JPH0541638U - 非接触式チヤツク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 必要空気量及び必要空気圧の低減化を図るこ
とができ、しかも、ワークを十分に安定した状態で保持
する。 【構成】 ワーク保持中心Ｌに対して開閉する２つの爪
１，１と、上プレート部５、下プレート部６及び外周部
７からコ字状に形成された保持体３と、気体膜生成手段
１４とを備える。気体膜生成手段は、気体供給源１１か
らの気体を第１及び第２で１組の吐出孔１２，１３から
吐出して、ワーク４の上面及び上プレート部の下面５
ａ、ワークの外周面及び外周部の内面７ａ、及びワーク
の下面及び下プレート部の上面６ａのそれぞれの間に連
続する気体膜を生成するようになっている。第１の吐出
孔は上プレート部の下面に下向きに開口し、第２の吐出
孔は下プレート部の上面に上向きに開口させて、各保持
体に２組ずつ設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、ＩＣ用のウエハーやコンピュータ用のハードディスクなど の円板状のワークを非接触状態で保持する非接触式チャック装置に関するもので ある。

【０００２】

【従来の技術】

この種のウエハーやハードディスクなどは製造工程での異物の付着を嫌うため に、その搬送に際しては、上記ウエハーなどをチャック装置により非接触状態で 保持して搬送することが、一般的に行われている。

【０００３】 このような非接触式チャック装置としては、従来より、負圧を利用するものが 知られている。これは、例えば、図６に示すように、ノズルａを通して空気が吹 き込まれるクッション室ｂの下部に反転部ｃを備えており、ノズルａの下方に円 板状のワークｄを配置して上記ノズルａから空気を吹き込むことにより、上記ワ ークｄを非接触状態でチャックしようとするものである。すなわち、この装置は 、上記空気が上記クッション室ｂから反転部ｃを通って外部に吹き出される際に 、上記クッション室ｂで正圧を、上記反転部ｃで負圧をそれぞれ発生させて、こ れら正圧、負圧及びワークｄの自重による重力などの力のバランスによって、ワ ークｄと反転部ｃとの間に膜厚ｈ₄ の空気膜を形成して、上記ワークｄを浮遊状 態で吸引チャックするようになっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記従来の非接触式チャック装置では、空気の負圧を利用するため に、真空雰囲気中で使用することができないという欠点がある。また、上記負圧 を利用して形成される空気膜の膜厚ｈ₄ が、例えば、０．８ｍｍと比較的大きい 上に、上記空気膜の形成がワークｄの片面を対象としたものであるために、上記 ワークｄの保持剛性が比較的小さく、十分に安定した保持を行うことができず、 しかも、ノズルａに供給する空気の必要量も比較的多いという不都合がある。さ らに、上記反転部ｃの形状が、この反転部ｃで発生する負圧の程度に微妙に影響 するために、反転部ｃを所定の負圧を発生させる所定の形状に正確に製作しなけ ればならないという問題もある。

【０００５】 そこで、このような問題を解消するために、ワークの下面に上方に吹き当てる 吹き出し空気により浮上させることによって非接触状態で保持するという一種の 空気軸受の原理を利用することが考えられる。ところが、一般に、空気軸受によ ると比較的高圧（例えば、４ｋｇ／ｃｍ² Ｇ以上）の空気の供給が必要であり、 これに対応するための圧縮機などの設備を必要とする。また、単に、ワークの下 面側に空気膜を形成して浮上させるだけでは、比較的多量の空気を必要とする上 に、ワークの保持を十分に安定した状態で行うことができない場合を生じる。

