JPH0541589A - 冷却装置 - Google Patents
冷却装置Info
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- JPH0541589A JPH0541589A JP19630991A JP19630991A JPH0541589A JP H0541589 A JPH0541589 A JP H0541589A JP 19630991 A JP19630991 A JP 19630991A JP 19630991 A JP19630991 A JP 19630991A JP H0541589 A JPH0541589 A JP H0541589A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却液の温度切換および流量調整を瞬時に行
い、被冷却物に対して迅速に所望の温度および流量の冷
却液を供給できる冷却装置を提供する。 【構成】 ２つの冷却液回路を備えた液冷式の冷却装置
であって、被冷却物である発熱体１と、発熱体１を冷却
する冷却装置２とから構成され、冷却装置２が、冷却液
の液温と流量を任意の値に一定に制御できる冷却液回路
３ａ，３ｂ、この一方の冷却液を発熱体１に供給する切
換バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ、冷却液回収槽６など
から構成され、各機器が制御器８により制御されてい
る。そして、各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液は、温度
検出器１３ａ，１３ｂによるヒーター１２ａ，１２ｂま
たは冷凍機１０ａ，１０ｂによって温度制御され、流量
検出器１４ａ，１４ｂによるポンプ９ａ，９ｂの制御に
よって流量調整されている。
い、被冷却物に対して迅速に所望の温度および流量の冷
却液を供給できる冷却装置を提供する。 【構成】 ２つの冷却液回路を備えた液冷式の冷却装置
であって、被冷却物である発熱体１と、発熱体１を冷却
する冷却装置２とから構成され、冷却装置２が、冷却液
の液温と流量を任意の値に一定に制御できる冷却液回路
３ａ，３ｂ、この一方の冷却液を発熱体１に供給する切
換バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ、冷却液回収槽６など
から構成され、各機器が制御器８により制御されてい
る。そして、各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液は、温度
検出器１３ａ，１３ｂによるヒーター１２ａ，１２ｂま
たは冷凍機１０ａ，１０ｂによって温度制御され、流量
検出器１４ａ，１４ｂによるポンプ９ａ，９ｂの制御に
よって流量調整されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液冷式の冷却装置に関
し、特に半導体集積回路などの高発熱体の冷却装置にお
いて、冷却液の温度および流量切換の迅速化が可能とさ
れる冷却装置に適用して有効な技術に関する。
し、特に半導体集積回路などの高発熱体の冷却装置にお
いて、冷却液の温度および流量切換の迅速化が可能とさ
れる冷却装置に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液冷式の冷却装置としては、たと
えば特開昭５９−５８８９９号公報などに記載されるよ
うに、一般的に温度制御が可能とされる１個の冷却液槽
を設け、この冷却液槽内で所望の温度に調整された冷却
液を、被冷却物に対して供給することによって被冷却物
を冷却する方法がある。
えば特開昭５９−５８８９９号公報などに記載されるよ
うに、一般的に温度制御が可能とされる１個の冷却液槽
を設け、この冷却液槽内で所望の温度に調整された冷却
液を、被冷却物に対して供給することによって被冷却物
を冷却する方法がある。
【０００３】ところが、前記の方法においては、冷却液
槽内における冷却液の温度切換に時間がかかり、温度の
異なる被冷却物に対しては良好に適用できないために、
たとえば液温および流量を制御する冷却液回路を用意
し、その中で所望する液温および流量の冷却液を供給す
る方法が採用されている。
槽内における冷却液の温度切換に時間がかかり、温度の
異なる被冷却物に対しては良好に適用できないために、
たとえば液温および流量を制御する冷却液回路を用意
し、その中で所望する液温および流量の冷却液を供給す
る方法が採用されている。
【０００４】その概要は、図３に示すように被冷却物で
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成され、冷却装置２が、冷却液の液温と流量を一
