JPH05316284A - 干渉縞ノイズ防止機構付撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イメージセンサ面上に発生する干渉縞に起因
する干渉縞ノイズが有効に抑えられた良好な画質を提供
する。 【構成】 イメージセンサ３とこれを保護するリッドガ
ラス２との相対姿勢に対して、所定の傾斜角度を積極的
に付与することにより、イメージセンサ３内の各構成素
子に対して同一数の干渉縞を付与し、特定素子のみで干
渉縞ノイズを感知することがないよう各構成素子が受け
る平均光強度を平準化させて干渉縞ノイズの防止を図
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザー光線の如き可
干渉光線を用い、各種被撮影物の撮影をＣＣＤで構成の
イメージセンサを用いて行う撮像装置に係り、特にレー
ザー干渉計測装置等により得られた画像の干渉縞ノイズ
を除去することができる干渉縞ノイズ防止機構付撮像装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、イメージセンサに入射する光とし
ては、白色光が使用されることが多い。この白色光は干
渉性が殆んどなく、干渉作用による画像ノイズの発生は
ないが、反射による画像ノイズを発生していた。つまり
この画像ノイズとしては、イメージセンサの直前に配置
されたリッドガラスの裏表面反射（図１２のＢ等）に起
因するゴースト像や、リッドガラスとイメージセンサと
の面間反射（図１２のＣ等）により発生するゴースト像
等が考えられている。

【０００３】そこで、このゴースト像を形成する光量を
低減させて画像ノイズの発生を防止するため、通常、リ
ッドガラス両面に広帯域の反射防止膜を付着させると共
に、ゴースト像と必要な真の像とをなるべく合致させる
ことで画像ノイズの低減をはかるために、リッドガラス
とイメージセンサ面をなるべく平行になるように配設し
ていた。

【０００４】即ち、従来の撮像装置は図１１（ａ），
（ｂ）の如く、イメージセンサ１００がパッケージ１０
５に固着されており、外的雰囲気がもたらすイメージセ
ンサ１００の経時性能劣化を防止する目的で、そのイメ
ージセンサ１００が固着されているパッケージ１０５の
凹部を覆うようにリッドガラス（カバーガラス）１０２
がそのパッケージ１０５に固着されてパッケージ１０５
の凹部を封止している。また、イメージセンサ１００と
リッドガラス１０２とで構成される密封空間１０３内に
は乾燥した窒素ガスが封入されている。このイメージセ
ンサ１００が固着されたパッケージ１０５はソケット１
０１に収容され、光が入射するソケット１０１の開口部
には分光感度補正用のフィルター１０４が装着される。

【０００５】このイメージセンサ１００はフレームトラ
ンスファー型の素子であり、図１５（ａ），（ｂ）に示
す構造となっている。イメージセンサ１００の１ピクセ
ル（Pixel)は図中Ｘ−Ｙの領域であり、光を感知する部
分はＬ−Ｙの領域である。ここでＸおよびＹの寸法は、
例えばＸが約８．５μｍであり、Ｙが約１９．７５μｍ
である。なお、同図中、１００Ａはイメージ部、１００
Ｂは蓄積部、ＳＲはシリアルレジスタ、ＣＳはチャンネ
ルストップ、ＴＥは電極を示すものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来方式の画像ノイズ除去手段は、画像のゴースト像（２
重像）の防止を目的としたものであり、発生原理の異る
干渉縞ノイズに対しては有効ではなかった。その理由と
して、次のようなことが考えられる。 リッドガラスはイメージセンサ面に対して、ほぼ平行
に装着されており、従って例えば使用光源に干渉性の良
いレーザー光等を用いると、その平行性に見合った縞間
隔の干渉縞がイメージセンサ面上に発生し、この干渉縞
による光の強度の強弱がノイズとして画像情報に重畳し
てしまう。即ち干渉縞ノイズが発生してしまうことがあ
る。これについて図１１および図１２を参照しながら詳
しく説明する。なお図１２はリッドガラス１０２とイメ
ージセンサ１００との間での光の行路を示す図である。

