JPH0541493Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （技術分野） 本考案は螢光表示管に関し、より詳細には、各
種の記録装置用光源に適用しうる螢光表示管に関
するものである。

従来、長尺の基板上に微小間隔をおき、この基
板の長手方向にそつて多数の微小な短冊状の陽極
を配列し、各陽極の表面に螢光体を積層してなる
発光部と、この発光部に対向離間して設けられた
制御電極及び熱電子放出用の陰極などを、少なく
とも光取出部を透明とした真空容器内に封設して
なる螢光表示管が知られている。

その一例は、特開昭58−135559号公報にも開示
されている。

これら従来技術において、制御電極（いわゆる
グリツド電極）によつて発光部の副走査方向の寸
法を規制する方法が採用されている。

なお、ここで、副走査方向とは、基板の長手方
向である主走査方向に直交する方向であり、プリ
ンターにおいては感光体の送り方向に相当する。

そこで、制御電極によつて発光部の副走査方向
の寸法を規制する場合には、制御電極のスリツト
状の開口部の端縁が変形によつて精度不良とな
り、発光部の寸法が不均一となることから、各螢
光体より発する光であつて上記開口を通過後にお
ける光量相互間にばらつきを生じてしまうという
問題がある。

上記制御電極のスリツト状の開口部の変形は螢
光表示管の製造過程においてフエースガラスを高
温度の雰囲気にさらされることに因るもので製造
工程上、避けることができない。

（目的） 従つて、本考案の目的は、陽極に対応して螢光
表示管から出射される各ドツト状光源間の光量の
ばらつきを少なくすることのできる螢光表示管を
提供することにある。

（構成） 本考案は上記の目的を達成させるため、各陽極
を複数の陽極にまたがつて各基板長手方向に均一
の幅をもつたスリツト状の開口を有する薄膜絶縁
層で覆い、この開口より露出している各陽極上に
のみ螢光体を積層して発光部となしたことを特徴
としたものである。

以下、本考案の一実施例に基づいて具体的に説
明する。

本考案に係る螢光管の断面を示した第１図にお
いて符号１は基板としてのガラスを示し、紙面を
貫く方向（走査方向）に長尺の材料として構成さ
れている。

このガラス１上に多数の陽極２が主走査方向に
配列されている。これらの陽極２はアルミニウム
の真空蒸着膜で形成され、交互に反対方向に引き
出されている。さらに、これら電極２上には走査
方向に長いスリツト状の開口を有する薄膜絶縁層
３が覆うように形成されている。そして、上記開
口に合致する大きさのZnO又はZnからなる螢光
体４が各陽極２上に形成されている。

なお、薄膜絶縁層３は例えばSiO₂をスパツタ
リングすることで形成されている。この薄膜絶縁
層３上には厚膜層５が螢光体４を囲む如くに形成
されている。

そして、厚膜層５上には制御電極６が重ねてあ
る。この制御電極６は第４図に示される如く、主
走査方向Ｘに長いスリツト状の開口６ａを螢光体
４に対向して配置されていて、縁部６ｂは遮光性
の金属板で、他の部分はメツシユ状に構成されて
いる。

この制御電極６の上方にはワイヤ状の陰極７が
張設されている。

以上の諸部材はフエースガラス８で覆われてい
て内部は真空状態に保持されている。なお、この
フエースガラス８の上面裏側には帯電防止用の透
明なネサ電極９が形成されている。

第２図はこのような螢光表示管の平面図を示し
ており、符号１０は陰極の固定部材、符号１１は
陰極７を張設するためのばね板をそれぞれ示す。

次に第３図を参照しながら、陽極２上に螢光体
４を形成する方法を説明する。

先ず、基板ガラス１上に多数の微小な短冊状の
陽極２がフオトエツチング法により形成される。

次に、この陽極２上にSiO₂による薄膜絶縁層
３がスパツタリングにより一様に蒸着される。

然る後、フオトエツチング法により螢光体の形
成領域としての部分が除去されてスリツト状の開
口３ａが形成される。この開口３ａは主走査方向
に長く、幅ｈは例えば50μmに設定される。

次に、この薄膜絶縁層３の上に、さらに、スリ
ツト状の厚膜層５がガラス剤を印刷して高温焼成
することにより形成する。この厚膜層５のスリツ
ト幅Ｈは薄膜絶縁層３の開口の幅ｈより大きいも
のとする。

次に、電着法により、陽極２と電着用の対向電
極との間に電圧を印加して、開口３ａより露出し
ている陽極２に螢光体４を電着する。

本例の如きドツトアレイ螢光表示管を光記録装
置に用いるとき、螢光体ドツトサイズは主走査方
向、副走査方向とも、ほぼ等しい寸法の方が解像
力の点から望ましい。

本例の場合、副走査方向での発光源の大きさが
薄膜絶縁層３の開口３ａにて正しく設定され、電
着された螢光体は熱変形しないのでその後の製造
工程において高温下にさらされても各ドツト間で
の光量のばらつきを生じないこととなる。

ちなみに各螢光体４のサイズは50μm（主走査方
向）×50μm（副走査方向）でばらつきは各光量間
にばらつきが生じない十分な精度内に抑えること
ができる。

又、厚膜層５はスペーサ部材として機能して螢
光体４と制御電極６の電気的接触を防止し信頼性
を向上させている。

ここで、螢光表示管の発光動作を簡単に説明す
る。先ず、陰極７に10V程度の交流電圧を印加
し、加熱すると熱電子が放出される。放出された
熱電子は制御電極６によつて加速され、さらに陽
極２によつて加速されて螢光体４に衝突してエネ
ルギーを失ない、螢光体４を発光させる。

而して、陽極３に選択的に信号電圧を印加すれ
ば、所望の螢光体４を発光させることができる。

本考案に係る螢光表示管は第５図に示す如き記
録装置に適用される。

感光体ドラム１５に対向して螢光表示管１６が
等倍結像素子１７と組合せて設置される。

感光体ドラム１５の周囲には、その回転方向上
に、現像器１８、転写器１９、除電ランプ２０、
クリーナ２１、帯電器２２などが配置されてい
る。記録紙２３は対ローラ２４，２５により感光
体１５と転写器１９との間を搬送されるようにな
つている。

（効果） 本考案では、螢光体ドツトサイズが薄膜絶縁層
により正確に形成されるので、各ドツト間のばら
つきがなくなり、光記録装置用の光源として用い
た場合には濃淡むらのない、良好な印字品質を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る螢光表示管の平面図、第
２図は螢光表示管の平面図、第３図は螢光体及び
電極部分の構成図、第４図は制御電極の正面図、
第５図は本考案に係る螢光表示管を用いるに好適
な記録装置の構成図である。 ３……薄膜絶層、３ａ……開口、４……螢光
体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 長尺の基板上に微小間隔をおき、この基板の長
   手方向にそつて多数の微小な短冊状の陽極を配列
   し、各陽極の表面に螢光体を積層してなる発光部
   と、この発光部に対向して設けられた制御電極及
   び熱電子放出用の陰極などを、少なくとも光取出
   部を透明とした真空容器内に封設してなる螢光表
   示管において、 複数の陽極にまたがつて基板長手方向に均一の
   幅をもつたスリツト状の開口を有する薄膜絶縁層
   で各陽極を覆い、この開口より露出している各陽
   極上にのみ螢光体を積層して発光部となしたこと
   を特徴とする螢光表示管。