table and move in the X direction.

【0015】請求項2の発明の駆動装置において、第1
のアーム及び第2のアームが2軸出力モジュールにより
各々駆動されると、第3及び第4のアームも駆動され、
被駆動物はXY方向に駆動される。そして、θ軸モータ
が駆動されると被駆動物はθ軸を中心に回転する。
In the drive apparatus of the invention of claim 2, the first
When the second arm and the second arm are respectively driven by the biaxial output module, the third and fourth arms are also driven,
The driven object is driven in the XY directions. When the θ-axis motor is driven, the driven object rotates about the θ-axis.

【0016】請求項3の発明の駆動装置において、請求
項1又は2の発明の駆動装置の2軸出力モジュールは、
第1のモータが駆動されると、第1のモータのロータの
回転力はケーシングを介して第1のアームに伝達され
る。
In the drive unit of the invention of claim 3, the biaxial output module of the drive unit of the invention of claim 1 or 2,
When the first motor is driven, the rotational force of the rotor of the first motor is transmitted to the first arm via the casing.

【0017】第2のモータが駆動されると、第2のモー
タのロータの回転力はケーシング,シャフトを介して第
2のアームに伝達される。
When the second motor is driven, the rotational force of the rotor of the second motor is transmitted to the second arm via the casing and the shaft.

【0018】[0018]

【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図1は本発明の第1の実施例を説明する構成図、図
2は図1における2軸出力モジュールの断面構成図、図
3は図1に示すXYテーブルの制御を説明する図、図4
は図1に示すXYテーブルを生産ラインに設置したとき
の構成図、図5は本発明の第2の実施例を説明する構成
図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a configuration diagram illustrating a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional configuration diagram of a biaxial output module in FIG. 1, FIG. 3 is a diagram illustrating control of an XY table shown in FIG. 1, and FIG.
1 is a configuration diagram when the XY table shown in FIG. 1 is installed in a production line, and FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a second embodiment of the present invention.

【0019】先ず、図1乃至図4を用いて本発明の第1
の実施例を説明する。先ず、図2を用いて2軸出力モジ
ュール1の説明を行う。この2軸出力モジュール1は第
1のモータ(DDモータ)2及び第2のモータ(DDモ
ータ)3より構成されている。そして、第1のモータ2
のベースである第1のフランジ4と、第2のモータ3の
ベースである第2のフランジ5とは対向積層配置されて
いる。
First, the first aspect of the present invention will be described with reference to FIGS.
An example will be described. First, the biaxial output module 1 will be described with reference to FIG. The biaxial output module 1 is composed of a first motor (DD motor) 2 and a second motor (DD motor) 3. Then, the first motor 2
The first flange 4 which is the base of the above and the second flange 5 which is the base of the second motor 3 are arranged so as to face each other.

【0020】一方、ベース6にはこの2軸出力モジュー
ル1の取り付け用の穴6aが穿設されている。この穴6
aに2軸出力モジュール1がセットされ、第1のフラン
ジ4及び第2のフランジ5が、ベース6の穴6aの周縁
部近傍にボルト7及びナット8を用いて取り付けられて
いる。
On the other hand, the base 6 is provided with a hole 6a for mounting the biaxial output module 1. This hole 6
The biaxial output module 1 is set in a, and the first flange 4 and the second flange 5 are attached to the base 6 in the vicinity of the peripheral edge of the hole 6a using bolts 7 and nuts 8.

【0021】次に、第1のモータ2を説明する。第1の
フランジ4上には、ボルト9を用いてスリーブ10が取
り付けられている。このスリーブ10には、ベアリング
11を介してケーシング12の下端部が回転可能に取り
付けられ、更に、スリーブ10の上部にはステータ12
が取り付けられている。ケーシング12の内周面には、
ステータ13に対して回転するロータ14が取り付けら
れている。ケーシング12の上端部には、ボルト15を
用いて、第1のアーム16が取り付けられている。
Next, the first motor 2 will be described. A sleeve 10 is attached to the first flange 4 with a bolt 9. A lower end portion of a casing 12 is rotatably attached to the sleeve 10 via a bearing 11, and a stator 12 is attached to an upper portion of the sleeve 10.
Is attached. On the inner peripheral surface of the casing 12,
A rotor 14 that rotates with respect to the stator 13 is attached. A first arm 16 is attached to the upper end of the casing 12 using a bolt 15.

