JPH05322802A - X-ray ct device - Google Patents
X-ray ct deviceInfo
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- JPH05322802A JPH05322802A JP4152920A JP15292092A JPH05322802A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A JP 4152920 A JP4152920 A JP 4152920A JP 15292092 A JP15292092 A JP 15292092A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はＸ線ＣＴ装置に係り、特
に、被検査物の投影像を得ることができ、かつ、上記投
影像の中心位置の断面像を観察することにより複合的に
非破壊で検査するようにした産業用のＸ線ＣＴ装置に用
いて好適なものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray CT apparatus, and more particularly, it is possible to obtain a projected image of an object to be inspected and to observe a cross-sectional image at the center position of the projected image in a complex manner. It is suitable for use in an industrial X-ray CT apparatus that is nondestructively inspected.
【０００２】[0002]
【従来の技術】周知の通り、Ｘ線ＣＴ装置は外部から人
体の内部を観察することができるという優れた特徴を有
しているので、医療分野において広く使用されている。
また、上記Ｘ線ＣＴ装置を用いれば各種工業製品の内部
を非破壊で検査することができるので、Ｘ線ＣＴ装置は
近年産業の分野においても徐々に普及しつつある。2. Description of the Related Art As is well known, an X-ray CT apparatus is widely used in the medical field because it has an excellent feature that it can observe the inside of the human body from the outside.
Further, since the inside of various industrial products can be nondestructively inspected by using the X-ray CT apparatus, the X-ray CT apparatus is gradually becoming popular in the industrial field in recent years.
【０００３】ところで、産業用のＸ線ＣＴ装置において
は、通常は被検査物を回転させてＸ線の透過データを得
るようにしている。そこで、例えば「非破壊検査」３
９，９Ａ 第７６３頁から第７６４頁に記載されている
ように、Ｘ線投影検査装置と組み合わされて使用される
場合もある。In an industrial X-ray CT apparatus, an object to be inspected is usually rotated to obtain X-ray transmission data. Therefore, for example, "non-destructive inspection" 3
9, 9A, may be used in combination with an X-ray projection inspection system, as described on pages 763-764.
【０００４】このようにＸ線投影検査とＸ線ＣＴとを組
み合わせた場合には、断面像が被検査物のどの部分を観
察しているのかを正確に判断する必要がある。また、マ
イクロフォーカスＸ線を利用した顕微的な検査の場合に
は、スライス幅を薄くしてＣＴ画像の空間分解能を向上
させる必要がある。したがって、高精度な検出を行うた
めには観察する断層面を含む平面の法線と等しくなるよ
うにＸ線を照射することが重要である。すなわち、被検
査物の回転軸に垂直になるように、Ｘ線を精度良く照射
させることが重要である。When the X-ray projection inspection and the X-ray CT are combined in this way, it is necessary to accurately determine which part of the inspection object the cross-sectional image is observing. Further, in the case of microscopic inspection using microfocus X-rays, it is necessary to reduce the slice width to improve the spatial resolution of CT images. Therefore, in order to perform highly accurate detection, it is important to irradiate X-rays so as to be equal to the normal line of the plane including the tomographic plane to be observed. That is, it is important to accurately irradiate the X-ray so that it is perpendicular to the rotation axis of the inspection object.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の産業用
Ｘ線ＣＴ装置では、上記したように被検査物の回転軸に
Ｘ線を垂直に照射するための特別の装置や手段が設けら
れていなかった。したがって、このような操作は観測者
の経験や技量に頼る手作業で行っていた。However, the conventional industrial X-ray CT apparatus is provided with a special device or means for vertically irradiating the rotation axis of the object to be inspected with X-rays as described above. There wasn't. Therefore, such operations are performed manually depending on the experience and skill of the observer.
