JPH05309556A - 微細部用研磨材および研磨方法 - Google Patents
微細部用研磨材および研磨方法Info
- Publication number
- JPH05309556A JPH05309556A JP14212192A JP14212192A JPH05309556A JP H05309556 A JPH05309556 A JP H05309556A JP 14212192 A JP14212192 A JP 14212192A JP 14212192 A JP14212192 A JP 14212192A JP H05309556 A JPH05309556 A JP H05309556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive
- polished
- polishing
- minute
- polishing method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小な溝、穴、くぼみ等の微小凹部を持つ被
研磨物を比較的短時間で研磨できる研磨材および研磨方
法の提供。 【構成】 直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ
を含む微細部用研磨材、天然および／または人造の他の
研磨材、および必要に応じて水および／またはその他の
液体とを含有する微細部用研磨材並びに該微細部用研磨
材と被研磨物とを混合し、この混合物に運動力を与えて
該被研磨物を研磨することを特徴とする研磨方法。
研磨物を比較的短時間で研磨できる研磨材および研磨方
法の提供。 【構成】 直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ
を含む微細部用研磨材、天然および／または人造の他の
研磨材、および必要に応じて水および／またはその他の
液体とを含有する微細部用研磨材並びに該微細部用研磨
材と被研磨物とを混合し、この混合物に運動力を与えて
該被研磨物を研磨することを特徴とする研磨方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小な溝、穴、くぼみ等
の、通常の研磨材および研磨法では研磨できない微小部
分を持つ被研磨物を研磨するための研磨材および研磨方
法に関する。
の、通常の研磨材および研磨法では研磨できない微小部
分を持つ被研磨物を研磨するための研磨材および研磨方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小な溝、穴、くぼみ等を持つ金
属またはセラミックなどの硬質被研磨物の微小部を研磨
するためには、微小部に合った治具とアルミナ粉末、カ
ーボランダム等の天然および／または人造の研磨材とを
用いて機械的に研磨するか、バレル研磨の回転ドラムま
たは遊星ミルのポットなどの容器に被研磨物と上記研磨
材とを入れ、振動、回転、遊星運動または往復運動によ
って力を与えて研磨する方法が行われてきた。しかしな
がら、このような従来の方法においては、前者の方法で
は治具の製作および研磨方法の確立に手間とコストがか
かり、また研磨時間もかかる。後者の方法では粉末研磨
材の質量が小さいため研磨材粒の運動モーメントが小さ
く、その結果、研磨ができないか、研磨に長時間を要す
るという問題点があった。また、０．５ｍｍ以下の微小
部は後者の方法でも研磨するのが困難であった。
属またはセラミックなどの硬質被研磨物の微小部を研磨
するためには、微小部に合った治具とアルミナ粉末、カ
ーボランダム等の天然および／または人造の研磨材とを
用いて機械的に研磨するか、バレル研磨の回転ドラムま
たは遊星ミルのポットなどの容器に被研磨物と上記研磨
材とを入れ、振動、回転、遊星運動または往復運動によ
って力を与えて研磨する方法が行われてきた。しかしな
がら、このような従来の方法においては、前者の方法で
は治具の製作および研磨方法の確立に手間とコストがか
かり、また研磨時間もかかる。後者の方法では粉末研磨
材の質量が小さいため研磨材粒の運動モーメントが小さ
く、その結果、研磨ができないか、研磨に長時間を要す
るという問題点があった。また、０．５ｍｍ以下の微小
部は後者の方法でも研磨するのが困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、微小
な溝、穴、くぼみ等の微小凹部を持つ被研磨物を比較的
短時間で研磨できる研磨材および研磨方法を提供する点
にある。
な溝、穴、くぼみ等の微小凹部を持つ被研磨物を比較的
短時間で研磨できる研磨材および研磨方法を提供する点
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の第１は、直径
０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ研磨材、天然お
よび／または人造の他の研磨材、および必要に応じて水
などの液体とからなる微細部用研磨材である。好ましい
セラミック微小ビーズはジルコニア微小ビーズである。
なお、直径０．５ｍｍ以下のジルコニア微小ビーズの製
造が可能になったのは特開平２−５６２３１号、特開平
２−２３９１４５号、特開平２−２３９１４６号および
特開平４−９２８１８号に開示された方法によってはじ
めて可能になったものである。本発明の第２は、前記の
微細部用研磨材と被研磨物とを混合し、この混合物に運
動力を与えて、該被研磨物の表面および微小部分を研磨