【０００７】リッドガラス１０２の前方より入射した可
干渉光線ＣＲは、リッドガラス１０２を屈折して透過し
イメージセンサ１００に到達する。そこで反射されて再
びリッドガラス１０２の表裏面で反射され、イメージセ
ンサ１００に戻る。これらの反射・屈折を繰り返しなが
ら光の強度が減衰していく。いま、比較的減衰の少ない
状態でイメージセンサ１００に到達する光の強度を考え
てみると、入射光強度をＩ、リッドガラス１０２の両面
に施された反射防止膜の反射率をｒ、イメージセンサ１
００の表面反射率をＲとすると、 光線Ａの強度Ｉ_A ＝Ｉ（１−ｒ）² 光線Ｂの強度Ｉ_B ＝Ｉ（１−ｒ）² ・ｒ² 光線Ｃの強度Ｉ_C ＝Ｉ（１−ｒ）² ・ｒ・Ｒ 光線Ｄの強度Ｉ_D ＝Ｉ（１−ｒ）⁴ ・ｒ・Ｒ となる。一般的に反射防止膜の反射率（ｒ）は０．２〜
０．３％であり、イメージセンサの反射率（Ｒ）は数１
０％である。よってＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの光線の強度は Ｉ_A ＞＞Ｉ_C ＞Ｉ_D ＞＞Ｉ_B の順となり、Ｉ_A はＩ_C ，Ｉ_D の１×１０³ 倍程度、Ｉ
_C とＩ_D は同程度、Ｉ_AはＩ_B の２．５×１０⁵ 倍程度
の強度を持つこととなる。

【０００８】リッドガラスに施されている広帯域反射
防止膜は、そこでの反射を完全に防止することができ
ず、通常０．２〜０．３％の反射が残る。このため、イ
メージセンサ面では、リッドガラスを透過してイメージ
センサ面に到達する第１の光線Ａと該光線がイメージセ
ンサ面で一部反射されて再びリッドガラス面に戻り、そ
の表面及び裏面で反射されて再びイメージセンサ面に到
達する第２，第３の光線Ｃ，Ｄとで干渉して干渉縞を形
成してしまうことがあるが、このような現象は原理上避
け難いことである。これについて図１３を参照しながら
詳しく説明する。

【０００９】図１３に二光束干渉縞の発生の模式図を示
す。コヒーレントな波長λの光束１，２が一方は垂直
に、他方は角度θをもって入射した時に発生する二光束
干渉縞のピッチＰは次の如く記述される。 Ｐ＝λ／ sinθ なお、ここで前述したＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４本の光線で発
生する二光束干渉縞は、それらの組合せから（Ａ，
Ｂ），（Ａ，Ｃ），（Ａ，Ｄ），（Ｂ，Ｃ），（Ｂ，
Ｄ），（Ｃ，Ｄ）の６組となる。

【００１０】しかし、光線Ｂの強度Ｉ_B は非常に弱いた
め、光線Ｂに起因して発生する干渉縞は無視できる程度
となる。従って、Ａ，Ｃ，Ｄの３本の光線による３組の
干渉縞を認識できないようにすればよい。一般に強度Ｉ
₁ と強度Ｉ₂ のコヒーレントな光で形成される干渉縞の
コントラストは次の如く記述できる。 Ｉ_max ：光の強度の最大値、Ｉ_min ：光の強度の最小値
としたとき、 コントラスト Ｃ＝（Ｉ_max −Ｉ_min ）／（Ｉ_max ＋Ｉ
_min ） ここで、Ｉ₁ ＞Ｉ₂ とした時、Ｉ_max ＝（３Ｉ₂ ＋
Ｉ₁ ）／２ Ｉ_min ＝（Ｉ₁ −Ｉ₂ ）／２ Ｃ＝２Ｉ₂ ／（Ｉ₁ ＋Ｉ₂ ） となる。