【０００６】ところで、二次元Ｘ線検出器によって投影
像を得る場合、Ｘ線焦点の位置は二次元Ｘ線検出器の受
光面の中心からの法線上にあり、かつ被検査物の回転軸
は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる方向にＸ線
が照射されるように正確に位置決めする必要がある。仮
に、上記の条件を満足させることができない場合には、
得られる投影像は幾何学的な倍率の歪みから不正確なも
のとなる。さらに、回転装置の回転に伴って被検査物の
スライス位置が変化するので、再構成を行っても明瞭な
断層像が得られないという問題があった。By the way, when a projection image is obtained by the two-dimensional X-ray detector, the position of the X-ray focal point is on the normal line from the center of the light receiving surface of the two-dimensional X-ray detector, and the rotation axis of the object to be inspected is It is necessary to accurately position the X-ray so that the X-ray is emitted in a direction that is equal to the normal to the plane including the tomographic plane. If the above conditions cannot be met,
The resulting projected image will be inaccurate due to distortion of geometrical magnification. Further, since the slice position of the inspection object changes with the rotation of the rotating device, there is a problem that a clear tomographic image cannot be obtained even if reconstruction is performed.
【０００７】また、１０ミクロン程度の高い分解能が要
求される産業用のＸ線ＣＴ装置では、焦点径が１０ミク
ロン以下のマイクロフォーカスＸ線が利用される。この
ように焦点径が小さいＸ線を使用する場合には、上記の
条件はますます正確さが要求される。さらに、被検査物
が数ミリ以下の大きさの微小被検査物を拡大して、分解
能が数ミクロン程度の顕微的なＣＴ画像を得る場合に
は、画素サイズと同等のスライス幅でＸ線を透過させる
ことが必要なので、上記の条件でＸ線を照射することが
ますます重要になる。Further, in an industrial X-ray CT apparatus which requires a high resolution of about 10 microns, microfocus X-rays having a focal diameter of 10 microns or less are used. When using X-rays with such a small focal diameter, the above conditions are required to be more accurate. Further, when enlarging a minute inspected object having a size of several millimeters or less to obtain a microscopic CT image with a resolution of about several microns, an X-ray with a slice width equivalent to the pixel size is used. Since it is necessary to transmit X-rays, it becomes more important to irradiate X-rays under the above conditions.
【０００８】しかし、従来のように二次元Ｘ線検出器の
中心とＸ線源の位置とを、手作業で被検査物の回転軸に
垂直に合わせる方法では、通常何回かの試行錯誤を繰り
返さなければならない。このため、従来は二次元Ｘ線検
出器の中心とＸ線源の位置とを合わせるのに多大な調整
時間が必要となり、効率が悪い問題があった。However, the conventional method of manually aligning the center of the two-dimensional X-ray detector and the position of the X-ray source perpendicularly to the axis of rotation of the object to be inspected usually requires several trials and errors. Must be repeated. Therefore, conventionally, a great amount of adjustment time was required to align the center of the two-dimensional X-ray detector with the position of the X-ray source, and there was a problem of poor efficiency.
