JPH0534305A - 酸素センサ - Google Patents
酸素センサInfo
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- JPH0534305A JPH0534305A JP3217958A JP21795891A JPH0534305A JP H0534305 A JPH0534305 A JP H0534305A JP 3217958 A JP3217958 A JP 3217958A JP 21795891 A JP21795891 A JP 21795891A JP H0534305 A JPH0534305 A JP H0534305A
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- Japan
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- layered
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- substrate
- oxygen sensor
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 層状物質層に対する酸素の侵入・放出の効率
を害することなく、耐環境性の向上を図り、悪条件での
使用も可能とするよう改善する。 【構成】 絶縁性材料の基板１０の一表面上に酸素のイ
ンターカレート、ディインターカレートの可能な層状物
質層１１を形成し、この基板表面においてさらに２つの
電極１２，１３を、それらが上記の層状物質層を挟むよ
うにしてこれに接触するように形成し、この層状物質層
の表面を覆うように、気体透過性材料の保護層を形成す
るという構造を具備する。このセンサは、酸素濃度変化
に対応して抵抗率が変化する。
を害することなく、耐環境性の向上を図り、悪条件での
使用も可能とするよう改善する。 【構成】 絶縁性材料の基板１０の一表面上に酸素のイ
ンターカレート、ディインターカレートの可能な層状物
質層１１を形成し、この基板表面においてさらに２つの
電極１２，１３を、それらが上記の層状物質層を挟むよ
うにしてこれに接触するように形成し、この層状物質層
の表面を覆うように、気体透過性材料の保護層を形成す
るという構造を具備する。このセンサは、酸素濃度変化
に対応して抵抗率が変化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、酸素センサに関し、
とくに常温でも動作可能な酸素センサに関する。
とくに常温でも動作可能な酸素センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、常温動作型酸素センサとし
て、ガルバニ電池式酸素センサが知られている。このガ
ルバニ電池式酸素センサは、基本的に化学変化を利用し
たものであるため、移動物質や電解質の消耗により寿命
が短いという欠点を有している。近年、寿命改善のた
め、使用隔膜や電解質について工夫されてきているが、
たとえばレスポンスが遅くなるなどの他の特性の悪化等
の問題が生じている。また、具体的な用途に対応して小
型化をすすめると、ガルバニ電池式酸素センサは、消費
型酸素センサであるために寿命が極端に短くなる。
て、ガルバニ電池式酸素センサが知られている。このガ
ルバニ電池式酸素センサは、基本的に化学変化を利用し
たものであるため、移動物質や電解質の消耗により寿命
が短いという欠点を有している。近年、寿命改善のた
め、使用隔膜や電解質について工夫されてきているが、
たとえばレスポンスが遅くなるなどの他の特性の悪化等
の問題が生じている。また、具体的な用途に対応して小
型化をすすめると、ガルバニ電池式酸素センサは、消費
型酸素センサであるために寿命が極端に短くなる。
【０００３】そこで、最近、常温動作型酸素センサとし
て、ＣｕＦｅＴe■s[2■s]などの層状物質を用いたもの
が研究され始めている。ここで、層状物質とは、雲母、
グラファイト、遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次
元的な原子・分子配列の層状構造を持つ物質である。こ
の層内は共有結合やイオン結合で原子が強く結合してい
るが、層と層との間は弱いファン・デル・ワールス力で
結合している。このため、層状構造を破壊することなく
ギャップに、ある種の原子や分子を挿入でき、この現象
をインターカレーションと呼び、このときの挿入物質を
インターカラントと呼ぶ。さらにインターカラントが可
