JPH0531116Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0531116Y2
JPH0531116Y2 JP3259888U JP3259888U JPH0531116Y2 JP H0531116 Y2 JPH0531116 Y2 JP H0531116Y2 JP 3259888 U JP3259888 U JP 3259888U JP 3259888 U JP3259888 U JP 3259888U JP H0531116 Y2 JPH0531116 Y2 JP H0531116Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magazine
medium
sized
ics
small
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3259888U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01137892U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP3259888U priority Critical patent/JPH0531116Y2/ja
Publication of JPH01137892U publication Critical patent/JPH01137892U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0531116Y2 publication Critical patent/JPH0531116Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ICハンドラに設置されるICシユー
トレール、及び、ICハンドラに用いられるICマ
ガジンに関するものである。
〔従来の技術〕
ICハンドラは、多数のICを順次に搬送してIC
測定ソケツトに装着して電気的性能の検査に供
し、かつ、上記測定ソケツトから離脱せしめた
ICを検査結果に従つて級別に分類して搬出する
自動機器である。
ICハンドラ内におけるICの搬送には、主とし
てシユートレールが用いられ、ICハンドラに対
してICを供給したり搬出したりする場合はICマ
ガジンが用いられる。
第7図はシユートレール1によつてIC2を搬
送している状態の斜視図、第8図は同じく側面図
である。
第9図はIC2とマガジン3とを対比せしめて
描いた斜視図である。
そして、上記のマガジン3の多数をICハンド
ラに順次供給する為に、本図に示すようなマガジ
ンストツカが用いられる。マガジンストツカは一
対の断面コの字形の柱状部材であるガイドコラム
4を植設して、該コの字形の凹部を対向せしめこ
の凹部にマガジン3の両端を嵌め合わせ、積み上
げて収納される。そして、最下段のマガジンを次
工程に送り出すと、その上方のマガジンは自重で
滑降する。
取扱対象であるICの寸法が異なると、これに
対応してシユートレール及びマガジンも、それぞ
れ適合した寸法のものを用いなければならない。
こうした不便の1部分を解消するため、第10
図に示す如く、3本の平行な突条5a,5b,5
cを備えた、断面E形のICシユートレール5が
公知である。
第11図は上記E形シユートレールによつて大
形のIC2Lを搬送している状態を示す。第12
図は同じく中形IC2Mを搬送している状態、第
13図は小形のIC2Sを搬送している状態を示
す。
ICの寸法は、第11図に示す如く、対向して
いるリードの肩幅寸法lを以て公称される。本従
来例における大形IC2Lは600ミル、中形IC2M
は400ミル、小形IC2Sは300ミル(ただし1ミ
ル=1/1000インチ)である。
第14図は大形IC2L用の大形マガジン3L
を示す。この大形マガジン3Lは、大形IC2L
に適合する案内用の突条3Laと、該大形IC2L
の周囲を取り囲む筒状の該筐体3Lbとを備えて
いる。本考案において筒状とは、必ずしも立体幾
何学的に完全な筒であることを要せず、第14図
に示すような点検用溝孔3Lcを有する形状(い
わゆる口を開いた巻筒状)であつても良い。
第15図,第16図に表わされているように、
中形マガジン3M、小形マガジン3Sは、それぞ
れ収納すべきICの寸法に適応した突条や外筐体
を備えている。
このため、同一のマガジンを複数種類の大きさ
のICに流用することができない。即ち、取扱う
ICの型式寸法(呼び寸法)が変わると、それぞ
れに専用のマガジンを用いなければならない。
取扱いICの寸法変化に応じて異なるマガジン
3L,3M,3Sを使い分けること自体は大きい
不具合ではないが、マガジンの変更に伴つて、先
ず、第9図に示したガイドコラム4を取り替えな
ければならなくなる。その他、マガジン内にIC
を送り込むための支持部材(マガジンチヤツク)
やマガジン内のICを取り出す為の部材なども取
り替えなければならなくなる。このようにして、
ICハンドラのロード機構,アンロード機構の大
幅な段取り替えが必要となり、作業能率を著しく
低下させる。
こうした不具合を解消して、大,中,小3種類
のICをそれぞれ取り扱うことが出来、ICの種類
