JPH05347322A - 洗浄済液の処理装置 - Google Patents
洗浄済液の処理装置Info
- Publication number
- JPH05347322A JPH05347322A JP4153784A JP15378492A JPH05347322A JP H05347322 A JPH05347322 A JP H05347322A JP 4153784 A JP4153784 A JP 4153784A JP 15378492 A JP15378492 A JP 15378492A JP H05347322 A JPH05347322 A JP H05347322A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- cleaned
- abrasive
- abrasive grains
- slurry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、簡単に適正粒度の砥粒を選別回収
し得る洗浄済液の処理装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 砥粒を混合した溶液を被洗浄物に高圧噴射せ
しめて被洗浄物を洗浄することにより生じる洗浄済液の
処理装置であって、洗浄済液を貯液する貯液部ａと，筒
体１の下部より前記貯液部ａからの洗浄済液を上方に向
かって定速で導入し、筒体１の上部から洗浄済液を導出
することで洗浄済液中の所定粒度の砥粒を選別せしめる
砥粒選別部ｂと，該砥粒選別部ｂの上部から導出せしめ
た洗浄済液を前記貯液部ａに導入する戻り通路部ｃと，
前記砥粒選別部ｂ内において沈降した砥粒を収集する砥
粒収集部ｄと，より成るものである。
し得る洗浄済液の処理装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 砥粒を混合した溶液を被洗浄物に高圧噴射せ
しめて被洗浄物を洗浄することにより生じる洗浄済液の
処理装置であって、洗浄済液を貯液する貯液部ａと，筒
体１の下部より前記貯液部ａからの洗浄済液を上方に向
かって定速で導入し、筒体１の上部から洗浄済液を導出
することで洗浄済液中の所定粒度の砥粒を選別せしめる
砥粒選別部ｂと，該砥粒選別部ｂの上部から導出せしめ
た洗浄済液を前記貯液部ａに導入する戻り通路部ｃと，
前記砥粒選別部ｂ内において沈降した砥粒を収集する砥
粒収集部ｄと，より成るものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、砥粒を混合した水（ス
ラリー）をＩＣモールドなどの被洗浄物に高圧噴射し、
ＩＣパッケージやリードフレームのバリ取り，洗浄を行
った後に生ずる使用済スラリーの処理装置に関するもの
である。
ラリー）をＩＣモールドなどの被洗浄物に高圧噴射し、
ＩＣパッケージやリードフレームのバリ取り，洗浄を行
った後に生ずる使用済スラリーの処理装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来からＩＣモールドのバリ取り，洗浄
を行う方法としてウェットブラスト法と呼ばれる手段が
提案されている。
を行う方法としてウェットブラスト法と呼ばれる手段が
提案されている。
【０００３】このウェットブラスト法は、直径0.2ｍｍ
程度の樹脂製やガラス製の微細粒（以下、砥粒とい
う。）を混入した水（以下この混合溶液をスラリーとい
う。）をＩＣモールドに高圧噴射し、このスラリーによ
りＩＣパッケージ，リードフレームなどのバリ取り，洗
浄を行うものである。
程度の樹脂製やガラス製の微細粒（以下、砥粒とい
う。）を混入した水（以下この混合溶液をスラリーとい
う。）をＩＣモールドに高圧噴射し、このスラリーによ
りＩＣパッケージ，リードフレームなどのバリ取り，洗
浄を行うものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このスラリ
ーは一般的には一度使用したら回収して再使用するとい
う循環構造が採用されている。
ーは一般的には一度使用したら回収して再使用するとい
う循環構造が採用されている。
【０００５】従って、ある程度使用するとこのスラリー
は洗浄によりＩＣパッケージなどから除去せしめられた
バリが混入したり、また、ほこり，油分，ウェットブラ
スト法の際に使用される脱脂剤なども混入し非常に汚れ
てしまう。
は洗浄によりＩＣパッケージなどから除去せしめられた
バリが混入したり、また、ほこり，油分，ウェットブラ
