JPH0537477Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は保持装置に関し、特に板状部材を保持
する治具の構造に関するものである。

(ロ) 従来の技術 板状の物、特に半導体ウエハーやガラス基板等
を立てる保持装置として第９図のような構造の装
置が知られている（実公昭59−38051号公報）。

第９図において板状部材２を支える直線状の棒
状部材２１は、算盤玉が連なつた様な形態をして
おり、単一材料で構成され、側板５に着脱可能に
ネジ６で取り付けられている。

棒状部材２１の材料としては、金属、樹脂、ガ
ラス等が用いられているが、主に硬度の小さい樹
脂材料が広く用いられている。

このように樹脂材が用いられるのは、半導体ウ
エハーやガラス基板は高価な故、破損率を極力小
さくするためである。

第１０図に従来の棒状部材２１の斜視図を示
す。第１０図の−線で棒状部材２１を切
断した場合の断面図を第１１図に示す。

樹脂材料を用いた場合、棒状部材２１の形成方
法には金型を用いた成型法と、丸棒等を切削して
必要な形状に加工する切削法とがある。

これら２つの方法には一長一短があり、成形法
は大量生産には適するものの、棒状部材２１の長
さを変更するためには金型を新しく作る必要があ
り、コストと時間がかかる欠点がある。

一方、切削法は棒の長さの変更に対しては柔軟
に対応出来るものの、一本一本を切削して作るた
めコスト高になり、大量に生産するためには時間
も必要となる欠点がある。また、棒状部材２１は
凹凸を繰り返した形状となつているため、強度や
寸法精度を維持することが難しく、使用する樹脂
材料等が制約されてしまう欠点がある。

(ハ) 考案が解決しようとする課題 ガラス板等の板状部材を保持するために用いる
治具には、今後の製品の多様化及び技術革新に対
応した形状、強度、材料が必要とされてくるが、
現在の成型法及び切削法では十分な対応が行えな
い欠点がある。

本考案はこの点を解決するため、部品を組み合
わせ、強度を増すために芯棒に通し、表面の凹凸
を利用して板状の物を保持する任意の長さの治具
を提案することを目的とするものである。

(ニ) 課題を解決するための手段 そこで相互に平行で水平方向に延在する少なく
とも２本の直線状の金属製の棒状部材に、外周部
に沿つて環状の凹所が形成されている滑車状のプ
ラスチツク製の保持部材が複数個挿抜自在に装着
されている構造の保持装置とした。

(ホ) 作用 本考案は、上記の様に構成したので、滑車状の
部品１及びピツチ出しリング４の個数と芯棒３の
長さを調節することで、強度のある任意の長さ及
び任意のピツチの保持装置を容易に色々な材料で
作る事が可能となる。

(ヘ) 実施例 第１図は本考案の板状部材の保持装置の保持部
材の一実施例を示す斜視図である。

この保持装置は各部品に分解でき、これら各部
品を若干分離した状態の分解図を第２図に示す。
この実施例では、フツソ系樹脂を用いて、成形法
で作られた滑車状の部品１４個が、同様にフツソ
系樹脂等を用いて成形法で作られたピツチ出しリ
ング４３個をはさみ、ステンレス等で作られた芯
棒３に通され、両端には同じピツチ出しリング４
３個がスペーサーとして通されている。

第２図の−線で保持部材を切断した場合の
断面図を第３図に示す。芯棒３に挿通されている
ピツチ出しリング４で挟持される滑車状の部品１
の凹所で板状部材を保持する。

滑車状の部品１の斜視図を第４図に示す。第４
図の−線で滑車状の部品１を切断した場合の
断面図を第５図に示す。滑車状の部品１は芯棒３
に貫通されるため、貫通孔７が穿設されている。

ピツチ出しリング４の斜視図を第６図に示す。
第６図の−線でピツチ出しリング４を切断し
た場合の断面図を第７図に示す。滑車状の部品１
と同様にピツチ出しリング４は芯棒３に貫通され
るため、貫通孔７が穿設されている。

芯棒３に挿通された滑車状の部品１とピツチ出
しリング４によつて形成された第１図に示す保持
部材６本を平行にかつ水平に備え、２枚のステン
レス等で作られた側板５にネジ６で固定した構造
の本考案の板状部材保持装置を第８図に示す。

第８図において、側板５の内側に近いピツチ出
しリング４は、板状部材を滑車状の部品１に保持
される際に、誤つて側板５に板状部材を当てて破
損することを避けるためのスペーサーである。

板状部材保持装置の下方の２本の芯棒３間距離
を小さくしてあるのは、より小さな板状部材を保
持するためである。

より多くの板状部材を保持する場合、芯棒３を
長いものに替え、滑車状の部品１とピツチ出しリ
ング４を増やせば良い。

又、板状部材間のピツチを変更したい場合は、
ピツチ出しリング４の厚みを変えるか増やせば良
い。このように本考案の保持装置は必要な形状を
簡単に作ることができる。

さらに、本考案の保持装置は部品を組み合わせ
て作るので、必要とされる性能及び強度等すべて
の条件を満たす材料が無い場合でも、複数の材料
を組み合わせる事で対応できる利点がある。

例えば、高価で加工性が良いけれども強度の無
い材料（ポリ四フツ化エチレン）で滑車状の部品
１、ピツチ出しリング４を作り、安価で加工性が
悪いけれども強度のある材料（SUS27）で芯棒
３、側板５を作り組み合わせれば、総合的に最も
優れた治具を得る事が可能になる。

(ト) 考案の効果 滑車状の部品１及びピツチ出しリング４は金型
を用いた成型法で作られ、大量生産で低コストに
できる。

また、芯棒３の存在により滑車状の部品１とピ
ツチ出しリング４の材料は強度があまりなくとも
良く、板状部材の破損率が小さなものを用いるこ
とができる。

本考案は以上に説明したように極めて簡単な構
造で、必要な形状、構造、性能の保持装置が金型
を変更等することなく、安価に製作することがで
きる。

尚、滑車状の部品１及びピツチ出しリング４の
材料はポリ三フツ化塩化エチレン、ポリフツ化プ
ロピレン、シリコーン等でも良く、芯棒３はAl、
メツキした金属板でもかまわない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の保持部材の斜視図である。第
２図は第１図の保持部材の部品を若干離間させた
状態の分解図である。第３図は第２図における
−線での断面図である。第４図は本考案の滑車
状の部品の斜視図である。第５図は第４図におけ
る−線での断面図である。第６図は本考案の
ピツチ出しリングの斜視図である。第７図は第６
図における−線での断面図である。第８図は
本考案の板状部材保持装置の斜視図である。第９
図は従来の板状部材保持装置の斜視図である。第
１０図は従来の棒状部材の斜視図である。第１１
図は第１０図における−線での断面図で
ある。 １……滑車状の部品、２……板状部材、３……
芯棒、４……ピツチ出しリング、５……側板、６
……ネジ、７……貫通孔、２１……棒状部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 相互に平行で水平方向に延在する少なくとも
   ２本の直線状の棒状部材に、外周部に沿つて環
   状の凹所が形成されている滑車状の保持部材が
   複数個挿抜自在に装着されている板状部材保持
   装置。 ２ 棒状部材は金属にて形成され、保持部材はプ
   ラスチツクにて形成されている請求項１記載の
   板状部材保持装置。