【００１１】ここで光線ＡとＣとによるコントラスト
は、 Ｃ_AC＝２ｒ・Ｒ／（１＋ｒ・Ｒ） 光線ＡとＤによるコントラストＣ_ADは、

【００１２】

【数１】

【００１３】光線ＣとＤによるコントラストＣ_CDは、

【００１４】

【数２】

【００１５】光線ＣとＤで作られる干渉縞は、そのコン
トラストがほぼ１に等しく鮮鋭度が高いが、実際はバッ
クグラウンドに光線Ａが存在するため実質的なコントラ
スト〔Ｃ_CD〕は低く、近似的に

【００１６】

【数３】

【００１７】となる。なお、ここで反射防止膜の反射率
ｒが非常に小さいことから

【００１８】

【数４】

【００１９】と考えると、〔Ｃ_CD〕＝ｒ・Ｒ／（０．５
＋ｒ・Ｒ）となる。また、同様にＣ_AD＝２ｒ・Ｒ／（１
＋ｒ・Ｒ）となり、Ｃ_AC＝２ｒ・Ｒ／（１＋ｒ・Ｒ）と
ほぼ同等のコントラストの干渉縞を発生することが理解
できる。

【００２０】ところで、図１３で説明した如く二光束干
渉縞のピッチは、Ｐ＝λ／ sinθで記述できることか
ら、θ＝０の角度で入射した二光束の干渉縞ピッチは無
限大となり、干渉縞ノイズとしては認識されずに画面の
明るさが変化することになる。リッドガラス１０２の裏
表面からの反射光で形成される干渉縞について考えるな
らば、リッドガラス１０２の平行度を良くし、 〔（発生する縞ピッチ）／２〕＞〔イメージセンサ素子
の有効画面の縦横方向の長い方向の寸法〕 とすれば、画面に干渉縞ノイズは現れない。例えばイメ
ージセンサ素子の有効画面の長手方向のサイズ１２．５
mm、λ＝０．６３μｍとした時はリッドガラスの表裏面
の平行度（α度＝θ／２）を、０．６３×１０^-3／２ s
in２α＞１２．５により算出される約α＝２．６秒以内
に仕上げれば良い。

【００２１】しかし、イメージセンサ１００及びリッド
ガラス１０２は、パッケージ１０５に対し接着剤で固着
されているため、接着工程でイメージセンサ１００とリ
ッドガラス１０２とが完全に平行になるように貼付ける
ことは現実には難しい。またリッドガラス１０２も、平
行性良く加工ができたとしても厚さが薄いため完全な平
面とはなりえず、イメージセンサ１００との間に平行性
不良を生じてしまうのは避けられない。このような事情
から、図１２について説明した光線ＡとＣ，ＡとＤの２
種類の干渉縞は残ることになる。しかしリッドガラス１
０２の平行度を約２．６秒以内におさまるように平行度
良く加工すれば、光線ＣとＤはほぼ同一光路を通ること
となり、１種類の干渉縞ノイズしか見かけ上発生しない
ことになる。即ち、光線ＡとＣで発生する干渉縞ノイズ
を防止できれば、同時に光線ＡとＤで発生する干渉縞ノ
イズも防止することができる。

【００２２】イメージセンサが干渉縞を認識するために
は、図１４の如く、構成ピクセルのうちＰ₁ ，Ｐ₂ ，Ｐ
₅ ，Ｐ₆ のように暗縞を受けるものと、Ｐ₃ ，Ｐ₄ のよ
うに明縞を受けるものが存在しなければならない。前述
した如く、イメージセンサ１００とリッドガラス１０２
を完全に平行に配設することは非常に困難であり現実的
ではないので、図１４のＰ₁ 〜Ｐ_n までの間にどうして
も干渉縞ノイズが発生してしまうことになる。そこで、
本発明は、上記の事情に鑑み、各ピクセルの受ける光の
平均強度を等しくして干渉縞ノイズとして認識できない
ようにすることで、正規の情報に乱れが発生するのを防
止するとともに、特にＣＣＤ等のイメージセンサにより
撮影した情報を画面上に表示する際にその画面上に見え
る干渉縞ノイズを防止することができる干渉縞ノイズ防
止機構付撮像装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００２３】