スト法の際に使用される脱脂剤なども混入し非常に汚れ
てしまう。
【０００６】また、スラリーの反復使用により、砥粒は
途々に摩耗して行き、一部の砥粒の径は小さくなってし
まい、バリ取り力，洗浄力の低下が招来せしめられてし
まう。
途々に摩耗して行き、一部の砥粒の径は小さくなってし
まい、バリ取り力，洗浄力の低下が招来せしめられてし
まう。
【０００７】よって、現状においては、ある程度スラリ
ーを反復使用したら適量の砥粒を補充したりしている。
本来であれば、小径となってバリ取り能力の消失した砥
粒を取り除いてやるのが望ましいが、砥粒が微粒の為小
径の砥粒のみを取り除く作業は非常に厄介であり（例え
ばフィルター方式による選別では目詰まりが生じ、実用
性に乏しい。）、結局は、数回新しい砥粒を補充するだ
けで、ある程度使用したら全部の砥粒を捨てる以外に手
段はない。
ーを反復使用したら適量の砥粒を補充したりしている。
本来であれば、小径となってバリ取り能力の消失した砥
粒を取り除いてやるのが望ましいが、砥粒が微粒の為小
径の砥粒のみを取り除く作業は非常に厄介であり（例え
ばフィルター方式による選別では目詰まりが生じ、実用
性に乏しい。）、結局は、数回新しい砥粒を補充するだ
けで、ある程度使用したら全部の砥粒を捨てる以外に手
段はない。
【０００８】本発明は、使用済スラリーを回収し、この
使用済スラリーから適正粒度の砥粒を簡単に回収するこ
とのできる洗浄済液の処理装置を提供することを技術的
課題とするものである。
使用済スラリーから適正粒度の砥粒を簡単に回収するこ
とのできる洗浄済液の処理装置を提供することを技術的
課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】添付図面を参照して本発
明の要旨を説明する。
明の要旨を説明する。
【００１０】砥粒を混合した溶液を被洗浄物に高圧噴射
せしめて被洗浄物を洗浄することにより生じる洗浄済液
の処理装置であって、洗浄済液を貯液する貯液部ａと，
筒体１の下部より前記貯液部ａからの洗浄済液を上方に
向かって定速で導入し、筒体１の上部から洗浄済液を導
出することで洗浄済液中の所定粒度の砥粒を選別せしめ
る砥粒選別部ｂと，該砥粒選別部ｂの上部から導出せし
めた洗浄済液を前記貯液部ａに導入する戻り通路部ｃ
と，前記砥粒選別部ｂ内において沈降した砥粒を収集す
る砥粒収集部ｄと，より成る洗浄済液の処理装置に係る
ものである。
せしめて被洗浄物を洗浄することにより生じる洗浄済液
の処理装置であって、洗浄済液を貯液する貯液部ａと，
筒体１の下部より前記貯液部ａからの洗浄済液を上方に
向かって定速で導入し、筒体１の上部から洗浄済液を導
出することで洗浄済液中の所定粒度の砥粒を選別せしめ
る砥粒選別部ｂと，該砥粒選別部ｂの上部から導出せし
めた洗浄済液を前記貯液部ａに導入する戻り通路部ｃ
と，前記砥粒選別部ｂ内において沈降した砥粒を収集す
る砥粒収集部ｄと，より成る洗浄済液の処理装置に係る
ものである。
【００１１】
【作用】洗浄済液は貯液部ａに貯えられ、貯液部ａから
砥粒選別部ｂに定速で導入され、砥粒選別部ｂに導入さ
れた洗浄済液は戻り通路部ｃを介して再び貯液部ａに導
入される。
砥粒選別部ｂに定速で導入され、砥粒選別部ｂに導入さ
れた洗浄済液は戻り通路部ｃを介して再び貯液部ａに導
入される。
【００１２】この洗浄済液の循環において、砥粒選別部
ｂ内において、適当粒度の砥粒は砥粒選別部ｂの筒体１
の下部に沈降し、砥粒収集部ｄから回収される。
ｂ内において、適当粒度の砥粒は砥粒選別部ｂの筒体１
の下部に沈降し、砥粒収集部ｄから回収される。
【００１３】
【実施例】図面は本発明の一実施例であり、以下に説明
する。
する。
【００１４】図３に基づいて貯液部ａについて説明す
る。
る。
【００１５】貯液部ａは、移動可能に構成された基台２
の表面に容体３を配設したものである。この容体３は基
台２に対して回動自在に設けられている。また、容体３
は底部にテーパー凹部４が形成されている。また、容体
３の開口部に架設した吊杆５にはスラリーを受ける網か
ご体６が吊下してせしめられている。
の表面に容体３を配設したものである。この容体３は基
台２に対して回動自在に設けられている。また、容体３
は底部にテーパー凹部４が形成されている。また、容体
３の開口部に架設した吊杆５にはスラリーを受ける網か
ご体６が吊下してせしめられている。
【００１６】符号７は、基台２に立設した軸受筒，８は
駆動モータ，９は駆動モータ８の駆動軸に駆動連結され
た駆動ローラ，10はガイド，11は前記軸受筒７に嵌入さ
れる軸杆，12は支承ローラ，13はキャスター，14は握持
