JPH05320905A - 昇華性材料の蒸着めっき方法 - Google Patents
昇華性材料の蒸着めっき方法Info
- Publication number
- JPH05320905A JPH05320905A JP15145692A JP15145692A JPH05320905A JP H05320905 A JPH05320905 A JP H05320905A JP 15145692 A JP15145692 A JP 15145692A JP 15145692 A JP15145692 A JP 15145692A JP H05320905 A JPH05320905 A JP H05320905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- electron beam
- plated
- plating raw
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は昇華性めっき原料を用いる蒸着めっ
き方法に関し、その目的は昇華性めっき原料を効果的に
昇華させ、連続走行する被めっき材へ均一に蒸着させる
方法を提供することにある。 【構成】 複数の棒状めっき原料２，２…を被めっき材
の走行方向と平行に並設し、該めっき原料２，２…を上
記走行方向と平行に夫々独立した速度で同一方向へ移動
制御させながら昇華を行なう方法である。
き方法に関し、その目的は昇華性めっき原料を効果的に
昇華させ、連続走行する被めっき材へ均一に蒸着させる
方法を提供することにある。 【構成】 複数の棒状めっき原料２，２…を被めっき材
の走行方向と平行に並設し、該めっき原料２，２…を上
記走行方向と平行に夫々独立した速度で同一方向へ移動
制御させながら昇華を行なう方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は昇華性のめっき原料を電
子線やレーザー光等により加熱して昇華させる蒸着めっ
き方法に関し、詳細にはめっき原料を均一に昇華させて
安定した品質の蒸着めっき層を形成する昇華性材料の蒸
着めっき方法に関するものである。
子線やレーザー光等により加熱して昇華させる蒸着めっ
き方法に関し、詳細にはめっき原料を均一に昇華させて
安定した品質の蒸着めっき層を形成する昇華性材料の蒸
着めっき方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電気めっき法や溶融めっき法よってめっ
きを行うのが困難な金属やセラミックスを、被めっき材
の表面にコーティングする方法として、真空蒸着めっき
法やイオンプレーティング法等が採用されている。これ
らのドライコーティング方法においてめっき原料を蒸発
する手段としては、電子線加熱、抵抗加熱、スパッタリ
ング加熱等がある。このうち電子線加熱であればめっき
原料上面を効果的に加熱でき、十分な蒸発速度を連続し
て得られるという利点が有り、この電子線加熱手段が多
く利用されている。
きを行うのが困難な金属やセラミックスを、被めっき材
の表面にコーティングする方法として、真空蒸着めっき
法やイオンプレーティング法等が採用されている。これ
らのドライコーティング方法においてめっき原料を蒸発
する手段としては、電子線加熱、抵抗加熱、スパッタリ
ング加熱等がある。このうち電子線加熱であればめっき
原料上面を効果的に加熱でき、十分な蒸発速度を連続し
て得られるという利点が有り、この電子線加熱手段が多
く利用されている。
【０００３】例えば帯状の長い被めっき材表面に、電子
線加熱によって蒸発させためっき原料を真空蒸着めっき
するに当たっては、るつぼ内に溶融しためっき原料を収
納すると共に、電子線を被めっき材の幅方向に走査しな
がら照射してめっき原料を蒸発させ、走行する被めっき
材への蒸着を行なう。蒸発によって減少するめっき原料
は連続的に補充を行なうことによって溶融金属上面を一
定レベルに保って蒸発量が一定となる様にし、被めっき
材に均一な厚さ及び品質のめっき層を形成する。
線加熱によって蒸発させためっき原料を真空蒸着めっき
するに当たっては、るつぼ内に溶融しためっき原料を収
納すると共に、電子線を被めっき材の幅方向に走査しな
がら照射してめっき原料を蒸発させ、走行する被めっき
材への蒸着を行なう。蒸発によって減少するめっき原料
は連続的に補充を行なうことによって溶融金属上面を一
定レベルに保って蒸発量が一定となる様にし、被めっき
材に均一な厚さ及び品質のめっき層を形成する。