【０００９】また、従来の方法ではその精度に限界があ
る。さらに、操作の再現性にも乏しいので、数ミリ以下
の大きさの微小被検査物を顕微的に検査する場合には実
用的でない等の問題があった。本発明は上述の問題点に
かんがみ、簡便な手段で二次元Ｘ線検出器受光面の中心
点を通る法線上にＸ線源を正確に位置させ、かつ被検査
物の回転軸がＸ線放射面の法線となる位置関係に位置決
めすることが容易なＸ線ＣＴ装置を提供することを目的
とするものである。Further, the accuracy of the conventional method is limited. Further, since the reproducibility of the operation is poor, there is a problem that it is not practical when microscopically inspecting a microscopic inspection object having a size of several millimeters or less. In view of the above-mentioned problems, the present invention accurately positions the X-ray source on the normal line passing through the center point of the light receiving surface of the two-dimensional X-ray detector with a simple means, and the rotation axis of the object to be inspected emits X-rays. An object of the present invention is to provide an X-ray CT apparatus that can be easily positioned in a positional relationship that is a normal line of a surface.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明に係るＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線発生装置と、被
検査物を保持して回転させる回転装置と、上記回転装置
を中にして上記Ｘ線発生装置と対向して配置され、上記
Ｘ線発生装置により放射されて上記被検査物を透過した
後のＸ線を検出する二次元Ｘ線検出装置とを有し、上記
被検査物の拡大投影像を画像表示装置に表示するととも
に、上記回転装置によって上記被検査物を微小角度づつ
回転させて上記二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の
画素列を利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過デー
タを収集し、上記透過データにより上記被検査物の断層
像を再構成して上記画像表示装置に表示するＸ線ＣＴ装
置において、上記回転装置に設置されていて、その先端
の中央が鋭角に形成された調整用サンプルと、上記Ｘ線
発生装置との距離を種々に変化させ、各距離においてそ
れぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置に表示し
たときに、上記調整用サンプルの先端部分のそれぞれの
位置座標と上記それぞれの拡大投影像の拡大率とからＸ
線焦点の位置を求める検出手段と、上記検出手段により
求めたＸ線焦点の位置に基づいて上記Ｘ線発生装置の位
置を変化させて、上記二次元Ｘ線検出器の中心の法線延
長上にＸ線焦点の位置を一致させ、かつ被検査物の回転
軸を断層面を含む平面上の法線と等しくさせるＸ線焦点
位置調整手段とを設けたことを特徴とするものである。To achieve the above object, an X-ray CT apparatus according to the present invention comprises an X-ray generator, a rotating device for holding and rotating an inspection object, and the rotating device. A two-dimensional X-ray detection device that is disposed inside the X-ray generation device and faces the X-ray generation device, and that detects X-rays emitted by the X-ray generation device and transmitted through the inspection object. The enlarged projection image of the inspection object is displayed on the image display device, and the inspection device is rotated by a minute angle by the rotating device to use several pixel rows at the central position of the two-dimensional X-ray detector. In the X-ray CT apparatus for collecting transmission data necessary for CT image reconstruction processing, reconstructing a tomographic image of the object to be inspected by the transmission data and displaying the image on the image display device, the X-ray CT apparatus is installed on the rotating device And the center of its tip is shaped into an acute angle. When the distance between the adjusted sample and the X-ray generator is variously changed, and the enlarged projection images obtained at each distance are displayed on the image display device, each of the tip end portions of the adjustment sample is displayed. X from the position coordinates of the
The detecting means for determining the position of the line focus and the position of the X-ray generator based on the position of the X-ray focus determined by the detecting means are used to extend the normal of the center of the two-dimensional X-ray detector. And X-ray focus position adjusting means for matching the position of the X-ray focus and for making the rotation axis of the inspection object equal to the normal line on the plane including the tomographic plane.
【００１１】[0011]
【作用】本発明に係るＸ線ＣＴ装置は上記のように構成
したので、先端中央が鋭角である調整用サンプルの位置
を変化させるとともに、各位置においてＸ線を放射する
ことにより得られたそれぞれの拡大投影像を用いて、上
記調整用サンプルの先端部分を画像表示装置の画面上か
ら読み取ると、調整用サンプル投影像の拡大率の変化に
応じて画面上で上記調整用サンプルの先端の位置が変化
する。Since the X-ray CT apparatus according to the present invention is constructed as described above, the position of the adjustment sample whose tip center is an acute angle is changed, and X-rays are emitted at each position. When the tip portion of the adjustment sample is read from the screen of the image display device using the enlarged projection image of, the position of the tip of the adjustment sample on the screen according to the change in the magnification of the projection image of the adjustment sample. Changes.
【００１２】Ｘ線焦点位置検出手段は、上記調整用サン
プルの先端の位置変化とそれぞれの拡大率とに基づい
て、二次元Ｘ線検出器の中心の法線延長上からＸ線焦点
の位置がずれている方向と距離を検出する。The X-ray focus position detecting means determines the position of the X-ray focus from the normal extension of the center of the two-dimensional X-ray detector on the basis of the change in the position of the tip of the adjustment sample and the respective enlargement ratios. Detects the deviation direction and distance.