する方法である。先に述べたごとく、アルミナ粉末、グ
リーンカーボランダム等の天然および／または人造の粉
末研磨材と水などの液体との混合物と被研磨物とを接触
させただけでは研磨材粒の運動モーメントが小さい。そ
こへ、直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ研磨
材を混在させた結果、セラミック微小ビーズの運動モー
メントが大きいため、セラミック微小ビーズに押されて
粉末研磨材が大きな運動モーメントを持って被研磨物に
衝突し、摩擦して研磨の効率が高くなり、比較的短時間
に多くの被研磨物およびその微小部の研磨ができるよう
になった。
０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ研磨材、天然お
よび／または人造の他の研磨材、および必要に応じて水
などの液体とからなる微細部用研磨材である。好ましい
セラミック微小ビーズはジルコニア微小ビーズである。
なお、直径０．５ｍｍ以下のジルコニア微小ビーズの製
造が可能になったのは特開平２−５６２３１号、特開平
２−２３９１４５号、特開平２−２３９１４６号および
特開平４−９２８１８号に開示された方法によってはじ
めて可能になったものである。本発明の第２は、前記の
微細部用研磨材と被研磨物とを混合し、この混合物に運
動力を与えて、該被研磨物の表面および微小部分を研磨
する方法である。先に述べたごとく、アルミナ粉末、グ
リーンカーボランダム等の天然および／または人造の粉
末研磨材と水などの液体との混合物と被研磨物とを接触
させただけでは研磨材粒の運動モーメントが小さい。そ
こへ、直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビーズ研磨
材を混在させた結果、セラミック微小ビーズの運動モー
メントが大きいため、セラミック微小ビーズに押されて
粉末研磨材が大きな運動モーメントを持って被研磨物に
衝突し、摩擦して研磨の効率が高くなり、比較的短時間
に多くの被研磨物およびその微小部の研磨ができるよう
になった。
【０００５】セラミック微小ビーズとして好ましいもの
はジルコニア微小ビーズ、アルミナ微小ビーズ、窒化珪
素微小ビーズ、シリカ微小ビーズおよび炭化珪素微小ビ
ーズである。最も好ましいものは、密度の大きい部分安
定化ジルコニアビーズ（密度６．０ｇ／ｃｍ3以上）で
ある。金属のビーズは密度は大きいが研磨時に金属微小
粉が生じ障害になることがあるので好ましくない。汚染
を嫌う場合は被研磨物と同質の微小ビーズを使用する。
セラミック微小ビーズは被研磨物の溝、穴、くぼみ等の
研磨対象のサイズによって、直径０．００５ｍｍないし
０．５ｍｍの範囲から好ましいサイズを選ぶことができ
る。セラミック微小ビーズのさらに好ましいサイズは直
径０．０５ないし０．３ｍｍである。また、本発明の微
細部用研磨材には従来の研磨材を用いない場合または水
を用いない場合もある。
はジルコニア微小ビーズ、アルミナ微小ビーズ、窒化珪
素微小ビーズ、シリカ微小ビーズおよび炭化珪素微小ビ
ーズである。最も好ましいものは、密度の大きい部分安
定化ジルコニアビーズ（密度６．０ｇ／ｃｍ3以上）で
ある。金属のビーズは密度は大きいが研磨時に金属微小
粉が生じ障害になることがあるので好ましくない。汚染
を嫌う場合は被研磨物と同質の微小ビーズを使用する。
セラミック微小ビーズは被研磨物の溝、穴、くぼみ等の
研磨対象のサイズによって、直径０．００５ｍｍないし
０．５ｍｍの範囲から好ましいサイズを選ぶことができ
る。セラミック微小ビーズのさらに好ましいサイズは直
径０．０５ないし０．３ｍｍである。また、本発明の微
細部用研磨材には従来の研磨材を用いない場合または水
を用いない場合もある。
【０００６】本発明の研磨材および研磨方法を適用する
のに好ましい被研磨物は図１および図２に示したような
微細な溝、穴、くぼみ等を持ち、従来の研磨材および研
磨方法では研磨できない形状の被研磨物である。本発明
の研磨材および研磨方法は、貫通していない凹部、いわ
ゆるくぼみの研磨に特に有効である。本発明の研磨方法
は、本発明の微細部用研磨材と被研磨物とを混合し、こ
の混合物を入れた容器に運動力を与えて、該被研磨物を
研磨する方法であって、運動力としては振動、回転、遊
星運動および往復運動のうち１つまたは２つ以上を組合
わせることができる。１例として遊星運動による研磨方
法を図３に示した。この動きは、いわば自転と公転の関
係に相当している。
のに好ましい被研磨物は図１および図２に示したような
微細な溝、穴、くぼみ等を持ち、従来の研磨材および研
磨方法では研磨できない形状の被研磨物である。本発明
の研磨材および研磨方法は、貫通していない凹部、いわ
ゆるくぼみの研磨に特に有効である。本発明の研磨方法
は、本発明の微細部用研磨材と被研磨物とを混合し、こ
の混合物を入れた容器に運動力を与えて、該被研磨物を
研磨する方法であって、運動力としては振動、回転、遊
星運動および往復運動のうち１つまたは２つ以上を組合
わせることができる。１例として遊星運動による研磨方
法を図３に示した。この動きは、いわば自転と公転の関
係に相当している。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに具体的
に説明するが、本発明はこれ等実施例によって限定され
るものではない。 実施例１ 図３に示したポット（内容量１０００ｃｃ）に直径０．
２ｍｍのジルコニアビーズ６００ｇ、グリーンカーボラ
ンダム粉末６０ｇおよび水１５０ｃｃを入れよく混合し