【０００４】一方Ｃｒ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｍｇ等の金属材料
や酸化物系のセラミックス等の昇華性材料をめっき原料
とする場合は、通常図４に示す様な塊状のめっき原料８
を使用して、この上面へ電子線Ｅを２次元的に走査する
方法が採られる。このとき電子線が照射された部分は温
度上昇して昇華が起こり、めっき原料８の表面側には不
定形の凹部９を形成し、めっき原料を均一に蒸発させる
ことが困難となる。すなわち電子線Ｅが凹部９の底部に
照射されて昇華が起こると、蒸気の一部は凹部９の側壁
部に再析出したり、蒸気の運動方向が制限されることに
なり、被めっき材へ均一なめっき層を形成できなくな
る。
や酸化物系のセラミックス等の昇華性材料をめっき原料
とする場合は、通常図４に示す様な塊状のめっき原料８
を使用して、この上面へ電子線Ｅを２次元的に走査する
方法が採られる。このとき電子線が照射された部分は温
度上昇して昇華が起こり、めっき原料８の表面側には不
定形の凹部９を形成し、めっき原料を均一に蒸発させる
ことが困難となる。すなわち電子線Ｅが凹部９の底部に
照射されて昇華が起こると、蒸気の一部は凹部９の側壁
部に再析出したり、蒸気の運動方向が制限されることに
なり、被めっき材へ均一なめっき層を形成できなくな
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、昇華性めっき原料を均一に昇華させ、連続走行する
被めっき材へ安定した品質及び厚さで蒸着めっき層を形
成する蒸着めっき方法を提供することにある。
は、昇華性めっき原料を均一に昇華させ、連続走行する
被めっき材へ安定した品質及び厚さで蒸着めっき層を形
成する蒸着めっき方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成した本発
明は、複数の棒状めっき原料を被めっき材の走行方向と
平行になる様に並設し、該めっき原料を上記走行方向と
平行に夫々独立した制御速度の下で同一方向へ移動させ
ながら、該めっき原料の昇華を行なうことを要旨とする
ものである。
明は、複数の棒状めっき原料を被めっき材の走行方向と
平行になる様に並設し、該めっき原料を上記走行方向と
平行に夫々独立した制御速度の下で同一方向へ移動させ
ながら、該めっき原料の昇華を行なうことを要旨とする
ものである。
【０００７】
【作用】本発明においては、昇華性めっき原料を棒状と
し、複数のめっき原料を被めっき材の走行方向と平行に
なる様に並設し、各めっき原料を各々独立して制御され
るた供給速度で上記走行方向と平行に移動させる。この
際電子線やレーザー光による昇華消費量に合わせて各め
っき原料の移動速度を制御することとし、この移動によ
って更新されるめっき原料表面へ電子線等が照射され、
被めっき材へ安定した蒸着が行なわれる。すなわちめっ
き原料の移動速度は蒸発速度の大きい部分で速度を速く
し、蒸発速度の小さい部分で移動速度を遅くすることに
より、電子線等は常に同一レベルのめっき原料表面に照
射できることとし、被めっき材幅方向及び長手方向にお
いて均一な品質の蒸着を行なう。
し、複数のめっき原料を被めっき材の走行方向と平行に
なる様に並設し、各めっき原料を各々独立して制御され
るた供給速度で上記走行方向と平行に移動させる。この
際電子線やレーザー光による昇華消費量に合わせて各め
っき原料の移動速度を制御することとし、この移動によ
って更新されるめっき原料表面へ電子線等が照射され、
被めっき材へ安定した蒸着が行なわれる。すなわちめっ
き原料の移動速度は蒸発速度の大きい部分で速度を速く
し、蒸発速度の小さい部分で移動速度を遅くすることに
より、電子線等は常に同一レベルのめっき原料表面に照
射できることとし、被めっき材幅方向及び長手方向にお
いて均一な品質の蒸着を行なう。
【０００８】なお隣設する棒状めっき原料同士の間隔は
０．５〜１２ｍｍの範囲とすることが好ましく、０．５
ｍｍ未満であると隣設しためっき原料同士が固着されて
移動を阻止する恐れがあり、１２ｍｍを超えると電子線
等の照射効率が低下する。
０．５〜１２ｍｍの範囲とすることが好ましく、０．５
ｍｍ未満であると隣設しためっき原料同士が固着されて
移動を阻止する恐れがあり、１２ｍｍを超えると電子線
等の照射効率が低下する。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の一例を示す説明図である。矢
印Ａ方向に連続走行する被めっき材１の下方部には、断
面が矩形の棒状めっき原料２，２…が前記走行方向と平
行に複数本並設される。該めっき原料２，２…は図２に