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明に係る干渉縞ノイズ防止機構付撮像装置
は、電荷結合素子を１次元もしくは２次元に多数配列
し、これを順次読み出すための回路を基板上に集積化し
たイメージセンサを備え、このイメージセンサにより被
撮影物の撮影を行う撮像装置において、イメージセンサ
の受光面から反射しこのイメージセンサの受光面を保護
するリッドガラス面で反射する反射光とリッドガラスを
透過し上記受光面に到達する入射光とによって生じる干
渉縞がイメージセンサ面の１ピクセル上に１本以上発生
するように、リッドガラス面がイメージセンサ受光面に
対して傾けて配設されているものである。

【００２４】

【作用】本発明は、イメージセンサ面に対してリッドガ
ラスを所定の角度以上傾けることにより、イメージセン
サ面に直接到達する光線と、このイメージセンサ面で反
射され、リッドガラスにより再び反射されてイメージセ
ンサ面に到達する光線との干渉作用で発生する二光束干
渉縞の強制的な高密度化を図り、これによってイメージ
センサの各構成素子（１ピクセル）内に干渉縞を１本以
上発生させることで各ピクセルからの信号レベルの均一
化を図る。

【００２５】

【実施例】以下この発明の実施例について添付図面を参
照しながら説明する。図１はこの発明に係る干渉縞ノイ
ズ防止機構付撮像装置の第１実施例を示すものである。
この撮像装置は、イメージセンサ３に対しリッドガラス
２を、後に説明する関係を満たすような角度αだけ傾斜
するようにパッケージ１５に封着し、イメージセンサ３
に対して分光感度補正用フィルタ４が平行状態となるよ
うにパッケージ１５とフィルタ４とをソケット１に取り
付けた構成となっており、リッドガラス２とイメージセ
ンサ３とで画成した密封空間５が楔形に形成されてい
る。イメージセンサ３はフレームトランスファー型の素
子であり、その構造は先に説明した図１５に示すものと
なっている。

【００２６】パッケージ１５は、その凹部１５ａ内にイ
メージセンサ３が固着され、その凹部１５ａを覆うよう
にリッドガラス２が固着される。リッドガラス２が固着
される４つの縁（上面）のうち取付部１５ｂ′は角度α
に相当する分だけ１５ｂより高くしてあり、他の取付部
１５ｃ，１５ｃ′はそれぞれ先の傾斜角αと同一の傾き
をもった構造となっている。ソケット１には開口した孔
１ａ内にイメージセンサ３がパッケージ１５に納められ
て配設されており、その開口した孔１ａを覆うように分
光感度補正用フィルタ４が配設されている。リッドガラ
ス２は、イメージセンサ３との平行性を積極的に低下さ
せることにより、パッケージ１５内のこれら双方の間に
楔形の空間５を形成し、これによって発生する二光束干
渉縞のピッチＰが、図２（ａ）において次式 Ｄ≧〔（λ／２）＋（Ｘ−Ｌ）tan α₀ 〕・Ｎ ……（イ） ただし、ここで Ｄ：リッドガラス２のイメージセンサ３の有効ピクセル
領域δ内での立上り量 λ：使用する干渉性の良い光の波長 Ｎ：イメージセンサの有効ピクセル数 を満すようにリッドガラス２とイメージセンサ３との傾
斜角α₀ 〔＝ tan^-1（Ｄ′／Ｎ・Ｘ）〕を調節させてあ
る。例えば、Ｘ＝８．５μｍ，Ｙ＝１９．７５μｍ，Ｌ
＝７μｍ，横（水平）方向の有効ピクセル数＝７５６
個，縦（垂直）方向の有効ピクセル数＝２４４個のイメ
ージセンサ素子の場合には、リッドガラス２とイメージ
センサ素子との傾斜角α₀ が、λ＝０．６３μｍとした
とき、 tanα₀ ＝（０．６３×１０^-3／２）／７×１０
^-3により導かれる約２．６°となる。