杆である。
駆動モータ，９は駆動モータ８の駆動軸に駆動連結され
た駆動ローラ，10はガイド，11は前記軸受筒７に嵌入さ
れる軸杆，12は支承ローラ，13はキャスター，14は握持
杆である。
【００１７】また、この貯液部ａは後記する砥粒選別部
ｂ，戻り通路部ｃ，砥粒収集部ｄを具備した基枠17内に
収納せしめられる訳であるが、図２に図示したように基
枠17には容体３内のスラリーを吸入する吸入ポンプ18及
び容体３内のスラリーを撹拌する撹拌ポンプ19が設けら
れている。
ｂ，戻り通路部ｃ，砥粒収集部ｄを具備した基枠17内に
収納せしめられる訳であるが、図２に図示したように基
枠17には容体３内のスラリーを吸入する吸入ポンプ18及
び容体３内のスラリーを撹拌する撹拌ポンプ19が設けら
れている。
【００１８】符号20は吸引管，21は吸引管，22は吐出管
である。
である。
【００１９】次に図２に基づいて砥粒選別部ｂ，戻り通
路部ｃ，砥粒収集部ｄについて説明する。
路部ｃ，砥粒収集部ｄについて説明する。
【００２０】砥粒選別部ｂ，戻り通路部ｃ，砥粒収集部
ｄは基枠17に配設される。
ｄは基枠17に配設される。
【００２１】砥粒選別部ｂは所定径，所定長の筒体１に
より構成される。
より構成される。
【００２２】この筒体１の下部にはスラリーを導入する
導入管15が連通連結せしめられ、筒体１の上部にはスラ
リーを導出する導出管16が連通連結せしめられている。
導入管15は、前記吸入ポンプ18と連通せしめられる。
導入管15が連通連結せしめられ、筒体１の上部にはスラ
リーを導出する導出管16が連通連結せしめられている。
導入管15は、前記吸入ポンプ18と連通せしめられる。
【００２３】次に戻り通路部ｃについて説明する。
【００２４】導出部16の下端は基枠17に設けられた網コ
ンベア23に臨ましめられている。この網コンベア23は基
枠17に付設したロート状の受体24内に配設されている。
ンベア23に臨ましめられている。この網コンベア23は基
枠17に付設したロート状の受体24内に配設されている。
【００２５】符号25はローラ，26は網コンベア23の中央
を押圧して網コンベア23に凹部を形成する押しローラ，
27は網コンベア23を通過したスラリーを前記容体３に導
入する為の戻し管，28はスラリーの飛散を防止する飛散
防止筒体である。
を押圧して網コンベア23に凹部を形成する押しローラ，
27は網コンベア23を通過したスラリーを前記容体３に導
入する為の戻し管，28はスラリーの飛散を防止する飛散
防止筒体である。
【００２６】次に砥粒収集部ｃについて説明する。
【００２７】導入管15の下端に排出管31を介して開閉バ
ルブ29を設けたものである。
ルブ29を設けたものである。
【００２８】符号30は開閉バルブ29の開放により導入管
15から導出される砥粒を受ける受容体である。
15から導出される砥粒を受ける受容体である。
【００２９】本実施例は上記構成であるから、次の作用
効果を呈する。
効果を呈する。
【００３０】まず、基台２をウェットブラスト法に係る
装置の近くに移動させ、該装置の作動により生じたスラ
リーを網かご体６に導入する。この網かご体６により大
きな異物は除去され、スラリーは容体３に貯液される。
装置の近くに移動させ、該装置の作動により生じたスラ
リーを網かご体６に導入する。この網かご体６により大
きな異物は除去され、スラリーは容体３に貯液される。
【００３１】この状態で吊杆５，網かご体６を取り外
し、再び基台２を移動させ、該基台２を図２に図示した
ように基枠17内に配設する。
し、再び基台２を移動させ、該基台２を図２に図示した
ように基枠17内に配設する。
【００３２】容体３を駆動モータ８により回動せしめる
と同時に吸入ポンプ18，撹拌ポンプ19を作動させ、且つ
網コンベア23を回動せしめる。
と同時に吸入ポンプ18，撹拌ポンプ19を作動させ、且つ
網コンベア23を回動せしめる。
【００３３】撹拌ポンプ19により撹拌されたスラリー中
の砥粒は容体３の回動及びテーパー凹部４の存在により
良好に吸引管20により水とともに吸引され、筒体１に導
入管15を介して所定圧で導入され、筒体１の頂部から導
出管16を介して網コンベア23に導入される。
の砥粒は容体３の回動及びテーパー凹部４の存在により
良好に吸引管20により水とともに吸引され、筒体１に導
入管15を介して所定圧で導入され、筒体１の頂部から導
出管16を介して網コンベア23に導入される。
【００３４】筒体１内へ導入されるスラリーは、理論的
には、一定の流速で導入される為、所定粒度の砥粒は、