に応じてマガジンを使い分けてもICハンドラ本
体側の段取り替えを必要としないIC搬送用のシ
ユートレール及びマガジンとして、 (イ) 大,中,小3種類のICに適合するシユート
レールは、例えば第10図に示した従来例のE
形シユートレールと同様の部材を用い、 (ロ) 大形IC専用マガジンは、例えば第14図に
示した大形マガジン3Lと同様の部材を用い、 (ハ) 中形IC専用マガジンは、例えば第14図に
示した大形IC用の外筐体3Lbの中に、第15
図に示した中形IC用の突条3Maを設けたもの
を構成し、 (ニ) 小形IC専用マガジンは、例えば第14図に
示した大形IC用の外筐体3Lbの中に、第16
図に示した小形IC用の突条3Saを設けたもの
を構成することが考えられる。
上記(イ)〜(ニ)の構成は、本考案者らは創作して別
途出願中の考案(実願昭62−158695)である。
(以下、先願の考案と呼ぶ)。
上記先願の構成によれば、大形IC用,中形IC
用,小形IC用のそれぞれのマガジンは共通形状,
共通寸法の外筐体を有しているので、マガジン種
別を交換しても該マガジンをハンドリングするガ
イドコラム其他ICハンドラ本体構成部材の段取
り替えを必要としない。
また、大形IC用マガジン,中形IC用マガジン,
小形IC用マガジンの何れかをE形シユートレー
ルに正対せしめると、該E形シユートレールから
送り出されるICを、それぞれのマガジンの突条
の上に円滑に受け入れることが出来る。
第17図乃至第19図は前記先願に係る考案の
一実施例における中形マガジンの説明図である。
第17図に1点鎖線で示した5は前記従来例に
おけるE形シユートレールである。
実線で描いた2Lは、上記E形シユートレール
5に搭載された状態の大形ICである。
2点鎖線で描いた3Lbは、上記大形ICを収納
した状態における大形マガジンの外筐体である。
前記E形シユートレール(1点鎖線)上に搭載
された状態の中形IC2Mを破線で描き、斑点を
付して示す。
上記第17図の中の中形IC2Mと、大形IC用
外筐体3Lbとを抽出して第18図に示す。
第18図の位置の中形IC2Mを支承して案内
する突条6Maを第19図の如く構成すると共
に、上記大形IC用外筐体3Lbと略同形同寸の外
筐体6Mbを構成し、両者6Ma,6Mbを一体に
連設して中形IC用マガジン6Mを構成する。こ
れが先願の考案における組合せ部材の1である前
記(ハ)項の中形マガジンである。
先願の考案は、第14図に示した従来例の大形
マガジン3L、及び、第10図に示した従来例の
E形シユートレールをそれぞれそのまま適用す
る。
第20図及び第21図は小形IC用マガジンの
説明図である。第20図は、中形マガジンにおけ
る第17図(先願)に対応する図で、第17図の
中形IC2Mを小形IC2Sに置き変えて描いたも
のである。
前記第17図→第18図→第19図と同様の設
計手順により、先願の考案に係る小形IC用のマ
ガジン6S(第21図)が得られる。
上記第21図は構成説明の為の模式図であり、
第22図はこれに対応する実物の小形IC用マガ
ジン6S′の断面投影図である。
実物断面図(第22図)が、模式図(第21
図)に比して異なるところは次の如くである。
模式図(第21図)の外筐体6Sbは第14図
に示した大形マガジンの外筐体3Lbと全く同形
同寸であるのに比し、先願に係る小形マガジンの
実物投影図(第22図)においては、 (i) 溝孔6Sc′の位置を、小形IC2Sの点検に便
利なような該小形IC2Sの真上の位置に設け
てある。
(ii) 小形IC2Sが、突条6Sa′上から矢印fの如
く転落しないようにガイド6Sd′を設けてある。
(iii) その他、偶角部の丸味や肉厚の配分などを若
干変えてある。
先願の考案および本考案において、「中,小形
IC用のマガジンが大形IC用マガジンの外筐体と
同じ外筐体を有する」とは、「寸分違わぬ同形同
寸の外筐体を有する」との意ではなく、「マガジ
ンをハンドリングする関係部材との対応におい
て、機能的に等価なる形状,寸法を有する」意で
ある。
〔考案が解決しようとする課題〕
上記先願に係る考案のシユートレール及びマガ
ジンを適用すると、ICハンドラにおける取扱い
ICの呼称寸法の変化に応じて大,中,小3種類
のマガジンを使い分けても、ICハンドラ本体の
部品交換や寸法調整など一切の段取り替えを必要
としないという優れた実用的効果を奏することが
確認された。しかし、本考案者らが更に実用化試
験研究を進めた結果、次記のような困難に直面し
た。
第23図は上記困難の説明図であつて、前記の
小形マガジン6S′(第22図)の断面を示してい
る。
前掲の第22図に示した矢印f方向の転落を完
全に防止しようとすると、第23図に実線で示し
たガイド6Sd′を、仮想線で示した6Sd′程度に延
長しなければならない。
ところが、このガイド6Sd″によつて仕切られ
た空間S1,S2の連通部の幅寸法Wが小さいと、こ
のマガジンを押出し成形する場合に型が強度的に
耐え得ない。
型の強度を上げようとして前記幅寸法Wを拡大
すると、ICの転落(第22図の矢印f)が防止
できなくなる。
本考案は上述の事情に鑑みて為されたもので、
前記先願に係る考案に更に改良を加え、先願の長