【0022】次に、第2のモータ3を説明する。第2の
フランジ5には、ボルト17を用いてスリーブ18が取
り付けられている。このスリーブ18には、ベアリング
19を介してケーシング20の上端部が回転可能に取り
付けられ、更に、スリーブ18の下部にはステータ21
が取り付けられている。ケーシング20の内周面には、
ステータ21に対して回転するロータ22が取り付けら
れている。ロータ22の下端部には、ボルト23を用い
てジョイント24が取り付けられている。このジョイン
ト24の下端部は、第2のモータ3の下端部から第1の
モータ2の上端部まで延出する中空のシャフト25の下
端部に形成されたつば部25aにボルト26を用いて取
り付けられている。
Next, the second motor 3 will be described. A sleeve 18 is attached to the second flange 5 with a bolt 17. An upper end of a casing 20 is rotatably attached to the sleeve 18 via a bearing 19, and a stator 21 is attached to a lower portion of the sleeve 18.
Is attached. On the inner peripheral surface of the casing 20,
A rotor 22 that rotates with respect to the stator 21 is attached. A joint 24 is attached to the lower end of the rotor 22 using a bolt 23. The lower end of this joint 24 is attached using a bolt 26 to a collar 25a formed at the lower end of a hollow shaft 25 extending from the lower end of the second motor 3 to the upper end of the first motor 2. Has been.

【0023】シャフト25の上端面は、ボルト27を用
いて円盤上のジョイント28に取り付けられている。更
にこのジョイント28には、第2のアーム29がボルト
30を用いて取り付けられている。一方、第1のアーム
16には、ボルト31を用いてスリーブ32が取り付け
られている。このスリーブ32には、ベアリング33を
介して第2のアーム29が回転可能に取り付けられてい
る。尚、本実施例においては、第1のアーム16と第2
のアーム29とは同じ長さになるように設定されてい
る。
The upper end surface of the shaft 25 is attached to a joint 28 on the disk using bolts 27. Further, a second arm 29 is attached to the joint 28 with a bolt 30. On the other hand, a sleeve 32 is attached to the first arm 16 using a bolt 31. A second arm 29 is rotatably attached to the sleeve 32 via a bearing 33. In this embodiment, the first arm 16 and the second arm 16
The arm 29 is set to have the same length.

【0024】次に、図1を用いて、本実施例の駆動装置
の構成を説明する。第1のアーム16の先端部には、第
3のアーム41の基端部が回転可能に取り付けられてい
る。又、第2のアーム29の先端部には第4のアーム4
2の基端部が回転可能に取り付けられている。そして、
第3のアーム41及び第4のアーム42の先端部は互い
に回転可能なように取り付けられ、第1のアーム16,
第2のアーム29,第3のアーム41及び第4のアーム
42とで、所謂パンタグラフ機構が形成されている。
尚、本実施例においては、第3のアーム41と第4のア
ーム42とは同じ長さになるように設定されている。
Next, the structure of the driving apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG. The base end of the third arm 41 is rotatably attached to the tip of the first arm 16. Further, the fourth arm 4 is attached to the tip of the second arm 29.
Two base ends are rotatably mounted. And
The tip ends of the third arm 41 and the fourth arm 42 are rotatably attached to each other.
The second arm 29, the third arm 41 and the fourth arm 42 form a so-called pantograph mechanism.
In addition, in the present embodiment, the third arm 41 and the fourth arm 42 are set to have the same length.

