JPH05337796A - 帯状金属体の表面研削方法 - Google Patents
帯状金属体の表面研削方法Info
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- JPH05337796A JPH05337796A JP11198292A JP11198292A JPH05337796A JP H05337796 A JPH05337796 A JP H05337796A JP 11198292 A JP11198292 A JP 11198292A JP 11198292 A JP11198292 A JP 11198292A JP H05337796 A JPH05337796 A JP H05337796A
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- Japan
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- shaped metal
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- roll
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は研削ロールをオッシレイトさせなが
ら研削を行う場合において、前後の研削ロールのオッシ
レイトを逆位相で行うことにより、深い研削目を無く
し、優れた表面性状を有する製品を得るための帯状金属
体の表面研削方法を提供することを目的とする。 【構成】 研削ロールを複数配置して帯状金属体を連続
的に研削する処理ラインにおいて、隣接する少くも一対
の研削ロールを、その軸方向が帯状金属体の進行方向と
直交する方向であり、しかも交互に逆方向となるように
同一振幅でオッシレートさせながら重研削する帯状金属
体の表面研削方法。 【効果】 光沢ムラのない表面性状の優れた帯状金属製
品を得ることができる。
ら研削を行う場合において、前後の研削ロールのオッシ
レイトを逆位相で行うことにより、深い研削目を無く
し、優れた表面性状を有する製品を得るための帯状金属
体の表面研削方法を提供することを目的とする。 【構成】 研削ロールを複数配置して帯状金属体を連続
的に研削する処理ラインにおいて、隣接する少くも一対
の研削ロールを、その軸方向が帯状金属体の進行方向と
直交する方向であり、しかも交互に逆方向となるように
同一振幅でオッシレートさせながら重研削する帯状金属
体の表面研削方法。 【効果】 光沢ムラのない表面性状の優れた帯状金属製
品を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スケールを有する帯状
金属体の表面研削処理に際し、ロール状研削工具で良好
な研削面を得るための研削方法に関するものである。
金属体の表面研削処理に際し、ロール状研削工具で良好
な研削面を得るための研削方法に関するものである。
【０００２】本明細書において帯状金属体とは、ステン
レス鋼、普通鋼、チタンおよびその合金、高合金等を通
常の方法で製造した熱延板（帯）或いはコイル、または
薄肉に連続鋳造で製造した板（帯）或いは捲き取られた
コイルをいう。
レス鋼、普通鋼、チタンおよびその合金、高合金等を通
常の方法で製造した熱延板（帯）或いはコイル、または
薄肉に連続鋳造で製造した板（帯）或いは捲き取られた
コイルをいう。
【０００３】
【従来の技術】帯状金属体の製造工程においては、鋳片
の加熱およびその後の熱間圧延や薄肉鋳片連続鋳造など
により、或いは更に焼鈍や焼鈍酸洗後に帯状金属体の表
面に酸化スケールや表面疵が生じるため、これらを除去
し、かつその表面を仕上げるための工程が必要である。
の加熱およびその後の熱間圧延や薄肉鋳片連続鋳造など
により、或いは更に焼鈍や焼鈍酸洗後に帯状金属体の表
面に酸化スケールや表面疵が生じるため、これらを除去
し、かつその表面を仕上げるための工程が必要である。
【０００４】このような要求に対して、従来冷間圧延前
の帯状金属熱延板或いはそれを焼鈍した後、該板の表裏
面をベルトタイプの研削工具で研削して、疵の除去や表
面の平滑化を実施する方法（以下ベルト研削という）が
採られていた。このベルト研削では回転式エンドレスベ
ルトにより帯状金属体の表面を研削する方法が主体であ
るが、この方法は通板速度が低いと共に、ベルト寿命が
短く頻繁なベルト交換を必要とするため作業性が悪い。