【００１３】Ｘ線焦点位置調整手段は、Ｘ線焦点位置検
出手段によって得られた二次元Ｘ線検出器の中心の法線
延長上からＸ線焦点の位置がずれている方向と距離に基
づいてＸ線発生装置の位置を変化させて、二次元Ｘ線検
出器の中心の法線延長上にＸ線焦点位置を一致させ、か
つ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等
しくさせる。The X-ray focus position adjusting means is based on the direction and the distance in which the position of the X-ray focus is displaced from the normal extension of the center of the two-dimensional X-ray detector obtained by the X-ray focus position detecting means. By changing the position of the X-ray generator, the X-ray focal point position is made to coincide with the normal extension of the center of the two-dimensional X-ray detector, and the rotation axis of the object to be inspected is a normal on a plane including the tomographic plane. Make it equal to the line.
【００１４】[0014]
【実施例】以下に、本発明のＸ線ＣＴ装置の一実施例に
ついて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の一実
施例を示し、Ｘ線ＣＴ装置の概略配置図である。図１に
示したように、本実施例のＸ線ＣＴ装置はＸ線発生装置
１、回転テーブル２、移動ステージ３、二次元Ｘ線検出
器４、コンピュータ５、画像表示装置５ａにより構成さ
れている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the X-ray CT apparatus of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention and is a schematic layout diagram of an X-ray CT apparatus. As shown in FIG. 1, the X-ray CT apparatus according to the present embodiment includes an X-ray generator 1, a rotary table 2, a moving stage 3, a two-dimensional X-ray detector 4, a computer 5, and an image display device 5a. There is.
【００１５】Ｘ線発生装置１は、微小焦点１０からコー
ン状のＸ線ビーム２０を照射するために設けられてい
る。また、回転テーブル２は調整用サンプルＡを保持し
て回転させるためのものであり、移動ステージ３上に設
置されていて、Ｘ線発生装置１と画像表示装置５ａとの
間を平行移動できるようになされている。The X-ray generator 1 is provided to irradiate the cone-shaped X-ray beam 20 from the micro focus 10. The rotary table 2 is for holding and rotating the adjustment sample A and is installed on the moving stage 3 so that the X-ray generator 1 and the image display device 5a can be moved in parallel. Has been done.
【００１６】また、二次元Ｘ線検出器４は、調整用サン
プルＡを透過した後のＸ線を検出するためのものであ
り、この二次元Ｘ線検出器４によって得られた多数のＸ
線透過データがコンピュータ５によって処理される。そ
して、このコンピュータ５により、投影拡大像およびＣ
Ｔ画像再構成等が行われ、画像表示装置５ａに表示され
る。なお、以下の説明においては、図２に示すようにＸ
線焦点１０の位置から二次元Ｘ線検出器４迄の距離をＬ
とする。The two-dimensional X-ray detector 4 is for detecting the X-rays that have passed through the adjustment sample A, and a large number of X-rays obtained by the two-dimensional X-ray detector 4 are used.
The line transparency data is processed by the computer 5. Then, the computer 5 causes the projection enlarged image and C
T image reconstruction and the like are performed and displayed on the image display device 5a. In the following description, as shown in FIG.
The distance from the position of the line focus 10 to the two-dimensional X-ray detector 4 is L
And
【００１７】このような構成により、Ｘ線焦点１０の位
置と調整用サンプルＡとの距離、およびＸ線焦点１０の
位置と二次元Ｘ線検出器４との距離に応じた倍率で、二
次元Ｘ線検出器４の位置に調整用サンプルＡが拡大投影
される。また、移動ステージ３は二次元Ｘ線検出器４の
中心（これを原点Ｏとする）を通る法線（これをＹ軸Ｙ
とする）に平行に移動可能とされている。このため、拡
大投影されるＸ線ビームの拡大率は、移動ステージ３を
移動させることによって変えることができる。With such a configuration, the two-dimensional image is magnified according to the distance between the position of the X-ray focal point 10 and the adjustment sample A and the distance between the position of the X-ray focal point 10 and the two-dimensional X-ray detector 4. The adjustment sample A is magnified and projected at the position of the X-ray detector 4. Further, the moving stage 3 has a normal line passing through the center of the two-dimensional X-ray detector 4 (this is the origin O) (this is the Y-axis Y).