【0025】第3のアーム41の先端部には、θ軸モー
タ(θ軸;X―Y平面に垂直な軸)43が設けられてい
る。そして、このθ軸モータ43の出力軸には、テーブ
ル(XYテーブル)44が取り付けられている。
A θ-axis motor (θ-axis; axis perpendicular to the XY plane) 43 is provided at the tip of the third arm 41. A table (XY table) 44 is attached to the output shaft of the θ-axis motor 43.

【0026】次に、上記構成の作動を説明する。2軸出
力モジュール1の第1のモータ2に電流を流すと、ロー
タ14がステータ13に対して回転する。このロータ1
4の回転は、ケーシング12を介して第1のアーム16
に伝達され、第1のアーム16は回転する。
Next, the operation of the above configuration will be described. When a current is passed through the first motor 2 of the biaxial output module 1, the rotor 14 rotates with respect to the stator 13. This rotor 1
Rotation of the first arm 16 through the casing 12.
Is transmitted to the first arm 16 to rotate.

【0027】同様に、2軸出力モジュール1の第2のモ
ータ3に電流を流すと、ロータ22がステータ21に対
して回転し、このロータ22の回転は、ケーシング2
0,ジョイント24,シャフト25,ジョイント28を
介して第2のアーム29に伝達され、第2のアーム29
は第1のアーム16と同軸上で回転する。
Similarly, when an electric current is applied to the second motor 3 of the biaxial output module 1, the rotor 22 rotates with respect to the stator 21, and the rotation of the rotor 22 causes the rotation of the casing 2.
0, the joint 24, the shaft 25, and the joint 28, and is transmitted to the second arm 29.
Rotates coaxially with the first arm 16.

【0028】この第1のアーム16と第2のアーム29
との回転により、テーブル44は図1の一点鎖線に示す
ように、さまざまな位置をとることが可能となる。
The first arm 16 and the second arm 29
The rotation of and allows the table 44 to assume various positions as shown by the alternate long and short dash line in FIG.

【0029】尚、本実施例では、このテーブル44がど
の位置にあっても、更に、移動中であっても、テーブル
44がX 軸に平行(いかなる状態でも回転しない)にな
るように制御を行っている。
In the present embodiment, control is performed so that the table 44 is parallel to the X axis (does not rotate in any state) regardless of the position of the table 44 or during movement. Is going.

【0030】この制御は、下記のようにして行われる。
図3に示すように、 第1のアーム16と第2のアーム29のなす角;
(θ1 −θ2 ) 第1のアーム16と第2のアーム29とのなす角の二等
分線の方向θ3 ;θ3 =(θ1 −θ2 )/2 ここで、テーブル44がいかなる位置においても、回転
しないようにするためには、第1のアーム16と第2の
アーム29とのなす角の二等分線とテーブルとの角度θ
4 が(90°−θ3 )となるように制御を行っている。
This control is performed as follows.
As shown in FIG. 3, the angle formed by the first arm 16 and the second arm 29;
(Θ1−θ2) Direction of bisector of angle formed by first arm 16 and second arm 29 θ3; θ3 = (θ1−θ2) / 2 Here, the table 44 rotates at any position. To prevent this, the angle θ between the bisector of the angle formed by the first arm 16 and the second arm 29 and the table is θ.
The control is performed so that 4 becomes (90 ° -θ3).

【0031】但し、本実施例においては、第3のアーム
41上にθ軸モータ43を取り付けているので、第3の
アーム41の方向ψをθ4 に加味する必要がある。
However, in this embodiment, since the θ-axis motor 43 is mounted on the third arm 41, the direction ψ of the third arm 41 needs to be added to θ4.

