JPH05343710A

JPH05343710A - 赤外線検知器用コールドシールドおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH05343710A
Application number: JP4225521A
Authority: JP
Inventors: Shoji Doi; 正二土肥; Hiroyuki Wakayama; 博之若山; Koji Fujiwara; 康治藤原; Yoichiro Sakachi; 陽一郎坂地; Masahiko Narita; 正彦成田; Hiroyuki Ishizaki; 洋之石崎; Nobuyuki Kajiwara; 信之梶原
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-04-07
Filing date: 1992-08-25
Publication date: 1993-12-24
Anticipated expiration: 2013-05-20
Also published as: JP2755060B2

Abstract

(57)【要約】【目的】赤外線検知器用コールドシールドとその製造
方法に関し、小型、堅牢軽量で熱負荷が小さく多重反射
により迷光が防止でき、開口整合が可能な赤外線検知器
用コールドシールドを目的とする。【構成】赤外線検知素子３を設けた冷却基台４上に設
置した筒体15の内部に、中央部に開口部2A,2B,2Cを有す
る円板状部材11A,11B,11C を多段構造に積層して設けて
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は赤外線検知器に用いるコ
ールドシールドおよびその製造方法に関する。

【０００２】赤外線検知素子を設置した冷却基台上に、
前記赤外線検知素子を囲むように、円筒状で中央部に開
口部を備えたコールドシールドを配置し、該赤外線検知
素子に入射する入射光量を規制するとともに、入射レン
ズ以外より該赤外線検知素子に入射する迷光を排除し
て、該迷光によって発生する熱雑音を防止し、該検知素
子の空間分解能を向上させる必要がある。

【０００３】そしてこのコールドシールドは、コールド
シールド自体より放射する赤外線を極力除去するため
に、赤外線検知素子と同様に例えば液体窒素温度に冷却
する必要があるので熱容量が小さいことが望ましい。

【０００４】

【従来の技術】図８に従来のコールドシールドを取りつ
けた赤外線検知器の説明図を示す。図示するように、従
来のコールドシールド１は熱負荷を低減するため、0.1m
m 程度に薄く形成したコバール板を用いており、このコ
バール板を用いて、中央に円形の開口部２を有するよう
な円筒体に加工している。

【０００５】そしてこのコールドシールド１を、赤外線
検知素子３を囲むようにして、該赤外線検知素子３を設
置している冷却基台４上に接着剤を用いて固着してい
る。そしてこの冷却基台４の下部には、ジュール・トム
ソン型冷却機の冷却体５が設置され、この冷却体５の先
端に設けられた穴（図示せず）を通じて液化した冷媒が
吹き出して冷却基台４を冷却するように成っており、真
空に排気された二重管構造の容器６の内部に設置された
冷却基台４上の赤外線検知素子３を冷却している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、画素数の増
加に伴って赤外線検知素子の寸法も大きくなり、それに
よってコールドシールド１の開口部２の面積も大きくす
ることが必要となり、赤外線検知素子３より開口部２を
臨む角度である視野角を、所定の値に保とうとすると、
当然コールドシールド１の高さも大きく保つことが必要
となる。

【０００７】また赤外線検知素子３に入射する赤外線を
集光する集光レンズ（図示せず）は複数のレンズを組み
合わせて形成されており、このレンズの射出瞳の位置に
コールドシールド１の開口部２の位置を合致させること
が必要である。

【０００８】そのため、赤外線検知素子と集光レンズの
間に於いて、集光レンズ側に近接した位置にコールドシ
ールドの開口部２を持って来る必要があるので、赤外線
検知素子３が設置されている冷却基台４より開口部２の
位置迄の距離が長い、つまり冷却基台４からの高さの高
いコールドシールドが必要と成る。

【０００９】またこのコールドシールド１は赤外線を吸
収するように、コールドシールド１の内面にカーボン等
の赤外線吸収材を塗布して黒化処理をしている。そして
コールドシールド１の開口部２に対して集光レンズを透
過せずに斜め方向より入射した光は、迷光となって熱雑
音の原因となるので、該コールドシールド１内で、出来
るだけ何回も多重反射をさせる。そして、その入射光を
減衰させて上記黒化処理をしている被膜に吸収させる必
要があり、そのためにもコールドシールド１内に黒化処
理したフィンを多数所定の間隔を隔てて積層して設け、
多重反射の機会を多くすることが必要となる。