【０００６】 この考案は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とすると ころは、必要空気量及び必要空気圧力の低減化を図ることができ、しかも、十分 に安定した状態で保持することができる非接触式チャック装置を提供することに ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、請求項１記載の考案は、板状のワークを非接触状 態で保持する非接触式チャック装置であって、ワーク保持中心に対して水平方向 に移動可能に配置された少なくとも２つの爪と、この各爪を、上記ワークに近付 けてそのワークを保持する閉じ位置と、上記ワークから離してそのワークの保持 を解除する開き位置との間に移動させるアクチュエータと、上記各爪のそれぞれ から上記ワーク保持中心側に突出しかつ上下方向に所定間隔を隔てて相対向する 上プレート部及び下プレート部と、両者の上記ワーク保持中心側とは反対側の端 部同士を結合する外周部とからコ字状に形成された保持体と、気体供給源から供 給される気体を吐出する気体吐出孔を有して、上記保持体の上プレート部及び下 プレート部の相対向面間に上記ワークの外周部が配置される各爪の閉じ位置で、 上記気体吐出孔から吐出される気体により、上記ワークの上面と上記上プレート 部の下面との間と、上記ワークの外周面と上記外周部の内面との間と、上記ワー クの下面と上記下プレート部の上面との間とに連続する気体膜を生成する気体膜 生成手段とを備える。そして、上記気体吐出孔を、上記上プレート部の下面に下 向きに開口する第１の吐出孔と、この第１の吐出孔に相対向して上記下プレート 部の上面に上向きに開口する第２の吐出孔とで１組を構成するとともに、装置全 体で少なくとも３組以上の気体吐出孔を上記ワーク保持中心を中心とする円周上 に設ける構成とするものである。

【０００８】 また、請求項２記載の考案は、請求項１記載の考案の非接触式チャック装置に おいて、爪を装置全体で２つ設け、この各爪の各保持体に気体吐出孔を２組ずつ 設け、上記各爪の閉じ位置で、一方の保持体の気体吐出孔と、他方の保持体の気 体吐出孔とをワーク保持中心を挟んで相対向するように配置する構成とするもの である。

【０００９】 さらに、請求項３記載の考案は、請求項１記載の考案の非接触式チャック装置 において、爪を装置全体で３つ設け、この各爪の各保持体のそれぞれに気体吐出 孔を１組ずつ設け、上記各爪の閉じ位置で、全体で３組の気体吐出孔をワーク保 持中心を中心とする円周を３等分する位置に配置する構成とするものである。

【００１０】

【作用】

上記の構成により、請求項１記載の考案では、各爪の開き位置からアクチュエ ータを作動させて、各爪を保持体の上プレート部及び下プレート部の相対向面間 に上記ワークの外周部が配置された閉じ位置にし、この閉じ位置で第１の吐出孔 からワークの上面に下向きに、第２の吐出孔から上記ワークの下面に上向きにそ れぞれ気体が吐出されるとともに、両方向からの吐出気体がワークの外周面及び 保持体の外周部の両者間で互いに衝突することにより、上記ワークを浮上状態に 保つ縦断面形状がコ字状の空気膜が形成されるために、開放空間にあるワークの 下面に対して上向きに気体を吐出させて上記ワークを浮上させる場合よりも、気 体の必要量及び圧力は小さくて済む。しかも、３組の気体吐出孔からの上向き及 び下向きの吐出気体により上記ワークの外周部が３箇所で上下方向から押圧され て所定位置に支持される。

【００１１】 また請求項２記載の考案では、上記請求項１記載の考案による作用に加えて、 ワークの外周部が円周方向の４箇所で、しかもワーク保持中心を挟んで相対向す る位置で保持されるために、上記請求項１記載の考案の場合よりも、より安定し た保持状態となる。

【００１２】 さらに請求項３記載の考案では、上記請求項１記載の考案による作用に加えて 、ワークの外周部が円周方向に３等分した位置で保持されるために、上記請求項 １記載の考案の場合よりも、より安定した保持状態となる。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１４】 図１ないし図３は本考案の第１実施例に係るチャック装置を示し、このチャッ ク装置は、ワーク保持中心Ｌを中心とする円周上に相対向して配置された２つの 爪１，１と、この２つの爪１，１を互いに連結する平行チャック本体２と、上記 ２つの爪１，１の下端部の上記ワーク保持中心Ｌ側に一体に突設された保持体３ ，３とを備えている。

【００１５】 上記爪１，１は、上記ワーク保持中心Ｌに対して放射方向から近付いてＩＣ用 ウエハーなどの円板状ワーク４を保持する閉じ位置（図１に実線で示す位置）と 、その保持を解除する開き位置（同図に一点鎖線で示す位置）との間を移動可能 になっており、また、上記平行チャック本体２は、上記各爪１，１を同期移動さ せて上記閉じ位置及び開き位置のそれぞれに位置固定するようになっている。す なわち、上記爪１，１は、水平状態に保持されるワーク４に対して水平方向に開 閉可能になっている。