所(IC型式寸法の変化に際してICハンドラの本
体部分の段取り替え不要)を損うことなく、マガ
ジン内のICの姿勢が安定に保持され、しかも、
マガジンの製造が容易な、IC搬送用のシユート
レール及びマガジンを提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
第2図及び第3図は本考案の着想、及びその実
地への適用を説明するための図であつて、仮想の
説明図である。
第2図に実線で描いた部分は従来例の中形マガ
ジン3M内に中形IC2Mを収納した状態を表わ
しており、前掲の第15図と同様である。仮想線
で描いた3L′は、従来例の大形マガジン(第14
図)の1部を重ね合わせたものである。
第2図の仮想線部分3L′と実線部分3Mとを一
体に連設すると第3図の中形マガジン3M′が得
られる。この仮想の中形マガジン3M′であれば
中形IC2Mを安定状態で収納し得ることが明ら
かであり、しかも、外形的には大形マガジン3L
と同様に取り扱うことが出来る。
しかし乍ら、断面図において取り囲まれた空間
S3が出来る。このような空間S3が有つては押し出
し成形による加工は不可能に近い。
そこで本考案は、第3図に示したU部を切り欠
いて、前記密閉空間S3を外部に連通させる(ただ
し、第3図に関する以上の説明は、図面上での検
討であつて、用語も図面に表われた形状を譬論的
に表わしている。例えば空間S3を立体的に考えれ
ば、元来、紙面と直角方向に大気と連通してお
り、密封空間とは言えない)。
上記U部を溝孔状に切り欠くと、第1図に示し
た中形マガジン7Mが得られる。
この中形マガジン7Mの構成を特定すると、次
の如くである。
(イ) E形シユートレール(第10図)のうち、中
形IC2Mを搭載する部分に担当する突条3Ma
を有し、 (ロ) 上記中形IC2Mを取り囲む筒状の外筐体と、 (ハ) (第14図参照)E形シユートレールに搭載
した大形ICを取り囲む筒状の外筐体(即ち大
形マガジン3L)の肩部iと、側壁の下半部j
と、底面の一部kとを、一体に連設した形状。
〔作用〕
前記のU部を溝孔状に切り欠くことにより、第
3図で説明した孤立空間S3は、幅寸法W1の溝孔
状切欠によつて外部と連通される。この幅寸法
W1は任意に設定することが出来、マガジンの高
さ寸法Hの1/3程度とすることに別段の困難は無
い。このため、この中形マガジン7Mは、中形
IC2Mを安定した状態で保持することができ、
しかも押出し成形による工業的生産が容易で、特
に型の強度についての困難を生じない。而して、
大形IC用マガジンと略等しい外形を有している
ので、大形IC用マガジンのハンドリング部材よ
つて搬送することが出来る。
〔実施例〕
第1図は本考案に係る中形マガジン7Mの1実
施例の断面図であつて、中形IC2Mを搭載して
摺動せしめ得る突条3MAと、この突条に乗せら
れた中形IC2Mを取り囲む筒状の部分と、大形
マガジンの肩部と同形の部分iと、大形マガジン
の側壁の下半部と同形の部分jと、大形マガジン
の底面の一部と同形のk部とを一体に連設した形
状をなし、その側面に間隔寸法W1の溝孔状開口
が形成されている。
以上に説明した、第2図→第3図→第1図の設
計的手順と同様にして、第4図→第5図→第6図
の如く、本考案の一実施例としての小形マガジン
7Sを得ることが出来る。
〔考案の効果〕
本考案のシユートレール及びマガジンを適用す
ると、ICハンドラにおける取扱いICの呼称寸法
の変化に応じて大,中,小3種類のマガジンを使
い分けても、ICハンドラ本体の部品交換や寸法
調整など一切の段取り替えを必要としない上に、
収納したICの姿勢が安定して保持され、しかも
工業的生産に適しているという優れた実用的効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例における中形IC用
マガジンの断面図である。第2図及び第3図は上
記実施例における中形IC用マガジンの説明図、
第4図乃至第6図は同じく小形IC用マガジンの
説明図である。第7図及び第8図はシユートレー
ルによつてICを搬送している状態の説明図、第
9図はマガジンとガイドコラムとの説明図であ
る。第10図乃至第13図は公知のE形シユート
レールの説明図である。第14図乃至第16図は
従来例のマガジンの説明図である。第17図乃至
第23図は先願に係るマガジンの説明図である。 1……シユートレール、2……IC、2L……
大形IC、2M……中形IC、2S……小形IC、3
……マガジン、3L……大形マガジン、3L′……
大形マガジンの一部、3M……中形マガジン、3
S……小形マガジン、6,6′……小形マガジン、
6Sa,6Sa′……突条、6Sb,6Sb′……外筐体、
6Sc,6Sc′……点検用の溝孔、6Sd′……ガイ
ド、7M……中形マガジン、7S……小形マガジ
ン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 大,中,小、3種類のICを搬送するシユート
    レール及び該3種類のICを収納するマガジンに
    おいて、 (a) 上記3種類のICそれぞれに適合するように
    3本の平行な突条を設けたE形シユートレール
    と、 (b) 上記E形シユートレールに正対した状態にお