【００１０】ところで、上記したコールドシールド１は
赤外線検知素子３と同様に熱負荷を低減し、略液体窒素
温度の極低温に冷却が可能で、然もその冷却に要する時
間が短時間であることが望ましい。

【００１１】そのため、コールドシールド１は厚さが0.
1mm の極めて薄いコバール材を用いて、熱容量を低減し
て形成しているのが現状である。そのため、このコール
ドシールド１の高さを高く保つと、外部からの振動に依
って、特に横方向に撓んで変形する機会が増え、そのた
め、視野角が変動し、この変形したコールドシールド１
が赤外線検知素子３に入射する赤外線の光の一部（矢印
Ａに示す）を遮るような問題が生じる。

【００１２】本発明は、赤外線検知素子の素子面積が大
面積となるために、また所定の視野角を得るために、ま
たレンズの射出瞳と、赤外線検知器の開口を合致させる
ためのいわゆる開口整合型のコールドシールドとするた
めに、該コールドシールドの高さを高く形成したとして
も、外部からの振動によって横方向に撓み難く、変形し
難く、且つ容易に製造できるようにした、小型で堅牢な
赤外線検知器用コールドシールドの構造およびその製造
方法の提供を目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の赤外線検知器用
コールドシールドは、請求項１に示すように、赤外線検
知素子を設置する冷却基台上に設置した筒体内部に、中
央部に開口部を有する板状部材を多段構造に積層して設
けたことを特徴とする。

【００１４】また請求項２に示すように筒体内部に中央
に開口部を有する板状部材を、多段構造に上部側より下
部側に向かって開口部の面積が小さくなるように所定の
間隔を隔てて設置し、前記板状部材が筒体の側面板と接
触する箇所をフランジ付きリング状金属部材で溶接固定
し、前記側面板の裏面側が黒化処理され、前記側面板の
表面側が鏡面仕上げされて形成されていることを特徴と
する。

【００１５】また請求項３に示すように、前記筒体が円
筒形、或いは円錐台形であり、側面板は円筒形、或いは
円錐台形の側面を構成することを特徴とする。また請求
項４に示すように、上面に開口部を有し、側面が下部側
で開放となる下部開口側面を有する複数の円筒状部材の
各々を、前記複数の円筒状部材の各々の下部開口側面の
外面側と、内面側とをそれぞれ互いに嵌合し、該嵌合箇
所を溶接し、該溶接した複数の円筒状部材の裏面側を黒
化処理し、該溶接した複数の円筒状部材の表面側を鏡面
仕上げしたことを特徴とする。

【００１６】また請求項５に示すように、中央に開口部
を有し、周辺部より中心に向かって延びる溝を複数個備
えた複数の円板状部材と、該円板状部材の溝と嵌合する
溝を複数個備えた複数の補強板と、該補強板の溝に嵌合
された円板状部材の周辺に沿って曲げ加工され、前記補
強板に固定され、前記円筒体のコールドシールドの側面
を形成する複数の側面板とから成り、前記円板状部材と
補強板の表面と、側面板の裏面側が黒化処理され、前記
側面板の表面側が鏡面仕上げされて形成されていること
を特徴とする。

【００１７】また請求項６に示すように、請求項２、或
いは３に記載の赤外線検知器用コールドシールドの製造
方法は、赤外線検知素子を設置した冷却基台上に段差を
設けた金属リングを設置し、該金属リング上に中央に開
口部を有する金属板を溶接したフランジ付き金属リング
を溶接し、該フランジ付き金属リングに側面板を嵌挿
し、内部に中央に開口部を有する金属板を溶接したフラ
ンジ付き金属リングを挿入して、該フランジ付き金属リ
ングと側面板を溶接し、該側面板の上部に中央に開口部
を有する金属板を溶接したフランジ付き金属リングを溶
接し、該側面板の内部を黒化処理し、該側面板の表面を
研磨することを特徴とする。