【００１６】 上記保持体３は、互いの内面が所定間隔を隔てて上下方向に相対向するように 配置された上プレート部５及び下プレート部６と、両者の上記ワーク保持中心Ｌ 側と反対側の端部同士を結合する外周部７とから縦断面形状がコ字状になるよう に構成されたものであり、周方向両側と上記ワーク保持中心Ｌ側とに向いた開口 部８を有している。上記上プレート部５及び下プレート部６の両者間の内間隔は 、ワーク４の厚みに、このワーク４の上下面側に形成されるガス膜の厚みに相当 する隙間量を加えた所定の値となるように設定されている。また、上記閉じ位置 における相対向する両保持体３，３の外周部７，７の内面７ａ，７ａの間隔は、 上記ワーク４の外径に、このワーク４の外周面側に形成されるガス膜の厚みに相 当する隙間量を加えた所定の値となるように設定されている。

【００１７】 上記上プレート部５、下プレート部６及び外周部７のそれぞれの内部には、互 いに連通するガス供給通路９が形成され、このガス供給通路９の上流端側は供給 通路１０を介してガス供給源１１に接続されている一方、下流端側は気体吐出孔 である上プレート部５の第１の吐出孔１２及び下プレート部６の第２の吐出孔１ ３で絞られて外部に開放されている。上記第１の吐出孔１２は上記上プレート部 ５の内面である下向き面５ａに下向きに開口し、上記第２の吐出孔１３は上記下 プレート部６の内面である上向き面６ａに上向きに開口するように形成され、こ の第１及び第２で１組の吐出孔１２，１３が上下方向に相対向するように配置さ れている。そして、この吐出孔１２，１３は、１つの保持体３に対して２組ずつ （図２参照）が形成され、両保持体３，３で合計４組の吐出孔１２，１２…，１ ３，１３…は、ワーク保持中心Ｌを中心とする円周上であって、上記ワーク保持 中心Ｌを挟んで相対向するように配置されている。

【００１８】 また、上記上プレート部５及び下プレート部６の開口部８を構成する端縁部に は、外方に向かって間隔が徐々に広くなる上下一対のテーパー面５ｂ，６ｂ（図 ３参照）が形成され、ワーク４を上記上プレート部５及び下プレート部６の両者 間に挿入しやすいようになっている。

【００１９】 上記第１の吐出孔１２，１２…、第２の吐出孔１３，１３…、供給通路９，１ ０及びガス供給源１１などにより気体膜生成手段１４が構成されている。この気 体膜生成手段１４は、上記ガス供給源１１から所定の加圧状態の空気、窒素ガス もしくはヘリウムガスなどのいわゆるクリーンガスを上記供給通路９，１０を通 して上記第１及び第２の吐出孔１２，１２…，１３，１３…に供給し、この第１ 及び第２の吐出孔１２，１２…，１３，１３…から吐出して所定のガス膜を形成 するようになっている。すなわち、各爪１，１が閉じ位置に位置設定されて、ワ ーク４の外周部が上プレート部５及び下プレート部６の両内面５ａ，６ａの間に 挟まれるように配置された状態で、ガス供給源１１からのクリーンガスが上記第 １の吐出孔１２，１２…からワーク４の上面に下向きに、上記第２の吐出孔１３ ，１３…からワーク４の下面に上向きにそれぞれ吐出されることにより、上記ワ ーク４の上面と上プレート部５の下向き面５ａとの間に膜厚ｈ₁ のガス膜１５（ 図３参照）が、上記ワーク４の下面と下プレート部６の上向き面６ａとの間に膜 厚ｈ₂ のガス膜１６が、上記ワーク４の外周面と外周部７の内面７ａとの間に膜 厚ｈ₃ のガス膜１７がそれぞれ生成され、ワーク４が保持体３の内部に、その内 面５ａ，６ａ，７ａと互いに離れた状態で浮上するようになっている。