スラリーの筒体１内における上昇速度に打ち勝って沈降
し、また、所定粒度以下の砥粒は、このスラリーの筒体
１内における上昇速度に負けて上昇することになる。し
かし、実際にはスラリーの上昇速度に比し極端に大きな
粒度の砥粒はなく、従って、早い沈降速度により沈降す
る砥粒は少なく、沈降しては上昇し、再び沈降しては上
昇するというように浮沈を繰り返している砥粒がほとん
どで、本機を停止せしめた際に、筒体１内に存する砥粒
が排出管31に沈降する状態となる。
には、一定の流速で導入される為、所定粒度の砥粒は、
スラリーの筒体１内における上昇速度に打ち勝って沈降
し、また、所定粒度以下の砥粒は、このスラリーの筒体
１内における上昇速度に負けて上昇することになる。し
かし、実際にはスラリーの上昇速度に比し極端に大きな
粒度の砥粒はなく、従って、早い沈降速度により沈降す
る砥粒は少なく、沈降しては上昇し、再び沈降しては上
昇するというように浮沈を繰り返している砥粒がほとん
どで、本機を停止せしめた際に、筒体１内に存する砥粒
が排出管31に沈降する状態となる。
【００３５】筒体１へのスラリーの導入速度は導入管15
の径Ｌ2で決定され、また、スラリーの筒体１内におけ
る上昇速度は筒体１の径Ｌ1により決定される。この径
Ｌ1が小さ過ぎると上昇速度が早くなり過ぎ、また、径
Ｌ1が大き過ぎると筒体１の中心部分に位置する砥粒の
みが上昇し、筒体１の内周縁側の砥粒は動かなくなる。
従って、選別したい砥粒の粒度，材質を考慮して径Ｌ1
を決定する。
の径Ｌ2で決定され、また、スラリーの筒体１内におけ
る上昇速度は筒体１の径Ｌ1により決定される。この径
Ｌ1が小さ過ぎると上昇速度が早くなり過ぎ、また、径
Ｌ1が大き過ぎると筒体１の中心部分に位置する砥粒の
みが上昇し、筒体１の内周縁側の砥粒は動かなくなる。
従って、選別したい砥粒の粒度，材質を考慮して径Ｌ1
を決定する。
【００３６】本実施例の場合、導入管15の径Ｌ2は５０
ｍｍ，筒体１の径Ｌ1は２００ｍｍに設定される。
ｍｍ，筒体１の径Ｌ1は２００ｍｍに設定される。
【００３７】尚、筒体１の長さＬ3は１０００ｍｍに設
定されている。この長さＬ3も当然、選別しようとする
砥粒の径，材質により決定されることになる。
定されている。この長さＬ3も当然、選別しようとする
砥粒の径，材質により決定されることになる。
【００３８】筒体１から導出され、網コンベア23に導入
されたスラリーには結局所望粒度以下の砥粒のみが含ま
れていることになり、該スラリーは、網コンベア23を通
過して再び容体３に戻される。
されたスラリーには結局所望粒度以下の砥粒のみが含ま
れていることになり、該スラリーは、網コンベア23を通
過して再び容体３に戻される。
【００３９】尚、網コンベア23は上下に配されている
為、網コンベア23の目に異物が詰まっても、回動して下
側に位置した際に上側の網を通過して落下するスラリー
（水）が該下側の目詰まりを解消する為非常に効果的で
ある。また、網コンベア23はその巾方向中央部におい
て、押しローラ26により押圧され、網コンベア23には凹
部が形成されるように構成されているから、砥粒が該凹
部内に貯まり、網コンベア23から砥粒がこぼれ落ちるこ
とが防止されることになる。そして、網コンベア23は斜
め上方（図２において右上側）へ傾斜せしめられている
為、それだけ水切りが良好に行われることになる。
為、網コンベア23の目に異物が詰まっても、回動して下
側に位置した際に上側の網を通過して落下するスラリー
（水）が該下側の目詰まりを解消する為非常に効果的で
ある。また、網コンベア23はその巾方向中央部におい
て、押しローラ26により押圧され、網コンベア23には凹
部が形成されるように構成されているから、砥粒が該凹
部内に貯まり、網コンベア23から砥粒がこぼれ落ちるこ
とが防止されることになる。そして、網コンベア23は斜
め上方（図２において右上側）へ傾斜せしめられている
為、それだけ水切りが良好に行われることになる。
【００４０】以上の繰り返しにより、筒体１及び排出管
31に適当粒度にして所定量の砥粒が貯まったら、本機を
停止し、開閉バルブ29を開放して受容体30に該砥粒を落
下させ、該砥粒を再使用に供することになる。
31に適当粒度にして所定量の砥粒が貯まったら、本機を
停止し、開閉バルブ29を開放して受容体30に該砥粒を落
下させ、該砥粒を再使用に供することになる。
【００４１】従って、導入管15からの筒体１へのスラリ
ーの導入量（筒体１内におけるスラリーの上昇速度）を
導入管15の径Ｌ1及び吸入ポンプ18の能力を考慮して適
宜設定し、且つ、筒体１の径Ｌ1及び長さＬ3も適宜設定