すなわちベルトには研削性能の時間依存性があり、砥粒
材が時間経過と共に摩耗するため、研削後の表面性状が
研削時間と共に変動するという問題があった。更に、研
削量が研削時間と共に急激に減少するため、一コイル毎
にベルトを交換するという繁雑な作業を余儀なくされて
いた。その上研削前の板形状がフラットでないと均一研
削できない等の問題があった。
の帯状金属熱延板或いはそれを焼鈍した後、該板の表裏
面をベルトタイプの研削工具で研削して、疵の除去や表
面の平滑化を実施する方法（以下ベルト研削という）が
採られていた。このベルト研削では回転式エンドレスベ
ルトにより帯状金属体の表面を研削する方法が主体であ
るが、この方法は通板速度が低いと共に、ベルト寿命が
短く頻繁なベルト交換を必要とするため作業性が悪い。
すなわちベルトには研削性能の時間依存性があり、砥粒
材が時間経過と共に摩耗するため、研削後の表面性状が
研削時間と共に変動するという問題があった。更に、研
削量が研削時間と共に急激に減少するため、一コイル毎
にベルトを交換するという繁雑な作業を余儀なくされて
いた。その上研削前の板形状がフラットでないと均一研
削できない等の問題があった。
【０００５】本発明者等は、前記ベルト研削に代えて、
高効率かつ高い作業性を有するロールタイプの研削工具
（以下、研削ロールという。）を用いて光沢ムラのない
表面性状の優れた帯状金属体を得ることができる製造プ
ロセスについて検討を行った。研削ロールの砥石は自生
作用により摩耗した砥粒材が脱落し、その代りに新しい
砥粒材が出てくるため研削性能の時間依存性が極めて小
さく、高能率な研削が可能である。また、工具がロール
タイプであるため、その交換の自動化が可能となり、更
にベルトタイプに比べて長寿命化が図れるために作業性
が向上し、実用価値も高い。
高効率かつ高い作業性を有するロールタイプの研削工具
（以下、研削ロールという。）を用いて光沢ムラのない
表面性状の優れた帯状金属体を得ることができる製造プ
ロセスについて検討を行った。研削ロールの砥石は自生
作用により摩耗した砥粒材が脱落し、その代りに新しい
砥粒材が出てくるため研削性能の時間依存性が極めて小
さく、高能率な研削が可能である。また、工具がロール
タイプであるため、その交換の自動化が可能となり、更
にベルトタイプに比べて長寿命化が図れるために作業性
が向上し、実用価値も高い。
【０００６】研削ロールを鋼帯表面の研削に使用するこ
と自体は新しいことではない。例えば特開平３−８６３
１８号公報には弾性研削装置（ロールタイプ）とその後
段にベルト研削装置とを組合わせ配置してステンレス鋼
帯の表面疵取りを行う設備が開示されているが、ベルト
研削装置を使用する以上、上記した問題点の解決にはな
らない。また、特開平１−２７３６０７号公報には、順
次砥粒番手を大きくした第１研削ロールと第２研削ロー
ルを用いて鋼帯表面を研削する方法を明らかにしている
が、これは研削とその目ならしまでを研削ロールで行っ
て、後の酸洗負荷を少なくしようとするものであって、
該公報および前記公報においても、研削工具の研削方向
を調整することによって被処理材の良好な表面性状を得
る意図は有していない。
と自体は新しいことではない。例えば特開平３−８６３
１８号公報には弾性研削装置（ロールタイプ）とその後
段にベルト研削装置とを組合わせ配置してステンレス鋼
帯の表面疵取りを行う設備が開示されているが、ベルト
研削装置を使用する以上、上記した問題点の解決にはな
らない。また、特開平１−２７３６０７号公報には、順
次砥粒番手を大きくした第１研削ロールと第２研削ロー
ルを用いて鋼帯表面を研削する方法を明らかにしている
が、これは研削とその目ならしまでを研削ロールで行っ
て、後の酸洗負荷を少なくしようとするものであって、
該公報および前記公報においても、研削工具の研削方向
を調整することによって被処理材の良好な表面性状を得
る意図は有していない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】研削ロールで帯状金属
体を重研削する場合に、該帯状金属体の進行方向に深い
研削目が形成され、これが製品の表面むらの発生原因と
なる。目立った研削目の発生をなくするために研削ロー
ルをオッシレイトさせることが既に行われている。通常
ロールをオッシレイトすると被処理材はオッシレイト方
向に力を受け、通板ラインから蛇行し、これが進行する
と板破断や形状不良等のトラブルを起こすが、前記の場