【００２０】 したがって、上記実施例では、ワーク４のチャッキング状態で、爪１，１が平 行チャック本体２により閉じ位置に位置固定され、ガス供給源１１からの所定圧 力のクリーンガスが供給されると、上記第２の吐出孔１３から上記クリーンガス が上向きに吐出されて、このクリーンガスがワーク４の下面に当たってこのワー ク４を上方に押し上げようとする。そして、そのクリーンガスの一部はワーク４ の下面に沿って外周部７の側に吹込まれ、他部は上記ワーク４の下面に沿って開 口部８から吹き出される。これにより、上記ワーク４の下面及び下プレート部６ の上向き面６ａの両者間には、ワーク４を上方に浮上させるガス膜１６が形成さ れる。

【００２１】 一方、上記第１の吐出孔１２からは上記クリーンガスが下向きに吐出され、こ のクリーンガスは上記ワーク４の上面に当たって、そのワーク４を下方に押し下 げようとする。そして、そのクリーンガスの一部は、上記第２の吐出孔１３から のクリーンガスと同様に、ワーク４の上面に沿って外周部７の側に吹込まれ、他 部は上記ワーク４の上面に沿って開口部８から吹き出される。これにより、上記 ワーク４の上面及び上プレート部５の下向き面５ａの両者間には、上記ガス膜１ ６による浮上力に抗して、保持体３の内面５ａ，６ａの間であって、この両者５ ａ，６ａから離れた上下方向位置に、上記ワーク４を保つガス膜１５が形成され る。

【００２２】 また、上記ワーク４の上面及び下面に沿って外周部７の側に吹込まれたクリー ンガスは、ワーク４の外周面及び外周部７の内面７ａの両者間で互いに衝突して 上記内面７ａに沿って周方向に吹き出される。これにより、ワーク４は上記外周 部７の内面７ａから離されて、このワーク４を、両保持体３，３間であって、そ れらの外周部７，７の内面７ａ，７ａと互いに離れた状態に保つガス膜１７が形 成される。

【００２３】 このように、形成されるガス膜１５，１６，１７によって、上記ワーク４を非 接触状態で保持することができる。しかも、このワーク４は、上面側が上記ガス 膜１５による下向きの押圧力を、下面側が上記ガス膜１６による上向きの押圧力 をそれぞれ受け、この両押圧力のバランスにより確実に所定の上下方向位置に保 たれるとともに、外周面側が上記ガス膜１７によるワーク保持中心Ｌ側への押圧 力により確実に所定の水平位置に保たれる。このため、ワーク４を十分に安定し た状態で保持することができる。さらに、ワーク４は、その円周方向の４箇所で あって、各２箇所ずつがワーク保持中心Ｌを挟んで相対向する位置のそれぞれで 、第１及び第２の吐出孔１２，１３から下向き及び上向きに吐出されるクリーン ガスを受けるために、上記保持状態をより安定したものにすることができる。こ のため、ワーク４の搬送に際して、例えば、ロボットによるワーク４の位置決め を容易に行うことができ、上記搬送の自動化を促進することができる。

【００２４】 しかも、上記チャッキング状態の保持体３の内部は、上プレート部５、下プレ ート部６及び外周部７によって、ワーク４の上下面及び外周面を囲む閉鎖空間と なっているために、開放空間にあるワークを浮上させる場合よりも、ガス供給圧 力を比較的低くすることができるとともに、必要ガス量を低減させることができ る。この結果、保持体３の上プレート部５と下プレート部６との間隔からワーク ４の厚みを除いた隙間の量、すなわち、ガス膜１５の膜厚ｈ₁ にガス膜１６の膜 厚ｈ₂ を加えた値を小さくする程、大きい効果を得ることができる。したがって 、ガス供給源１１用の設備として圧縮機などを用いる必要はなく、ブロワ程度の もので十分に対応することができ、設備費の低減化及びクリーンガスの費用の低 減化を図ることができる。

【００２５】 なお、上記効果を確認するために、第１及び第２の吐出孔１２，１３の孔径を ０．２ｍｍに、上プレート部５及び下プレート部６の両者間隔からワーク４の厚 みを除いた隙間を０．８ｍｍにそれぞれ設定したチャック装置を用いて、自重３ ０〜１００ｇのワーク４を非接触状態で保持できるガス供給圧及び必要ガス量を 測定した。その結果、ガス供給圧が０．５〜１．０ｋｇ／ｃｍ2 Ｇの範囲で上記 ワーク４は完全に浮上して非接触状態となり、その時の必要空気量は２〜３Ｎｌ （ノルマルリットル）／ｍｉｎであった。