た。次に、このポットに図１に示したセラミック製被研
磨物１０個を入れ、遊星ミルを動かして研磨を行った。
１時間後、２時間後および３時間後に被研磨物を取り出
してそれぞれ溝の部分を顕微鏡で検査した。この結果、
研磨時間１時間で溝の内部が充分研磨されていることが
判明した。
に説明するが、本発明はこれ等実施例によって限定され
るものではない。 実施例１ 図３に示したポット（内容量１０００ｃｃ）に直径０．
２ｍｍのジルコニアビーズ６００ｇ、グリーンカーボラ
ンダム粉末６０ｇおよび水１５０ｃｃを入れよく混合し
た。次に、このポットに図１に示したセラミック製被研
磨物１０個を入れ、遊星ミルを動かして研磨を行った。
１時間後、２時間後および３時間後に被研磨物を取り出
してそれぞれ溝の部分を顕微鏡で検査した。この結果、
研磨時間１時間で溝の内部が充分研磨されていることが
判明した。
【０００８】実施例２ 直径０．０８ｍｍのジルコニアビーズ６００ｇ、アルミ
ナ粉末６０ｇおよび水１５０ｃｃを用い、さらに、図２
に示したセラミック製被研磨物１０個を入れ、実施例１
と同様にして研磨を行った。研磨時間２時間で穴の内部
が充分研磨された。
ナ粉末６０ｇおよび水１５０ｃｃを用い、さらに、図２
に示したセラミック製被研磨物１０個を入れ、実施例１
と同様にして研磨を行った。研磨時間２時間で穴の内部
が充分研磨された。
【０００９】比較例１ 図３に示したバレル容器（内容量１０００ｃｃ）に、グ
リーンカーボランダム粉末１００ｇおよび水２５０ｃｃ
を入れよく混合した。次に、このバレル容器に図１に示
した被研磨物１０個を入れ、遊星ミルを動かして研磨を
行った。１０時間後に被研磨物を取り出してそれぞれ溝
の部分を顕微鏡で検査した。溝の内部はまだ充分に研磨
されておらず、溝の表面にはこまかい凹凸が残ってい
た。
リーンカーボランダム粉末１００ｇおよび水２５０ｃｃ
を入れよく混合した。次に、このバレル容器に図１に示
した被研磨物１０個を入れ、遊星ミルを動かして研磨を
行った。１０時間後に被研磨物を取り出してそれぞれ溝
の部分を顕微鏡で検査した。溝の内部はまだ充分に研磨
されておらず、溝の表面にはこまかい凹凸が残ってい
た。
【００１０】
【発明の効果】本発明の微細部研磨材を用いた研磨方法
によって、微細な溝、穴、くぼみ等を持つ被研磨物を短
時間で研磨することができた。
によって、微細な溝、穴、くぼみ等を持つ被研磨物を短
時間で研磨することができた。
【図１】本発明の方法に適した被研磨物の１例であり、
図１の（ａ）は、溝のある被研磨物の上面図であり、
（ｂ）は側面図である。
図１の（ａ）は、溝のある被研磨物の上面図であり、
（ｂ）は側面図である。
【図２】本発明の方法に適した他の被研磨物の１例であ
り、図２の（ａ）は穴やくぼみのある被研磨物の平面図
であり、（ｂ）は側面図である。
り、図２の（ａ）は穴やくぼみのある被研磨物の平面図
であり、（ｂ）は側面図である。
【図３】本発明の方法に適した研磨機の１例としての遊
星ミルの概略図を示す。
星ミルの概略図を示す。
１ ポット ２ 回転枠 ３ 自転用チェーン ４ 微小凹部
Claims (7)
- 【請求項１】 直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビ
ーズを含む微細部用研磨材。 - 【請求項２】 直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビ
ーズ研磨材と天然および／または人造の他の研磨材とを
含む微細部用研磨材。 - 【請求項３】 直径０．５ｍｍ以下のセラミック微小ビ
ーズ研磨材、天然および／または人造の他の研磨材、水
および／またはその他の液体、とを含有する微細部用研
磨材。 - 【請求項４】 セラミック微小ビーズがジルコニア微小
ビーズである請求項１，２または３記載の微細部用研磨
材。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の微細部
用研磨材と被研磨物とを混合し、この混合物に運動力を
与えて該被研磨物を研磨することを特徴とする研磨方
法。 - 【請求項６】 被研磨物が通常の研磨材では研磨できな
い微小凹部を持つものである請求項５記載の研磨方法。 - 【請求項７】 運動力が振動、回転、遊星運動および往
復運動のうち１つ以上を含むものである請求項５または
６記載の研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14212192A JPH05309556A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微細部用研磨材および研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14212192A JPH05309556A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微細部用研磨材および研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05309556A true JPH05309556A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=15307890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14212192A Pending JPH05309556A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 微細部用研磨材および研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05309556A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020093361A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 新東工業株式会社 | バレル研磨用の研磨メディア |
