JPH0531545Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、表面分析装置の如く超高真空を必要
とする分析装置において、エアーロツク室を設け
て試料を分析室に導入する試料導入部に関するも
のである。

（従来の技術） 超高真空を必要とする分析装置では、分析部に
試料を設置するために分析室を毎回大気にさらす
ことなく真空を保持するために、必ずエアーロツ
ク室を設け、それを介して外部から試料を導入す
る。試料導入機構はエアーロツク室内にあつて大
気から完全に密封されている。

第４図は従来の試料導入部を備えた表面分析装
置の一例を表わすものである。

分析室２に隔離ゲートバルブ４を介してエアー
ロツク室６が接続されている。エアーロツク室６
内には試料８を分析室２の分析部１０へ装着し、
分析部１０から取り出す試料導入機構が設けられ
ている。この例では試料導入機構はラツク１２と
ピニオン１４との組合せにより構成されている。

エアーロツク室６は試料導入機構を有する部分
１６と分析室側の部分１８とからなり、両部分１
６，１８はフランジ２０により固定されている。
エアーロツク室６には蓋２２を備えた試料出入口
が設けられている。

分析室２とエアーロツク室６はそれぞれ独立し
た排気系により排気される。２４はリークバルブ
である。

第５図は他の表面分析装置における試料導入部
をエアーロツク室を開けた状態で表わすものであ
る。

この試料導入部のエアーロツク室２６も試料導
入機構を有する部分２８と分析室側の部分３０と
からなる。両部分２８，３０はフランジ３１，３
２により開閉可能に接合され、試料導入機構を有
する部分２８がスライドガイド３３に案内されて
軸方向に移動できるようになつている。この例で
は試料導入機構として試料８を移動させる試料移
動台３４を磁気カツプリングにより軸方向に移動
させる構造のものが使用されている。３５はその
磁気カツプリングを構成するエアーロツク室外の
永久磁石、３６はエアーロツク室内で試料移動台
３４に設けられた磁性材料部材である。

なお、エアーロツク室２６の排気系とリークバ
ルブの図示は省略されている。

これらの試料導入部において、分析部１０への
試料８の取付けや交換は、エアーロツク室６，２
６を乾燥窒素ガスなどでリークし、エアーロツク
室２，２６が大気圧になれば、第４図のものでは
蓋２２をあけて行ない、第５図のものではエアー
ロツク室２６の部分２８をスライドガイド３３に
より図で右側に移動させて行なう。

（考案が解決しようとする問題点） 試料の取付けや交換の操作の際、第４図のよう
にエアーロツク室６の蓋２２をあける方式の試料
導入部では、蓋２２の大きさに制限があり、操作
を容易に行なうことができない。

第５図のようにエアーロツク室２６の一部をス
ライドさせてあける方式の試料導入部では、スラ
イドガイド部３３が妨げになり、試料の取付けや
交換を容易に行なうことができない問題がある。
また、エアーロツク室２６の一部をスライドさせ
るためそのスライド方向にスペースを必要とす
る。

本考案は試料の取付けや交換が容易にできるよ
うに、取付けや交換の操作に必要な空間を広くと
ることができ、また試料移動方向に第５図のよう
なスペースを必要としない試料導入部を提供する
ことを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 実施例を示す第１図を参照して説明すると、本
考案の試料導入部は、エアーロツク室を、試料導
入機構を有する試料導入機構部分４０と分析室側
の部分４２とに分割し、両部分４０，４２のフラ
ンジ４６，４８により接合できるようにするとと
もに、両フランジ部分を蝶番４４により連結して
試料導入機構部分４０を水平面内で回転して開閉
できるようにしたものである。

（実施例） 第１図は本考案の一実施例をエアーロツク室を
開けた状態で表わす上面断面図、第２図は同実施
例をエアーロツク室を閉じた状態で表わす平面断
面図、第３図は同実施例をエアーロツク室を閉じ
た状態で試料導入機構部分からみた正面図であ
る。第４図、第５図と同一部分には同一記号を付
してある。

４０はエアーロツク室の試料導入機構部分、４
２はエアーロツク室の分析室側の部分であり、試
料導入機構部分４０の端面と分析室側部分４２の
端面にはそれぞれフランジ４６，４８が設けら
れ、Ｏリング５０を介して接合されるようになつ
ている。