逆的に出ていくことをディインターカレーションと呼
ぶ。この層状物質の中でＣｕＦｅＴe■s[2■s]は、酸素
のインターカレーション、ディインターカレーションが
見られ、これにより酸素濃度に応じて電気抵抗率を変化
させることができる（木城耕一、栗焼久夫、平川一美
「層状物質への酸素ガスインターカレーション」九州大
学工学集報第６２巻第４号、平成元年８月、頁３２７−
３３１）。
て、ＣｕＦｅＴe■s[2■s]などの層状物質を用いたもの
が研究され始めている。ここで、層状物質とは、雲母、
グラファイト、遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次
元的な原子・分子配列の層状構造を持つ物質である。こ
の層内は共有結合やイオン結合で原子が強く結合してい
るが、層と層との間は弱いファン・デル・ワールス力で
結合している。このため、層状構造を破壊することなく
ギャップに、ある種の原子や分子を挿入でき、この現象
をインターカレーションと呼び、このときの挿入物質を
インターカラントと呼ぶ。さらにインターカラントが可
逆的に出ていくことをディインターカレーションと呼
ぶ。この層状物質の中でＣｕＦｅＴe■s[2■s]は、酸素
のインターカレーション、ディインターカレーションが
見られ、これにより酸素濃度に応じて電気抵抗率を変化
させることができる（木城耕一、栗焼久夫、平川一美
「層状物質への酸素ガスインターカレーション」九州大
学工学集報第６２巻第４号、平成元年８月、頁３２７−
３３１）。
【０００４】従来のこの酸素センサは、図３に示すよう
に、絶縁性材料の基板３０上にＣｕＦｅＴe■s[2■s]等
の単結晶の微粉末からなる層状物質層３１を形成し、さ
らにこの基板３０の表面上において、層状物質層３１を
両脇から挟むようにして、これに接触する２つの電極３
２、３３をそれぞれ設けたものとなっている。この層状
物質層３１に対する酸素の侵入・放出は、この層状物質
層３１の表面より行われるので、このガス交換をスムー
ズに行うことを重視して、従来では層状物質層３１の上
には何もコートしないのが普通である。
に、絶縁性材料の基板３０上にＣｕＦｅＴe■s[2■s]等
の単結晶の微粉末からなる層状物質層３１を形成し、さ
らにこの基板３０の表面上において、層状物質層３１を
両脇から挟むようにして、これに接触する２つの電極３
２、３３をそれぞれ設けたものとなっている。この層状
物質層３１に対する酸素の侵入・放出は、この層状物質
層３１の表面より行われるので、このガス交換をスムー
ズに行うことを重視して、従来では層状物質層３１の上
には何もコートしないのが普通である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造の従来の酸素センサの場合、層状物質層３１
は何物にも覆われていないので、耐環境性が悪いという
問題がある。すなわち、多湿雰囲気中で使用され、極端
な場合には水滴が層状物質層３１に付着したようとなと
き、この水分は層状物質層３１の内部に侵入し、酸素セ
ンサとしての機能を停止させてしまう。とくに、層状物
質層３１でのガス交換の効率のため、これをポーラスに
形成するときは、水分が一層内部に侵入し易く、また一
旦侵入した水分を外部に発散させることも困難である。
さらに、雑ガス中で使用する場合も、これら雑ガスが同
様に層状物質層３１に付着し、その内部に侵入すること
により酸素センサとしての特性の劣化をきたすこともあ
る。
ような構造の従来の酸素センサの場合、層状物質層３１
は何物にも覆われていないので、耐環境性が悪いという
問題がある。すなわち、多湿雰囲気中で使用され、極端
な場合には水滴が層状物質層３１に付着したようとなと
き、この水分は層状物質層３１の内部に侵入し、酸素セ
ンサとしての機能を停止させてしまう。とくに、層状物
質層３１でのガス交換の効率のため、これをポーラスに
形成するときは、水分が一層内部に侵入し易く、また一
旦侵入した水分を外部に発散させることも困難である。
さらに、雑ガス中で使用する場合も、これら雑ガスが同
様に層状物質層３１に付着し、その内部に侵入すること
により酸素センサとしての特性の劣化をきたすこともあ
る。
【０００６】この発明は上記に鑑み、層状物質層に対す
る酸素の侵入・放出の効率を害することなく、耐環境性
の向上を図り、悪条件での使用も可能とするよう改善し
た、常温動作型酸素センサを提供することを目的とす
る。
る酸素の侵入・放出の効率を害することなく、耐環境性
の向上を図り、悪条件での使用も可能とするよう改善し
た、常温動作型酸素センサを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による酸素センサでは、絶縁性材料の基板