定に制御する冷却液回路３、冷却液の流路を切り換える
切換バルブ４，５、冷却液を回収する冷却液回収槽６か
ら構成され、各機器が制御器８によって制御されてい
る。
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成され、冷却装置２が、冷却液の液温と流量を一
定に制御する冷却液回路３、冷却液の流路を切り換える
切換バルブ４，５、冷却液を回収する冷却液回収槽６か
ら構成され、各機器が制御器８によって制御されてい
る。
【０００５】そして、冷却液回収槽６から戻された冷却
液はポンプ９によって冷却液回路３を循環され、温度検
出器１３に基づいて冷凍機１０による熱交換器１１また
はヒーター１２が制御されて所望の温度に一定に調整さ
れ、また流量は流量検出器１４に基づいてポンプ９の回
転数が制御されることによって所望の流量に制御されて
いる。
液はポンプ９によって冷却液回路３を循環され、温度検
出器１３に基づいて冷凍機１０による熱交換器１１また
はヒーター１２が制御されて所望の温度に一定に調整さ
れ、また流量は流量検出器１４に基づいてポンプ９の回
転数が制御されることによって所望の流量に制御されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、冷却液の温度設定は任意である
ものの、量産検査または一定温度での冷却を目的とした
ものであり、小ロット・多品種で、個々の発熱体に合わ
せた冷却、または１つの発熱体に対して複数種類の温度
に設定する温度試験などの冷却についての配慮がなされ
ておらず、１つの冷却液回路の中での液温制御方式で
は、冷却液の温度切換に時間がかかるという欠点があ
る。
な従来技術においては、冷却液の温度設定は任意である
ものの、量産検査または一定温度での冷却を目的とした
ものであり、小ロット・多品種で、個々の発熱体に合わ
せた冷却、または１つの発熱体に対して複数種類の温度
に設定する温度試験などの冷却についての配慮がなされ
ておらず、１つの冷却液回路の中での液温制御方式で
は、冷却液の温度切換に時間がかかるという欠点があ
る。
【０００７】従って、従来の冷却装置においては、小ロ
ット・多品種で個々の発熱体に合わせた冷却や、１つの
発熱体に対して複数種類の温度での試験を実施するのが
困難であり、実用上良好に適用できないという問題があ
る。
ット・多品種で個々の発熱体に合わせた冷却や、１つの
発熱体に対して複数種類の温度での試験を実施するのが
困難であり、実用上良好に適用できないという問題があ
る。
【０００８】そこで、本発明の目的は、冷却液の温度切
換および流量調整を瞬時に行い、被冷却物に対して迅速
に所望の温度および流量の冷却液を供給することができ
る冷却装置を提供することにある。
換および流量調整を瞬時に行い、被冷却物に対して迅速
に所望の温度および流量の冷却液を供給することができ
る冷却装置を提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１１】すなわち、本発明の冷却装置は、発熱体で
ある単数または複数の被冷却物を冷却する液冷式の冷却
装置であって、所定の一定温度および流量に制御された
複数種類の温度および流量の冷却液回路と、冷却液回路
を並列に連結し、これらの冷却液回路の中から任意の１
つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給する切換バル
ブとを備えるものである。
ある単数または複数の被冷却物を冷却する液冷式の冷却
装置であって、所定の一定温度および流量に制御された
複数種類の温度および流量の冷却液回路と、冷却液回路
を並列に連結し、これらの冷却液回路の中から任意の１
つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給する切換バル
ブとを備えるものである。
【００１２】また、本発明の他の冷却装置は、前記被冷
却物の１つにつき２種類の温度および流量の冷却液を所
定の温度および流量に制御できる２つの冷却液回路と、
冷却液回路を並列に連結し、これらの冷却液回路の中か
ら任意の１つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給す
る切換バルブとを備えるものである。
却物の１つにつき２種類の温度および流量の冷却液を所
定の温度および流量に制御できる２つの冷却液回路と、
冷却液回路を並列に連結し、これらの冷却液回路の中か
ら任意の１つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給す
