JPH0540910Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は吸着テーブルの改良に関するもので、
特にその基板へセツトする加工材の位置決め用パ
ツトに係るものである。

〈考案の背景〉 本件出願人は、昭和62年２月25日提出の「吸着
テーブル」と題する特許願において、つぎの点を
要旨とする発明について出願した。

その要旨は、厚さ方向に多数の吸引孔をあけた
基板を吸着テーブルの真空室上に固定し、吸引孔
のうち吸引力と必要としない部分の吸引孔には閉
じ蓋を嵌合して閉じ、吸引力を必要とする部分の
吸引孔には吸着パツトを挿入立設し、この吸着パ
ツド上に加工材を載置して吸引固定することを特
徴とする吸着テーブルである。

ところで、この装置で加工材を基板上の定位置
にセツトするには、加工材を位置決めしなければ
ならないが、このためには位置決め用の定規が必
要となる。

〈考案の構成〉 本考案は、上記の必要に応じて提案した加工材
の位置決め用パツトで、つぎのように構成する。

すなわち中央に大径部を有する円柱体で、下端
には小径部があり、上端には突出端を設けた本体
と、該突出端への嵌合孔を中央に有し、且つ環状
部の幅がカツタの通路より大きい円板とよりなる
吸着テーブルにおける加工材の位置決め用パツト
である。

〈作用〉 本体の突出端へ円板を嵌合して一体としたもの
を、基板にセツトする加工材の外周部分の吸引孔
へ挿入固定する。セツトする部分の吸引孔へは、
加工材載置用の吸着パツト（後で説明する）を挿
入固定する。上記の準備ができたら、載置用の吸
着パツト上におく加工材の外周を上記円板に当接
させて位置決めする。

位置決めができたら、本体から円板を外す。さ
すれば加工材は定位置にセツトされるほか、加工
材の外周とパツト本体間には〓間ができ、これが
カツタの通路となつて加工材の外周加工ができ
る。また、残つたパツト本体は、閉じ蓋に代わつ
て吸引孔を開口する。

〈実施例〉 以下に本考案の実施例を図面に基いて説明す
る。

本考案の説明に先立つて、背景となる吸着テー
ブルとその上に固定する基板について説明する。
第１〜３図において１は吸着テーブル２の真空室
３上に固定する基板で、その厚さ方向へ縦横格子
状に多数の吸引孔４をあける。吸引孔４は大径部
４１（直径：28mm）と小径部４２（直径：20mm）
とよりなる断面段状の立孔で、各吸引孔４間の間
隔は44mmとする。

吸引孔４のうち、主として加工材Ｗをセツトす
る部分には、内部に上下方向へ貫通する内部空間
５を有する筒状体で、下端には挿入端６を有する
吸着パツト７を挿入固定する。

この吸着パツト７上に加工材Ｗをおき、上開口
端８を吸着面とし、吸着テーブル２の稼働により
真空室３を真空状態とすることによつて生ずる吸
引力によつて加工材Ｗを吸引固定する。加工材Ｗ
より外れる部分および吸引力を必要としない部分
の吸引孔４には、閉じ蓋９を嵌合して閉口する。

本考案の加工材の位置決め用パツト１０は、第
４〜５図に示すように本体Ａとこれに嵌合する円
板Ｂとよりなる。本体Ａは、中央に大径部１１を
有する円柱体で、下端には小径部１２があり、上
端には突出端１３を設ける。一方円板Ｂは、中央
に前記突出端１３への嵌合孔１４を有し、且つ環
状部１５の幅Ｗが、第４〜５図に示すようにカツ
タＣの通路より大きい。そして、この円板Ｂを本
体Ａの突出端１３へ嵌合し、一体として使う。

つぎに使い方を説明する。まず第４図に示すよ
うに加工材Ｗの外周に相当する部分の吸引孔４へ
本考案の位置決め用パツト１０を挿入固定する。
加工材Ｗの内側部分（外周部以外）の吸引孔４へ
は吸着パツト７を挿入固定する。加工材Ｗを吸着
パツト７上におき、その外周を位置決め用パツト
１０に当接させて位置決めする。位置決めができ
たら、円板Ｂを本体Ａから外す。さすれば第５図
のように加工材Ｗと本体Ａとの間に〓間が残り、
ここがカツタＣの通路となつて、加工材Ｗの外周
加工ができる。本体Ａは、閉じ蓋の代わりとして
吸引孔４を閉じる働きをする。

なお、加工材Ｗが外周加工をせず、中央部のみ
の加工のときは、本体Ａだけを吸引孔４に挿入
し、その突出端１３で位置決めすることもでき
る。

〈考案の効果〉 本考案の位置決め用パツトは、以上説明したよ
うに中央部に大径部を有し、上端には突出端を設
けた本体と、該突出端への嵌合孔を有する円板と
で構成した。このため、加工材の外周に対応する
吸引孔に本体を挿入して立設すれば、円板に加工
材を当接させて位置決めできる。

位置決め後円板を外せば、本体と加工材との間
に間〓が生ずるから、ここをカツタの通路として
加工材の外周加工ができる。また、本体は吸着パ
ツトのような筒状体でないから、そのままおけば
閉じ蓋の代わりとして吸引孔を閉口できる。

なお、加工材が外周加工を要しない場合は、円
板をはめずに本体のみで使用することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板を示す平面図、第２図は同一部切
欠き正面図、第３図は吸着パツトの使用状態を示
す縦断面図、第４〜５図は本考案の位置決め用パ
ツトの使用状態を示す説明図縦断面図、第６図は
同平面図である。 １０……位置決め用パツト、Ａ……本体、Ｂ…
…円板、１１……大径部、１３……突出端、１４
……嵌合孔、１５……環状部、Ｗ……環状部の
幅。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 中央に大径部を有する円柱体で、下端には小径
   部があり、上端には突出端を設けた本体と、該突
   出端への嵌合孔を中央に有し、且つ環状部の幅が
   カツタの通路より大きい円板とよりなる吸着テー
   ブルにおける加工材の位置決め用パツト。