【００１８】また請求項７に示すように、請求項４に記
載の赤外線検知器用コールドシールドの製造方法は、赤
外線検知素子を設置した冷却基台上に段差を設けた金属
リングを設置し、該金属リング上に中央に開口部を有す
る金属板を前記金属リングの段差に嵌挿して設置し、該
金属リング上に所定の開口部を有し、周縁部に切り欠き
部を設けた円板状部材を曲げ加工した下部開口側面を有
する円筒状部材を溶接し、次いで該円筒状部材の下部開
口側面に、他の円筒状部材の下部開口側面を順次嵌挿さ
せ、該嵌挿部を溶接した後、積層された円筒状部材の内
面を黒化処理し、該円筒状部材の周囲を光学研磨処理す
ることを特徴とする。

【００１９】また請求項８に示すように、請求項５に記
載の赤外線検知器用コールドシールドの製造方法は、所
定の間隔で溝を有する複数の補強板に黒化処理を施し、
中央に開口部を有し、表面に黒化処理を施した複数の円
板状部材に設けた溝を、前記補強板の溝内に嵌合すると
ともに、片面に黒化処理を施し、片面を鏡面仕上げした
複数の側面板を、前記円板状部材の外周に沿った曲面を
有するように曲げ加工して前記補強板に固着し、前記側
面板の底部を赤外線検知素子を設けた冷却基台上に設置
することを特徴とする。

【００２０】

【作用】本発明の第１実施例のコールドシールドは、開
口部を備えた円板状部材を、フランジ付き金属リングに
溶接し、該円板状部材を溶接したフランジ付き金属リン
グのリング内面に円筒のコールドシールドの側面板を丸
めて嵌め込み、該側面板の内部に前記開口部より大面積
の開口部を備えた円板状部材を溶接したフランジ付き金
属リングを、前記丸めた側面板内部に挿入し、該側面板
の最上部に開口部を有する円板状部材を溶接したフラン
ジ付き金属リングを嵌め込む。

【００２１】そして前記金属リングと側面板が接触する
箇所は溶接で固定し、該側面板の内部は黒化処理を行
い、側面板の外部は光学的研磨処理を行う。このように
すると開口部を形成した円板状部材はフランジ付き金属
リングを用いて側面板と溶接固定されているのでコール
ドシールドの高さを高くしても、冷却機の振動に対して
横方向に撓んで変形を生じることが少なくなり、視野角
に変動を来すことが少なくなる。

【００２２】またフランジ付き金属リングに側面板を丸
めて嵌め込むことができるので、製造が容易となる。ま
た多段構造に開口部を有する円板状部材が配置されてい
るので、斜め方向にコールドシールドに入射した赤外線
も、多段構造に開口部を有する円板状部材の多重反射で
消滅する。

【００２３】本発明の第２実施例のコールドシールド
は、上面に開口部を有し、下部が開放側面となる複数の
円筒状部材の各々を、前記開口部の面積が上側に到る程
小面積となるように、前記複数の円筒状部材の各々の下
部側面の外面側と、下部側面の内面側とをそれぞれ互い
に嵌合させ、該嵌合箇所を溶接し、該溶接された複数の
円筒状部材の裏面側を黒化処理し、該溶接された複数の
円筒状部材の表面側を鏡面仕上げすることで、コバール
の薄板のみを用いて加工できるので、軽量で熱容量の小
さいコールドシールドが形成できる。

【００２４】本発明の第３実施例のコールドシールド
は、熱負荷を低減するために、厚さが0.1mm と成るよう
に極めて薄くし、且つ中央に開口部を有する複数のコバ
ール材よりなる円板を、複数の補強板の溝に嵌合させて
固定させることで、コールドシールドの高さを高くして
も、冷却機の振動に対して横方向に撓んで変形を生じる
ことが少なくなり、視野角に変動を来すことが少なくな
る。

【００２５】また複数の円板状部材と補強板に予め反射
防止のための黒化処理を施し、また円板状部材の円周に
沿って曲げ加工し、前記補強板に固定する円筒状のコー
ルドシールドの側面板となる該側面板の裏面側に、反射
防止のための黒化処理を施し、該側面板の表面側に鏡面
仕上げをしてから組み立てる。

【００２６】そのため、組み立て後の工程では煩雑な黒
化処理や、鏡面仕上げの工程を、組み立て工程の以前に
容易に確実に行うことができるので、コールドシールド
の製造が容易と成る。

【００２７】

【実施例】図1(a)、図1(b)は本発明のコールドシールド
の第１実施例の断面図である。図1(a)に示すように、本
発明のコールドシールドは、赤外線検知素子３を設けた
半導体ウエハ31を設置する冷却基台４上に設けた筒体15
内部に、中央部に開口部2A,2B,2Cを備えた例えばコバー
ル（鉄−ニッケル−コバルト合金）よりなる円板状部材
11A,11B,11C を多層構造に積層して設ける。