【００２７】なお、この関係式（イ）は、次のようにし
て導出される。図２（ｃ）において、リッドガラス２を
透過してイメージセンサ３のピクセルに到達した光と、
その到達した光の一部がピクセルで反射してリッドガラ
ス２のピクセル側の面（即ち下面）で反射し、再度ピク
セルに入射する光との干渉作用について考えてみる。こ
の場合、２つの光の光路差は、２Ｓ（ただしＳはａｂ間
の距離）となる。図２（ｃ）に示すようにリッドガラス
２が傾いていると、光路差は図の左から右に行くに従い
増加することがわかる。前記光路差が２Ｓ＝〔（Ｍ＋
１）／２〕・λの時は干渉縞は暗くなり、２Ｓ＝（Ｍ／
２）・λの時は干渉縞は明るくなる。但し、Ｍは干渉縞
の順番であり、Ｍ＝０，１，２…である。従って、間隔
Ｓが半波長（λ／２）増加する毎に、白黒１組の干渉縞
が発生する。ところが図２（ｂ）に示すイメージセンサ
３の各ピクセル（Ｘ−Ｙ領域）内の受光部（Ｌ−Ｙ）内
に白黒１組の干渉縞Ｉが形成されるときは、明るい縞
（白）と暗い縞（黒）それぞれの明るさが受光部（Ｌ−
Ｙ領域）内で平均化された明るさとなり、受光部（Ｌ−
Ｙ領域）は干渉縞ノイズとして感知できなくなる。この
ような状況を実現するためには、少なくともリッドガラ
ス２を各ピクセル毎に丁度光の半波長（λ／２）分の光
学距離だけ増加するように傾けておけばよく、このとき
（図２（ａ）において実線で示す。このときの傾きα₀
＝ tan^-1（Ｄ／Ｎ・Ｘ）リッドガラス２の傾き量Ｄは、
光の半波長（λ／２）、ピクセルの寸法（Ｘ，Ｌ）、ピ
クセル数（Ｎ）により、Ｄ＝〔（λ／２）＋（Ｘ−Ｌ）
tan α₀ 〕・Ｎで表わされる。さらに、先の状況を敷衍
すれば、平均化により干渉縞ノイズを感知させなくする
ためには、前記式で表わされる傾き量Ｄ以上、即ち図２
（ａ）において１点鎖線で示すようにリッドガラス２′
を傾けておけば（α＞α₀ ）よく、各ピクセルの受光部
内には１組以上の干渉縞が形成される。これにより、明
るい縞と暗い縞の明るさが平均化されて、各ピクセルは
干渉縞ノイズとして感知できない。

【００２８】このようにすることにより、つまり各ピク
セルの受光部に干渉縞１１を図３に示すように１本以上
発生させ、各ピクセルＰ₁ ，Ｐ₂ ・・・からの出力信号
を略均等化することにより、干渉縞ノイズとして認識で
きないようにしているので、干渉縞ノイズとしての発生
が防止できる。なお、本発明は、リッドガラスとイメー
ジセンサ面の相対姿勢により生じる干渉縞ノイズを防止
するためのものであり、ゴースト像（２重像）対策用の
リッドガラス両面への反射防止膜、特に可干渉光源を出
射する光源としてはレーザーに代表されるように単色光
源であるため、その特定波長をねらった高能率の反射防
止膜を施すこと、あるいは結像の収差を少なくするた
め、リッドガラスをなるべく薄く平行性を良く加工する
こと等については、従来と同様に必要である。