することにより所望粒度の砥粒をスラリーから任意に回
収することが可能となる。
ーの導入量（筒体１内におけるスラリーの上昇速度）を
導入管15の径Ｌ1及び吸入ポンプ18の能力を考慮して適
宜設定し、且つ、筒体１の径Ｌ1及び長さＬ3も適宜設定
することにより所望粒度の砥粒をスラリーから任意に回
収することが可能となる。
【００４２】そして、このようにして選別回収された砥
粒は筒体１内において、水洗いされたと同じ状態である
為、非常にきれいな砥粒となる。
粒は筒体１内において、水洗いされたと同じ状態である
為、非常にきれいな砥粒となる。
【００４３】本実施例においては、スラリーを水圧２〜
４kg／ｃｍ2，送り量毎分１０リットルで筒体１に導入
し、約２時間位本実施例を作動せしめたところ、粒度
０.５ｍｍ以上１ｍｍ以下の砥粒が多量に回収できた。
４kg／ｃｍ2，送り量毎分１０リットルで筒体１に導入
し、約２時間位本実施例を作動せしめたところ、粒度
０.５ｍｍ以上１ｍｍ以下の砥粒が多量に回収できた。
【００４４】尚、スラリーの送り量を毎分５リットルに
落とせば、もっと細かい砥粒の回収が可能となる。
落とせば、もっと細かい砥粒の回収が可能となる。
【００４５】実験によれば、容体３に導入するスラリー
中の砥粒に、回収したい粒度の砥粒が例えば１００含ま
れていた場合において、本実施例によれば約９０は回収
可能であることが確認されている。
中の砥粒に、回収したい粒度の砥粒が例えば１００含ま
れていた場合において、本実施例によれば約９０は回収
可能であることが確認されている。
【００４６】
【発明の効果】本発明は上述のように構成したから、適
正粒度の砥粒を極めて簡単に選別収集することができ、
従って、高価な砥粒を繰り返し再使用せしめることがで
きる秀れた洗浄済液の処理装置を提供し得ることにな
る。
正粒度の砥粒を極めて簡単に選別収集することができ、
従って、高価な砥粒を繰り返し再使用せしめることがで
きる秀れた洗浄済液の処理装置を提供し得ることにな
る。
【図１】本実施例の斜視図である。
【図２】本実施例の断面図である。
【図３】本実施例の貯液部の断面図である。
ａ 貯液部 ｂ 砥粒選別部 ｃ 戻り通路部 ｄ 砥粒収集部 １ 筒体
Claims (1)
- 【請求項１】 砥粒を混合した溶液を被洗浄物に高圧噴
射せしめて被洗浄物を洗浄することにより生じる洗浄済
液の処理装置であって、 洗浄済液を貯液する貯液部と， 筒体の下部より前記貯液部からの洗浄済液を上方に向か
って定速で導入し、筒体の上部から洗浄済液を導出する
ことで洗浄済液中の所定粒度の砥粒を選別せしめる砥粒
選別部と， 該砥粒選別部の上部から導出せしめた洗浄済液を前記貯
液部に導入する戻り通路部と， 前記砥粒選別部内において沈降した砥粒を収集する砥粒
収集部と， より成る洗浄済液の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153784A JPH05347322A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 洗浄済液の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153784A JPH05347322A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 洗浄済液の処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05347322A true JPH05347322A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15570072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4153784A Pending JPH05347322A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 洗浄済液の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05347322A (ja) |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP4153784A patent/JPH05347322A/ja active Pending
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