【００２８】このような筒体15内部に円板状部材11A,11
B,11C を多層構造に積層して設けるには、上部側より下
部側に向かって開口部2C,2B,2Aの面積が順次小さくなる
ように所定の間隔を隔てて円板状部材11A,11B,11C を設
置し、円板状部材11A,11B,11C が、筒体15の側面板14と
接触する箇所は、例えばコバールより成るフランジ付き
金属リング16で溶接固定し、前記円板状部材11A,11B,11
C の全面および前記側面板14の裏面側を黒化処理し、前
記側面板14の表面側を光学的に鏡面仕上げして形成す
る。そして最上部の円板状部材11C で、露出している表
面の部分を鏡面仕上げする。

【００２９】このような本発明のコールドシールドによ
ると、前記円板状部材11A,11B,11Cが側面板14と接触し
ている箇所は、フランジ付き金属リング16で溶接固定さ
れているので、その強度は大であり、また開口部2A,2B,
2Cを有する円板状部材11A,11B,11C が多数配置されてい
るので、集光レンズを透過せずに開口部2Cより斜め方向
より入射し、迷光となる赤外線は、上記開口部2A,2B,2C
を有する円板状部材11A,11B,11C で多重反射が繰り返さ
れ、筒体15内部の黒化処理された被膜で吸収される。

【００３０】本発明の第１実施例の変形例を図1(b)に示
す。図示するように筒体15の側面板14は斜め方向に傾斜
しており、図1(a)と異なって上部の円板状部材11B の開
口部2Bの面積は、下部の円板状部材11A の開口部2Aの面
積より小さくしている。このようにすると、第１実施例
に比較して熱容量の小さいコールドシールドを得ること
ができる。

【００３１】このような第１実施例のコールドシールド
の製造方法に付いて述べる。図2(a)に示すように、赤外
線検知素子３を形成した半導体ウエハ31を設置したセラ
ミック板よりなる冷却基台４上に段差21を設けたコバー
ルより成る金属リング22を設置する。

【００３２】次いで図2(b)に示すように、該段差21を有
する金属リング22上に、黒化処理を施され、中央に赤外
線検知素子３の受光部より大きい開口を有する開口部2A
を有し、厚さが0.1mm のコバール板よりなる円板状部材
11A を溶接して固着したフランジ付き金属リング16A を
溶接する。

【００３３】上記した円板状部材11A は、赤外線検知素
子３を形成した半導体ウエハ31の切断部の側面を４箇所
検知できるような微細な孔23を設け、この微細な孔23よ
り赤外線検知素子３を形成した半導体ウエハ31の切断し
た側面を観察して開口部2Aの赤外線検知素子３に対する
位置合わせを行う。

【００３４】次いで図2(c)に示すように、該フランジ付
き金属リング16A に厚さが0.1mm のコバール板よりな
り、一方の面が黒化処理された側面板14を丸めて嵌挿
し、この側面板14の内部に黒化処理され、開口部2Aより
面積が大きい開口部2Bを有し、0.1mm の厚さの円板状部
材11B を溶接したフランジ付き金属リング16B を挿入し
て、該フランジ付き金属リング16B と側面板14を溶接す
る。

【００３５】次いで該側面板14の上部に片面が黒化処理
され、開口部2Bより大きい面積の開口部2Cを有する円板
状部材11C を溶接したフランジ付き金属リング16C を設
置し、該フランジ付き金属リング16C と側面板14とを溶
接する。

【００３６】次いで溶接した側面板14の表面を光学研磨
処理してコールドシールドを形成する。図3(a)、図3(b)
は本発明のコールドシールドの第２実施例の説明図であ
る。

【００３７】図2(a)に示すように、上面に開口部2A,2B,
2Cを有し、下部が開放状態の複数の円筒状部材24A,24B,
24C の各々を、前記開口部2A,2B,2Cの面積が上側に到る
程大面積となるように、前記複数の円筒状部材24A,24B,
24C の各々の下部開放部の円形の面積が上側に到る大面
積となるように加工して積層する。そして複数の円筒状
部材24A,24B,24C の下部開放部の外面側と、内面側とを
それぞれ互いに嵌合させ、該嵌合箇所を溶接し、該溶接
された複数の円筒状部材24A,24B,24C の裏面側を黒化処
理し、該溶接された複数の円筒状部材24A,24B,24C の表
面側を鏡面仕上げする。