    いて、該E形シユートレールによつて搬送され
    て送り出された大形ICを、その搬送方向の延
    長線に沿つて案内する突条を有し、かつ、上記
    の突条に搭載された大形ICの外周を取り囲む
    筒状の外筐体を有する大形IC用マガジンと、 (c) 前記E形シユートレールに正対した状態にお
    いて、該E形シユートレールによつて搬送され
    て送り出された中形ICを、その搬送方向の延
    長線に沿つて案内する突条を有し、かつ、上記
    E形シユートレールに搭載された中形ICの外
    周を取り囲む筒状の外筐体に、前記(b)項の筒状
    の外筐体の肩部と、側壁の下半部と、底面の一
    部とを一体に連設してなる中形IC用マガジン
    と、 (d) 前記E形シユートレールに正対した状態にお
    いて、該E形シユートレールによつて搬送され
    て送り出された小形ICを、その搬送方向の延
    長線に沿つて案内する突条を有し、かつ、上記
    E形シユートレールに搭載された小形ICの外
    周を取り囲む筒状の外筐体に、前記(b)項の筒状
    の外筐体の肩部と、側壁の下半部と、底面の一
    部とを一体に連設してなる小形IC用マガジン
    と、 の組合せよりなることを特徴とする、IC搬送用
    のシユートレール用及びマガジン。
JP3259888U 1988-03-14 1988-03-14 Expired - Lifetime JPH0531116Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3259888U JPH0531116Y2 (ja) 1988-03-14 1988-03-14

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3259888U JPH0531116Y2 (ja) 1988-03-14 1988-03-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01137892U JPH01137892U (ja) 1989-09-20
JPH0531116Y2 true JPH0531116Y2 (ja) 1993-08-10

Family

ID=31259148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3259888U Expired - Lifetime JPH0531116Y2 (ja) 1988-03-14 1988-03-14

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0531116Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01137892U (ja) 1989-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6579052B1 (en) SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US7100340B2 (en) Unified frame for semiconductor material handling system
KR100562542B1 (ko) 모듈형 선별기
US4531284A (en) Automatic assembling machine
US20030044261A1 (en) Semiconductor material handling system
CN109483219A (zh) 一种插座自动组装流水线及其运行方法
JPH05508746A (ja) 基板を格納し、運搬し、ロードするための装置
US7699573B2 (en) Reticle manipulating device
JPH0531116Y2 (ja)
JPH06277967A (ja) 多点品の組立システム
US4721206A (en) Rack for semi-finished and finished products
CN115383769A (zh) 复合叉状装置、使用该复合叉状装置的方法及系统
JPS61117033A (ja) 多部品自動組付けステ−シヨン
JPH1159880A (ja) チップの1列整列1個分離搬送装置
JPS59128125A (ja) ロ−ダ・アンロ−ダ
CN220392571U (zh) 芯片上料机构以及芯片检测装置
JPS59195740U (ja) リ−ドレスチツプキヤリヤテストハンドラ−
JPH0113437Y2 (ja)
JPH04364754A (ja) ウエハ収納治具
JPS63219134A (ja) 拡散炉ウエハ・ハンドラ装置
JPH10175724A (ja) チップの1列整列搬送用双方向フィダー
JPH0456602A (ja) 架搬送方法及び架搬送装置
JPH0252454A (ja) 半導体自動マーキング装置
TWM568495U (zh) Semiconductor process workstation
KR100426810B1 (ko) 웨이퍼 캐리어