示す様に枠体４内に収納され、その上下は供給ローラ５
ａ，５ｂの間に挟持される。該供給ローラ５ｂには駆動
モータ６が別々に接続され、各めっき原料２，２…は独
立した供給速度で矢印Ｂ方向（図１参照）へ供給できる
様に構成される。また隣設するめっき原料２，２同士の
間隔Ｋは０．５〜１２ｍｍの範囲内で設置される。これ
らめっき原料２，２…の下方部には遮蔽板３が配設さ
れ、上記めっき原料２，２の間隙を通過した電子線Ｅの
エネルギーを吸収し、周辺機器の損傷を防止する。
印Ａ方向に連続走行する被めっき材１の下方部には、断
面が矩形の棒状めっき原料２，２…が前記走行方向と平
行に複数本並設される。該めっき原料２，２…は図２に
示す様に枠体４内に収納され、その上下は供給ローラ５
ａ，５ｂの間に挟持される。該供給ローラ５ｂには駆動
モータ６が別々に接続され、各めっき原料２，２…は独
立した供給速度で矢印Ｂ方向（図１参照）へ供給できる
様に構成される。また隣設するめっき原料２，２同士の
間隔Ｋは０．５〜１２ｍｍの範囲内で設置される。これ
らめっき原料２，２…の下方部には遮蔽板３が配設さ
れ、上記めっき原料２，２の間隙を通過した電子線Ｅの
エネルギーを吸収し、周辺機器の損傷を防止する。
【００１０】こうして本発明では上記めっき原料２，２
…を夫々独立して制御される移動速度で矢印Ｂ方向へ移
動させながら、電子線Ｅを幅方向へ走査させつつめっき
原料２，２…表面上へ照射させ、昇華した蒸気を連続走
行する被めっき材１へ蒸着する。上記めっき原料２の断
面形状は図例のものに制限されず、台形や円形等であっ
ても良く、その移動手段も拡縮シリンダやロッドレスシ
リンダ等を用いるもの等であっても良い。
…を夫々独立して制御される移動速度で矢印Ｂ方向へ移
動させながら、電子線Ｅを幅方向へ走査させつつめっき
原料２，２…表面上へ照射させ、昇華した蒸気を連続走
行する被めっき材１へ蒸着する。上記めっき原料２の断
面形状は図例のものに制限されず、台形や円形等であっ
ても良く、その移動手段も拡縮シリンダやロッドレスシ
リンダ等を用いるもの等であっても良い。
【００１１】（実験例１）被めっき材料としてアルカリ
脱脂済み冷延鋼板コイル（厚さ０．７ｍｍ，幅１５０ｍ
ｍ，長さ３００ｍ）を用いると共に、めっき原料として
厚さ４０ｍｍ，幅４０ｍｍ，長さ６００ｍｍのＣｒ製棒
材を６本準備し、これら棒材同士の間を３ｍｍに保った
状態で０．５〜１．０ｍｍ／ｍｉｎの独立した移動速度
で移動させた（被めっき材幅方向の中央部で高速度とし
両側部で低速度とした）。電子線は１０ＫＷの出力で幅
方向に２００ｍｍの長さにわたって走査を行なうと共
に、鋼板は電子線照射によって５７３Ｋに昇温して速度
５ｍ／ｍｉｎの速度で走行させた。
脱脂済み冷延鋼板コイル（厚さ０．７ｍｍ，幅１５０ｍ
ｍ，長さ３００ｍ）を用いると共に、めっき原料として
厚さ４０ｍｍ，幅４０ｍｍ，長さ６００ｍｍのＣｒ製棒
材を６本準備し、これら棒材同士の間を３ｍｍに保った
状態で０．５〜１．０ｍｍ／ｍｉｎの独立した移動速度
で移動させた（被めっき材幅方向の中央部で高速度とし
両側部で低速度とした）。電子線は１０ＫＷの出力で幅
方向に２００ｍｍの長さにわたって走査を行なうと共
に、鋼板は電子線照射によって５７３Ｋに昇温して速度
５ｍ／ｍｉｎの速度で走行させた。
【００１２】なおめっきの開始時期は、めっき原料の全
てを０．５ｍｍ／ｍｉｎの速度で供給しながら、電子線
出力を徐々に高め３０分経過後１０ＫＷに固定し、さら
にこれより１０分経過した時点とした。
てを０．５ｍｍ／ｍｉｎの速度で供給しながら、電子線
出力を徐々に高め３０分経過後１０ＫＷに固定し、さら
にこれより１０分経過した時点とした。
【００１３】めっき後の鋼板において図３に示す様に幅
方向に３箇所を測点Ｓとし、２０ｍ毎（４分毎）にＣｒ
めっき付着量を測定して蒸着めっきの均一性について調
査した。そしてめっき開始点中央のＣｒめっき付着量を
基準値として３割以上の異なる値が出現した地点をもっ
て均一蒸着終了地点とした。比較例としては１個のめっ
き原料（厚さ１５０ｍｍ，幅２５０ｍｍ，長さ２５０ｍ
ｍ）を塊状のまま無移動で使用した場合と、この原料を
鋼板移動方向と平行に０．５ｍｍ／ｍｉｎで移動を行な
った場合について、夫々均一蒸着終了地点を調査した。
表１において上記均一蒸着終了地点の調査結果を示す。
方向に３箇所を測点Ｓとし、２０ｍ毎（４分毎）にＣｒ
めっき付着量を測定して蒸着めっきの均一性について調
査した。そしてめっき開始点中央のＣｒめっき付着量を
基準値として３割以上の異なる値が出現した地点をもっ
て均一蒸着終了地点とした。比較例としては１個のめっ
