JPH01303360A - Two dimensional moving mechanism - Google Patents
Two dimensional moving mechanismInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＸ−Ｙステージ等の２次元運動機構に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a two-dimensional movement mechanism such as an X-Y stage.
（従来の技術）
従来、移動体を所定の矩形平面内で移動可能に設けた２
次元運動機構としては、本願発明者が開発し、実開昭５
９−８８５６号公報に開示される技術が有る。この技術
は３次元運動機構であるが、平行に配された２組のＸ軸
ガイドと、平行に配されると共に、前記Ｘ軸ガイドとは
略同一平面内で直交する２組のＹ軸ガイドと、前記Ｘ軸
ガイドとＹ軸ガイドとで囲まれて形成される矩形平面内
を移動可能な移動体と、前記Ｘ軸ガイドに沿って移動可
能に配された２個のＸ！Ｔｏ駆動部と、前記Ｙ軸ガイド
に沿って移動可能に配された２個のＹ！Ｉｌｌ駆動部と
、前記移動体へ前記Ｙ軸ガイドに平行に挿通され、両端
が前記Ｘ軸駆動部に連結されたＸ軸ロッドと、前記移動
体へ前記Ｘ軸ガイドに平行に挿通され、両端が前記Ｙ軸
駆動部に連結されたＹ軸ロッドとを有し、移動体は２次
元運動を行う構成になっている。(Prior art) Conventionally, a movable body is provided so as to be movable within a predetermined rectangular plane.
The dimensional motion mechanism was developed by the inventor of the present application and
There is a technique disclosed in Japanese Patent No. 9-8856. This technology is a three-dimensional movement mechanism, which includes two sets of X-axis guides arranged in parallel, and two sets of Y-axis guides arranged in parallel and perpendicular to the X-axis guides in approximately the same plane. , a movable body movable within a rectangular plane surrounded by the X-axis guide and the Y-axis guide, and two X! To drive unit and two Y!s movably arranged along the Y-axis guide. an X-axis rod that is inserted into the moving body parallel to the Y-axis guide and has both ends connected to the X-axis drive unit; has a Y-axis rod connected to the Y-axis drive section, and the movable body is configured to perform two-dimensional movement.
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の運動機構には次のような課題があ
る。(Problems to be Solved by the Invention) However, the above movement mechanism has the following problems.
例えば、移動体をＸ−Ｙステージのステージとして利用
し、ステージ上に載置された基板上にＩＣチップを位置
決めする作業において、ＩＣチ。For example, when a moving body is used as an X-Y stage and an IC chip is positioned on a substrate placed on the stage, the IC chip is used.
プをＸ軸方向、Ｙ軸方向に配置する場合はステージがＸ
軸方向及びＹ軸方向には自由に直線運動を行い得るので
極めて容易に制御することができる。When placing the stage in the X-axis direction or Y-axis direction, the stage
Since linear motion can be freely performed in the axial direction and the Y-axis direction, it can be controlled extremely easily.
しかし、ＩＣチップをある特定の地点を中心として放射
状に配置する場合、ｘ−ｙ方向にしか移動しないステー
ジだけの位置制御では対応できない。However, when IC chips are arranged radially around a particular point, position control using only a stage that moves only in the x and y directions cannot handle the problem.
また、ｒｃチップの供給装置の供給機構部分が回転可能
になっていれば供給装置の方を制御すればよいがその場
合プログラムが複雑となってしまう。Further, if the supply mechanism part of the RC chip supply device is rotatable, the supply device can be controlled, but in that case, the program becomes complicated.
さらには、ステージに円運動が要求される場合、上記の
運りＪ機構は対応できないという課題がある。Furthermore, when the stage is required to perform circular motion, there is a problem that the above-mentioned transport J mechanism cannot cope with the situation.
従って、本発明は移動体に回転運動機能を持たせた２次
元運！Ｉｉ、ＩＩ機構を提供することを目的とする。Therefore, the present invention is a two-dimensional transport system in which a moving body has a rotary motion function! The purpose is to provide Ii, II mechanism.