It is possible to move in parallel with. Therefore, the magnification of the X-ray beam that is magnified and projected can be changed by moving the moving stage 3.
【００１８】また、回転テーブル２の回転軸は移動ステ
ージ３の移動方向に対して直角となるよう予め設置され
ている。このため、回転テーブル２の回転軸はＹ軸Ｙに
対して常に垂直である。したがって、Ｘ線焦点１０の位
置をＹ軸Ｙに一致させれば本発明の目的が達成される。The rotary shaft of the rotary table 2 is set in advance so as to be perpendicular to the moving direction of the moving stage 3. Therefore, the rotation axis of the rotary table 2 is always perpendicular to the Y axis Y. Therefore, if the position of the X-ray focal point 10 is aligned with the Y axis Y, the object of the present invention can be achieved.
【００１９】次に、このように構成された本実施例のＸ
線ＣＴ装置において、Ｘ線焦点位置を検出する動作につ
いて説明する。図２および図４は、Ｘ線ＣＴ装置の要部
の位置を幾何学的な関係で示した図である。図２および
図４において、ａ，ｂは二次元Ｘ線検出器４と調整用サ
ンプルＡの頂点Ｔとの間の距離をそれぞれ示している。
また、図３および図５は、それぞれ図２、図４に示した
各部の幾何学的な関係を上から見た場合に相当する図で
ある。Next, the X of this embodiment constructed as described above is used.
The operation of detecting the X-ray focal position in the X-ray CT apparatus will be described. 2 and 4 are diagrams showing the positions of the main parts of the X-ray CT apparatus in a geometrical relationship. 2 and 4, a and b indicate the distance between the two-dimensional X-ray detector 4 and the vertex T of the adjustment sample A, respectively.
Further, FIGS. 3 and 5 are diagrams corresponding to the case where the geometrical relationships of the respective parts shown in FIGS. 2 and 4 are viewed from above.
【００２０】さらに、図６および図７は、それぞれ図
３、図５の配置における画像出力装置４ａの画面上に表
示される拡大投影像を示す図であり、原点Ｏを中心に水
平方向にＸ軸Ｘ、垂直方向にＺ軸ＺからなるＸ−Ｚ座標
で表されている。6 and 7 are enlarged projection images displayed on the screen of the image output device 4a in the arrangements shown in FIGS. 3 and 5, respectively. It is represented by X-Z coordinates consisting of the axis X and the Z axis Z in the vertical direction.
【００２１】これらの図において、Ｘ線焦点１０の位置
をＦ（ｘ，Ｌ，ｚ）、Ｘ線焦点位置と垂直に二次元Ｘ線
検出器４と交わる点をＣ（ｘ，０，ｚ）、調整用サンプ
ルＡの頂点Ｔが、図２および図３の幾何学的関係で二次
元Ｘ線検出器４に投影される点をＤ（Ｄ1 ，０，
Ｄ3 ）、図４および図５の関係で表示される点をＥ（Ｅ
1 ，０，Ｅ3 ）とする。In these figures, the position of the X-ray focal point 10 is F (x, L, z), and the point intersecting the X-ray focal point position with the two-dimensional X-ray detector 4 is C (x, 0, z). , The point T of the adjustment sample A is projected onto the two-dimensional X-ray detector 4 by the geometrical relationship of FIGS. 2 and 3 by D (D 1 , 0,
D 3 ), the point displayed in the relationship of FIG. 4 and FIG.