【００２９】次に、この発明に係る干渉縞ノイズ防止機
構付撮像装置の第２実施例について説明する。図４は、
この発明に係る第２実施例の撮像装置を示すものであ
り、この撮像装置は、同一高さレベルに取付部１５ｂ，
１５ｂ′を形成したパッケージ１５に、リッドガラス６
を第１実施例と同一の所定角度αだけ傾斜させて封着さ
せてある。このリッドガラス６は、図５（ａ），（ｂ）
に示すように平行平板６ａと、この平行平板６ａの両面
に接着した２枚の楔形板６ｂ，６ｃとから構成されてい
る。そして、２枚の楔形板６ｂ，６ｃは共にその長さお
よび幅が平行平板６ａより若干短く形成されており、平
行平板６ａの上下左右両面の両端部を残すようにして各
楔形板６ｂ，６ｃを接着させてある。従ってこの実施例
によれば、リッドガラス６をパッケージ１５に固着させ
る場合には、従来の製造方法と同様に、パッケージ１５
の取付部である凹部を囲む４つの縁（上面）に平行平板
６ａの下面上下左右４つの端部が密着するような状態で
配置されている。

【００３０】次に、この発明に係る干渉縞ノイズ防止機
構付撮像装置の第３実施例について説明する。図６は、
この発明に係る第３実施例の撮像装置を示すものであ
り、この撮像装置は、同一高さレベルにステップ状の取
付部１５′ｄ，１５′ｄを形成したソケット１５′に対
してリッドガラス７を所定角度傾斜させて封着させるた
めに、そのリッドガラス７の一方側端面にステップ状の
接着部７ａを形成した構成となっている。この接着部７
ａは、ダイヤモンド砥石の如き加工手段により傾斜角度
に合せた所定の深さ及び幅に加工されており、ソケット
１５′の取付部１５′ｄに係止した状態で接着させるよ
うになっている。

【００３１】次にこの発明に係る干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置の第４実施例について説明する。図７は、こ
の発明に係る第４実施例の撮像装置を示すものであり、
この撮像装置は、平行平板状のリッドガラス８をソケッ
ト１５′の同一高さレベルに形成した取付部１５′ｄ，
１５′ｄに封着させる際に、一方の取付部１５′ｄに図
８に示すようなスペーサ９を介在させる構成となってい
る。このスペーサ９は、リッドガラス８の傾斜させよう
とする角度に合せた傾斜面９ａを有する四角柱状に形成
されたものが使用されている。

【００３２】次にこの発明に係る干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置の第５実施例について説明する。図９は、こ
の発明に係る第５実施例の干渉縞ノイズ防止機構付撮像
装置を示すものであり、この撮像装置は、図１０に示す
如き略口字型のスペーサ１０を使用している。このスペ
ーサ１０は、一端側に向けてリッドガラス８の傾斜させ
ようとする角度と同一角度に傾斜させた上面１０ａを有
する形状となっており、そのスペーサ１０の一端側の厚
みが他端側の厚みよりも厚く、つまり取付部１０ｂ側か
ら１０ｂ′側に向って一定傾斜角度αの割合で徐々に厚
みが厚くなっている。そして、このスペーサ１０をパッ
ケージ１５″の取付部１５″ｂ，１５″ｃに接着させた
のち、平行平板状のリッドガラス８を封着させてある。

【００３３】従って、この実施例によれば、従来からの
パッケージをそのまま利用し、これにスペーサ１０をセ
ットして接着させたのち、リッドガラス８をスペーサ１
０に接着すればよい。