【００３８】このような円筒状部材24A,24B,24C を形成
するには、図3(b)に示すように厚さが0.1mm で中央に開
口部2Aを設けたコバール板25の周縁部に切り欠き部26を
設け、点線Ａの箇所で垂直方向に折り曲げ、点線Ｂの箇
所で水平方向に折り曲げて形成する。

【００３９】このような本発明の第２実施例のコールド
シールドの製造方法は図4(a)に示すように、赤外線検知
素子３を形成した半導体ウエハ31をセラミック板よりな
る冷却基台４上に設置し、該冷却基台４上に段差21を設
けたコバール製の金属リング22を溶接して設置する。

【００４０】次いで図4(b)に示すように金属リング22の
段差21に、黒化処理を施し、赤外線検知素子の受光部よ
り大きい開口の開口部２を有する厚さが0.1mm のコバー
ル板よりなる円板状部材11を溶接して固着する。

【００４１】次いで、この溶接した金属リング22と円板
状部材11の上に開口部2 より面積が大きい開口部2Aを有
する円筒状部材24A を溶接する。この円筒状部材24A は
前記図3(b)に示したように黒化処理され、厚さが0.1mm
のコバール板25の中央に開口部2Aを設け、周囲に切り欠
き部26を設けたコバール板25を点線Ａの部分で垂直方向
に折り曲げ、点線Ｂの部分で水平方向に折り曲げ、切り
欠き部26を溶接して固着する。

【００４２】次いで図4(c)に示すように、この円筒状部
材24A の上に開口部2Bを有する円筒状部材24B を溶接す
る。この円筒状部材24B は黒化処理されたコバール板を
前記したように折り曲げ加工して形成する。

【００４３】次いで、この円筒状部材24B の上に円筒状
部材24C を溶接する。この円筒状部材24C は黒化処理さ
れたコバール板を前記したように折り曲げ加工して形成
する。

【００４４】図５は本発明の第３実施例のコールドシー
ルドを取りつけた赤外線検知器の説明図、図6(a)、図6
(b)は本発明の第３実施例のコールドシールドの平面図
と斜視図、図7(a)、図7(b)、図7(c)は本発明の第３実施
例のコールドシールドの分解図と部品を組み立てた断面
図である。

【００４５】図５、図6(a)、図6(b)および図7(a)、図7
(b)および図7(c)に示すように、第３実施例のコールド
シールド１は、中央に円形の開口部２を有し、補強板13
の溝12B と嵌合する溝12A を有し、厚さが0.1mm のコバ
ールよりなる３枚の円板状部材11と、該円板状部材11の
溝12A と嵌合する溝12B を有し、厚さが0.1mm のコバー
ルよりなる３枚の補強板13を有する。そして該円板状部
材11の円周に沿って曲げ加工され、前記補強板13に固着
され、厚さが0.1mm のコバール板で形成された円筒体の
コールドシールドの側面板14とよりなる。

【００４６】上記した補強板13の幅の寸法ｄは、開口部
２を有するドーナツ状の円板状部材11の外径より内部に
向かって開口部２の外径迄の寸法に略等しいｄの寸法
で、このｄの寸法の略1/2 に等しい寸法の溝12B を設け
て、この溝12B 内に上記円板状部材11の溝12A が嵌合す
る構造となっている。

【００４７】また該補強板13の幅の寸法は、このｄの寸
法に溶接の際の溶接しろとしてｔの寸法を余分に設け
る。このような円板状部材11、補強板13、および側面板
14の裏面( コールドシールドの内部側) は、黒化処理
剤、つまり赤外線を吸収する反射防止剤をスプレー等を
用いて塗布し、反射防止のための黒化処理を組み立てる
前に予め施しておく。

【００４８】また側面板14の表面( コールドシールドの
表側に該当する) は鏡面仕上げを予め施しておく。この
ように準備された円板状部材11を補強板13の溝12B 内に
はめ込み、側面板14を前記円板状部材11の円周に沿って
曲げ加工して、前記補強板13に溶接等の手法で固定す
る。