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するため本発明は次の構成を備える。(Means for solving problems) In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
すなわち、長さ方向に平行に配された２組のＸ軸案内手
段と、長さ方向に平行に配されると共に、前記Ｘ軸案内
手段とは略同一平面内で直交する２組のＹ軸案内手段と
、前記各々のＸ軸案内手段により該Ｘ軸案内手段の長さ
方向に移動可能な２（固のＸ軸駆動体と、前記各々のＹ
軸案内手段により該Ｙ軸案内手段の長さ方向に移動可能
な２１１１ｉ１のＸ軸駆動体と、両端がそれぞさ前記Ｘ
軸駆動体に連結されて前記Ｙ軸案内手段に平行に設けら
れたＸ軸ロッドと、両端がそれぞれ前記Ｘ軸駆動体に連
結されて前記Ｘ軸案内手段に平行に設けられたＹ軸つッ
ドと、前記Ｘ軸ロッドとＹ軸ロッドが挿通されると共に
、Ｘ軸ロッド上及びＹ軸ロッド上を移動自在に設けられ
た移動体と、該移動体に回動自在に設けられた回転体と
、前記Ｘ軸駆動体を駆動させるためのＸ！＋Ｉ］駆動手
段と、前記Ｘ軸駆動体を駆動させるためのＹ１１！ｌｌ
ｌ駆動手段と、前記回転体を回転させるための回転駆動
手段とを具備することを特徴とする。That is, two sets of X-axis guide means arranged parallel to the length direction, and two sets of Y-axis guide means arranged parallel to the length direction and perpendicular to the X-axis guide means in substantially the same plane. a guide means, a fixed X-axis drive body, and a fixed
an X-axis drive body 2111i1 movable in the length direction of the Y-axis guide means by a shaft guide means;
an X-axis rod connected to the shaft drive body and provided parallel to the Y-axis guide means; and a Y-axis rod connected at both ends to the X-axis drive body and provided parallel to the X-axis guide means. a moving body through which the X-axis rod and the Y-axis rod are inserted and movable on the X-axis rod and the Y-axis rod; and a rotating body rotatably provided on the moving body. and X! for driving the X-axis drive body. +I] driving means and Y11 for driving the X-axis driving body! ll
1 drive means, and a rotation drive means for rotating the rotating body.
（作用）
Ｘ軸駆動体とＸ軸駆動体がＸ軸駆動手段とＹ軸駆動手段
により駆動され、所定のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置へ
移動すると、移動体及びその移動体に設けられた回転体
も所定のＸ−Ｙ座標位置へ移動する。そして回転駆動手
段により回転体が回転すると、所定の位置での回転機能
を得ることができる。(Function) When the X-axis drive body and the X-axis drive body are driven by the X-axis drive means and the Y-axis drive means and move to predetermined positions in the X-axis direction and Y-axis direction, the moving body and the The rotating body also moves to a predetermined X-Y coordinate position. When the rotating body is rotated by the rotation driving means, a rotation function at a predetermined position can be obtained.
（実施例）
以下、本発明の好適な実施例について添付図面と共に詳
述する。(Embodiments) Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図において、１０はフレームであり、四角形の中央
が抜かれた枠体である。In FIG. 1, 10 is a frame, which is a rectangular frame with the center cut out.
１２．１４はＸ軸案内手段であるＸ軸ボールネジであり
、所定の間隔をおいて平行に配されている。Reference numerals 12 and 14 denote X-axis ball screws serving as X-axis guide means, which are arranged in parallel at a predetermined interval.
１６．１８はＹ軸案内手段であるＹ軸ボールネジであり
、やはり所定の間隔をおいて平行に配されると共に、Ｘ
軸ボールネジ１２．１４と略同一平面内で直交するよう
に配されている。16.18 is a Y-axis ball screw which is a Y-axis guide means, and is also arranged in parallel at a predetermined interval, and
It is arranged so as to be orthogonal to the shaft ball screw 12, 14 in substantially the same plane.