両フランジ４６，４８は蝶番４４により連結さ
れ、試料導入機構部分４０が分析室側部分４２に
対し水平面内で回転できるように支持されてい
る。

蝶番４４は第３図に示されるように引掛け式に
なつており、分析室側部分４２の蝶番部材４４ａ
の穴に、試料導入機構部分４０の蝶番部分４４ｂ
の軸が上方から通されており、試料導入機構部分
４０を上方へ押し上げることにより蝶番部分４４
ｂを蝶番部分４４ａから離すことにができるよう
になつている。

試料導入機構としては、第５図と同じくエアー
ロツク室外の永久磁石３５と、エアーロツク室内
の試料移動台３４に設けられた磁性材料部材３６
とからなる磁気カツプリングによるものが使用さ
れている。

なお、本実施例におけるエアーロツク室の排気
系とリークバルブは図示が省略されている。

本実施例において試料８を交換したい場合、隔
離ゲートバルグ４を閉じた状態でエアーロツク室
をリークし、試料導入機構部分４０を第１図に鎖
線で示される状態から、実線で示されるように蝶
番４４を中心として回転させ、試料導入機構部分
４０を試料導入方向と直角になるようにする。

この状態で磁気カツプリング３５，３６により
試料移動台３４を矢印５２に方向に手前に押し出
し、試料８を記号８ａの位置まで移動させること
によつて、試料８の交換を容易に行なうことがで
きるようになる。

本実施例では蝶番４４とし引掛け式のものを使
用しているので、ベーキングなどの際に試料導入
機構部分４０を容易に取り外すことができる。

試料導入機構は、実施例では磁気カツプリング
によるものを例示しているが、第４図に示されて
いるようなラツクとピニオンとの組合せによるも
のや、プーリによるワイヤ駆動のものなど、試料
移動台を直線的に移動させる他の機構を使用する
こともできる。そして、ピニオンやプーリを大気
側から回転させる機構としては、ベローズシール
された首振り機構によつて回転を伝える回転導入
機や磁気カツプリングによる回転導入機などを使
用することができる。

（考案の効果） 本考案によれば、次のような利点をもつ試料導
入部を実現することができる。

(1) エアーロツク室を開けたときの開口部スペー
スを広くとることができ、また正面から試料の
取付けや交換を行なうことができるようになる
ため、試料の取付けや交換を容易に行なうこと
ができるようになる。

(2) 第５図のような従来の試料導入部は試料導入
方向の延長線上に障害物があつては使用できな
いが、そのような障害物のある場合でも本考案
の使用導入部ではスライドさせないので問題が
ない。

(3) 分析室側部分と試料移動機構部分との接合部
の蝶番を取外し可能な引掛け式とすることによ
り、試料移動機構部分を分析室側部分から取り
外すことが容易になり、保守作業が容易にな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例をエアーロツク室を
開けた状態で表わす平面断面図、第２図は同実施
例をエアーロツク室を閉じた状態で表わす平面断
面図、第３図は同実施例のエアーロツク室を閉じ
た状態を試料導入機構部分方向からみた正面図、
第４図は従来の試料導入部を備えた表面分析装置
を示す側面断面図、第５図は従来の他の試料導入
部を示す平面断面図である。 ８……試料、３５，３６……試料導入機構とし
ての磁気カツプリング、４０……エアーロツク室
の試料導入機構部分、４２……分析室側部分、４
４……蝶番、４６，４８……フランジ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 分析室に隔離ゲートバルブを介してエアーロ
   ツク室が設けられ、 前記エアーロツク室は前記隔離ゲートバルブ
   を介して水平方向に突出して分析室に固定され
   た分析室側部分と、 この分析室側部分にフランジにより接合され
   る長尺の筒状体で、分析室側の先端に試料を保
   持して前記筒状体の軸方向に移動可能な試料移
   動台を内部に有し、その試料移動台を移動させ
   る機構を備えた試料移動機構部分とを備え、 前記分析室側部分と前記試料移動機構部分と
   の接合部は蝶番により水平面内で回転して開閉
   可能に連結されていることを特徴とする分析装
   置の試料導入部。 (2) 前記蝶番は取外し可能な引掛け式である実用
   新案登録請求の範囲第１項に記載の分析装置の
   試料導入部。