【００４９】そして図５に示すように、この側面板の下
部を折り曲げ加工して、その折り曲げた部分を、真空に
排気された容器６内で赤外線検知素子３を設置した冷却
基台４にネジ止めして固定する。そしてこの冷却基台４
は前記したジュール・トムソン型冷却機の冷却体５によ
り冷却される。

【００５０】このようにすると、第３実施例のコールド
シールド１は補強板13によって、円板状部材11が３枚共
に固定されているので、振動に依って横方向に撓み難く
なり、そのため、横方向に変形し難くなり、視野角が所
定の値に保たれるので高信頼度の赤外線検知器が得られ
る。

【００５１】また上記円板状部材11、補強板13および側
面板14の裏面側は、組み立て前に黒化処理をされ、また
側面板14の表面側は組み立て前に、鏡面仕上げを施され
ているので、その処理を容易に、かつ確実に行うことが
でき、そのためコールドシールドの製造が容易となる。

【００５２】このようにして、例えば赤外線検知素子の
受光部の寸法を10mm×10mmの大面積とし、開口部の寸法
が14.1mmの第３実施例のコールドシールドを形成する場
合、視野角を決定する絞りＦ＝2.5 とすると、その高さ
は35.4mmとなるが、このようにコールドシールドの高さ
を仮に高くしても横方向に変形し難い高信頼度のコール
ドシールドが得られるようになる。

【００５３】なお、本発明の他の実施例としてコールド
シールドの形成材料は、上記したコバールの代わりに無
酸素銅を用いて形成しても良い。また、本発明では開口
部は円形としたが、角形でも良く、また円板状部材も３
枚に限定されるものでは無い。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の赤外線検
知器用コールドシールドによれば、開口整合が可能な高
さの高いコールドシールドが得られる効果がある。

【００５５】また横方向の振動に対して変形し難い小型
で堅牢で軽量なコールドシールドが得られ、振動によっ
て視野が変動するのを防ぐことができる。また、迷光を
防ぐために必要な黒化処理を施した円板状部材を複数枚
設け、組み立てる以前に黒化処理と鏡面仕上げを予め容
易に確実に実施できるので、製造が容易な赤外線検知器
用コールドシールドが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のコールドシールドの第１実施例の断
面図である。