２０．２２はＸ軸駆動体であり、Ｘ軸ボールネジ１２．
１４へそれぞれ螺合されている。Ｘ軸駆動体２２．２４
は、Ｘ軸ポールネジ１２．１４がＸ軸駆動手段であるＸ
軸モータ２６を駆動すると、両者が同一方向へ同角度回
転することにより、同期してそれぞれＸ軸ボールネジ１
２．１４上をＸ軸方向に移動するようになっている。な
お、Ｘ軸ボールネジ１４への回転力はＸ軸モータ２６か
ら伝達機構２８を介して伝達される。20.22 is an X-axis drive body, and an X-axis ball screw 12.
14, respectively. X-axis drive body 22.24
is an X-axis where the X-axis pole screw 12.14 is the X-axis drive means.
When the shaft motors 26 are driven, both rotate in the same direction and at the same angle, thereby synchronously driving the X-axis ball screw 1.
2.14 in the X-axis direction. Note that the rotational force to the X-axis ball screw 14 is transmitted from the X-axis motor 26 via a transmission mechanism 28.
３０．３２はＹ軸駆動体であり、Ｙ軸ポールネジ１６．
１８へそれぞれ螺合されている。Ｙ軸駆動体３０．３２
は、Ｙ軸ボールネジ１６．１８がＹＩ軸駆動手段である
Ｙ軸モータ３４を駆動すると、両者が同一方向へ同角度
回転することにより、同期してそれぞれＹ軸ポールネジ
１６．１８上をＹ軸方向に移動するようになっている。30.32 is a Y-axis drive body, and Y-axis pole screw 16.
18, respectively. Y-axis drive body 30.32
When the Y-axis ball screw 16.18 drives the Y-axis motor 34, which is the YI-axis drive means, both rotate in the same direction and at the same angle, thereby synchronously moving each Y-axis pole screw 16.18 in the Y-axis direction. It is supposed to move to .
なお、Ｙ軸ボールネジ１８への回転力はＹ軸モータ３４
から伝達機構３６を介して伝達される。Note that the rotational force to the Y-axis ball screw 18 is provided by the Y-axis motor 34.
The signal is transmitted from the transmission mechanism 36 through the transmission mechanism 36.
３８．４０はＸ軸ロッドであり、両端はＸ軸駆動体２２
．２４へ固定され、Ｘ軸駆動体２２．２４の回動を防止
し、かつＹ軸ボールネジ１６．１８と平行に配されてい
る。38.40 is an X-axis rod, and both ends are connected to the X-axis drive body 22.
．． 24 to prevent rotation of the X-axis drive body 22.24, and is arranged parallel to the Y-axis ball screw 16.18.
４２．４４はＹ軸ロッドであり、両端はＹ軸駆動体３０
．３２へ固定され、Ｙ軸駆動体３０．３２回動を防止し
、かつＸ軸ボールネジ１２．１４と平行に配されている
。42 and 44 are Y-axis rods, both ends of which are connected to the Y-axis drive body 30.
．． 32 to prevent rotation of the Y-axis drive body 30.32, and is arranged parallel to the X-axis ball screw 12.14.
４６は移動体であり、四方の縁部にはＸ軸ロッド３８．
４０とＹ軸ロッド４２．４４が挿通され・、移動体４６
はＸ軸ロッド３８．４０上及びＹ軸ロッド４２．４４上
を移動自在になっている。従って、移動体４６はＸ軸駆
動体３８．４０とＹ軸駆動体４２．４４のそれぞれＸ軸
方向及びＹ軸方向の移動に伴い、Ｘ軸ボールネジ１２．
１４及びＹ軸ボールネジ１６．１８とに囲まれた矩形平
面４８内を移動する。46 is a moving body, and X-axis rods 38.
40 and Y-axis rods 42 and 44 are inserted, and the moving body 46
is movable on the X-axis rod 38.40 and the Y-axis rod 42.44. Therefore, the movable body 46 moves as the X-axis drive body 38.40 and the Y-axis drive body 42.44 move in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively.
14 and the Y-axis ball screw 16, 18 within a rectangular plane 48.