1 , 0, E 3 ).
【００２２】図２および図３において、直線ＣＦを含む
Ｙ軸Ｙに平行な平面と調整用サンプルの頂点Ｔとの距離
をｈ、直線ＣＦを含むＺ軸Ｚに平行な平面と頂点Ｔとの
距離をｄとし、拡大投影像の拡大率をＭ（＝（Ｌ−ａ）
／Ｌ）とすると、2 and 3, the distance between the plane parallel to the Y-axis Y including the straight line CF and the vertex T of the adjustment sample is h, and the plane parallel to the Z-axis Z including the straight line CF and the vertex T. The distance is d, and the enlargement ratio of the enlarged projection image is M (= (L−a)
/ L)
【００２３】[0023]
【数１】 [Equation 1]
【００２４】の幾何学的な関係がある。同様に、図４お
よび図５においても拡大投影像の拡大率をＮ（＝（Ｌ−
ｂ）／Ｌ）とすると、There is a geometrical relationship of Similarly, in FIGS. 4 and 5, the enlargement ratio of the enlarged projection image is N (= (L-
b) / L)
【００２５】[0025]
【数２】 [Equation 2]
【００２６】の幾何学的な関係がある。したがって、
（１）式、（２）式により、There is a geometrical relationship of Therefore,
From equations (1) and (2),
【００２７】[0027]
【数３】 [Equation 3]
【００２８】が得られ、この式からｘ，ｚの値を求める
ことができる。Then, the values of x and z can be obtained from this equation.
【００２９】次に、ｘ，ｚの値を求める手順を説明す
る。Ｌ、ａ、ｂの値を予めコンピュータ５に入力し、拡
大率Ｍ、Ｎを記憶させる。図２および図３の配置で、図
６における画像表示装置５ａの画面上に表示される調整
用サンプルＡの拡大投影像の頂点の座標Ｄは数値化さ
れ、コンピュータ４の内部メモリーにＤ1 、Ｄ3 が記憶
される。Next, the procedure for obtaining the values of x and z will be described. The values of L, a, and b are input to the computer 5 in advance, and the enlargement factors M and N are stored. 2 and 3, the coordinates D of the vertex of the enlarged projection image of the adjustment sample A displayed on the screen of the image display device 5a in FIG. 6 are digitized, and D 1 is stored in the internal memory of the computer 4, D 3 is stored.
【００３０】また、図４および図５の配置で、図７にお
ける画像表示装置５ａの画面上の調整用サンプルＡの拡
大投影像の頂点の座標Ｅも数値化されてコンピュータ５
の内部メモリーにＥ1 、Ｅ3 が記憶される。コンピュー
タ５は、（３）式に基づいてｙおよびｚの値を求め、そ
の信号をＸ線焦点位置調整手段（図示せず）に送る。な
お、拡大率Ｍ、Ｎは画像表示装置５ａに表示される拡大
投影像から直接読み取るようにしても良い。Further, in the arrangements of FIGS. 4 and 5, the coordinates E of the apex of the enlarged projection image of the adjustment sample A on the screen of the image display device 5a in FIG.
E 1 and E 3 are stored in the internal memory of. The computer 5 obtains the values of y and z based on the equation (3) and sends the signals to the X-ray focal point position adjusting means (not shown). The magnifying powers M and N may be read directly from the magnified projection image displayed on the image display device 5a.
【００３１】Ｘ線焦点位置調整手段は、例えばステップ
パルスモータにより構成されていて、コンピュータ５か
らの信号を受けてＸ線発生装置１を図中Ｙ軸Ｙ、Ｚ軸Ｚ
方向に移動させることができるようになされている。し
たがって、求められたｙおよびｚだけそれぞれＹ軸Ｙ方
向、Ｚ軸Ｚ方向に移動することによって、Ｘ線焦点１０
の位置をＸ軸Ｘ上に一致させることができる。なお、上
記ステップパルスモータの代わりにマイクロメータを設
け、手動でＸ線焦点の位置の調整を行う構成とすること
もできる。The X-ray focal position adjusting means is composed of, for example, a step pulse motor, and receives the signal from the computer 5 to move the X-ray generator 1 to the Y-axis Y and Z-axis Z in the figure.