の上に形成された酸素のインターカレート、ディインタ
ーカレートの可能な層状物質層を、気体透過性材料の保
護層で覆ったことが特徴となっており、この保護層によ
って、水分や雑ガスなどが層状物質層内部に侵入しない
ようにすることができる。しかも、この保護層は気体透
過性材料よりなるので、気体である酸素の流通を妨げる
ことがなく、層状物質層に対する酸素の侵入・放出の効
率が悪化することはない。
め、この発明による酸素センサでは、絶縁性材料の基板
の上に形成された酸素のインターカレート、ディインタ
ーカレートの可能な層状物質層を、気体透過性材料の保
護層で覆ったことが特徴となっており、この保護層によ
って、水分や雑ガスなどが層状物質層内部に侵入しない
ようにすることができる。しかも、この保護層は気体透
過性材料よりなるので、気体である酸素の流通を妨げる
ことがなく、層状物質層に対する酸素の侵入・放出の効
率が悪化することはない。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照しながら詳細に説明する。この発明の一実施例にかか
る酸素センサは、図１に示すように、絶縁性材料の基板
１０の一表面上に層状物質層１１を形成するとともに、
その層状物質層１１を、基板１０の一表面において、両
脇から挟むようにして接触するように、２つの電極１
２、１３をその基板１０の一表面上に設けたものであっ
て、さらにすくなくともその層状物質層１１の表面を覆
うように、気体透過性材料の保護層１４を形成したもの
である。
照しながら詳細に説明する。この発明の一実施例にかか
る酸素センサは、図１に示すように、絶縁性材料の基板
１０の一表面上に層状物質層１１を形成するとともに、
その層状物質層１１を、基板１０の一表面において、両
脇から挟むようにして接触するように、２つの電極１
２、１３をその基板１０の一表面上に設けたものであっ
て、さらにすくなくともその層状物質層１１の表面を覆
うように、気体透過性材料の保護層１４を形成したもの
である。
【０００９】絶縁性材料の基板１０はこの実施例では厚
さ０．７ｍｍのアルミナ（Ａl■s[2■s]O■s[3■s]）板
を用いている。層状物質層１１は、この実施例では、Ｃ
ｕＦｅＴe■s[2■s]の単結晶をブリッジマン法によって
作製した後、粉砕して微粉末とし、これをペースト状に
して基板１０上に塗布し、５００℃で焼成して厚さ０．
１ｍｍに形成している。また、電極１２、１３は、ここ
では、銀ペースト（たとえばＮ．Ｅ．ケムキャット株式
会社製Ａ２７８）を上記の層状物質層１１の表面に塗布
し、その後、５５０℃、１０分間の焼成を行って、厚さ
５μｍに形成した。
さ０．７ｍｍのアルミナ（Ａl■s[2■s]O■s[3■s]）板
を用いている。層状物質層１１は、この実施例では、Ｃ
ｕＦｅＴe■s[2■s]の単結晶をブリッジマン法によって
作製した後、粉砕して微粉末とし、これをペースト状に
して基板１０上に塗布し、５００℃で焼成して厚さ０．
１ｍｍに形成している。また、電極１２、１３は、ここ
では、銀ペースト（たとえばＮ．Ｅ．ケムキャット株式
会社製Ａ２７８）を上記の層状物質層１１の表面に塗布
し、その後、５５０℃、１０分間の焼成を行って、厚さ
５μｍに形成した。
【００１０】保護層１４をなす気体透過性材料として
は、ここでは東レシリコーン株式会社製のポリジメチル
シロキサン（ＳＨ−４００）を用いており、これを層状
物質層１１の表面に塗布している。この気体透過性材料
として、ジメチルシロキサン等を中心とするシリコーン
材料、ポリフマル酸エステル、ポリアセチレン及びその
誘導体等が好ましいが、これらに限定されるわけではな
く、気体透過性を有する材料であれば、有機、無機を問
わず使用可能である。
は、ここでは東レシリコーン株式会社製のポリジメチル
シロキサン（ＳＨ−４００）を用いており、これを層状
物質層１１の表面に塗布している。この気体透過性材料
として、ジメチルシロキサン等を中心とするシリコーン
材料、ポリフマル酸エステル、ポリアセチレン及びその
誘導体等が好ましいが、これらに限定されるわけではな
く、気体透過性を有する材料であれば、有機、無機を問
わず使用可能である。
【００１１】この酸素センサの特性を調べる実験を行っ
たところ、図２の実線で示すようなデータが得られた。
この実験は、得られた酸素センサに水滴を付着させた上
で、酸素センサの周囲の雰囲気を酸素０％（窒素）から
酸素２１％へと変化させ、さらにもとの状態へと戻し、
その間の絶縁性材料の電極１２と電極１３の間に流れる
電流を測定することにより行い、それから電気抵抗率を
算出した。この図２から、水滴を付着させない通常時と
同様に非常に大きな抵抗率の変化が得られたことが分か
る。点線は従来の酸素センサ（図３）を用い、同様に水
滴を付着させて測定したデータである。このように従来
の酸素センサの場合は水滴を付着させると水分が層状物
質層３１内に侵入し、特性が劣化している。
たところ、図２の実線で示すようなデータが得られた。
この実験は、得られた酸素センサに水滴を付着させた上
で、酸素センサの周囲の雰囲気を酸素０％（窒素）から
酸素２１％へと変化させ、さらにもとの状態へと戻し、
その間の絶縁性材料の電極１２と電極１３の間に流れる
電流を測定することにより行い、それから電気抵抗率を
算出した。この図２から、水滴を付着させない通常時と
同様に非常に大きな抵抗率の変化が得られたことが分か
る。点線は従来の酸素センサ（図３）を用い、同様に水
滴を付着させて測定したデータである。このように従来
の酸素センサの場合は水滴を付着させると水分が層状物
質層３１内に侵入し、特性が劣化している。
【００１２】この実施例にかかる酸素センサにおいて良
好な結果が得られたのは、層状物質層１１を気体透過性
材料の保護層１４で覆っているので、水分がこの保護層
１４で阻止されて層状物質層１１に侵入しなかったため
であり、また、このように層状物質層１１を保護層１４
で覆ってもそれが気体透過性材料で形成されているので
この保護層１４を通しての層状物質層１１に対する酸素
の流通が阻害されなかったためである、と考えられる。
そして、保護層１４の厚さをコントロールすれば、感度
の調整も可能であるし、とくに酸素透過性の良好な材料
を選定することにより高感度の酸素センサを作ることも
できる。このような保護層１４を設けること自体は容易
に可能であり、製造工程を複雑化させない。
好な結果が得られたのは、層状物質層１１を気体透過性
材料の保護層１４で覆っているので、水分がこの保護層
１４で阻止されて層状物質層１１に侵入しなかったため
であり、また、このように層状物質層１１を保護層１４
で覆ってもそれが気体透過性材料で形成されているので
この保護層１４を通しての層状物質層１１に対する酸素
の流通が阻害されなかったためである、と考えられる。
そして、保護層１４の厚さをコントロールすれば、感度
の調整も可能であるし、とくに酸素透過性の良好な材料
を選定することにより高感度の酸素センサを作ることも
できる。このような保護層１４を設けること自体は容易
に可能であり、製造工程を複雑化させない。
【００１３】なお、上記では、層状物質としてＣｕＦｅ
Ｔe■s[2■s]を用いているが、同様に酸素に対するイン
ターカレート、ディインターカレートの可能な性質を示
す層状物質を使用することができる。たとえば、ＣｕＦ
ｅＴe■s[2■s]以外に、ＺｒＳe■s[2■s]や、ＮｂＳe
■s[2■s]などの１種類、あるいは数種類の組合せなど
も考えられる。また、電極１２、１３としては白金、金
等の貴金属を用いることができる。さらに絶縁性材料の
基板１０もまた上記の材料に限定されない。
Ｔe■s[2■s]を用いているが、同様に酸素に対するイン
ターカレート、ディインターカレートの可能な性質を示
す層状物質を使用することができる。たとえば、ＣｕＦ
ｅＴe■s[2■s]以外に、ＺｒＳe■s[2■s]や、ＮｂＳe
■s[2■s]などの１種類、あるいは数種類の組合せなど
も考えられる。また、電極１２、１３としては白金、金
等の貴金属を用いることができる。さらに絶縁性材料の
基板１０もまた上記の材料に限定されない。
【００１４】
【発明の効果】以上実施例について説明したように、こ
の発明の酸素センサによれば、絶縁性材料の基板の一表
面上に形成された層状物質層を覆うように気体透過性材
料の保護層を形成しているので、層状物質層に対する酸
素の侵入・放出の効率を害することなく、耐環境性の向
上を図ることができ、この酸素センサの悪条件下での使
用も可能ならしめる。
の発明の酸素センサによれば、絶縁性材料の基板の一表
面上に形成された層状物質層を覆うように気体透過性材
料の保護層を形成しているので、層状物質層に対する酸
素の侵入・放出の効率を害することなく、耐環境性の向
上を図ることができ、この酸素センサの悪条件下での使
用も可能ならしめる。
【図１】この発明の一実施例の斜視図。
【図２】抵抗率の時間的変化を示すグラフ。
【図３】従来例の斜視図。
１０、３０ 絶縁性材料の基板 １１、３１ 層状物質層 12,13,32,33 電極 １４ 保護層
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年９月６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】そこで、最近、常温動作型酸素センサとし
て、ＣｕＦｅＴe2などの層状物質を用いたものが研究さ
れ始めている。ここで、層状物質とは、雲母、グラファ
イト、遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元的な原
子・分子配列の層状構造を持つ物質である。この層内は
共有結合やイオン結合で原子が強く結合しているが、層
と層との間は弱いファン・デル・ワールス力で結合して
いる。このため、層状構造を破壊することなくギャップ
に、ある種の原子や分子を挿入でき、この現象をインタ
ーカレーションと呼び、このときの挿入物質をインター
カラントと呼ぶ。さらにインターカラントが可逆的に出
ていくことをディインターカレーションと呼ぶ。この層
状物質の中でＣｕＦｅＴe2は、酸素のインターカレーシ
ョン、ディインターカレーションが見られ、これにより
酸素濃度に応じて電気抵抗率を変化させることができる
（木城耕一、栗焼久夫、平川一美「層状物質への酸素ガ
スインターカレーション」九州大学工学集報第６２巻第
４号、平成元年８月、頁３２７−３３１）。
て、ＣｕＦｅＴe2などの層状物質を用いたものが研究さ
れ始めている。ここで、層状物質とは、雲母、グラファ
イト、遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元的な原
子・分子配列の層状構造を持つ物質である。この層内は
共有結合やイオン結合で原子が強く結合しているが、層
と層との間は弱いファン・デル・ワールス力で結合して
いる。このため、層状構造を破壊することなくギャップ
に、ある種の原子や分子を挿入でき、この現象をインタ
ーカレーションと呼び、このときの挿入物質をインター
カラントと呼ぶ。さらにインターカラントが可逆的に出
ていくことをディインターカレーションと呼ぶ。この層
状物質の中でＣｕＦｅＴe2は、酸素のインターカレーシ
ョン、ディインターカレーションが見られ、これにより
酸素濃度に応じて電気抵抗率を変化させることができる
（木城耕一、栗焼久夫、平川一美「層状物質への酸素ガ
スインターカレーション」九州大学工学集報第６２巻第
４号、平成元年８月、頁３２７−３３１）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】従来のこの酸素センサは、図３に示すよう
に、絶縁性材料の基板３０上にＣｕＦｅＴe2等の単結晶
の微粉末からなる層状物質層３１を形成し、さらにこの
基板３０の表面上において、層状物質層３１を両脇から
挟むようにして、これに接触する２つの電極３２、３３
をそれぞれ設けたものとなっている。この層状物質層３
１に対する酸素の侵入・放出は、この層状物質層３１の
表面より行われるので、このガス交換をスムーズに行う
ことを重視して、従来では層状物質層３１の上には何も
コートしないのが普通である。
に、絶縁性材料の基板３０上にＣｕＦｅＴe2等の単結晶
の微粉末からなる層状物質層３１を形成し、さらにこの
基板３０の表面上において、層状物質層３１を両脇から
挟むようにして、これに接触する２つの電極３２、３３
をそれぞれ設けたものとなっている。この層状物質層３
１に対する酸素の侵入・放出は、この層状物質層３１の
表面より行われるので、このガス交換をスムーズに行う
ことを重視して、従来では層状物質層３１の上には何も
コートしないのが普通である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】絶縁性材料の基板１０はこの実施例では厚
さ０．７ｍｍのアルミナ（Ａl2O3）板を用いている。層
状物質層１１は、この実施例では、ＣｕＦｅＴe2の単結
晶をブリッジマン法によって作製した後、粉砕して微粉
末とし、これをペースト状にして基板１０上に塗布し、
５００℃で焼成して厚さ０．１ｍｍに形成している。ま
た、電極１２、１３は、ここでは、銀ペースト（たとえ
ばＮ．Ｅ．ケムキャット株式会社製Ａ２７８）を上記の
層状物質層１１の表面に塗布し、その後、５５０℃、１
０分間の焼成を行って、厚さ５μｍに形成した。
さ０．７ｍｍのアルミナ（Ａl2O3）板を用いている。層
状物質層１１は、この実施例では、ＣｕＦｅＴe2の単結
晶をブリッジマン法によって作製した後、粉砕して微粉
末とし、これをペースト状にして基板１０上に塗布し、
５００℃で焼成して厚さ０．１ｍｍに形成している。ま
た、電極１２、１３は、ここでは、銀ペースト（たとえ
ばＮ．Ｅ．ケムキャット株式会社製Ａ２７８）を上記の
層状物質層１１の表面に塗布し、その後、５５０℃、１
０分間の焼成を行って、厚さ５μｍに形成した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】なお、上記では、層状物質としてＣｕＦｅ
Ｔe2を用いているが、同様に酸素に対するインターカレ
ート、ディインターカレートの可能な性質を示す層状物
質を使用することができる。たとえば、ＣｕＦｅＴe2以
外に、ＺｒＳe2や、ＮｂＳe2などの１種類、あるいは数
種類の組合せなども考えられる。また、電極１２、１３
としては白金、金等の貴金属を用いることができる。さ
らに絶縁性材料の基板１０もまた上記の材料に限定され
ない。
Ｔe2を用いているが、同様に酸素に対するインターカレ
ート、ディインターカレートの可能な性質を示す層状物
質を使用することができる。たとえば、ＣｕＦｅＴe2以
外に、ＺｒＳe2や、ＮｂＳe2などの１種類、あるいは数
種類の組合せなども考えられる。また、電極１２、１３
としては白金、金等の貴金属を用いることができる。さ
らに絶縁性材料の基板１０もまた上記の材料に限定され
ない。
フロントページの続き (72)発明者 平川 一美 福岡県福岡市南区中尾１丁目38番地15号
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 絶縁性材料の基板と、該基板上に形成さ
れた酸素のインターカレート、ディインターカレートの
可能な層状物質層と、該基板表面において上記層状物質
層に接触するように該基板上に形成された２つの電極
と、上記層状物質層を覆うように形成された気体透過性
材料の保護層とからなることを特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217958A JPH0534305A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 酸素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217958A JPH0534305A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 酸素センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534305A true JPH0534305A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16712390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3217958A Pending JPH0534305A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 酸素センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534305A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2434647A (en) * | 2006-01-13 | 2007-08-01 | Asthma Alert Ltd | Gas Concentration and Humidity Sensor |
| KR100943083B1 (ko) * | 2007-07-19 | 2010-02-18 | 이환덕 | 차량용 외장 몰딩 |
| JP2016151558A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 富士通株式会社 | ガスセンサ |
-
1991
- 1991-08-02 JP JP3217958A patent/JPH0534305A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2434647A (en) * | 2006-01-13 | 2007-08-01 | Asthma Alert Ltd | Gas Concentration and Humidity Sensor |
| KR100943083B1 (ko) * | 2007-07-19 | 2010-02-18 | 이환덕 | 차량용 외장 몰딩 |
| JP2016151558A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 富士通株式会社 | ガスセンサ |
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