５０は回転体であり、移動体４６に回動自在に設けられ
ており、中央部分には貫通孔５２が穿設された筒状をな
している。回転体５０の上端部にはワーク載置用のフラ
ンジ部５４が形成されている。この回転体５０は移動体
４６に配設された回転駆動手段であるサーボモータ５６
によって回転するようになっている。そのサーボモータ
５６は不図示のコードにより制御系へ接続されている。Reference numeral 50 denotes a rotary body, which is rotatably provided on the movable body 46 and has a cylindrical shape with a through hole 52 bored in the center portion. A flange portion 54 for placing a workpiece is formed at the upper end of the rotating body 50. This rotating body 50 is driven by a servo motor 56 which is a rotational driving means disposed on the movable body 46.
It is rotated by. The servo motor 56 is connected to a control system by a cord (not shown).
この移動体４６と回転体５０のＡ−Ａ部分の断面図を第
２図に示す。A cross-sectional view of the movable body 46 and the rotating body 50 taken along the line A-A is shown in FIG.
第２図において、移動体４６と回転体５０の間には回転
用ベアリング５８が介挿されており、回転体５０に外嵌
固定されたプーリ６０にはサーボモータ５６ （第２図
には不図示）からの回転力を伝達するタイミングベルト
６２が架は回されている。従って、サーボモータ５６の
回転力がタイミングベルト６２によって伝達されて回転
体５０は、移動体４６に対して回転を行う。この回転体
５０の回転角度、回転数等は、前述の制御系にサーボモ
ータ５６がコントロールされることにより決まる。なお
、６４はブレーキディスクであり、やはり制御系にコン
トロールされるブレーキ装置６６・・・に挾持されて回
転体５０の停止状態を保持させるようになっている。In FIG. 2, a rotation bearing 58 is inserted between the moving body 46 and the rotating body 50, and a servo motor 56 (not shown in FIG. The rack is rotated by a timing belt 62 that transmits rotational force from a motor (not shown). Therefore, the rotational force of the servo motor 56 is transmitted by the timing belt 62, and the rotating body 50 rotates with respect to the moving body 46. The rotation angle, rotation speed, etc. of this rotating body 50 are determined by the control of the servo motor 56 by the aforementioned control system. In addition, 64 is a brake disc, which is held in a brake device 66 which is also controlled by a control system to maintain the stopped state of the rotating body 50.
このように構成された２次元運動機構を加工装置のＸ−
Ｙステージとして使用する際の動作について説明する。The two-dimensional movement mechanism configured in this way is
The operation when used as a Y stage will be explained.
回転体５０のフランジ部５４にワーク６日を載置して、
プログラムによりＮＣ制御系を作動させると、制御系は
Ｘ軸モータ２６及びＹ軸モータ３４を所定の方向と量だ
け回転させる。するとＸ軸駆動体２２．２４とＹ軸駆動
体３０．３２をそれぞれ所定のＸ軸方向およびＹ軸方向
の位置へ移動させる。この移動に伴い移動体４６も矩形
平面４８内の所定のＸ−Ｙ座標位置へ移動する。ここで
制御系がサーボモータ５６を回転させるとタイミングベ
ルト６２を介して回転力が伝えられ、回転体５０は移動
体４６のＸ−Ｙ座標を中心として回転を始める。すると
ワーク６８を回転させることができる。そこで例えば、
移動体４６のＸ−Ｙ座標から一定距離離れた地点にＩＣ
チップの供給機構をセットし、供給動作と回転体５０の
回転！（回転角度）を連動させることによってＩＣチッ
プをワーク６８上に放射状に配置することが可能となる
。その際にブレーキ装置６６・・・により回転体５０は
回転停止の状態を供給機構の作業中保持している。また
、サーボモータ５６を連続的に回転するとワーク６８に
円運動させることが可能となる。Place the workpiece 6th on the flange portion 54 of the rotating body 50,
When the NC control system is operated by a program, the control system rotates the X-axis motor 26 and the Y-axis motor 34 by a predetermined direction and amount. Then, the X-axis drive body 22.24 and the Y-axis drive body 30.32 are moved to predetermined positions in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. Along with this movement, the moving body 46 also moves to a predetermined XY coordinate position within the rectangular plane 48. Here, when the control system rotates the servo motor 56, rotational force is transmitted via the timing belt 62, and the rotating body 50 starts rotating around the XY coordinates of the moving body 46. Then, the workpiece 68 can be rotated. So, for example,
An IC is placed at a point a certain distance away from the X-Y coordinates of the moving body 46.