る切換バルブとを備えるものである。
【００１３】
【作用】前記した冷却装置によれば、複数種類の温度お
よび流量の冷却液回路と、これらの中から任意の１つに
切り換える切換バルブとを備えることにより、切換バル
ブを切り換えることによって所望する値の温度および流
量の冷却液を瞬時に供給することができる。
よび流量の冷却液回路と、これらの中から任意の１つに
切り換える切換バルブとを備えることにより、切換バル
ブを切り換えることによって所望する値の温度および流
量の冷却液を瞬時に供給することができる。
【００１４】すなわち、任意の１つの液温および流量の
冷却液を被冷却物に供給する間、他の液温および流量に
設定された冷却液はその回路内を循環して液温と流量が
一定に保持され、選択された液温および流量と異なる液
温および流量の冷却液が必要になった場合、選択されな
かった回路で、新たに必要になる液温と流量の冷却液を
用意しておき、その用意した回路に切り換えることがで
きる。これにより、瞬時に被冷却物に供給する冷却液の
液温と流量を切り換えることができる。
冷却液を被冷却物に供給する間、他の液温および流量に
設定された冷却液はその回路内を循環して液温と流量が
一定に保持され、選択された液温および流量と異なる液
温および流量の冷却液が必要になった場合、選択されな
かった回路で、新たに必要になる液温と流量の冷却液を
用意しておき、その用意した回路に切り換えることがで
きる。これにより、瞬時に被冷却物に供給する冷却液の
液温と流量を切り換えることができる。
【００１５】前記した他の冷却装置によれば、２つの冷
却液回路と切換バルブとを備えることにより、一方の冷
却液回路の冷却液を被冷却物に供給している間に、他方
の冷却液回路の冷却液の温度および流量を任意の所望す
る値に制御し、切換バルブを切り換えることによって瞬
時に冷却液の液温と流量を切り換えることができる。
却液回路と切換バルブとを備えることにより、一方の冷
却液回路の冷却液を被冷却物に供給している間に、他方
の冷却液回路の冷却液の温度および流量を任意の所望す
る値に制御し、切換バルブを切り換えることによって瞬
時に冷却液の液温と流量を切り換えることができる。
【００１６】これにより、所望する任意の値の温度およ
び流量の冷却液を瞬時に被冷却物に対して供給すること
ができ、これを交互に繰り返すことによって２つの冷却
液回路で複数種類の液温と流量の冷却液を供給すること
ができる。
び流量の冷却液を瞬時に被冷却物に対して供給すること
ができ、これを交互に繰り返すことによって２つの冷却
液回路で複数種類の液温と流量の冷却液を供給すること
ができる。
【００１７】
【実施例１】図１は本発明の一実施例である冷却装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
【００１８】まず、図１により本実施例の冷却装置の構
成を説明する。
成を説明する。
【００１９】本実施例の冷却装置は、たとえば２つの冷
却液回路を備えた液冷式の冷却装置とされ、被冷却物で
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成されている。
却液回路を備えた液冷式の冷却装置とされ、被冷却物で
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成されている。
【００２０】発熱体１は、特に高発熱化の傾向にある半
導体集積回路、たとえば集積回路用チップまたはこれら
のチップモジュールとされ、温度特性などの温度評価が
実施されるものである。
導体集積回路、たとえば集積回路用チップまたはこれら
のチップモジュールとされ、温度特性などの温度評価が
実施されるものである。
【００２１】冷却装置２は、冷却液の液温と流量を任意
の値に一定に制御できる２つの冷却液回路３ａ，３ｂ
と、この２つの冷却液回路３ａ，３ｂを並列に接続し、
望む方の冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液を発熱体１に供
給するための切換バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂと、冷
却液を回収するための冷却液回収槽６と、冷却液回収槽
６内の冷却液を２つの冷却液回路３ａ，３ｂに戻すため
のポンプ７とから構成され、各機器が制御器８によって
制御されている。
の値に一定に制御できる２つの冷却液回路３ａ，３ｂ
と、この２つの冷却液回路３ａ，３ｂを並列に接続し、
望む方の冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液を発熱体１に供