合には張力下で、しかも研削量を少なくして研削抵抗を
小さくしているため、張力の方が強く被処理材の蛇行が
発生することは少なかった。しかし、研削量の大きい重
研削を行う場合には、研削抵抗が強くなるため蛇行の発
生を避けることは難しい。
体を重研削する場合に、該帯状金属体の進行方向に深い
研削目が形成され、これが製品の表面むらの発生原因と
なる。目立った研削目の発生をなくするために研削ロー
ルをオッシレイトさせることが既に行われている。通常
ロールをオッシレイトすると被処理材はオッシレイト方
向に力を受け、通板ラインから蛇行し、これが進行する
と板破断や形状不良等のトラブルを起こすが、前記の場
合には張力下で、しかも研削量を少なくして研削抵抗を
小さくしているため、張力の方が強く被処理材の蛇行が
発生することは少なかった。しかし、研削量の大きい重
研削を行う場合には、研削抵抗が強くなるため蛇行の発
生を避けることは難しい。
【０００８】本発明は研削ロールをオッシレイトさせな
がら研削を行う場合において、この様な現状の問題を解
消しようとするものであって、前後の研削ロールのオッ
シレイトを逆位相で行うことにより、深い研削目を無く
し、優れた表面性状を有する製品を得るための帯状金属
体の表面研削方法を提供することを目的とする。
がら研削を行う場合において、この様な現状の問題を解
消しようとするものであって、前後の研削ロールのオッ
シレイトを逆位相で行うことにより、深い研削目を無く
し、優れた表面性状を有する製品を得るための帯状金属
体の表面研削方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、研削ロールを複数配置して帯状金属体を連
続的に研削する処理ラインにおいて、隣接する少くも一
対の研削ロールを、その軸方向が帯状金属体の進行方向
と直交する方向であり、しかも交互に逆方向となるよう
に同一振幅でオッシレイトさせながら研削する帯状金属
体の表面研削方法を要旨とするものである。上記の方法
において、オッシレイションの振幅は５０mm以下とする
ことがこのましく、またオシレイションのサイクルは、
振幅量によって異なるが０．５〜１００回／秒とするの
が望ましい。
に本発明は、研削ロールを複数配置して帯状金属体を連
続的に研削する処理ラインにおいて、隣接する少くも一
対の研削ロールを、その軸方向が帯状金属体の進行方向
と直交する方向であり、しかも交互に逆方向となるよう
に同一振幅でオッシレイトさせながら研削する帯状金属
体の表面研削方法を要旨とするものである。上記の方法
において、オッシレイションの振幅は５０mm以下とする
ことがこのましく、またオシレイションのサイクルは、
振幅量によって異なるが０．５〜１００回／秒とするの
が望ましい。
【００１０】
【作用】以下に本発明を詳細に説明する。一般に、熱間
圧延あるいはその後の工程の焼鈍や薄肉鋳片連続鋳造で
発生するスケールの厚みや表面疵の深さは少なくとも５
〜１０μｍ程度あるため、スケールや表面疵を除去する
ためには少なくとも１０μｍを超える研削が必要とな
る。より確実な研削を行うには２０μｍを超えるのが望
ましい。更に研削後の表面粗さはＲmax が１５μｍを超
えるとスクラッチのような深い研削目が生じ、製品の表
面性状を劣化する。望ましくはＲmax ≦１０μｍにする
のがよく、従って帯状金属体の研削は、その片面におい
て研削ロールを複数段設置し、１パス当りの負荷を小さ
くして、研削目残りを少くしすると共に表面粗さの小さ
い優れた表面性状としなければならない。
圧延あるいはその後の工程の焼鈍や薄肉鋳片連続鋳造で
発生するスケールの厚みや表面疵の深さは少なくとも５
〜１０μｍ程度あるため、スケールや表面疵を除去する
ためには少なくとも１０μｍを超える研削が必要とな
る。より確実な研削を行うには２０μｍを超えるのが望
ましい。更に研削後の表面粗さはＲmax が１５μｍを超
えるとスクラッチのような深い研削目が生じ、製品の表
面性状を劣化する。望ましくはＲmax ≦１０μｍにする
のがよく、従って帯状金属体の研削は、その片面におい
て研削ロールを複数段設置し、１パス当りの負荷を小さ
くして、研削目残りを少くしすると共に表面粗さの小さ
い優れた表面性状としなければならない。
【００１１】重研削においては処理前の面性状に影響を
受けることが多く、前後段共同一方向の連続研削では研
削目の消去は難しい。従って前記の様な表面性状を得る
ためには、研削ロールを通板する被処理材の板幅方向に