Set the chip supply mechanism, supply operation and rotation of the rotating body 50! By interlocking the (rotation angles), it becomes possible to arrange the IC chips radially on the workpiece 68. At this time, the rotating body 50 is kept in a stopped state by the brake device 66 while the supply mechanism is working. Further, by continuously rotating the servo motor 56, it is possible to cause the workpiece 68 to move in a circular motion.
また、前述したＩＣチップを放射状に配置する作業にお
いては供給装置の制御はＩＣチップの載置のみだけで済
み、供給装置の回転制御をコントロールする必要がない
ためコントロールプログラムも簡単なもので済む。さら
に、第２図に示すように回転体５０を筒状に形成するこ
とによりワーク６８の上下両面方向から適宜な作業手段
７０・・・により加工作業等を施すことが可能となる。Furthermore, in the work of radially arranging the IC chips as described above, the supply device only needs to be controlled by placing the IC chips, and there is no need to control the rotation of the supply device, so the control program can be simple. Further, as shown in FIG. 2, by forming the rotating body 50 into a cylindrical shape, it becomes possible to perform machining operations on the workpiece 68 from both the upper and lower surfaces using appropriate working means 70.
回転体５０の形伏は必ずしも筒状ではなく、開口部のな
いターンテーブル状の物でもよい。The shape of the rotating body 50 is not necessarily cylindrical, but may be a turntable-like shape without an opening.
回転駆動手段としてはサーボモータとタイミングベルト
の例を挙げたが、この他、ギア駆動、ワイヤ駆動、チェ
ーン駆動や回転体をロータとし、移動体にステータを配
したモータ構造等にしてもよい。Although a servo motor and a timing belt have been cited as examples of the rotational drive means, gear drive, wire drive, chain drive, and a motor structure in which the rotating body is a rotor and a stator is disposed on the movable body may also be used.
Ｘ軸案内手段及びＹ軸案内手段としてボールネジを用い
たが、タイミングベルトやチェーン等にＸ軸駆動体及び
Ｙ軸駆動体を連結してもよい。Although ball screws are used as the X-axis guide means and the Y-axis guide means, the X-axis drive body and the Y-axis drive body may be connected to a timing belt, a chain, or the like.
また、Ｘ軸駆動体とＹ軸駆動体の移動の直線性確保と、
荷重支持のため、Ｘ軸駆動体とＹ！ｔｈ駆動体に、それ
ぞれＹ軸もしくはＹ軸に平行なガイドを設けてもよい。In addition, ensuring linearity of movement of the X-axis drive body and Y-axis drive body,
To support the load, the X-axis drive body and Y! Each of the th driving bodies may be provided with a Y axis or a guide parallel to the Y axis.
さらに、ブレーキ装置はディスクブレーキでなくてもよ
い。Furthermore, the brake device does not have to be a disc brake.
以上、本発明の好適な実施例について種々述べて来たが
、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、例え
ばＸ軸駆動手段とＹ軸駆動手段はそれぞれ２個ずつ設け
てもよい等、発明の精神を逸脱しない範囲でさらに多く
の改変を施し得るのはもちろんである。Various preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above embodiments. For example, two X-axis drive means and two Y-axis drive means may be provided. Of course, many other modifications may be made without departing from the spirit of the invention.