給するための切換バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂと、冷
却液を回収するための冷却液回収槽６と、冷却液回収槽
６内の冷却液を２つの冷却液回路３ａ，３ｂに戻すため
のポンプ７とから構成され、各機器が制御器８によって
制御されている。
【００２２】冷却液回路３ａ，３ｂは、たとえば高温の
冷却液を供給する冷却液回路３ａと、低温の冷却液を供
給する冷却液回路３ｂとされ、それぞれ液送のためのポ
ンプ９ａ，９ｂ、除熱のための冷凍機１０ａ，１０ｂ、
冷凍機１０ａ，１０ｂの冷媒と冷却液の間で熱交換する
熱交換器１１ａ，１１ｂ、加熱のためのヒーター１２
ａ，１２ｂから構成されている。
冷却液を供給する冷却液回路３ａと、低温の冷却液を供
給する冷却液回路３ｂとされ、それぞれ液送のためのポ
ンプ９ａ，９ｂ、除熱のための冷凍機１０ａ，１０ｂ、
冷凍機１０ａ，１０ｂの冷媒と冷却液の間で熱交換する
熱交換器１１ａ，１１ｂ、加熱のためのヒーター１２
ａ，１２ｂから構成されている。
【００２３】そして、各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液
の温度は温度検出器１３ａ，１３ｂにより検出され、検
出温度に基づいてヒーター１２ａ，１２ｂまたは冷凍機
１０ａ，１０ｂが制御器８によって制御され、それぞれ
所望の温度に一定に調整されている。同様に、流量は流
量検出器１４ａ，１４ｂにより検出され、制御器８を介
してポンプ９ａ，９ｂの回転数を制御することにより、
それぞれ所望の流量に一定に調整されている。
の温度は温度検出器１３ａ，１３ｂにより検出され、検
出温度に基づいてヒーター１２ａ，１２ｂまたは冷凍機
１０ａ，１０ｂが制御器８によって制御され、それぞれ
所望の温度に一定に調整されている。同様に、流量は流
量検出器１４ａ，１４ｂにより検出され、制御器８を介
してポンプ９ａ，９ｂの回転数を制御することにより、
それぞれ所望の流量に一定に調整されている。
【００２４】次に、本実施例の作用について説明する。
【００２５】始めに、冷却液回収槽６からポンプ７によ
って送られてきた冷却液は、冷凍機１０ａ，１０ｂによ
る熱交換器１１ａ，１１ｂ、ヒーター１２ａ，１２ｂ、
および温度検出器１３ａ，１３ｂによる閉回路を循環
し、温度検出器１３ａ，１３ｂに基づいて所定の一定温
度、たとえば５０度と２０度に制御される。
って送られてきた冷却液は、冷凍機１０ａ，１０ｂによ
る熱交換器１１ａ，１１ｂ、ヒーター１２ａ，１２ｂ、
および温度検出器１３ａ，１３ｂによる閉回路を循環
し、温度検出器１３ａ，１３ｂに基づいて所定の一定温
度、たとえば５０度と２０度に制御される。
【００２６】そして、発熱体１がセットされていないと
きは、切換バルブ４ａ，４ｂを閉じ、切換バルブ５ａ，
５ｂを開くことによって各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却
液は冷却液回収槽６に直接流れ込む。
きは、切換バルブ４ａ，４ｂを閉じ、切換バルブ５ａ，
５ｂを開くことによって各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却
液は冷却液回収槽６に直接流れ込む。
【００２７】一方、発熱体１がセットされ、たとえば一
方の冷却液回路３ａから高温の冷却液を供給する場合に
は、切換バルブ４ａを開いて切換バルブ５ａを閉じ、他
方の冷却液回路３ｂ側の切換バルブ４ｂを閉じて切換バ
ルブ５ｂを開く。これにより、液温が５０度に制御され
た冷却液が一方の冷却液回路３ａから発熱体１に供給さ
れ、残る他方の冷却液回路３ｂの冷却液が直接冷却液回
収槽６に流れ込む。
方の冷却液回路３ａから高温の冷却液を供給する場合に
は、切換バルブ４ａを開いて切換バルブ５ａを閉じ、他
方の冷却液回路３ｂ側の切換バルブ４ｂを閉じて切換バ
ルブ５ｂを開く。これにより、液温が５０度に制御され
た冷却液が一方の冷却液回路３ａから発熱体１に供給さ
れ、残る他方の冷却液回路３ｂの冷却液が直接冷却液回
収槽６に流れ込む。
【００２８】そして、液温を低温に切り換える場合に
は、冷却液を供給している冷却液回路３ａ側の切換バル
ブ４ａを閉じて切換バルブ５ａを開き、切り換える他方
の冷却液回路３ｂ側の切換バルブ４ｂを開いて切換バル
ブ５ｂを閉じる。これにより、２０度に制御された冷却
液が他方の冷却液回路３ｂから発熱体１に供給され、発
熱体１に供給する冷却液の液温を瞬時に５０度から２０
度に切り換えることができる。
は、冷却液を供給している冷却液回路３ａ側の切換バル
ブ４ａを閉じて切換バルブ５ａを開き、切り換える他方
の冷却液回路３ｂ側の切換バルブ４ｂを開いて切換バル