【図２】本発明のコールドシールドの製造方法の第１
実施例の断面図である。

【図３】本発明のコールドシールドの第２実施例の断
面図と平面図である。

【図４】本発明のコールドシールドの製造方法の第２
実施例の断面図である。

【図５】本発明の第３実施例のコールドシールドを取
りつけた赤外線検知器の説明図である。

【図６】本発明の第３実施例のコールドシールドの平
面図と斜視図である。

【図７】本発明の第３実施例のコールドシールドの分
解図と部品を組み立てた断面図である。

【図８】従来のコールドシールドを取りつけた赤外線
検知器の説明図である。

【符号の説明】

1 コールドシールド 2,2A,2B,2C 開口部 3 赤外線検知素子 4 冷却基台 5 冷却体 6 容器 11,11A,11B,11C 円板状部材 12,12A,12B溝 13 補強板 14 側面板 15 筒体 16 フランジ付き金属リング 21 段差 22 金属リング 23 孔 24A,24B,24C 円筒状部材 25 コバール板 26 切り欠き部 31 半導体ウエハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者坂地陽一郎神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者成田正彦神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者石崎洋之神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者梶原信之神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】赤外線検知素子(3) を設置する冷却基台
(4) 上に設置した筒体(15)の内部に、中央部に開口部(2
A,2B,2C)を有する円板状部材(11A,11B,11C)を多段構造
に積層して設けたことを特徴とする赤外線検知器用コー
ルドシールド。
【請求項２】筒体(15)の内部に中央に開口部(2A,2B,2
C)を有する円板状部材(11A,11B,11C) を、多層構造に所
定の間隔を隔てて配置し、前記円板状部材(11A,11B,11
C) が筒体(15)の側面板(14)と接触する箇所をフランジ
付き金属リング(16)で溶接固定し、前記円板状部材(11
A,11B,11C) の全面、および前記側面板(14)の裏面側を
黒化処理し、前記側面板(14)の表面側を鏡面仕上げした
ことを特徴とする赤外線検知器用コールドシールド。
【請求項３】前記筒体(15)が円筒形、或いは円錐台形
であり、側面板(14)は円筒形、或いは円錐台形の側面を
構成することを特徴とする赤外線検知器用コールドシー
ルド。
【請求項４】上面に開口部(2A,2B,2C)を有し、側面が
下部側で開放となる下部開口側面を有する複数の円筒状
部材(24A,24B,24C) の各々を、前記複数の円筒状部材(2
4A,24B,24C) の各々の下部開口側面の外面側と、内面側
とをそれぞれ互いに嵌合し、該嵌合箇所を溶接し、該溶
接した複数の円筒状部材(24A,24B,24C) の裏面側を黒化
処理し、該溶接した複数の円筒状部材(24A,24B,24C) の
表面側を鏡面仕上げしたことを特徴とする赤外線検知器
用コールドシールド。
【請求項５】中央に開口部(2) を有し、周辺部より中
心に向かって延びる溝(12A) を複数個備えた複数の円板
状部材(11)と、該円板状部材(11)の溝(12A)と嵌合する
溝（12B)を複数個備えた複数の補強板(13)と、該補強板
(13)の溝(12B) に嵌合された円板状部材(11)の周辺に沿
って曲げ加工され、前記補強板(13)に固定され、前記円
筒体のコールドシールド(1) の側面を形成する複数の側
面板(14)とから成り、前記円板状部材(11)と補強板(13)の表面と、側面板(14)
の裏面側が黒化処理され、前記側面板(14)の表面側が鏡
面仕上げされて形成されていることを特徴とする赤外線
検知器用コールドシールド。
【請求項６】請求項２、或いは３に記載の赤外線検知
器用コールドシールドの製造方法であって、赤外線検知素子(3) を設置した冷却基台(4) 上に段差(2
1)を設けた金属リング(22)を設置し、該金属リング(22)
に中央に開口部(2A)を有する円板状部材(11A)を溶接し
たフランジ付き金属リング(16A) を溶接し、該フランジ
付き金属リング(16A) に丸めた側面板(14)を嵌挿し、該
加工した側面板(14)の内部に中央に開口部(2B)を有する
円板状部材(11B) を溶接したフランジ付き金属リング(1
6B) を挿入して、該フランジ付き金属リング(16B) と側
面板(14)を溶接し、該側面板(14)の上部に中央に開口部
(2C)を有する円板状部材(11C) を溶接したフランジ付き
金属リング(16C) を溶接し、該側面板(14)の内部を黒化
処理し、該側面板(14)の表面を研磨することを特徴とす
る赤外線検知器用コールドシールドの製造方法。
【請求項７】請求項４に記載の赤外線検知器用コール
ドシールドの製造方法であって、赤外線検知素子(3) を設置した冷却基台(4) 上に段差(2
1)を設けた金属リング(22)を設置し、該金属リング(22)
上に中央に開口部(2) を有する円板状金属部材(11A) を
前記金属リング(22)の段差(21)に嵌挿して設置し、該金
属リング(22)上に所定の開口部(2) を有し、周縁部に切
り欠き部(26)を設けた板状部材(25)を曲げ加工した下部
開口側面を有する円筒状部材(24A) を溶接し、次いで該
円筒状部材(24A) の上部に他の円筒状部材(24B) の下部
開口側面を順次嵌挿させ、該嵌挿部を溶接した後、積層
された円筒状部材(24A,24B,24C) の内面を黒化処理し、
該積層した円筒状部材(24A,24B,24C) の表面を光学研磨
処理することを特徴とする赤外線検知器用コールドシー
ルドの製造方法。
【請求項８】請求項５に記載の赤外線検知器用コール
ドシールドの製造方法であって、所定の間隔で溝(12B) を有する複数の補強板(13)に黒化
処理を施し、中央に開口部(2) を有し、表面に黒化処理
を施した複数の円板状部材(11)に設けた溝(12A) を、前
記補強板(13)の溝(12B) 内に嵌合するとともに、片面に
黒化処理を施し、片面を鏡面仕上げした複数の側面板(1
4)を、前記円板状部材(11)の外周に沿った曲面を有する
ように曲げ加工して前記補強板(13)に固着し、前記側面
板(14)の底部を赤外線検知素子(3) を設けた冷却基台
(4) 上に設置することを特徴とする赤外線検知器用コー
ルドシールドの製造方法。