【００２６】 図４は本考案の第２実施例に係るチャック装置を示し、このチャック装置は、 第１実施例と同様に、ワーク保持中心Ｌを挟んで相対向する２つの爪１，１（図 １参照）及び保持体３，３と、ガス膜生成手段１４とを備えたものである。そし て、相対向する一方の保持体３は２組の第１及び第２の吐出孔１２，１２，１３ ，１３を、他方の保持体３は１組の第１及び第２の吐出孔１２，１３をそれぞれ 有しており、全体で３組の第１及び第２の吐出孔１２，…，１３，…は、ワーク 保持中心Ｌを中心とする円周上であって、各組の吐出孔が二等辺三角形の頂点を 構成するように配置されている。

【００２７】 なお、上記第２実施例のチャック装置は、その気体吐出孔の数及び配置が第１ 実施例と異なるのみで、その他の構成は、第１実施例のものと同じであるために 、同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

【００２８】 そして、上記第２実施例の場合は、保持状態の安定度において上記第１実施例 と比べるとやや劣るものの、吐出されるクリーンガスによりワーク４の外周部を ３箇所から支持することができるために十分に安定した保持状態を実現すること ができる。また、第１実施例と同様に、ガス供給圧及び必要ガス量の低減化を図 ることができ、それによる設備費などの低減化を図ることができる。

【００２９】 図５は本考案の第３実施例に係るチャック装置を示し、このチャック装置は、 ワーク保持中心Ｌに対して点対称となるように配置された３つの爪１，１，１及 び保持体３，３，３と、ガス膜生成手段１４とを備えたものである。そして、各 保持体３は、それぞれ１組の第１及び第２の吐出孔１２，１３を有しており、全 体で３組の第１及び第２の吐出孔１２，…，１３，…は、ワーク保持中心Ｌに対 して点対称となるように配置されている。すなわち、上記吐出孔１２，…，１３ …は、ワーク保持中心Ｌを中心とする円周上であって、その円周を３等分する位 置に設けられている。

【００３０】 なお、上記チャック装置におけるその他の構成は、第１実施例のものと同じで あるために、同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。

【００３１】 そして、上記第３実施例の場合は、円周方向に等間隔に配置された３つの保持 体内３，３，３のガス膜１７，１７，１７（図３参照）によって、ワーク４の外 周面が３方向からワーク保持中心Ｌに向かって押圧保持されるために、上記ワー ク４が水平方向にずれないように、より確実に所定の位置に規制することができ 、上記ワーク４をより安定した状態に保持することができる。また、第１実施例 と同様に、ガス圧及び必要ガス量の低減化を図ることができ、それによる設備費 などの低減化を図ることができる。

【００３２】 なお、本考案は上記第１、第２及び第３実施例に限定されるものではなく、そ の他種々の変形例を包含するものである。例えば、上記実施例では、爪及び保持 体を２つもしくは３つ設けているが、これに限らず、例えば４つ以上のものを設 けてもよい。

【００３３】 また、上記実施例では、第１及び第２で１組の吐出孔を３組もしくは４組設け ているが、これに限らず、例えばワークの自重が大となれば、その自重に応じて ５組以上設けてもい。

【００３４】

【考案の効果】

以上説明したように、請求項１記載の考案における非接触式チャック装置によ れば、気体膜生成手段により形成される縦断面形状がコ字状の気体膜によって、 ワークを非接触状態で保持することができ、しかも、ワークは、少なくとも３組 の気体吐出孔からの吐出気体により、円周方向の少なくとも３箇所で、ワークの 上面側が下向きに、下面側が上向きに押圧されて支持されるとともに、ワーク保 持中心に対して開閉方向に配置された少なくとも２つの爪の各保持体の外周部内 面側の気体膜により、上記ワークの外周面側がワーク保持中心側に２方向から押 圧されて支持されるために、上記ワークを確実に所定位置に保って十分に安定し た保持状態を実現することができる。このため、ワークの搬送に際して、例えば 、ロボットによるワークの位置決めを容易に行うことができ、上記搬送の自動化 を促進することができる。