ブ５ｂを閉じる。これにより、２０度に制御された冷却
液が他方の冷却液回路３ｂから発熱体１に供給され、発
熱体１に供給する冷却液の液温を瞬時に５０度から２０
度に切り換えることができる。
【００２９】また、流量を調整する場合には、流量検出
器１４ａ，１４ｂによる検出に基づいて、制御器８を通
じてポンプ９ａ，９ｂの回転数を制御することによって
所望の流量に調整することができる。
器１４ａ，１４ｂによる検出に基づいて、制御器８を通
じてポンプ９ａ，９ｂの回転数を制御することによって
所望の流量に調整することができる。
【００３０】従って、本実施例の冷却装置によれば、所
定の高温および低温に一定に制御された２つの冷却液回
路３ａ，３ｂを備え、この冷却液回路３ａ，３ｂが切換
バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂを介して並列に連結され
ることにより、発熱体１に対して切換バルブ４ａ，４
ｂ，５ａ，５ｂの切換によって高温または低温の冷却液
を瞬時に供給することができる。
定の高温および低温に一定に制御された２つの冷却液回
路３ａ，３ｂを備え、この冷却液回路３ａ，３ｂが切換
バルブ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂを介して並列に連結され
ることにより、発熱体１に対して切換バルブ４ａ，４
ｂ，５ａ，５ｂの切換によって高温または低温の冷却液
を瞬時に供給することができる。
【００３１】
【実施例２】図２は本発明の他の実施例である冷却装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【００３２】本実施例の冷却装置は、図２に示すように
実施例１と同様に液冷式の冷却装置とされ、被冷却物で
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成され、実施例１と異なる点は、温度を調整する
温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂと、流
量を調整する流量調整バルブ１７ａ，１７ｂとが追加さ
れた構成となっている。
実施例１と同様に液冷式の冷却装置とされ、被冷却物で
ある発熱体１と、この発熱体１を冷却する冷却装置２と
から構成され、実施例１と異なる点は、温度を調整する
温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂと、流
量を調整する流量調整バルブ１７ａ，１７ｂとが追加さ
れた構成となっている。
【００３３】すなわち、温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ
は、低温の冷却液回路３ａから送り出された低温冷却液
と、高温の冷却液回路３ｂから送り出された高温冷却液
とをバルブ開閉度の制御によって混合するもので、混合
比率の調整によって所望の温度の冷却液が得られる構造
になっている。同様に、温度調整バルブ１６ａ，１６ｂ
も前記温度調整バルブ１５ａ，１５ｂと同じ働きによ
り、前記と異なる所望の温度の冷却液が得られるように
なっている。
は、低温の冷却液回路３ａから送り出された低温冷却液
と、高温の冷却液回路３ｂから送り出された高温冷却液
とをバルブ開閉度の制御によって混合するもので、混合
比率の調整によって所望の温度の冷却液が得られる構造
になっている。同様に、温度調整バルブ１６ａ，１６ｂ
も前記温度調整バルブ１５ａ，１５ｂと同じ働きによ
り、前記と異なる所望の温度の冷却液が得られるように
なっている。
【００３４】流量調整バルブ１７ａ，１７ｂは、温度調
整バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂによって所望
の温度に混合された冷却液を、バルブの開閉度の制御に
よって所望の流量に調整するものである。
整バルブ１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂによって所望
の温度に混合された冷却液を、バルブの開閉度の制御に
よって所望の流量に調整するものである。
【００３５】従って、本実施例においては、たとえば一
方の冷却液回路３ａの冷却液が５０度に制御され、また
他方の冷却液回路３ｂで２０度に冷却液が制御されてい
る場合に、発熱体１に供給する冷却液の液温を５０度か
ら２０度までの範囲内で切り換えることができる。
方の冷却液回路３ａの冷却液が５０度に制御され、また
他方の冷却液回路３ｂで２０度に冷却液が制御されてい
る場合に、発熱体１に供給する冷却液の液温を５０度か
ら２０度までの範囲内で切り換えることができる。