It can be moved in any direction. Therefore, by moving in the Y-axis Y-direction and the Z-axis Z-direction by the determined y and z, respectively, the X-ray focus 10
Can be aligned on the X-axis X. A micrometer may be provided instead of the step pulse motor, and the position of the X-ray focal point may be manually adjusted.
【００３２】このようにして、Ｘ線焦点１０の位置をＸ
軸Ｘ上に一致させることができるので、Ｘ線焦点の位置
は二次元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上にあり、
かつ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と
等しくなる方向にＸ線が照射されるように位置決めする
ことができる。したがって、正確な拡大投影像が得られ
ので、二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の画素列を
利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過データを収集
し再構成すれば、明瞭なＣＴ画像が得られる。In this way, the position of the X-ray focal point 10 is set to X.
Since it can be aligned on the axis X, the position of the X-ray focal point is on the normal line from the center of the light receiving surface of the two-dimensional X-ray detector,
In addition, the rotation axis of the object to be inspected can be positioned so that the X-ray is irradiated in a direction that is equal to the normal line on the plane including the tomographic plane. Therefore, since an accurate enlarged projection image can be obtained, if the transmission data necessary for the CT image reconstruction processing is collected and reconstructed by using several pixel rows at the center position of the two-dimensional X-ray detector, A clear CT image can be obtained.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、調
整用サンプルを用いて、正確なＸ線焦点の位置を求める
ことができ、この求めたＸ線焦点の位置によって、二次
元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上で、かつ被検査
物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる
方向にＸ線が照射されるように正確に修正することがで
きるので、投影像の幾何学的な倍率の歪みを低減できる
とともに、回転装置の回転に伴って被検査物のスライス
位置が変化しないようにすることができ、正確な拡大投
影像と断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供で
きる。As described above, according to the present invention, the position of the X-ray focal point can be accurately determined by using the adjustment sample, and the two-dimensional X-ray is determined by the obtained position of the X-ray focal point. The rotation axis of the object to be inspected on the normal line from the center of the light receiving surface of the detector can be accurately corrected so that the X-ray is irradiated in the direction equal to the normal line on the plane including the tomographic plane. Therefore, the distortion of the geometric magnification of the projected image can be reduced, and the slice position of the inspection object can be prevented from changing in accordance with the rotation of the rotating device, and an accurate enlarged projected image and tomographic image can be obtained. It is possible to provide an X-ray CT apparatus that can do this.
【図１】本発明の一実施例を示すＸ線ＣＴ装置の配置図
である。FIG. 1 is a layout view of an X-ray CT apparatus showing an embodiment of the present invention.
【図２】Ｘ線発生装置から放射され二次元Ｘ線検出器に
よって検出されるＸ線ビームと、調整用サンプル先端と
の幾何学的な関係を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a geometrical relationship between an X-ray beam emitted from an X-ray generator and detected by a two-dimensional X-ray detector and a tip of a sample for adjustment.
【図３】図２の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。FIG. 3 is a diagram of the geometrical relationship of FIG. 2 when viewed from above.
【図４】投影像の拡大率を変化させた場合のＸ線発生装
置から放射され二次元Ｘ線検出器によって検出されるＸ
線ビームと、調整用サンプル先端との幾何学的な関係を
示す図である。FIG. 4 X emitted from an X-ray generation device and detected by a two-dimensional X-ray detector when the magnification of a projected image is changed.
It is a figure which shows the geometrical relationship of a line beam and the adjustment sample tip.
【図５】図４の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。FIG. 5 is a view of the geometrical relationship of FIG. 4 when viewed from above.
【図６】図２および図３の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example in which an enlarged projection image obtained with the arrangements of FIGS. 2 and 3 is displayed on the screen.