【００３５】 また、チャッキング状態の保持体の内部はワークの上下面及び外周面を囲む閉 鎖空間となっているために、開放空間にあるワークを浮上させる場合よりも、気 体吐出孔から吐出させる気体の圧力を比較的低くすることができるとともに、必 要気体量を低減させることができる。したがって、ガス供給源用の設備として圧 縮機などを用いる必要はなく、ブロワ程度のもので十分に対応することができ、 設備費の低減化及びクリーンガスの費用の低減化を図ることができる。

【００３６】 また、請求項２記載の考案によれば、ワークは、その円周方向の４箇所で、第 １及び第２の吐出孔から下向き及び上向きに吐出される気体を受けて所定の上下 方向位置に保持されるとともに、上記ワークの外周面がワーク保持中心を挟んで 相対向する２方向からワーク保持中心側に押されて所定の水平方向位置に保持さ れるために、ワークの保持状態をより安定したものにすることができる。

【００３７】 さらに、請求項３記載の考案によれば、ワークは、その円周方向の３箇所で、 第１及び第２の吐出孔から下向き及び上向きに吐出される気体を受けて所定の上 下方向位置に保持されるとともに、上記ワークの外周面がワーク保持中心に対し て点対称となる３方向からワーク保持中心側に押されて所定の水平方向位置に保 持されるために、ワークの保持状態をより安定したものにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の第１実施例を示す縦断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【図３】図１の保持体の拡大図である。

【図４】第２実施例を示す図２相当図である。

【図５】第３実施例を示す図２相当図である。

【図６】従来の非接触式チャック装置を示す縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 爪 ２ 平行チャック本体（アクチュエータ） ３ 保持体 ４ ワーク ５ 上プレート部 ６ 下プレート部 ７ 外周部 １１ ガス供給源（気体供給源） １２ 第１の吐出孔（気体吐出孔） １３ 第２の吐出孔（気体吐出孔） １４ 気体膜生成手段 １５，１６，１７ ガス膜（気体膜）

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状のワークを非接触状態で保持する非
   接触式チャック装置であって、 ワーク保持中心に対して水平方向に移動可能に配置され
   た少なくとも２つの爪と、 この各爪を、上記ワークに近付けてそのワークを保持す
   る閉じ位置と、上記ワークから離してそのワークの保持
   を解除する開き位置との間に移動させるアクチュエータ
   と、 上記各爪のそれぞれから上記ワーク保持中心側に突出し
   かつ上下方向に所定間隔を隔てて相対向する上プレート
   部及び下プレート部と、両者の上記ワーク保持中心側と
   は反対側の端部同士を結合する外周部とからコ字状に形
   成された保持体と、 気体供給源から供給される気体を吐出する気体吐出孔を
   有し、上記保持体の上プレート部及び下プレート部の相
   対向面間に上記ワークの外周部が配置される各爪の閉じ
   位置で、上記気体吐出孔から吐出される気体により、上
   記ワークの上面と上記上プレート部の下面との間と、上
   記ワークの外周面と上記外周部の内面との間と、上記ワ
   ークの下面と上記下プレート部の上面との間とに連続す
   る気体膜を生成する気体膜生成手段とを備えており、 上記気体吐出孔は、上記上プレート部の下面に下向きに
   開口する第１の吐出孔と、この第１の吐出孔に相対向す
   るとともに上記下プレート部の上面に上向きに開口する
   第２の吐出孔とで１組が構成されるとともに、装置全体
   で少なくとも３組以上の気体吐出孔が上記ワーク保持中
   心を中心とする円周上に設けられていることを特徴とす
   る非接触式チャック装置。
2. 【請求項２】 爪は装置全体で２つ設けられ、この各爪
   の各保持体には気体吐出孔が２組ずつ設けられ、上記各
   爪の閉じ位置で、一方の保持体の気体吐出孔と、他方の
   保持体の気体吐出孔とがワーク保持中心を挟んで相対向
   するように配置されている請求項１記載の非接触式チャ
   ック装置。
3. 【請求項３】 爪は装置全体で３つ設けられ、この各爪
   の各保持体のそれぞれには気体吐出孔が１組ずつ設けら
   れ、上記各爪の閉じ位置で、全体で３組の気体吐出孔が
   ワーク保持中心を中心とする円周を３等分する位置に配
   置されている請求項１記載の非接触式チャック装置。