（発明の効果）
本発明に係る２次元運動機構を用いると、移動体をＸ−
Ｙ方向へ移動させることはもちろん、その移動体に設け
た回転体を回転させることができる。従って、回転体に
取着されたワークを任意の位置にて回転させることがで
きる。従って、加工作業においても回転運動を含めた２
次元運動を容易に行わせることができる。そのため、制
御をプログラムで行う場合にもプログラムが簡単で済む
という効果がある。(Effect of the invention) When the two-dimensional movement mechanism according to the present invention is used, the moving body can be
Not only can the moving body be moved in the Y direction, but also the rotating body provided on the moving body can be rotated. Therefore, the workpiece attached to the rotating body can be rotated at any position. Therefore, even in machining work, there are two
Dimensional motion can be easily performed. Therefore, even when control is performed by a program, the program is simple.
第１図は本発明に係る２次元運動機構の実施例を示した
平面図、第２図は第１図Ａ−Ａ部断面図である。
１２．１４・・・Ｘ軸ボールネジ、
１６．１８・・・Ｙ軸ボールネジ、
２２．２４・・・Ｘ軸駆動体、 ２６・・・Ｘ軸モータ
、 ３０．３２・・・Ｙ軸駆動体、３４・・・Ｙ軸モー
タ、 ３８．４０・・・Ｘ軸ロッド、 ４２．４４
・・・Ｙ軸ロッド、４６・・・移動体、 ５０・・・回
転体、５６・・・サーボモータ、 ６２・・・タイミ
ングベルト。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a two-dimensional movement mechanism according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line A-A in FIG. 12.14...X-axis ball screw, 16.18...Y-axis ball screw, 22.24...X-axis drive body, 26...X-axis motor, 30.32...Y-axis drive body, 34...Y-axis motor, 38.40...X-axis rod, 42.44
... Y-axis rod, 46... Moving body, 50... Rotating body, 56... Servo motor, 62... Timing belt.
Claims (1)
は略同一平面内で直交する２組のＹ軸案内手段と、 前記各々のＸ軸案内手段により該Ｘ軸案内手段の長さ方
向に移動可能な２個のＸ軸駆動体と、 前記各々のＹ軸案内手段により該Ｙ軸案内手段の長さ方
向に移動可能な２個のＹ軸駆動体と、 両端がそれぞさ前記Ｘ軸駆動体に連結されて前記Ｙ軸案
内手段に平行に設けられたＸ軸ロッドと、 両端がそれぞれ前記Ｙ軸駆動体に連結されて前記Ｘ軸案
内手段に平行に設けられたＹ軸ロッドと、 前記Ｘ軸ロッドとＹ軸ロッドが挿通されると共に、Ｘ軸
ロッド上及びＹ軸ロッド上を移動自在に設けられた移動
体と、 該移動体に回動自在に設けられた回転体と、前記Ｘ軸駆
動体を駆動させるためのＸ軸駆 動手段と、 前記Ｙ軸駆動体を駆動させるためのＹ軸駆動手段と、 前記回転体を回転させるための回転駆動手段とを具備す
ることを特徴とする２次元運動機構。[Scope of Claims] 1. Two sets of X-axis guide means arranged parallel to the length direction; two sets of Y-axis guide means; two X-axis drives movable in the length direction of the X-axis guide means by the respective X-axis guide means; two Y-axis drive bodies movable in the length direction of the shaft guide means; an X-axis rod connected at both ends to the X-axis drive bodies and provided parallel to the Y-axis guide means; a Y-axis rod whose both ends are respectively connected to the Y-axis drive body and provided parallel to the X-axis guide means; a rotating body rotatably provided on the moving body; an X-axis driving means for driving the X-axis driving body; and a rotating body for driving the Y-axis driving body. A two-dimensional movement mechanism, comprising: a Y-axis drive means for rotating the rotating body; and a rotation drive means for rotating the rotating body.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13421088A JPH01303360A (en) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | Two dimensional moving mechanism |
| US07/350,238 US4995277A (en) | 1988-05-31 | 1989-05-11 | Two dimensional drive system |
| DE3916169A DE3916169C2 (en) | 1988-05-31 | 1989-05-18 | Drive system for a cross slide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13421088A JPH01303360A (en) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | Two dimensional moving mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01303360A true JPH01303360A (en) | 1989-12-07 |
Family
ID=15122996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13421088A Pending JPH01303360A (en) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | Two dimensional moving mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01303360A (en) |
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