【0032】そして、θ3 (f(θ1,θ2 ))を計算
し、テーブル44の回転角を制御している。もしくは、
テーブル44にジャイロを設け、ジャイロと2軸出力モ
ジュール1との間でフィードバックする。更には、両者
の結果をうまく分析し、出力とすることにより、テーブ
ル44の回転角を制御することができる。
Then, θ3 (f (θ1, θ2)) is calculated and the rotation angle of the table 44 is controlled. Or
A gyro is provided on the table 44, and feedback is performed between the gyro and the biaxial output module 1. Furthermore, the rotation angle of the table 44 can be controlled by properly analyzing the results of both and outputting them.

【0033】次に、図4を用いて、本実施例の駆動装置
を基板生産ラインに設置した時の説明を行う。図におい
て、第1のベルトコンベア51と第2のベルトコンベア
52との間には、2軸出力モジュール1が配設されてい
る。そしてテーブル44上には、移載装置として移載ベ
ルトコンベア53が設けられている。
Next, with reference to FIG. 4, a description will be given of the case where the drive unit of this embodiment is installed in a substrate production line. In the figure, a biaxial output module 1 is arranged between a first belt conveyor 51 and a second belt conveyor 52. A transfer belt conveyor 53 is provided on the table 44 as a transfer device.

【0034】このような構成で、第1のベルトコンベア
51で搬送されてきた基板(ワーク)は、テーブル44
上の移載ベルトコンベア53によって引き込まれ、移載
ベルトコンベア53上にセットされる。このセットが完
了すると、2軸出力モジュール1が駆動され、テーブル
44を作業エリアWへ移動させる。ここで、基板に対し
てハンダ付け等の作業が行われ、再び、第1のベルトコ
ンベア51及び第2のベルトコンベア52の間に移動さ
せる。この時、θ軸モータ43を駆動させ、テーブル4
4を180°反転させる。そして、移載ベルトコンベア
53を用いて第2のベルトコンベア52へ基板を移載
し、一連の作業を終了する。
With the above-mentioned structure, the substrate (workpiece) conveyed by the first belt conveyor 51 is transferred to the table 44.
It is drawn in by the upper transfer belt conveyor 53 and set on the transfer belt conveyor 53. When this setting is completed, the biaxial output module 1 is driven and the table 44 is moved to the work area W. Here, a work such as soldering is performed on the substrate, and the substrate is moved again between the first belt conveyor 51 and the second belt conveyor 52. At this time, the θ-axis motor 43 is driven to drive the table 4
Invert 4 180 °. Then, the transfer belt conveyor 53 is used to transfer the substrate to the second belt conveyor 52, and a series of operations is completed.

【0035】上記構成によれば、本実施例の駆動装置の
取り付けは、2軸出力モジュール1をベース6にボルト
7を用いて取り付けるだけでよいので、取り付けが簡単
となる。テーブル44上の基板(ワーク)へは、上側及
び下側の両側よりアクセスが可能となる。テーブル44
上の移載機構にリフト機能が不要となるため、構造が簡
単となる。作業エリアWにコンベア部を加えた大きさが
略装置外形となるためコンパクトになる。更に、XYテ
ーブルとしての動作エリアにとどまらず、アームの最長
時の半径内は、動作エリアとすることができるので、テ
ーブル型のマテリアルハンドリング装置として利用でき
る。
According to the above construction, the drive device of this embodiment can be mounted simply by mounting the biaxial output module 1 on the base 6 using the bolts 7. The substrate (workpiece) on the table 44 can be accessed from both upper and lower sides. Table 44
Since the upper transfer mechanism does not need a lift function, the structure is simple. Since the size of the work area W plus the conveyor section is substantially the outer shape of the device, it is compact. Further, not only the operating area as the XY table but also the operating area within the radius of the longest arm can be used as a table type material handling device.

【0036】又、テーブル44の駆動にボールスクリュ
ーを用いていないので、移動速度をアップすることがで
きる。更に、2軸出力モジュール1及びθ軸モータ43
を制御することにより、XYテーブルのキャリブレーシ
ョンを簡単に行うことができる。
Further, since the ball screw is not used to drive the table 44, the moving speed can be increased. Further, the two-axis output module 1 and the θ-axis motor 43
The XY table can be easily calibrated by controlling the.

【0037】更に、本実施例の2軸出力モジュール1
は、従来の従来の汎用アクチュエータモジュール(ロボ
ット)に比べて下記のような特徴を有している。
Furthermore, the two-axis output module 1 of this embodiment
Has the following features as compared with the conventional general-purpose actuator module (robot).

【0038】スカラー型のロボット、例えば、回転する
第1アームの先端部に第2アームの駆動源が設けられた
ロボット、を考えると、このスカラー型ロボットは第1
アームの駆動源は第2のアームの駆動源をも回転させな
ければならないので、第1のアームの駆動源は大型のも
のとなるが、本実施例の2軸出力モジュール1は、駆動
源を小型のものとすることができる。又、スカラー型ロ
ボットは、可動部上に駆動源があるので、配線にも注意
する必要があるが、本実施例の2軸出力モジュール1
は、可動部には駆動源を設けていないので、配線が楽
で、多回転が可能となる。更に、シャフト25の中空部
内を介して配線を行うことも可能である。
Considering a scalar type robot, for example, a robot in which the driving source of the second arm is provided at the tip of the rotating first arm, this scalar type robot is the first type.
Since the drive source of the arm must also rotate the drive source of the second arm, the drive source of the first arm is large, but the two-axis output module 1 of this embodiment does not require the drive source. It can be small. Also, since the scalar type robot has a drive source on the movable part, it is necessary to pay attention to the wiring, but the two-axis output module 1 of this embodiment is used.
Since the movable part has no drive source, wiring is easy and multiple rotations are possible. Further, wiring can be performed through the hollow portion of the shaft 25.

【0039】又、水平多関節型のロボット、例えば、モ
ータ軸を対向させて取り付け、アームが2つのモータの
間より延出するロボット、を考えると、アームが2つの
モータの間より延出しているので、アプリケーションに
制約があるが、本実施例の2軸出力モジュール1ではそ
のような制約はない。
Considering a horizontal articulated robot, for example, a robot in which the motor shafts are opposed to each other and the arm extends between two motors, the arm extends beyond the two motors. Therefore, there are restrictions on the application, but the biaxial output module 1 of the present embodiment does not have such restrictions.

【0040】次に、図5を用いて、本発明の第2の実施
例を説明する。本実施例において、第1の実施例と同一
部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。ベ
ース6上にy方向にY方向ガイドレール61が設けら
れ、このY方向ガイドレール61に摺動可能にサブテー
ブル62が係合している。サブテーブル62上には、x
方向にX方向ガイドレール63が設けられ、テーブル6
4がこのX方向ガイドテーブル63に摺動可能に係合し
ている。そして、第3及び第4のアーム41,42の先
端部が回転可能にテーブル64に取り付けられている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and their description will be omitted. A Y-direction guide rail 61 is provided on the base 6 in the y-direction, and a sub-table 62 is slidably engaged with the Y-direction guide rail 61. On the sub table 62, x
X-direction guide rail 63 is provided in the direction of the table 6
4 is slidably engaged with the X-direction guide table 63. The tip ends of the third and fourth arms 41, 42 are rotatably attached to the table 64.

【0041】上記構成においても、2軸出力モジュール
1をベース6にボルト7を用いて取り付けるだけでよい
ので、取り付けが簡単となる。又、テーブル63の駆動
にボールスクリューを用いていないので、移動速度をア
ップすることができる。
Also in the above configuration, the biaxial output module 1 need only be attached to the base 6 by using the bolts 7, so that the attachment is simple. Further, since the ball screw is not used to drive the table 63, the moving speed can be increased.