【図７】図４および図５の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example in which an enlarged projection image obtained with the arrangements of FIGS. 4 and 5 is displayed on the screen.
１ Ｘ線発生装置 ２ 回転テーブル ３ 移動ステージ ４ 二次元Ｘ線検出器 ５ コンピュータ ５ａ 画像表示装置 １０ Ｘ線焦点 ２０ Ｘ線ビーム Ａ 調整用サンプル Ｔ 調整用サンプルの頂点 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray generator 2 Rotary table 3 Moving stage 4 Two-dimensional X-ray detector 5 Computer 5a Image display device 10 X-ray focus 20 X-ray beam A Adjustment sample T Apex of adjustment sample
Claims (1)
転させる回転装置と、上記回転装置を中にして上記Ｘ線
発生装置と対向して配置され、上記Ｘ線発生装置により
放射されて上記被検査物を透過した後のＸ線を検出する
二次元Ｘ線検出装置とを有し、上記被検査物の拡大投影
像を画像表示装置に表示するとともに、上記回転装置に
よって上記被検査物を微小角度づつ回転させて上記二次
元Ｘ線検出器の中央位置での数本の画素列を利用してＣ
Ｔ画像再構成処理に必要な透過データを収集し、上記透
過データにより上記被検査物の断層像を再構成して上記
画像表示装置に表示するＸ線ＣＴ装置において、 上記回転装置に設置されていて、その先端の中央が鋭角
に形成された調整用サンプルと、 上記Ｘ線発生装置との距離を種々に変化させ、各距離に
おいてそれぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置
に表示したときに、上記調整用サンプルの先端部分のそ
れぞれの位置座標と、上記それぞれの拡大投影像の拡大
率とからＸ線焦点の位置を求める検出手段と、 上記検出手段により求めたＸ線焦点の位置に基づいて上
記Ｘ線発生装置の位置を変化させて、上記二次元Ｘ線検
出器の中心の法線延長上にＸ線焦点の位置を一致させ、
かつ被検査物の回転軸を断層面を含む平面上の法線と等
しくさせるＸ線焦点位置調整手段とを設けたことを特徴
とするＸ線ＣＴ装置。1. An X-ray generator, a rotating device that holds and rotates an object to be inspected, and a rotary device that is disposed so as to face the X-ray generating device with the rotating device inside and is radiated by the X-ray generating device. And a two-dimensional X-ray detection device for detecting the X-rays that have passed through the inspection object, the enlarged projection image of the inspection object is displayed on the image display device, and The inspection object is rotated by a small angle, and C is obtained by using several pixel rows at the central position of the two-dimensional X-ray detector.
An X-ray CT apparatus that collects transmission data necessary for T image reconstruction processing, reconstructs a tomographic image of the inspection object based on the transmission data and displays the image on the image display apparatus, and is installed in the rotating apparatus. Then, when the distance between the adjustment sample having the center of its tip formed at an acute angle and the X-ray generator is variously changed, and the enlarged projection images obtained at each distance are displayed on the image display device. Based on the position coordinates of the X-ray focal point obtained by the detecting means, and the detecting means for obtaining the position of the X-ray focal point from the respective position coordinates of the tip portion of the adjustment sample and the magnifying powers of the magnified projected images. By changing the position of the X-ray generator so that the position of the X-ray focal point coincides with the normal extension of the center of the two-dimensional X-ray detector,
The X-ray CT apparatus further comprises X-ray focal point position adjusting means for making the rotation axis of the object to be inspected equal to a normal line on a plane including the tomographic plane.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4152920A JPH05322802A (en) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X-ray ct device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4152920A JPH05322802A (en) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X-ray ct device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322802A true JPH05322802A (en) | 1993-12-07 |
Family
ID=15551043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4152920A Withdrawn JPH05322802A (en) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X-ray ct device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322802A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-05-20 JP JP4152920A patent/JPH05322802A/en not_active Withdrawn
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