【００３４】なお、これらの実施例において、ピクセル
の配列が等間隔でなく、複数のピッチ（周期）で配列さ
れている例えばインタライン型のＣＣＤを用いた場合に
は、狭いピクセルピッチに対して傾き角が上記で述べた
条件を満たせばよいことは言うまでもない。なお、これ
らの実施例において、フィルタの及ぼす干渉作用につい
ては考慮してないが、このフィルタに起因する干渉縞ノ
イズが大きな影響を及ぼすならば、同様に勾配をもたせ
て取付けることにより、効果的に解消させることができ
る。なお、これまでの説明においてはリッドガラスをイ
メージセンサ素子に関して一方向に傾斜させることを例
示したが、規則的な略平行な干渉縞を発生させ、その干
渉縞が各ピクセルに１本以上となるようにすれば良く、
傾斜方向を特に限定する必要がないものである。

【００３５】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、イメージセンサとそれを保護するリッドガラスとの
相対姿勢に所定の傾斜量αを積極的に付与することによ
り、レーザー等の可干渉光線を出射する光源を用いた像
撮影記録装置、計測装置、特にレーザー干渉計測装置等
に於て信号出力に干渉縞ノイズが重畳することを有効に
防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）この発明の第１実施例の干渉縞ノイズ防
止機構付撮像装置の構成を示す断面図である （ｂ）同撮像装置の分解斜視図である

【図２】（ａ）この第１実施例におけるリッドガラスの
立ち上がり量と干渉縞数との関係を示す平面図である （ｂ）この第１実施例におけるイメージセンサのイメー
ジ部の詳細を示す平面図である （ｃ）リッドガラスとイメージセンサとの間で光が反射
するときの状態を示す光路図である

【図３】この発明の原理を示す説明図である

【図４】この発明の第２実施例の干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置を示す断面図である

【図５】（ａ）この発明の第２実施例に使用するリッド
ガラスを示す構成図である （ｂ）同リッドガラスの分解斜視図である

【図６】この発明の第３実施例の干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置を示す断面図である

【図７】この発明の第４実施例の干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置を示す断面図である

【図８】この発明の第４実施例に使用するスペーサを示
す斜視図である

【図９】この発明の第５実施例の干渉縞ノイズ防止機構
付撮像装置を示す断面図である

【図１０】図９に示す干渉縞ノイズ防止機構付撮像装置
の分解斜視図である

【図１１】（ａ）従来の撮像装置の構成を示す断面図で
ある （ｂ）同装置の分解斜視図である

【図１２】リッドガラスとイメージセンサとの間での干
渉作用を示す光路図である

【図１３】二光束干渉縞の発生原因を説明する説明図で
ある

【図１４】従来の撮像装置においてイメージセンサに形
成される干渉縞を示す説明図である

【図１５】（ａ）イメージセンサの構成を示す構成図で
ある （ｂ）同イメージセンサの要部平面構成図である

【符号の説明】

２，６，７，８ リッドガラス ３ イメージセンサ １５，１５′，１５″ パッケージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｎ 5/335 Ｖ (72)発明者 金谷 元徳 埼玉県大宮市植竹町１丁目324番地 富士 写真光機株式会社内 (72)発明者 野口 憲一 埼玉県大宮市植竹町１丁目324番地 富士 写真光機株式会社内 (72)発明者 長屋 芳明 東京都千代田区神田須田町１丁目23番２号 日立電子株式会社内 (72)発明者 伊藤 比佐史 茨城県稲敷郡美浦村木原2355番地 日本テ キサス・インスツルメンツ株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電荷結合素子を１次元もしくは２次元に
   多数配列し、これを順次読み出すための回路を基板上に
   集積化したイメージセンサを備え、このイメージセンサ
   により被撮影物の撮影を行う撮像装置において、 イメージセンサの受光面を保護するリッドガラスを透過
   し上記受光面に到達する入射光と上記受光面で反射し上
   記リッドガラスによって反射する反射光とによって生じ
   る干渉縞がイメージセンサ面の１ピクセル上に１本以上
   発生するように、リッドガラス面がイメージセンサ受光
   面に対して傾けて配設されていることを特徴とする干渉
   縞ノイズ防止機構付撮像装置。