き原料（厚さ１５０ｍｍ，幅２５０ｍｍ，長さ２５０ｍ
ｍ）を塊状のまま無移動で使用した場合と、この原料を
鋼板移動方向と平行に０．５ｍｍ／ｍｉｎで移動を行な
った場合について、夫々均一蒸着終了地点を調査した。
表１において上記均一蒸着終了地点の調査結果を示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】本発明実施例においては比較例に比べめっ
き付着量の均一性について顕著な向上が認められた。 （実験例２）実験例１の実施例において棒状めっき原料
同士の間隔を種々に変え、めっき原料同士の固着状況及
びアルミナ製の遮蔽板の損傷状況を調べた。表２はその
結果を示すものであり、めっき原料同士の固着状況は、
覗き窓を通して電子線照射部分を目視観察して次の評価
を行なった。 ○ --- めっき原料間の隙間が明らかに認められる。 △ --- めっき原料間の隙間がふさがりかけている。 × --- めっき原料間の隙間が完全にふさがっている。
き付着量の均一性について顕著な向上が認められた。 （実験例２）実験例１の実施例において棒状めっき原料
同士の間隔を種々に変え、めっき原料同士の固着状況及
びアルミナ製の遮蔽板の損傷状況を調べた。表２はその
結果を示すものであり、めっき原料同士の固着状況は、
覗き窓を通して電子線照射部分を目視観察して次の評価
を行なった。 ○ --- めっき原料間の隙間が明らかに認められる。 △ --- めっき原料間の隙間がふさがりかけている。 × --- めっき原料間の隙間が完全にふさがっている。
【００１６】また遮蔽板の損傷状況は、めっき終了後の
遮蔽板を目視観察して次の評価を行なった。 ○ --- 損傷の痕跡が認められない。 △ --- 損傷の痕跡が認められるが、殆ど減肉は認めら
れない。 × --- 明らかな減肉が認められる。
遮蔽板を目視観察して次の評価を行なった。 ○ --- 損傷の痕跡が認められない。 △ --- 損傷の痕跡が認められるが、殆ど減肉は認めら
れない。 × --- 明らかな減肉が認められる。
【００１７】
【表２】
【００１８】間隔が０．５〜１２ｍｍの範囲内であれば
めっき原料同士の固着は殆どなく、また遮蔽板の損傷も
殆ど見られなかった。
めっき原料同士の固着は殆どなく、また遮蔽板の損傷も
殆ど見られなかった。
【００１９】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、昇華性のめっき原料を連続的に昇華させるに当た
り、安定した蒸着量で被めっき材へ均一な蒸着めっき層
を形成できることとなった。
で、昇華性のめっき原料を連続的に昇華させるに当た
り、安定した蒸着量で被めっき材へ均一な蒸着めっき層
を形成できることとなった。
【図１】本発明方法を示す説明図である。
【図２】棒状めっき原料の移動手段を示す説明図であ
る。
る。
【図３】めっき付着量の測定地点を示す説明図である。
【図４】従来方法によるめっき原料の消費状態を示す説
明図である。
明図である。
１ 被めっき材 ２ 棒状めっき原料 ３ 遮蔽板 ４ 枠体 ５ａ，５ｂ 供給ロール ６ 駆動モータ
Claims (2)
- 【請求項１】 連続走行する帯状被めっき材に昇華性成
分を蒸着する昇華性材料の蒸着めっき方法において、複
数の棒状めっき原料を前記走行方向と平行となる様に並
設し、該めっき原料を上記走行方向と平行に夫々独立し
た制御速度の下で同一方向へ移動させながら該めっき原
料の昇華を行なうことを特徴とする昇華性材料の蒸着め
っき方法。 - 【請求項２】 請求項１において隣接する棒状めっき原
料同士の間隔を０．５〜１２ｍｍの範囲内とする昇華性
材料の蒸着めっき方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15145692A JPH05320905A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 昇華性材料の蒸着めっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15145692A JPH05320905A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 昇華性材料の蒸着めっき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05320905A true JPH05320905A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15518965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15145692A Withdrawn JPH05320905A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 昇華性材料の蒸着めっき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05320905A (ja) |