オッシレイションすることは有効な手段といえる。しか
し前述したように被処理材に蛇行が生じる。本発明は隣
接する一対の研削ロールをオッシレイトしながら研削す
るに当たり、それぞれの振幅を逆位相で行うことによ
り、蛇行のない効率よい研削を実施する。
受けることが多く、前後段共同一方向の連続研削では研
削目の消去は難しい。従って前記の様な表面性状を得る
ためには、研削ロールを通板する被処理材の板幅方向に
オッシレイションすることは有効な手段といえる。しか
し前述したように被処理材に蛇行が生じる。本発明は隣
接する一対の研削ロールをオッシレイトしながら研削す
るに当たり、それぞれの振幅を逆位相で行うことによ
り、蛇行のない効率よい研削を実施する。
【００１２】図１は、本発明の実施例を模式的に示した
ものであって、説明しやすいために帯状金属体１の進行
方向上面に２個の積層タイプの研削ロールＡ，Ｂを配置
した例としている。研削ロールＡ，Ｂは軸方向が帯状金
属体１の進行方向２とほぼ直角になるように設置してお
り、それぞれ矢印ｘ，ｙおよびｘ′，ｙ′で示す帯状金
属体１に幅方向にオッシレイトする。このオッシレイト
は、図２に示すように、研削ロールＡがｘ方向である場
合には研削ロールＢはｘ′方向に、また研削ロールＡが
ｙ方向である場合には研削ロールＢはｙ′方向になるよ
うに互いに逆位相（方向）にする。しかも、各研削ロー
ルＡ，Ｂの振幅ｆ，ｆ′は等しくなるように作動させ
る。この様に互いに逆方向にかつ同一振幅で振動させる
ことにより、帯状金属体には近接部分で板幅方向に互い
に逆方向の均一な力が働いてバランスし蛇行が起きな
い。またオッシレイト研削により通板速度と振幅の度合
いに応じて相互に傾斜研削され、それそれの研削目を消
し合うことができると共に、前段で帯状金属体進行方向
にストレイトな研削目が形成されていれば、この目なら
しを有効に実施できる。
ものであって、説明しやすいために帯状金属体１の進行
方向上面に２個の積層タイプの研削ロールＡ，Ｂを配置
した例としている。研削ロールＡ，Ｂは軸方向が帯状金
属体１の進行方向２とほぼ直角になるように設置してお
り、それぞれ矢印ｘ，ｙおよびｘ′，ｙ′で示す帯状金
属体１に幅方向にオッシレイトする。このオッシレイト
は、図２に示すように、研削ロールＡがｘ方向である場
合には研削ロールＢはｘ′方向に、また研削ロールＡが
ｙ方向である場合には研削ロールＢはｙ′方向になるよ
うに互いに逆位相（方向）にする。しかも、各研削ロー
ルＡ，Ｂの振幅ｆ，ｆ′は等しくなるように作動させ
る。この様に互いに逆方向にかつ同一振幅で振動させる
ことにより、帯状金属体には近接部分で板幅方向に互い
に逆方向の均一な力が働いてバランスし蛇行が起きな
い。またオッシレイト研削により通板速度と振幅の度合
いに応じて相互に傾斜研削され、それそれの研削目を消
し合うことができると共に、前段で帯状金属体進行方向
にストレイトな研削目が形成されていれば、この目なら
しを有効に実施できる。
【００１３】処理ラインにおける研削ロール３は、図３
に示すように帯状金属体１の両面に押えロール４と対に
なって複数段（スタンド）設置され、この内にオッシレ
イト用研削ロールＡ，Ｂが少なくとも一対配置され、そ
の配置部位は重研削ライン内であれば特定しないが、前
段側であることが好ましい。
に示すように帯状金属体１の両面に押えロール４と対に
なって複数段（スタンド）設置され、この内にオッシレ
イト用研削ロールＡ，Ｂが少なくとも一対配置され、そ
の配置部位は重研削ライン内であれば特定しないが、前
段側であることが好ましい。
【００１４】図４は、本発明のオッシレイションの量お
よびサイクルの範囲を、表面最大粗さ比（オッシレイシ
ョン時の表面最大粗さ／オッシレイションなしの表面最
大粗さ）との関係で示したものであり、表面最大粗さ比
０．５以下の優れた表面性状を得るためには、実線で囲
まれたａ−ｂ−ｃ−ｄの範囲がよいことが分かる。線ａ
−ｂより少ないと実効オッシレイションを得ることが不
可能となり、ｃ−ｄ外ではオシレイション機構が複雑と
なって調整が難しくなる。一方ａ−ｄ以上になると異常
振動が発生し研削が不可能とな利、またｂ−ｃ以下では
優れた表面性状が得られなくなる。従って本発明におい
ては、オッシレイション量（振幅量）を１〜５０mm，オ
ッシレイションサイクルを振幅量に応じて０．５〜１０
０回／秒とすることが好ましい。
よびサイクルの範囲を、表面最大粗さ比（オッシレイシ
ョン時の表面最大粗さ／オッシレイションなしの表面最