【0042】尚、本発明は上記実施例に限るものではな
い。上記実施例では駆動装置の被駆動物としてテーブル
(XYテーブル)である場合で説明をおこなったが、被
駆動物として、他に、工具等であってもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, the description has been given of the case where the driven object of the drive device is the table (XY table), but the driven object may be a tool or the like.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明によれ
ば、ボールねじを用いていないので、このボールねじの
送り精度に依存せず、キャリブレーションが簡単で、し
かも、駆動速度が高速となる駆動装置を実現できる。
As described above, according to the first aspect of the invention, since the ball screw is not used, the calibration is simple and the driving speed is high without depending on the feed accuracy of the ball screw. Can be realized.

【0044】又、請求項2の発明においては、リニアガ
イド及びボールねじを用いていないので、リニアガイド
の組み付け精度やボールねじの送り精度に依存せず、キ
ャリブレーションが簡単で、しかも、駆動速度が高速な
駆動装置を実現できる。更に、リニアガイドの大きさに
より移動範囲が限定されるということもなくなり、広い
動作範囲を有することになる。又、θ軸モータを設けた
ことにより、XYテーブルを駆動する場合、テーブル上
に移載機構を設けることがなくなり、機構を簡単にする
ことができる。
Further, in the invention of claim 2, since the linear guide and the ball screw are not used, the calibration is easy and the driving speed does not depend on the assembly accuracy of the linear guide or the feed accuracy of the ball screw. Can realize a high-speed drive device. Further, the moving range is not limited by the size of the linear guide, and the operating range is wide. Further, since the θ-axis motor is provided, when the XY table is driven, the transfer mechanism is not provided on the table, and the mechanism can be simplified.

【0045】更に、請求項3の発明においては、小型
で、内部の配線が容易で、取り付けに制約がない2軸出
力モジュールを実現できる。
Further, according to the third aspect of the invention, it is possible to realize a biaxial output module which is small in size, has easy internal wiring, and has no restrictions on mounting.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を説明する構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a first embodiment of the present invention.

【図2】図1における2軸出力モジュールの断面構成図
である。
FIG. 2 is a cross-sectional configuration diagram of the biaxial output module in FIG.

【図3】図1に示すXYテーブルの制御を説明する図で
ある。
FIG. 3 is a diagram illustrating control of an XY table shown in FIG.

【図4】図1に示すXYテーブルを生産ラインに設置し
たときの構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram when the XY table shown in FIG. 1 is installed in a production line.

【図5】本発明の第2の実施例を説明する構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 2軸出力モジュール 2 第1のモータ 3 第2のモータ 4 第1のフランジ 5 第2のフランジ 6 ベース 12,20 ケーシング 13,22 ロータ 14,21 ステータ 16 第1のアーム 25 シャフト 29 第2のアーム 41 第3のアーム 42 第4のアーム 43 θ軸モータ 44 テーブル 61 Y軸方向ガイドレール 62 サブテーブル 63 X方向ガイドレール 64 テーブル 1 2 axis output module 2 First motor 3 Second motor 4 First flange 5 Second flange 6 base 12,20 casing 13,22 rotor 14,21 Stator 16 First Arm 25 shaft 29 Second Arm 41 Third Arm 42 Fourth Arm 43 θ-axis motor 44 tables 61 Y-axis direction guide rail 62 subtable 63 X-direction guide rail 64 tables