| CN112658960A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-16 | 苏州赛琅泰克高技术陶瓷有限公司 | 具有不规则内壁陶瓷件抛光方法 |
| WO2021085106A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体、装飾部材、吸着ノズル、光学部材、ガイド部材、ブレーキロータ、生活用品およびセラミック構造体の製造方法 |
-
1992
- 1992-05-07 JP JP14212192A patent/JPH05309556A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020093361A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 新東工業株式会社 | バレル研磨用の研磨メディア |
| WO2021085106A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体、装飾部材、吸着ノズル、光学部材、ガイド部材、ブレーキロータ、生活用品およびセラミック構造体の製造方法 |
| JPWO2021085106A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | ||
| CN112658960A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-16 | 苏州赛琅泰克高技术陶瓷有限公司 | 具有不规则内壁陶瓷件抛光方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3030746A (en) | Method of grinding and polishing optical glass | |
| US5187899A (en) | High frequency vibrational polishing | |
| JPH0443228B2 (ja) | ||
| JPH0760624A (ja) | 半導体円板のエッジを研磨する方法 | |
| JPH05309556A (ja) | 微細部用研磨材および研磨方法 | |
| EP0739686A3 (en) | Method and apparatus for polishing metal-soluble materials such as diamond | |
| EP0325857A3 (en) | Curette sharpening hone and method of making | |
| US3424566A (en) | Method of dressing grinding wheels | |
| RU1836206C (ru) | Способ полировани свободным абразивом | |
| JP2001150356A (ja) | 研削装置の鏡面研削用砥石及び鏡面研削方法 | |
| JP2002283211A (ja) | 研磨装置及びこれを含んだ研削・研磨機 | |
| US6866560B1 (en) | Method for thinning specimen | |
| SU1263513A1 (ru) | Масса дл изготовлени полировального инструмента | |
| Fukazawa et al. | Mirror grinding of silicon wafer with silica EPD pellets | |
| JPH1126405A (ja) | 研磨装置 | |
| SU1303391A1 (ru) | Способ подготовки массы дл абразивного инструмента | |
| JP2006250677A (ja) | 試料作製方法 | |
| JPH0435868A (ja) | 岩石試片の研摩方法 | |
| JPH02303759A (ja) | ウェハ周縁部の研磨方法 | |
| US5616071A (en) | Bevel grinder | |
| SU967778A1 (ru) | Способ вибрационной обработки | |
| JPH01135461A (ja) | 天然及び人工石材等の処理方法 | |
| US4905357A (en) | Method for manufacturing resonators with beveled ends | |
| JP2004074375A (ja) | バレル研磨用研磨材 | |
| SU861012A1 (ru) | Способ абразивной обработки поверхностей деталей из твердых и хрупких материалов |