大粗さ）との関係で示したものであり、表面最大粗さ比
０．５以下の優れた表面性状を得るためには、実線で囲
まれたａ−ｂ−ｃ−ｄの範囲がよいことが分かる。線ａ
−ｂより少ないと実効オッシレイションを得ることが不
可能となり、ｃ−ｄ外ではオシレイション機構が複雑と
なって調整が難しくなる。一方ａ−ｄ以上になると異常
振動が発生し研削が不可能とな利、またｂ−ｃ以下では
優れた表面性状が得られなくなる。従って本発明におい
ては、オッシレイション量（振幅量）を１〜５０mm，オ
ッシレイションサイクルを振幅量に応じて０．５〜１０
０回／秒とすることが好ましい。
【００１５】なお、本発明において用いている研削ロー
ルとは、弾性砥石ロール、すなわち板の形状になじみや
すくするためにある程度の弾性を持たせたロール状の砥
石であり、例えば砥粒が塗布された円盤を積層しロール
状に成形したもの（積層型）、フラップホイールを積層
しロール状に成形したもの（フラップ型）、および砥粒
入りナイロン樹脂をロール状に一体成形したもの（一体
型）等があり、これらの何れでも採用できる。
ルとは、弾性砥石ロール、すなわち板の形状になじみや
すくするためにある程度の弾性を持たせたロール状の砥
石であり、例えば砥粒が塗布された円盤を積層しロール
状に成形したもの（積層型）、フラップホイールを積層
しロール状に成形したもの（フラップ型）、および砥粒
入りナイロン樹脂をロール状に一体成形したもの（一体
型）等があり、これらの何れでも採用できる。
【００１６】
【実施例】帯状金属体を表１に示す条件にてインライン
研削を行い、研溶削後の表面品質および冷延焼鈍製品の
品質を調査し、その結果も表１に併記した。この表にお
いて、チャタマーク高さは粗度計によるうねり測定で測
定した。研削量は処理前後の重量を測定し、比重から除
去厚みを算出した。表面粗さは各処理後にサンプルを採
取し板幅方向に粗度計にて測定し、最大粗さＲmax を用
いた。冷延焼鈍製品の表面品質は光沢ムラの程度により
Ａ〜Ｅの５ランクにて評価し、Ｂランク以上を合格とし
た。なお、冷間圧延条件および焼鈍条件は通常条件とし
た。
研削を行い、研溶削後の表面品質および冷延焼鈍製品の
品質を調査し、その結果も表１に併記した。この表にお
いて、チャタマーク高さは粗度計によるうねり測定で測
定した。研削量は処理前後の重量を測定し、比重から除
去厚みを算出した。表面粗さは各処理後にサンプルを採
取し板幅方向に粗度計にて測定し、最大粗さＲmax を用
いた。冷延焼鈍製品の表面品質は光沢ムラの程度により
Ａ〜Ｅの５ランクにて評価し、Ｂランク以上を合格とし
た。なお、冷間圧延条件および焼鈍条件は通常条件とし
た。
【００１７】この表から明らかなように、本発明法によ
り処理した帯状金属体の評価結果はいずれも良好であ
る。すなわち、複数段の研削ロールを配置し、しかも順
次砥粒番手を大きくして十分な研削を行い、表示はして
いないがデスケールおよび表面疵は十分に除去されてい
ることは勿論のこと、表面粗さＲmax を小さくできて表
面を平坦化し、冷延焼鈍製品の表面光沢がＢランク以上
になって、極めて優れた表面性状が得られた。蛇行は、
従来のオッシレイションしない場合とほぼ同程度以下で
良好である。
り処理した帯状金属体の評価結果はいずれも良好であ
る。すなわち、複数段の研削ロールを配置し、しかも順
次砥粒番手を大きくして十分な研削を行い、表示はして
いないがデスケールおよび表面疵は十分に除去されてい
ることは勿論のこと、表面粗さＲmax を小さくできて表
面を平坦化し、冷延焼鈍製品の表面光沢がＢランク以上
になって、極めて優れた表面性状が得られた。蛇行は、
従来のオッシレイションしない場合とほぼ同程度以下で
良好である。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】
【発明の効果】以上ように、本発明によれば、処理ライ
ンにおける少なくとも一対の研削ロールのオッシレイト
を互いに逆位相で行うことにより、板幅方向に掛かる力
をバランスさせて被処理材を蛇行することなく正常に走
行させながら傾斜研削を行い、研削目残りを抑制して、
光沢ムラのない表面性状の優れた帯状金属製品を製造す
ることができる。
ンにおける少なくとも一対の研削ロールのオッシレイト
を互いに逆位相で行うことにより、板幅方向に掛かる力
をバランスさせて被処理材を蛇行することなく正常に走
行させながら傾斜研削を行い、研削目残りを抑制して、
光沢ムラのない表面性状の優れた帯状金属製品を製造す
