JPH0539626Y2 - - Google Patents
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- JPH0539626Y2 JPH0539626Y2 JP2743587U JP2743587U JPH0539626Y2 JP H0539626 Y2 JPH0539626 Y2 JP H0539626Y2 JP 2743587 U JP2743587 U JP 2743587U JP 2743587 U JP2743587 U JP 2743587U JP H0539626 Y2 JPH0539626 Y2 JP H0539626Y2
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- JP
- Japan
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- susceptor
- barrel
- indicator
- detection device
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2743587U JPH0539626Y2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2743587U JPH0539626Y2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63136325U JPS63136325U (enrdf_load_stackoverflow) | 1988-09-07 |
| JPH0539626Y2 true JPH0539626Y2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-10-07 |
Family
ID=30829462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2743587U Expired - Lifetime JPH0539626Y2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539626Y2 (enrdf_load_stackoverflow) |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP2743587U patent/JPH0539626Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63136325U (enrdf_load_stackoverflow) | 1988-09-07 |
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