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同軸上で各々回転可能に設けられた第1
のアーム(16)及び第2のアーム(29)と、前記第
1及び第2のアーム(16,29)を各々駆動する2軸
出力モジュール(1)と、前記第1のアーム(16)の
先端部に基端部が回転可能に取り付けられた第3のアー
ム(41)と、前記第2のアーム(29)の先端部に基
端部が回転可能に取り付けられ、先端部が前記第3のア
ーム(41)の先端部に回転可能に取り付けられた第4
のアーム(42)と、ベース側でy方向に設けられたY
方向ガイドレール(61)と、このY方向ガイドレール
(61)に摺動可能に係合するサブテーブル(62)
と、このサブテーブル(62)上でx方向に設けられた
X方向ガイドレール(63)とを具備し、工具やテーブ
ル等の被駆動物が、このX方向ガイドレール(63)に
摺動可能に係合し、前記第3及び第4のアーム(41,
42)の先端部が回転可能に取り付けられることを特徴
とする駆動装置。
1. A first rotatably provided coaxially with each other.
An arm (16) and a second arm (29), a biaxial output module (1) for driving each of the first and second arms (16, 29), and a first arm (16). A third arm (41) having a proximal end rotatably attached to the distal end portion, and a proximal end portion rotatably attached to the distal end portion of the second arm (29), the distal end portion being the third 4 rotatably attached to the tip of the arm (41) of the
Arm (42) and Y provided on the base side in the y direction
Direction guide rail (61) and sub-table (62) slidably engaged with the Y direction guide rail (61)
And an X-direction guide rail (63) provided on the sub-table (62) in the x-direction so that driven objects such as tools and tables can slide on the X-direction guide rail (63). To the third and fourth arms (41,
42) A drive device in which a tip portion of 42) is rotatably attached.
【請求項2】 同軸上で各々回転可能に設けられた第1
のアーム(16)及び第2のアーム(29)と、前記第
1及び第2のアーム(16,29)を各々駆動する2軸
出力モジュール(1)と、前記第1のアーム(16)の
先端部に基端部が回転可能に取り付けられた第3のアー
ム(41)と、前記第2のアーム(29)の先端部に基
端部が回転可能に取り付けられ、先端部が前記第3のア
ーム(41)の先端部に回転可能に取り付けられた第4
のアーム(42)と、前記第3のアーム(41)の先端
部に取り付けられたθ軸モータ(43)とを具備し、工
具やテーブル等の被駆動物がこのθ軸モータ(43)の
出力軸に取り付けられることを特徴とする駆動装置。
2. A first rotatably provided coaxially with each other.
An arm (16) and a second arm (29), a biaxial output module (1) for driving each of the first and second arms (16, 29), and a first arm (16). A third arm (41) having a proximal end rotatably attached to the distal end portion, and a proximal end portion rotatably attached to the distal end portion of the second arm (29), the distal end portion being the third 4 rotatably attached to the tip of the arm (41) of the
Arm (42) and a θ-axis motor (43) attached to the tip of the third arm (41), and a driven object such as a tool or a table is the θ-axis motor (43). A drive device characterized by being attached to an output shaft.
【請求項3】 前記2軸出力モジュール(1)は、ベー
ス(6)側に取り付けられるフランジ(4,5)と、こ
のフランジ(4,5)の中心穴に回転可能に配設され、
一端部には前記第2のアーム(29)が取り付けられる
シャフト(25)と、前記フランジ(4,5)を介して
一方のサイドに設けられ、ステータ(13)がフランジ
(4,5)側,ロータ(14)はケーシング(12)に
取り付けられるとともに、ケーシング(12)には前記
第1のアーム(16)が取り付けられる第1のモータ
(2)と、前記フランジ(4,5)を介して他方のサイ
ドに設けられ、ステータ(21)が前記フランジ(4,
5)側,ロータ(22)はケーシング(20)に取り付
けられるとともに、ケーシング(20)には、前記シャ
フト(25)の他端部が取り付けられる第2のモータ
(3)と、から構成される請求項1又は請求項2記載の
駆動装置。
3. The biaxial output module (1) is rotatably disposed in a flange (4,5) attached to the base (6) side and a central hole of the flange (4,5).
The shaft (25) to which the second arm (29) is attached is provided at one end thereof, and the stator (13) is provided on one side via the flanges (4, 5), and the stator (13) is on the flange (4,5) side. , The rotor (14) is attached to the casing (12), and the first arm (16) is attached to the casing (12) via the first motor (2) and the flanges (4, 5). And the stator (21) is provided on the other side, and the flange (4,
5) side, the rotor (22) is attached to the casing (20), and the casing (20) includes a second motor (3) to which the other end of the shaft (25) is attached. The drive device according to claim 1 or 2.
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