【００３６】すなわち、５０度の冷却液回路３ａ側の温
度調整バルブ１５ａを全開にし、２０度の冷却液回路３
ｂの温度調整バルブ１５ｂを全閉にした場合には５０度
の冷却液を得ることができ、逆に温度調整バルブ１５ａ
を全閉にして温度調整バルブ１５ｂを全開にした場合に
は２０度の冷却液を得ることができる。
度調整バルブ１５ａを全開にし、２０度の冷却液回路３
ｂの温度調整バルブ１５ｂを全閉にした場合には５０度
の冷却液を得ることができ、逆に温度調整バルブ１５ａ
を全閉にして温度調整バルブ１５ｂを全開にした場合に
は２０度の冷却液を得ることができる。
【００３７】さらに、各温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ
の開閉度を制御することによってそれぞれの冷却液の混
合比率を調整することができ、これにより４０度または
３０度などの所望の温度の冷却液を得ることができる。
同様に、温度調整バルブ１６ａ，１６ｂの制御により、
たとえば５度間隔の４５度、４０度、３５度、３０度ま
たは２５度の上記と異なる温度の冷却液を得ることがで
きる。
の開閉度を制御することによってそれぞれの冷却液の混
合比率を調整することができ、これにより４０度または
３０度などの所望の温度の冷却液を得ることができる。
同様に、温度調整バルブ１６ａ，１６ｂの制御により、
たとえば５度間隔の４５度、４０度、３５度、３０度ま
たは２５度の上記と異なる温度の冷却液を得ることがで
きる。
【００３８】従って、本実施例の冷却装置によれば、実
施例１の構成に加えて温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ，
１６ａ，１６ｂを備えることにより、所定の温度に制御
される２つの冷却液回路３ａ，３ｂによる温度範囲内で
の冷却液を、発熱体１に対して瞬時に供給することがで
きる。
施例１の構成に加えて温度調整バルブ１５ａ，１５ｂ，
１６ａ，１６ｂを備えることにより、所定の温度に制御
される２つの冷却液回路３ａ，３ｂによる温度範囲内で
の冷却液を、発熱体１に対して瞬時に供給することがで
きる。
【００３９】また、流量を調整する場合には、流量調整
バルブ１７ａ，１７ｂの開閉度の制御によって所望の流
量に調整することができる。
バルブ１７ａ，１７ｂの開閉度の制御によって所望の流
量に調整することができる。
【００４０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例１および２に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記各実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
施例１および２に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記各実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
【００４１】たとえば、前記実施例の冷却装置について
は、各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液が一定温度および
流量に制御される場合について説明したが、本発明は前
記実施例に限定されるものではなく、たとえば発熱体に
供給していない方の冷却液回路の冷却液の液温と流量
を、次に発熱体に供給しようとする液温と流量に制御す
る場合などについても適用可能である。この場合には、
互いに液温および流量の制御を繰り返すことにより、発
熱体に供給する冷却液を任意の液温および流量に瞬時に
切り換えることができる。
は、各冷却液回路３ａ，３ｂの冷却液が一定温度および
流量に制御される場合について説明したが、本発明は前
記実施例に限定されるものではなく、たとえば発熱体に
供給していない方の冷却液回路の冷却液の液温と流量
を、次に発熱体に供給しようとする液温と流量に制御す
る場合などについても適用可能である。この場合には、
互いに液温および流量の制御を繰り返すことにより、発
熱体に供給する冷却液を任意の液温および流量に瞬時に
切り換えることができる。
【００４２】また、前記実施例においては、２つの冷却
液回路３ａ，３ｂを備えた冷却装置について説明した
が、２種類に限定されるものではなく、たとえば種類を
増すことによって冷却液の温度および流量切換をより一
層迅速に行うことができる。
液回路３ａ，３ｂを備えた冷却装置について説明した
が、２種類に限定されるものではなく、たとえば種類を
増すことによって冷却液の温度および流量切換をより一
層迅速に行うことができる。
【００４３】さらに、発熱体１の数についても、実施例