-
1992
- 1992-05-18 JP JP15145692A patent/JPH05320905A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0535019B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von substratmaterial | |
| US4816293A (en) | Process for coating a workpiece with a ceramic material | |
| US2665225A (en) | Apparatus and process for coating by vapor deposition | |
| US4230739A (en) | Method of evaporating melts of alloys of metals having different vapor pressures | |
| EP0794266B1 (de) | Vorrichtung zum Beschichten einer Substratfläche | |
| EP0734459B1 (de) | Verfahren und einrichtung zum plasmaaktivierten bedampfen | |
| CN112272714A (zh) | 用于涂覆基底的真空沉积设备和方法 | |
| JPH05320905A (ja) | 昇華性材料の蒸着めっき方法 | |
| JP3407281B2 (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| CA1264613A (en) | Process and apparatus for metallising foils in a vacuum roll coating machine | |
| JP3399570B2 (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| KR0160067B1 (ko) | 진공증착강판제조용 저항가열 증발원 | |
| JP3482969B2 (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JPH08158045A (ja) | 真空蒸着装置のルツボ温度制御方法 | |
| JPH0633237A (ja) | 昇華性材料の蒸着めっき方法 | |
| JP5853804B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH09143694A (ja) | 真空蒸着装置のルツボ加熱方法 | |
| Zhang et al. | In situ lateral patterning of thin films of various materials deposited by physical vapor deposition | |
| JP6020704B2 (ja) | 真空蒸着装置を用いる蒸着フィルムの製造方法 | |
| JPH0336519Y2 (ja) | ||
| JPH05106028A (ja) | エネルギービームによる蒸着方法 | |
| JPS6320464A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| Harshavardhan et al. | Pulsed electron-beam deposition of high temperature superconducting films for coated conductor applications | |
| JPH09324261A (ja) | 真空蒸着装置とその膜厚制御方法 | |
| JPH02217465A (ja) | プラズマビーム発生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |