JPH0534012Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は減圧弁に係り、更に詳しくが減圧弁に
対する圧力センサの取付け構造に関する。

〔従来の技術〕

流入孔から送り込まれる流体を減圧機構により
所定圧力に減圧して流出孔に流す減圧弁として、
一次側（入口側）の圧力と二次側（出口側）圧力
を知るために、ブルドン管式の圧力計を取り付け
たものと、第３図に示すように、流出孔１等が設
けられた本体２のネジ孔２ａに、歪ゲージ３を使
用した圧力トランスデユーサ４を螺着したものが
知られている。

〔考案が解決しようとする課題〕 ブルドン管式圧力計を用いた上記前者の減圧弁
の場合は、ブルドン管の閉じられた先端に、また
圧力トランスデユーサ４を本体２に螺着した後者
の減圧弁の場合はネジ孔２ａの部分に、それぞれ
袋溜り２ｂができるため、次の問題点がある。

袋溜りに入つたガスを外部に排出することは
容易ではなく、このため、毒性の強いガスを使
用したり、すでに減圧弁に入つているガスと反
応し易いガスを使う場合に、思わぬ事故を起こ
す。

減圧弁を容器の元弁に接続して使用した場
合、ガスの消費にともなつて該減圧弁を充瓶容
器に取り付ける必要がある。この場合、該容器
内のガスが有毒だつた場合には切り替え直前に
不活性ガスでパージを行う必要があり、該不活
性ガスが袋溜りに滞留する。袋溜りに滞留した
不活性ガスは容易には排除できず、現在のよう
に高純度のガスを要求される状況下では純度出
しのため作業工数が多くかかると共に多量のガ
スを要し経済的でない。

外部からパーテイクルを含んだガスが流入し
た場合袋溜りパーテイクルが残留する恐れがあ
る。一旦袋溜りにパーテイクルが残留すると該
パーテイクルの排除は容易ではなく後に徐々に
出てくる。これは半導体工業のようにパーテイ
クルを極度に嫌う産業では極めて大きな問題と
なる。

本体に穿設されたネジ孔に圧力計や圧力トラ
ンスデユーサを螺着する際に、金属粉が発生し
て減圧弁内部に支障を出しやすいとともに、ネ
ジ孔からガス洩れを生じやすいという問題点も
ある。

本考案は、内部に袋溜りが形成されることがな
く、したがつて毒性の強いガスや反応しやすいガ
ス等を使用しても残留ガスに起因する事故を起こ
すことがないとともに、金属粉の発生やガス洩れ
がなく、しかもパージ特性が向上され、またパー
テイクルの滞留と発生を無くすことができる、減
圧弁を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、本考案は、流入
孔と流出孔が本体に設けられ、該本体の上記流入
孔と流出孔の間に流入孔から送り込まれる流体を
所定圧力に減圧して流出孔に流す減圧機構が装設
された減圧弁において、上記本体の流入孔側と流
出孔側の両方、若しくはいずれか一方に肉厚を薄
くした圧力検知部を形成するとともに、該圧力検
知部の外面に圧力センサを取り付けた構成とした
ものである。

〔作用〕

ガスの使用等によつて本体内のガス圧力が変化
すると、本体に形成された薄肉の圧力検知部がガ
スの圧力変化に応じて変形する。この圧力検知部
の外面に取り付けられた圧力センサは一定の印加
電圧に対し圧力検知部の上記変形の度合に応じて
電圧を出力し、圧力を電気的に検出する。

圧力検知部は本体の一部の肉厚を薄くして設け
られていて袋溜りが形成されることがなく、した
がつてパーテイクルを含んだガスが外部から流入
したり、毒性の強いガスを反応しやすいガスを使
用してもそれらのガスを排除することが容易であ
るので支障や事故を起こすことがない上、パーテ
イクルを含んだガスや有毒ガスを少量のガスで経
済的に排除することができる。また、圧力センサ
は圧力検知部の外面に取り付けられた構成とさ
れ、ネジ孔を必要としないため、金属粉が出て減
圧弁の内部に支障を生じたり、ガス洩れを生じた
りすることもない。

なお、圧力センサとしては、歪みに応じて電気
信号を発する圧電素子を利用した歪ゲージ、また
は静電容量式圧力センサ等がある。

〔実施例〕

第１図と第２図は本考案の一実施例を示すもの
で、図中符号１１は減圧弁の本体である。この本
体１１には流体の流入孔１１ａと流出孔１１ｂが
形成されるとともに、内部にノズル１２が上記流
入孔１１ａと流出孔１１ｂを連絡して螺着されて
いる。ノズル１２にはシート１３を付設したステ
ーム１４が上下自在に挿入され、小スプリング１
５により第１図で上方に付勢されている。

また、本体１１の上部には、キヤツプ１７が本
体１１との間にダイヤフラム１８を挟み込んで螺
着されている。キヤツプ１７内には大スプリング
１９が装入されている。この大スプリング１９は
受皿２０を介してダイヤフラム１８を第１図で下
方に付勢するもので、その上端はキヤツプ１７に
螺着された押しネジ２１に受鉄２２を介して押さ
えられており、つまみ２３の回転による押しネジ
２１の上下移動で弾力を調節される構成とされて
いる。

上記のノズル１２、シート１３、ステム１４、
ダイヤフラム１８、大スプリング１９等は周知の
減圧機構２４を構成し、ダイヤフラム１８が大ス
プリング１９により下に押されてノズル１２から
シート１３が下方に離れ、流入孔１１ａから流出
孔１１ｂに流体が流れている状態から、流出孔１
１ｂ側の圧力が高まると、ダイヤフラム１８によ
るステム１４の押圧力が弱まつて、ノズル１２に
シート１３が接するようになり、流体の流出孔１
１ｂからの流出を自動的に止める。

上記のように構成された減圧弁の本体１１の流
入孔１１ａ側（一次側）の底面と、流出孔１１ｂ
側（二次側）の側面には、圧力検知部１１ｃ，１
１ｄが肉厚を薄くして形成され、該圧力検知部１
１ｃ，１１ｄの外面には、圧力センサ２５，２６
が貼着されている。ここで、本体１１の一部分だ
けを薄肉として圧力検知部１１ｃ，１１ｄとする
のは、本体１１にはガス圧力がかかるので本体１
１全体を薄くすると機械的な強度が保持できない
ためである。なお、圧力検知部１１ｃ，１１ｄは
面積が小さいほど薄くすることができる。

圧力センサ２５，２６は、一定の印加電圧に対
し流体の圧力に応じて変形する圧力検知部１１
ｃ，１１ｄの変形度合に対応して電圧を出力し、
圧力を電気的に検出するものであり、増幅器等を
含む圧力表示器に（図示せず）にリード線２７を
介して連絡されている。圧力検知部１１ｃ，１１
ｄに圧力センサ２５，２６を取り付けた場合、該
圧力検知部１１ｃ，１１ｄは肉厚が薄いので減圧
弁本体１１の圧力に応じて歪み、該歪みを圧力セ
ンサ２５，２６が検知して圧力を知ることができ
る。

したがつて、上記減圧弁を流体の流通管路に組
み込んで使用した場合、流体供給源側の一次圧力
は圧力センサ２５によつて、また流体使用機器側
の二次圧力は圧力センサ２６によつてそれぞれ検
出され、所要の圧力表示器に表示されることにな
る。

なお、上記実施例では、一次側と二次側の両方
に圧力検知部１１ｃ，１１ｄを設け、それらに圧
力センサ２５，２６を貼着したが、一次側と二次
側のいずれか一方だけに本考案を適用するように
してもよい。また、減圧機構２４等の具体構造
と、本体１１に対する圧力検知部１１ｃ，１１ｄ
の形成位置は図のものに限られるものではない。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案の減圧弁は、流入
孔と流出孔が本体に設けられ、該本体の上記流入
孔と流出孔の間に流入孔から送り込まれる流体を
所定圧力に減圧して流出孔に流す減圧機構が装設
された減圧弁において、上記本体の流入孔側と流
出孔側の両方、若しくはいずれも一方に肉厚を薄
くした圧力検知部が形成されるとともに、該圧力
検知部の外面に圧力センサが取り付けられた構成
とされているので、本体の内部にどのような袋溜
りも形成されることがなく、したがつてパーテイ
クルを含んだガスが外部から流入したり、毒性の
強いガスや反応しやすいガスを使用してもそれら
のガスを容易に排除することができるので支障や
事故を起こすことがない上、パーテイクルを含ん
だガスや有毒ガスの排除に多量のガスを必要せず
経済的である。その上、圧力センサの取付けにネ
ジ孔を必要としないので、金属粉が出て減圧弁の
内部に支障をおこすことがなく、しかもガス洩れ
を生じることもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る減圧弁の一実施例を示す
断面図、第２図は第１図の減圧弁の要部の拡大図
である。第３図は従来の減圧弁の要部の断面図で
ある。 １１……本体、１１ａ……流入孔、１１ｂ……
流出孔、１１ｃ，１１ｄ……圧力検知部、２４…
…減圧機構、２５，２６……圧力センサ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 流入孔と流出孔が本体に設けられ、該本体の上
   記流入孔と流出孔の間に流入孔から送り込まれる
   流体を所定圧力に減圧して流出孔に流す減圧機構
   が装設された減圧弁において、上記本体の流入孔
   側と流出孔側の両方、若しくはいずれか一方に肉
   厚を薄くした圧力検知部が形成されるとともに、
   該圧力検知部の外面に圧力センサが取り付けられ
   たことを特徴とする減圧弁。