１または２の構成をさらに並列に連結するなど、冷却液
回路の構成を変更することにより、たとえば２つまたは
それ以上の発熱体に対しても同時に冷却液を供給するこ
とができる冷却装置についても適用可能である。
１または２の構成をさらに並列に連結するなど、冷却液
回路の構成を変更することにより、たとえば２つまたは
それ以上の発熱体に対しても同時に冷却液を供給するこ
とができる冷却装置についても適用可能である。
【００４４】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である半導体集積回路に
用いられる冷却装置に適用した場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、他の発熱体を被冷
却物とする冷却装置についても広く適用可能である。
てなされた発明をその利用分野である半導体集積回路に
用いられる冷却装置に適用した場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、他の発熱体を被冷
却物とする冷却装置についても広く適用可能である。
【００４５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００４６】(1).所定の一定温度および流量に制御され
た複数種類の温度および流量の冷却液回路と、冷却液回
路を並列に連結し、これらの冷却液回路の中から任意の
１つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給する切換バ
ルブとを備えることにより、切換バルブを切り換えるこ
とによって被冷却物に供給する冷却液の温度と流量を切
り換えることができるので、被冷却物に対して所望する
値の温度および流量の冷却液を瞬時に供給することがで
きる。
た複数種類の温度および流量の冷却液回路と、冷却液回
路を並列に連結し、これらの冷却液回路の中から任意の
１つの冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給する切換バ
ルブとを備えることにより、切換バルブを切り換えるこ
とによって被冷却物に供給する冷却液の温度と流量を切
り換えることができるので、被冷却物に対して所望する
値の温度および流量の冷却液を瞬時に供給することがで
きる。
【００４７】(2).被冷却物の１つにつき２種類の温度お
よび流量の冷却液を所定の温度および流量に制御できる
２つの冷却液回路と、冷却液回路を並列に連結し、これ
らの冷却液回路の中から任意の１つの冷却液回路の冷却
液を被冷却物に供給する切換バルブとを備えることによ
り、一方の冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給してい
る間に、他方の冷却液回路の冷却液の温度および流量を
任意の所望する値に制御することができるので、前記
(1) と同様に切換バルブを切り換えることによって所望
する任意の値の温度および流量の冷却液を瞬時に被冷却
物に対して供給することができ、さらにこれを交互に繰
り返すことによって複数種類の温度と流量の冷却液を供
給することが可能となる。
よび流量の冷却液を所定の温度および流量に制御できる
２つの冷却液回路と、冷却液回路を並列に連結し、これ
らの冷却液回路の中から任意の１つの冷却液回路の冷却
液を被冷却物に供給する切換バルブとを備えることによ
り、一方の冷却液回路の冷却液を被冷却物に供給してい
る間に、他方の冷却液回路の冷却液の温度および流量を
任意の所望する値に制御することができるので、前記
(1) と同様に切換バルブを切り換えることによって所望
する任意の値の温度および流量の冷却液を瞬時に被冷却
物に対して供給することができ、さらにこれを交互に繰
り返すことによって複数種類の温度と流量の冷却液を供
給することが可能となる。
【００４８】(3).前記(1) および(2) により、冷却液の
温度切換および流量調整を瞬時に行い、被冷却物に対し
て迅速に所望の温度および流量の冷却液を供給すること
ができるので、特に小ロット・多品種の被冷却物の冷却
に良好に適用可能とされる冷却装置を得ることができ
る。
温度切換および流量調整を瞬時に行い、被冷却物に対し
て迅速に所望の温度および流量の冷却液を供給すること
ができるので、特に小ロット・多品種の被冷却物の冷却
に良好に適用可能とされる冷却装置を得ることができ
る。
【図１】本発明の実施例１である冷却装置を示す構成図
である。
である。
【図２】本発明の実施例２である冷却装置を示す構成図
である。
である。
【図３】従来技術の一例である冷却装置を示す構成図で
ある。
ある。