ることができる。
【図１】本発明方法の実施態様を模式的に示した平面説
明図。
明図。
【図２】本発明研削ロールのオッシレイト状況を示す
図。
図。
【図３】図１に示す研削ロールの正面説明図。
【図４】本発明のオッシレイションの量およびサイクル
の範囲を、表面最大粗さ比（オッシレイション時の表面
最大粗さ／オッシレイションなしの表面最大粗さ）との
関係で示した図。
の範囲を、表面最大粗さ比（オッシレイション時の表面
最大粗さ／オッシレイションなしの表面最大粗さ）との
関係で示した図。
１：帯状金属体 ２：進行方向 ３：研削ロール ４：押えロール Ａ，Ｂ：オッシレイト用研削ロール ｘ，ｙ，ｘ′，ｙ′：オッシレイト方向 ｆ，ｆ′：振幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 隆広 山口県光市大字島田3434番地 新日本製鐵 株式会社光製鐵所内 (72)発明者 札軒 富美夫 山口県光市大字島田3434番地 新日本製鐵 株式会社光製鐵所内 (72)発明者 高井良 昌文 山口県光市大字島田3434番地 新日本製鐵 株式会社光製鐵所内
Claims (2)
- 【請求項１】 研削ロールを複数配置して帯状金属体を
連続的に研削する処理ラインにおいて、隣接する少なく
も一対の研削ロールを、その軸方向が帯状金属体の進行
方向と直交する方向であり、しかも交互に逆方向となる
ように同一振幅でオッシレイトさせながら研削すること
を特徴とする帯状金属体の表面研削方法。 - 【請求項２】 オッシレイションの振幅が５０mm以下で
あることを特徴とする請求項１記載の帯状金属体の表面
研削方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198292A JPH05337796A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 帯状金属体の表面研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198292A JPH05337796A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 帯状金属体の表面研削方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337796A true JPH05337796A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=14574990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11198292A Withdrawn JPH05337796A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 帯状金属体の表面研削方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05337796A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008023710A (ja) * | 2001-03-02 | 2008-02-07 | Igc-Superpower Llc | Ｈｔｓテープの製造方法及び連続機械研磨システム |
| WO2009122472A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | シャープ株式会社 | 研磨装置および研磨方法 |
| WO2010131581A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | シャープ株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
| WO2016002396A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | シャープ株式会社 | 研磨装置 |
-
1992
- 1992-04-30 JP JP11198292A patent/JPH05337796A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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