１ 発熱体（被冷却物） ２ 冷却装置 ３，３ａ，３ｂ 冷却液回路 ４，４ａ，４ｂ 切換バルブ ５，５ａ，５ｂ 切換バルブ ６ 冷却液回収槽 ７ ポンプ ８ 制御器 ９，９ａ，９ｂ ポンプ １０，１０ａ，１０ｂ 冷凍機 １１，１１ａ，１１ｂ 熱交換器 １２，１２ａ，１２ｂ ヒーター １３，１３ａ，１３ｂ 温度検出器 １４，１４ａ，１４ｂ 流量検出器 １５ａ，１５ｂ 温度調整バルブ １６ａ，１６ｂ 温度調整バルブ １７ａ，１７ｂ 流量調整バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 7/20 Ｍ 8509−4Ｅ
Claims (2)
- 【請求項１】 発熱体である単数または複数の被冷却物
を冷却する液冷式の冷却装置であって、所定の一定温度
および流量に制御された複数種類の温度および流量の冷
却液回路と、該冷却液回路を並列に連結し、該冷却液回
路の中から任意の１つの冷却液回路の冷却液を前記被冷
却物に供給する切換バルブとを備え、該切換バルブを切
り換えることにより所望する値の温度および流量の冷却
液を瞬時に前記被冷却物に対して供給することを特徴と
する冷却装置。 - 【請求項２】 発熱体である単数または複数の被冷却物
を冷却する液冷式の冷却装置であって、前記被冷却物の
１つにつき２種類の温度および流量の冷却液を所定の温
度および流量に制御できる２つの冷却液回路と、該冷却
液回路を並列に連結し、該冷却液回路の中から任意の１
つの冷却液回路の冷却液を前記被冷却物に供給する切換
バルブとを備え、一方の冷却液回路の冷却液を前記被冷
却物に供給している間に、他方の冷却液回路の冷却液の
温度および流量を任意の所望する値に制御し、前記切換
バルブを切り換えることにより所望する任意の値の温度
および流量の冷却液を瞬時に前記被冷却物に対して供給
することを特徴とする冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19630991A JPH0541589A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19630991A JPH0541589A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541589A true JPH0541589A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16355667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19630991A Pending JPH0541589A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541589A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3002625A1 (fr) * | 2013-02-28 | 2014-08-29 | Bull Sas | Systeme de refroidissement liquide pour armoire informatique |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP19630991A patent/JPH0541589A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3002625A1 (fr) * | 2013-02-28 | 2014-08-29 | Bull Sas | Systeme de refroidissement liquide pour armoire informatique |
| EP2773173A1 (fr) * | 2013-02-28 | 2014-09-03 | Bull Sas | Système de refroidissement liquide pour armoire informatique |
| JP2014170541A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-18 | Bull Sas | コンピュータキャビネットのための液体冷却システム |
| US9769954B2 (en) | 2013-02-28 | 2017-09-19 | Bull Sas | Liquid cooling system for a computer cabinet |
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